JPS60113442A - ウェハ搬出入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば気相成長装置のサセプタなどのように
回転可能に設けられ、その上にウェハを載置して処理を
施こすためのウェハ載置体に対してウェハ全自動的に搬
出入するための装置に関するものである。

〔従来技術〕

従来、この種の装置として、ウェハ載置体、未処理ウェ
ハの供給部ならびに処理済みウェハの受取り部を同一直
線上に配置し、真空吸着などによるウェハ保持部材を前
記直線と平行に移動するアームに取付け、このアームの
直線運動により未処理ウェハの供給部にある未処理ウェ
ハをウェハ載置体上へ搬入すると共に、処理が終ったウ
ェハ載置体上の処理済みウェハを処理済みウェハの受取
り部へ搬出するようにしたものが提案されている。

この装置は、前記ウェハ載置体、供給部ならびに受取り
部の３者に対するウェハ保持部材の移動をアームの直線
運動によって行なっているため、アームが移動するのに
必要なスペースを広く必要とする。また２ヘツドタイプ
の気相成長装置のようにウェハ載置体が２つ並設されて
いる場合、前記のような振出人装置では、アームが非常
に長くなるため、災用土２台の振出人装置が必要になる
などの問題がある。

〔発明の目的〕

本発明は、振出人装置の占有スペースをより、狭くでき
ると共に、ウェハ載置体が２つ並設されている場合にも
それらに容易に対応することのできるウェハ搬出入装置
を提供するにある。

〔発明の構成〕

かかる目的を達成するための本発明は、回転可能に設け
られウエノ−を載置して処理を施こすためのウェハ載置
体と、未処理ウェハの供給部と、処理済みウェハの受取
り部と、伸縮および旋回可能なアームにウェハ保持部材
を取付け、前記アームの伸縮および旋回によりウェハ保
持部材を前記ウェハ載置体、未処理ウェハの供給部およ
び処理済みウェハの受取り部にそれぞれ位置付けする搬
送手段とからなり、未処理ウェハの供給部にある未処理
ウェハをウェハ保持部材によって取り上げ、アームの旋
回によって前記未処理ウェハをウェハ載置体上へ搬送す
ると共に、アームの伸縮量によって未処理ウェハがウェ
ハ載置体上の所定の半径位置上に位置するようにして矛
じめ所定の割出位置に置かれているウェノ・載置体上に
載置し、処理済みウェハは前記と逆の動作によりウェノ
・載置体上から処理済みウェハの受取り部へ搬送するよ
うにしたものである。

〔実施例〕

以下本発明の一実施例を示す第１図ないし第８図につい
て説明する０第１図において、ＩＡ、ＩＢ（は気相成長
装置のサセプタなどのウェノ・載置体で。

図示のように並設されている。２は未処理ウェハの供給
部、３は処理済みウェハの受取り部、４は搬送手段であ
る。

前記ウェハ載置体ＩＡ、ＩＢには、これらの回転角位置
の原点を定めるための切欠きなどの原点指標５ａ　、５
ｂが設けられ、これらを例えばレーザ発振器Ｏａ、６ｂ
と光センサ７ａ、７ｂなどの原点検出手段により検知で
きるようになっている。また、ウェハ載置体ＩＡ、ＩＢ
は、第２図に示す（同図はウェハ載置体ＩＡについての
み示す）回転軸８ａにね 一体的に回転するように取付けられ、ギヤ糾。

１０８に介して連絡されたパルスモータｌｌａにより回
転を与えられるようになっており、さらに前記原点指標
５ａ、５ｂによる原点割出位置全基準として予じめ決め
られたウェハの配列位置に応じてパルスモータ１ｌａｉ
駆動する割出指令部１２によりウェハ載置体＋Ａ、＋Ｂ
ｉ所定の割出位置に順次停止させるようになっている。

なお、この割出指令部１２は切換えによりウェハ載量体
ＩＡ。

ＩＢの共用とすることが好ましい。

５− 未処理ウェハの供給部２と一処理済みウェハの受取り部
３は、第３図に示すように、カイトバー１３．１４に沿
って昇降するカセット支持台１５゜１６’＆有している
。カセット支持台１５．１６にはけられ、パルスモータ
１７．１８によりカセット支持台１５．１６上にセット
されたウェハ収納カセッ）２３．２４のウェハ収納ピッ
チＰに相当する寸法ずつカセット支持台１５．１６’を
下降または上昇させるようになっている。

前記カセット支持台１５．１６の奥側には１．・第４゜
５図と第６，７図に示すように、ウェハ収納力セツ）　
２３．２４に対するウェハＷの搬出入用の丸ベルトなど
の搬送ベル）２５，２６，２７．２８がそれぞれ設けら
れている。これらの搬送ベルト２５゜２６．２７．２８
の上面は、第３図に１点鎖線Ｈで示す高さに設定されて
いる。搬送ベルト２５．２６゜２，２８は、第５図およ
び第７図にそれぞれ示すように、モータ２９．３０から
駆動ベルト３１．３２−６＝ を介してそれぞれ走行されるようになっており、第４図
および第５図に示す未処理ウェハの供給部２側の搬送ベ
ル）２５．２６は、その上側が第４図および第５図にお
いて右方へ走行するように駆動され、他方第６図および
第７図に示す処理済みウェハの受取り部３側の搬送ベル
）２７．２３は、その上側が第６図および第７図におい
て左方へ走行するように１駆動される。

第４図に示すように、未処理ウェノ・の供給部２側の搬
送ベル）２５．２６の間には、ウェノーｗ４吸着する供
給テーブル３３が設けられている。この供給テーブル３
３は、第５図に示すように、下部にネジ３４を有し、こ
のネジ３４がフレーム３５に取付けられているハウジン
グ３６にネジ係合されることにより支持されている。ネ
ジ３４の中心にはモータ３７により回転されるスプライ
ン軸３８が回転のみを伝達し軸方向には移動可能に係合
されている。また、供給テーブル３３には、その上面に
開口するサクション穴３ワが設けられ、このサクション
穴３ｑｉ−ｊハウジング３６に設けられ環状溝４０およ
び穴４１を介して図示しない真空ポンプに接続され、減
圧可能になされている。

前記供給テーブル３３の第４図および第５図において右
方には２本の対をなすストッパ４２．４２が設けられて
いる。これらのストッパ４２．４２は、搬送ベルト２６
によって送られてきたウェハＷの中心が供給テーブル３
３の中心より若干右方（第４．５図において）へ行き過
ぎた状態で該ウェハＷに当接するように配置されている
。甘た、供給テーブル３３の第４図および第５図におい
て左方には、２本の対をなす位置決めビン４３．４３が
設けられている。これらの位置決めビン４３．４３は、
図示しない駆動手段により上下に移動可能に設けられ、
ウェノ・Ｗが前記ストッパ４２．４２に当接してセンサ
４４が作動したとき上昇してウエノ・Ｗの第４図におい
て左方側の外周面に当接し得るようになっている。これ
らの位置決めビン４３．４３はウェハＷのオリエンテー
ションフラット（以下オリフラという）ｆｋ除く円周面
部が当接しているとき該ウェハＷの中心を供給テーブル
３３の中心に一致させるように配置されている。４５は
位置決め確認用のセンサである。なお、前記ストッパ４
２．４２は、これらに当接したウェハＷを前記位置決め
ビン４３．４３へ当接させるため、第４図において左右
方向へ移動可能に設けられ、図示しないスプリングを介
して同じく図示しない抑圧手段により左方へ押圧される
ようになっている。前記ストッパ４２．４２の間にはオ
リフラ検出センサ４６が設けられている。このオリフラ
検出センサ４６は、位置決めビン４３．４３により位置
決めされたウェハＷのオリフラｆが第４図に示すように
搬送ベルト２６．２６と直角になったとき、例えば受光
面の半分がウェハＷによってさえぎられることにより、
オリフラｆの位置が前記のような所定の位置にあること
全検知するようになっている。

他方、第６図および第７図に示すように、処理済みウェ
ハの受取り部３側の搬送ベル）２８．２８の間には、受
取りテーブル４７が設けられている。

この受取りテーブル４は、第７図に示すように、フレー
ム３５に取付けられたボールガイド４８９− により上下動可能に支持され、ソレノイド４９にて搬送
ベル）　２８．ｉの上面より上方位置と下方位置の２位
置を取り得るようになっている。

この受取りテーブル４７の近傍には、第６図に示すよう
に、該受取りテーブル４７上におけるウェハＷの有無を
検知するセンサ５０が設けられ、またウェハ収納カセッ
ト２４の下方には搬送ベル）２７．２７によってウェハ
Ｗが収納されたことを検知するセンサ５１が設けられて
いる。

第１図に示した搬送手段４ば、第８図に示すように、ア
ーム５２の先端に真空チャックなどのウェハ保持部材５
３を取付けている。このウェハ保持部材５３は、ウェハ
Ｗのみならず、第１図に示す小形のサンプルウェハＳＷ
も保持可能になされている。さらにこのウェハ保持部材
５３は、アーム５２の先端に設けられたガイド筒５４に
よって若干上下動可能に取付けられると共に、ガイド筒
５４内に設けられた図示しないスプリングにより自重を
考慮して比較的小さな力で上昇可能に支持されている０
アーム５２−１０＝ ば、軸５５に取付けられた旋回フレーム５６に進退可能
に係合されている。アーム５２の元締には、旋回フレー
ム５６に対してアーム５２のメ　メ などの送りメネジ５７が連結され、この送り芹ネジ５７
には旋回フレーム５６に取付けられたパルスモータ５８
により回転を与えられるボールネジなどの送りネジ５９
が係合している。

前記軸５５は、ベアリング６０．６０に介して中空ネジ
軸６１に回転自在に取付けられ、中空ネジ軸６１はその
外周に設けたネジ６１２によリウォームホイール６２に
同心的にネジ係合され、ウオームホイール６２はベアリ
ング６３゜６３により固定フレーム６４に回転自在に取
付けられている。前記ウオームホイール６２には、モー
タ６５によって回転を与えられるウオーム６６がかみ合
っている。なお、前記中空ネジ軸６１の第８図において
下端にはローラ６７が取付けられ、とのローラ６７が固
定フレーム６４に設けたガイド溝６８に係合することに
より、中空ネジ軸６１の回転を阻止して上下にのみ移動
可能にしている。前記軸５５の第８図において下端側に
は、スプライン６９が設けられ、このスプライン６９に
より軸方向へ移動可能にして回転全伝達するようにウオ
ームホイール７０が係合されている。ウオームホイール
７０はベアリング７１゜７Ｉにより固定フレーム６４に
回転自在に取付けられ、モータ７２により回転を与えら
れるウオーム７３がかみ合っている。

栖との間には、第１図に示すように、サンプルウェハＳ
Ｗを載置する受台７４が配置されている。

前記搬送手段４の軸５５は、第１図に示すように、この
軸５５に対して２つのウェハ載置体［Ａ。

ＩＢが左右対称の位置になるようにそれらの中間に配置
されている。また、未処理ウェノ・の供給テーブル３３
と処理済みつｆｉ’・の受取りテーブル４７は、第１図
に示すように、両つェノ・載置体ｌＡ、、ＩＢの間は位
置し、前記軸５５からそれぞれ等しい半径の位置に設置
されている。なお、軸５５から供給および受取りテーブ
ル３３．４７までの距離と、軸５５からウェハ載置体Ｉ
　Ａ、　、　ｌ　Ｂのウェハ配列位置壕での距離は、許
される限り差を小さくするように設定される。

次いで本装置の作用について説明する。ウェハＷの搬出
入に先立って、丑ず、第３図に示すように、未処理ウェ
ハの供給部２０カセット支持台１５の上に未処理ウェノ
・ｗ−１収納したウェノ・収納カセット２３をセットし
、同カセット２３内の最下段のウェノ・Ｗが搬送ベルト
２５の上面の高さＨになって同ベルト２５に接触するよ
うにすると共に、処理済みウェノ・の受取り部３のカセ
ット支持台１６上には空のウェノ・収納カセット２４を
セリトン、その最上段のウニ／・収納部が搬送ベルト２
７の上面の高さＨに一致するようにしておく。

いま、ウェハ載置体ＩＢ上のウエノ１Ｗに対しては気相
成長などの処理が施こされている最中であり、他方のウ
ェハ載置体ＩＡ上のウエノ・Ｗの処理Ｉ３− 発振器６ａからレーザ光が出されると共に、第２図に示
すパルスモータｌｌａによりウェハ載置体ＩＡが回転さ
れる。この回転によりウェハ載置体ＩＡに設けられた原
点指標５ａが、第１図に示すように、所定位置に達する
と、前記レーザ光が原点指標５ａに当り、それを光セン
サ７ａが検知しテ、パルスモータＩｌａを停止させ、ウ
ェハ載置体ＩＡｋ原点割出位置に位置付けする。この原
点割出位置において、ウェハ載置体ＩＡ上の第１番目の
ウェハ載置位置Ａ１は、搬出人手段４の軸５５とウェハ
載置体ＩＡの回転軸８ａの中心を結ぶ直線Ｍ上に位置す
るようになっている。

前記の原点割出動作が完了すると、第８図に示されてい
るモータ２が予じめ設定されているプログラムにより駆
動され、ウオーム７３．ウオームホイール７０．スプラ
イン６９．軸５５および旋回フレーム５６を介して搬出
人手段４のアーム５２を前記直線Ｍ上へ旋回させる。こ
のとき、アーム５２はウェハ載置体ＩＡ上の前記第１番
目のウェハ載置位置Ａｌ上にウェハ保持部材５３を位１
４− 置させるようにパルスモータ５８の駆動によってその繰
り出し量が予じめ定められている。こうして、ウェハ保
持部材５３が第１番目のウェハ載置位置Ａ１すなわちそ
こに載置されている処理済みのウェハＷの上に停止する
と、第８図に示すモータ６５が駆動され、ウオーム６６
を介してウオームホイール６２を回転させる。このウオ
ームホイール６２の回転により、これにネジ６１ａによ
り係合している中空ネジ軸６１はローラ６７にて回転を
阻止されているため、前記ネジ６１ａの送り作用により
該中空ネジ軸６１が下降し、これに取付けられている軸
５５．旋回フレーム５６．アーム５２を介してウェハ保
持部材５３を下降させ、ウェハ保持部材５３をその下に
位置する前記ウェハＷの上面に押伺け、真空チャック力
などにより該ウェハＷを保持する。前記モータ６５によ
る軸５５ないしアーム５２の下降量は、ウェハ保持部材
５３が前記ウェハＷに確実に接触するように、寸法誤差
分を考慮して若干余分に設定されているが、この余分な
下降はガイド筒５４に対するウェハ保持部材５３の相対
的な上昇により補償され、ウェハＷへのウェハ保持部材
５３の押付はカはガイド筒５４内に設けた図示しないス
プリングによって比較的小さな値に押えられ、ウェハＷ
の損傷を防止する。

次いで前記モータ６５を逆転させて前記アーム５２の下
降量と等しい距離だけ該アーム５２を上昇させ、ウェハ
ｗ＝１ウェハ載置体ＩＡがら持ち上げる。こうしてウェ
ハＷｉ持ち上げた後、第８図に示すモータ７２を予じめ
定めた量だけ逆転させ、アーム５２を処理済みウェハの
受取りテーブル４７に向けて旋回させると共に、第８図
に示すパルスモータ５８ヲ駆動し、ウェハ保持部材５３
の中心が軸５５を中心として前記受取りテーブル４７の
中心を通る半径上に位置するようにアーム５２の繰り出
し量を定める。このアーム５２の旋回と繰り出し量の設
定によりウェハ保持部材５３が受取りテーブル４７上に
位置付けされると、前記モータ６５が駆動されて前述し
たと同様にアーム５２を所定量下降させ、ウェハ保持部
材５３によって保持している処理済みウェハＷ６受取り
テーブル４７上に載置する。ウェハ保持部材５３は、真
空吸着力などの保持を解除して、前記モータ６５の逆転
により再び所定量上昇して、未処理ウェハの供給テーブ
ル３３に向って旋回される。

受取りテーブル４７上に処理済みウェハＷが置かれると
、センサ５０が作動し、第７図に示すソレノイド４′７
′全作動させ、受取りテーブル４７を下降させ、次いで
モータ３０により駆動ベルト３２を介して搬送ベル）２
７．２８’（ｒ走行させ、受取りテーブル４７上に置か
れた処理済みウェハＷをウェハ収納カセット２４の最上
段のウェハ収納部へ収納する。この収納は第６図に示す
センサ５１によって検知され、前記搬送ベルト２７．２
３の走行を停止させると共に、ソレノイド４９を復帰さ
せる。また、同時に第３図に示すパルスモータ１８を作
動させてカセット支持台１６を上昇させ、ウェハ収納カ
セット２４の上から２段目のウェハ収納部を搬送ベルト
２７の上面高さＨに一致させる。

１７− 前記処理済みウェハＷの搬出動作中の例えばアーム５２
が処理済みウェハｗｌウェハ載置体ＩＡから持ち上げる
動作に伴なって、第５図に示す未処理ウェハの供給部２
のモータ２９が作動され、駆動ベルト３１を介して搬送
ベル）２５．２６全走行させ、ウェハ収納カセット２３
の最下段に置がれて搬送ベルト２５に接している未処理
ウェハＷを、第４図および第５図に示すストッパ４２．
４２に向けて送り出す。この送り出された未処理ウェハ
Ｗがストッパ４２．４２に当ると、第４図に示すセンサ
４４が作動して搬送ベル）２５．２６’を停止させると
共に、位置決めビン４３．４３を上昇させ、次いで搬送
ベル）２５．２６’にわずかに逆転させると共に前記ス
トッパ４２．４２ｆｆｉ第４図において左方へ移動させ
、未処理ウェハＷを前記位置決めピン４３．４３に軽く
押付け　− 杉、該ウェハＷの中心を供給テーブル３３の中心１８− に一致させる。この位置決めピン４３．４３による位置
決めはセンサ４５によって確認され、とのセンサ４５の
作動により前記ストッパ４２．４２　ｆｆｉ元位置へ戻
すと共に、第５図に示す穴４１に接続されている図示し
ない真空ポンプにより供給テーブル３３のサクション穴
３９を減圧状態にし、がっモータ３７を作動させ、スプ
ライン軸３とを介して供給テーブル３３を回転させる。

この供給テーブル３３はネジ３４を介してハウジング３
６に係合されているため、前記回転に伴なって上昇し、
前記のように位置決めピン４３．４３によって位置決め
されることにより供給テーブル３３と同心上に位置して
搬送ベルト２６上に置かれている未処理ウェハｗ４前記
サクション穴３９の吸引力によって吸着保持し、該未処
理ウェハｗ４搬送ベルト２６から持ち上げると共に、供
給テーブル３３の中心を中心にして回転させる。この回
転により未処理ウェハＷのオリフラｆが移動して第４図
に示すようにオリフラ検出センサ４６を作動させる位置
に達すると、前記モータ３７全停止させ、この位置で前
述した搬出人手段４にょるウェハ載置体ＩＡへの搬入を
待つ。

なお、前記供給テーブル３３の回転による未処理ウェハ
Ｗのオリフラｆの位置決めは、供給テーブル３３が少な
くとも１回転する間には完了するので、供給テーブル３
３の前記回転に伴なう未処理ウェハＷの搬送ベルト２６
からの上昇量はネジ３４の１ピツチ以下に納する。

なお、前記のように最下段の未処理ウェハＷｌ取出され
たウェハ収納カセット２３は、パルスモータ１７により
ウェハ収納部のピッチＰだけ下降され、下から２段目の
未処理ウェハｗ−１搬送ベルト２５の上面に接触させる
。

他方、前述したように処理済みウェハＷ６受取りテーブ
ル４７上に搬出したウェハ保持部材５３は、アーム５２
の旋回により、前記供給テーブル３３の上方に位置付け
され、該供給テーブル３３上で前記のように位置決めさ
れて待機している未処理ウェハＷ　−２、アーム５２の
下降によって保持する。このとき、供給テーブル３３の
サクション穴３ｑの減圧は解かれる。こうしてウェハ保
持部材５３によって保持された未処理ウェハＷば、アー
ム５２の上昇、旋回および伸縮によってウェハ載置体Ｉ
Ａ上の前記処理済みウェハＷ６搬出された第１番目のウ
ェハ載置位置Ａ、　ｉ上に位置付けされ、アーム５２の
下降により該ウェハ載置位置Ａｌ上に載置される。この
とき、未処理ウェハＷのオリフラｆは、前記のように供
給テーブル３３上で所定位置に定められているため、ウ
ェハ載置体ＩＡの中心に対して一定の向きに置かれる。

以上の動作で、ウェハ載置体ＩＡ上の第１番目のウェハ
載置位置Ａ１に対する処理済みウェハＷ了 の搬出と、未処理ウェハＷの搬入を終し、アーム５２は
前記載置位置で所定量上昇し、次のウェハ載置位置に対
する搬出入を待つ。

第２番目のウェハ搬出入は、第１番目のウェハ載置位置
Ａ１と同一円周上に隣接している位置Ａ２かまたは同−
角度上にある位置Ａ３かのいずれかであるが、これは搬
出入プログラムによって適宜に定められる。すなわち、
搬出入の順序とし＝２１− て才ず同一円周のウェハ載置位置に対する搬出入を行な
い、次いで異なる半径の同一円周上（第１図においてウ
ェハ載置体ＩＡの内周側）に対する搬出入を行なうか、
また、ウェハ載置体ＩＡを１回転することによりすべて
の搬出入を完了するように、第１番目のウェハ載置位置
Ａ１に近い角度から順次搬出入するかであり、これらは
ウェハ載置体ＩＡの割出制御とウェハ載置体ＩＡに対す
るウェハ保持部材５３の位置付は制御すなわちアーム５
２の伸縮位置制御金子じめプログラムすることにより決
定される。

い１、第２番目の搬出入が前記ウェハ載置位置Ａ２であ
るとすると、搬出人手段４の動作は前述した第１番目の
場合と全く同じであり、単にウェハ載置体ＩＡ−を前記
第２番目のウェハ載置位置Ａ２が搬出人手段４の軸５５
とウェハ載置体ＩＡの回転軸８ａの軸心を結ぶ直線上に
位置するように角度θだけ回転させる。このウェハ載置
体ＩＡの回転は、第２図に示す割出指令部１２から前記
搬出入プログラムに従って供給される入力に応じてパ２
２− ルスモータ＋１２を駆動することにより行なわれる。

また、前記ウェハ載置位置Ａ、、、Ａ２などと異なる半
径上に位置するウェハ載置位置Ａ３などに対しては、ウ
ェハ載置体ＩＡに対するウェハ保持部材５Ｂの位置付け
が異なるほかは、前述した振出人動作と全く同じである
。

こうしてウェハ載置体ＩＡに対するすべての処理済みウ
ェハＷの搬出と、未処理ウェハＷの搬入が終了すると、
サンプルウェハＳＷの搬出入が行なわれる。このサンプ
ルウェハＳＷの搬出入は、未処理のサンプルウェハＳＷ
を受台７４」二の予じめ決められた位置に置くことによ
り、前記の各ウェハＷと同様に搬出人手段４に」：り行
なわれる。

これで振出人動作が完了となり、次のウェハ処理工程に
移行させる。

寸だ、他方のウェハ載置体ＩＢに対する搬出入は、アー
ム５２の旋回角位置の制御指令が異なるのみで、他の動
作（佳ウェハ載置体ＩＡに対する搬出入と同じである。

〔発明の効果〕

Ｖ上述べたように本発明によれば、アームの伸縮（−１
：未処理ウェハの供給部、処理済みウェハの受取り部お
よびウェハ載置体上のウェハ載置位置がらアーム旋回中
６丑での距離のずれ量だけでよく、これらをできるだけ
小さく押え、かつ前記距離自身をもできるだけ小さく押
えることにより、コンパクトな搬出人手段により自動振
出人が可能となり、さらに第１図に示したように２ヘツ
ドタイプの装置に適用した場合、特に顕著な効果が得ら
れる０

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるウェハ搬出入装置の一実施例を示
す概要平面図、第２図はウェハ載置体の回転駆動系を示
す概要説明図、第３図は第１図のＺ矢印による未処理ウ
ェハの供給部と処理済みウェハの受取り部のウェハ収納
カセットの支持部を示す部分正面図、第４図は未処理ウ
ェハの供給部を示す部分拡大概要平面図、第５図は第４
図のＶ−Ｖ線による断面図、第６図は処理済みウェハの
受取り部を示す部分拡大概要平面図、第７図（雪第６図
の■−■線による断面図、第８図は搬出人手段の拡大断
面図である。 ＩＡ、ＩＢ・・・ウェハ載置体、 ２・・・未処理ウェハの供給部、 ３・・・処理済みウェハの受取り部、 ４・・・搬出人手段、 ５ａ、５ｂ・・・原点指標、 ２３．２４・ウェハ収納カセット、 ３３・・・供給テーブル、 ４６・・・オリフラ検出センサ、 ４７・・・受取りテーブル、 ５２・・・アーム、　５３・・・ウェハ保持部材、５５
・・・軸、　５６・・・旋回フレーム６１・・・中空ネ
ジ軸。 出願人　東芝機械株式会社 ２５−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　回転可能に設けられウェハを載置して処理を施こ
   すためのウェハ載置体と、未処理ウェハの供給部と、処
   理済みウェハの受取り部と、伸縮および旋回可能なアー
   ムにウェハ保持部材を取付け、前記アームの伸縮および
   旋回によりウェハ保持部材を前記ウェハ載置体、未処理
   ウェハの供給部および処理済みウニ・・の受取り部にそ
   れぞれ位置付けする搬送手段とからなるウェハ振出人装
   置。 ２、搬送手段に対してウェハ載置体が対称的に２つ配置
   されている特許請求の範囲第１項記載のウェハ振出人装
   置。 ３、　ウェハ載置体が原点割出位置から予じめ決められ
   たウェハの配列位置に従って割出可能に構成されている
   特許請求の範囲第１または２項記載のウェハ振出人装置
   。 ４、未処理ウェハの供給部が、ウェハのオリエンテーシ
   ョンフラットの位置決め機構を有している特許請求の範
   囲第１．２または３項記載のウェハ振出人装置。 ５、搬送手段のアームが上下動可能に設けられている特
   許請求の範囲第１．２．３または４項記載のウェハ振出
   人装置。