JPS60107999A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
- Publication number
- JPS60107999A JPS60107999A JP58215405A JP21540583A JPS60107999A JP S60107999 A JPS60107999 A JP S60107999A JP 58215405 A JP58215405 A JP 58215405A JP 21540583 A JP21540583 A JP 21540583A JP S60107999 A JPS60107999 A JP S60107999A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- vibrator
- sound wave
- vibrating element
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 13
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000012856 packing Methods 0.000 abstract 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は超音波診断装置における、超音波の送波、受波
を司どる超音波探触子に関するものである。
を司どる超音波探触子に関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年医療分野における超音波診断装置の発展は目さまし
いものがある。
いものがある。
特に電子走査式リニア型探１１１１子を有する診断装置
においては実画像で断層ｒ象が？、ＥＦられる便利さか
ら利用者は益々拡大の傾向にある。従来、超１°冑１ｕ
診断装置用探触子を構成する場合鉄の粉末を混入したゴ
ム等の音波吸収体の上に圧電振動−ｒ’？ｃｌ’ｉ１７
成後、複数個に分割し、振動子群を構成している１、あ
るいは、事前に複数個に分割した振動子Ｒ１を前記音波
吸収体に構成している。このような」Ｌ゛・舎、音波吸
収体が振動子を整列する為の構造物であり、振動子群の
構造母材となる。
においては実画像で断層ｒ象が？、ＥＦられる便利さか
ら利用者は益々拡大の傾向にある。従来、超１°冑１ｕ
診断装置用探触子を構成する場合鉄の粉末を混入したゴ
ム等の音波吸収体の上に圧電振動−ｒ’？ｃｌ’ｉ１７
成後、複数個に分割し、振動子群を構成している１、あ
るいは、事前に複数個に分割した振動子Ｒ１を前記音波
吸収体に構成している。このような」Ｌ゛・舎、音波吸
収体が振動子を整列する為の構造物であり、振動子群の
構造母材となる。
ところが一般に音波吸収体は、前記の様に鉄の粉末を混
入したゴムであり、振動に対するｉ゛？θＵ吸収特性に
重点が置かれているため構造ＩＵ４’Ａとしては問題が
多い□。
入したゴムであり、振動に対するｉ゛？θＵ吸収特性に
重点が置かれているため構造ＩＵ４’Ａとしては問題が
多い□。
第１図は従来の超音波探触子の外観斜視図を示す。１（
ｌ−を圧電振動子、２は音波吸収体である。音−液吸収
体２は鉄の粉末を混入したゴムであるため、図のように
”ｙ ７ ＋ ｚ方向に自由に変形し、振動子１の整列
状態を歪ませてしまう結果となる。一般に電子走査式リ
ニア型超音波探触子は、振動子１の走査方向の長さが８
０１ＲＩＩから１５０ｓ＋ｉ桿度と長く、全長に対する
振動子１のｘ、ｙ、ｚ方向に対する狂いは超音波探触子
の生命である分解能までも悪化させる原因となる。
ｌ−を圧電振動子、２は音波吸収体である。音−液吸収
体２は鉄の粉末を混入したゴムであるため、図のように
”ｙ ７ ＋ ｚ方向に自由に変形し、振動子１の整列
状態を歪ませてしまう結果となる。一般に電子走査式リ
ニア型超音波探触子は、振動子１の走査方向の長さが８
０１ＲＩＩから１５０ｓ＋ｉ桿度と長く、全長に対する
振動子１のｘ、ｙ、ｚ方向に対する狂いは超音波探触子
の生命である分解能までも悪化させる原因となる。
発明の目的
本発明は上記欠点に鑑み、圧電撮動素子群の不整列によ
り生じる分解能の低下を防止する超音波探触子を提供す
るものである。
り生じる分解能の低下を防止する超音波探触子を提供す
るものである。
発明の構成
上記目的ｆ：達成するため本発明の超音波探触子は、互
いに分割された複数個の振動素子群からなる圧電振動子
と、前記振動素子群を周縁で保持し、中央部に貫通溝を
有する振動子保持手段と、前記各振動素子表面の、貫通
溝に対向する領域内に設けられた第１の電極と、前記第
１の電極と反対側の各振動素子表面に設けられた第２の
電極と、前記第２の電極に接して設けられた少なくとも
１層からなる整合層と、前記振動子保持手段の、圧電振
動子と反対側に設けられた導体と、前記首振動素子表面
上の前記第１の電極と前記導体を接続する手段と、前記
貫通溝を少なくとも充填シて設けられた音波吸収体とに
より構成される。
いに分割された複数個の振動素子群からなる圧電振動子
と、前記振動素子群を周縁で保持し、中央部に貫通溝を
有する振動子保持手段と、前記各振動素子表面の、貫通
溝に対向する領域内に設けられた第１の電極と、前記第
１の電極と反対側の各振動素子表面に設けられた第２の
電極と、前記第２の電極に接して設けられた少なくとも
１層からなる整合層と、前記振動子保持手段の、圧電振
動子と反対側に設けられた導体と、前記首振動素子表面
上の前記第１の電極と前記導体を接続する手段と、前記
貫通溝を少なくとも充填シて設けられた音波吸収体とに
より構成される。
実施例の説明
以下本発明の実施例Ｖこついて、図面を参照しながら説
明する。第２図は本発明の一実施例における超音波探触
子の分解斜視図を示すものである。
明する。第２図は本発明の一実施例における超音波探触
子の分解斜視図を示すものである。
第３図は同断面図である。第１図と同一物には、同一番
号を付し説明を省略する。
号を付し説明を省略する。
第２図において、３は第１整合層、４は２層電件の振動
子保持台、５は第２整合層、６はフラットケーブルを示
す。振動子保持台４に対し各部位を矢印の方向に移動さ
せて組立てる。組立後の断面図を第３図に示す。なお同
図は第２図と上下が逆向きに示しであるが、以下第３図
の断面図を用いてさらに詳細に説明する。
子保持台、５は第２整合層、６はフラットケーブルを示
す。振動子保持台４に対し各部位を矢印の方向に移動さ
せて組立てる。組立後の断面図を第３図に示す。なお同
図は第２図と上下が逆向きに示しであるが、以下第３図
の断面図を用いてさらに詳細に説明する。
圧電振動子１を一定の厚さに研Ｎ整形後、一方の面に衣
面′１シ極７、他方の面に裏面電極８を設ける。表面型
ＩＪｆｆ１７は圧′亀振動子１０両端部に電極木形成！
１５を残し、一方農面′電極８は圧電振動子１の全面に
形成される。裏面電極８側に第１整合層３を接着固定し
、第２図９分解斜視図に示すように圧電振動子１を複数
個の振動素子群に分割する。
面′１シ極７、他方の面に裏面電極８を設ける。表面型
ＩＪｆｆ１７は圧′亀振動子１０両端部に電極木形成！
１５を残し、一方農面′電極８は圧電振動子１の全面に
形成される。裏面電極８側に第１整合層３を接着固定し
、第２図９分解斜視図に示すように圧電振動子１を複数
個の振動素子群に分割する。
４は振動子保持台であり剛性の高い金属を機械加工し平
坦度を確保する。振動子保持台４は中央部に貫通溝が設
けられており、この溝の周辺の平坦部と表面電極７０両
側の電極未形成部とを接着さために導電性接着剤９で振
動子保持台４と両側で接着固定する。第１整合層３を覆
って第２整合層６を形成する。振動子保持台４に°フラ
ットケーブル６を接着固定する。フラットケーブル６は
ポリイミド、銅の複合体でちゃ振動子保持８４とは絶縁
されるが一部振動子保持台４と導通させることにより＃
涌霜祿の取り出１、を普ねている。
坦度を確保する。振動子保持台４は中央部に貫通溝が設
けられており、この溝の周辺の平坦部と表面電極７０両
側の電極未形成部とを接着さために導電性接着剤９で振
動子保持台４と両側で接着固定する。第１整合層３を覆
って第２整合層６を形成する。振動子保持台４に°フラ
ットケーブル６を接着固定する。フラットケーブル６は
ポリイミド、銅の複合体でちゃ振動子保持８４とは絶縁
されるが一部振動子保持台４と導通させることにより＃
涌霜祿の取り出１、を普ねている。
以上のように構成された陵、圧電振動子１は各々フラッ
トケーブル６との間でアルミワイヤ１０によって電気的
接続を行ない、；η液吸収体１：）１１７１１を固定し
、音波吸収体２を流入硬化させる。
トケーブル６との間でアルミワイヤ１０によって電気的
接続を行ない、；η液吸収体１：）１１７１１を固定し
、音波吸収体２を流入硬化させる。
かかる構成によると、圧電撮動子１は剛体である振動子
保持台４で周辺を保持さ扛るため整列状態が歪むことは
なく、これに基づく分解能の低下を防止することができ
る。
保持台４で周辺を保持さ扛るため整列状態が歪むことは
なく、これに基づく分解能の低下を防止することができ
る。
なお以上は振動子保持台１１として導電性伺旧を用いた
場合について示したが、振動子保持台４にセラミックス
、ガラスエポキシ等の絶縁４：Ａ’ Ｉｔを用いた場合
は振動子保持台４に電極処理が心安となるため蒸着等の
方法で電極を具備することによって容易に導電性を確保
し金属の場合と同等の効果が期待出来る。また前記実施
例では整合層を２層設けた場合について示したが、整合
層はすくなくとも１層あれば良い。
場合について示したが、振動子保持台４にセラミックス
、ガラスエポキシ等の絶縁４：Ａ’ Ｉｔを用いた場合
は振動子保持台４に電極処理が心安となるため蒸着等の
方法で電極を具備することによって容易に導電性を確保
し金属の場合と同等の効果が期待出来る。また前記実施
例では整合層を２層設けた場合について示したが、整合
層はすくなくとも１層あれば良い。
発明の効果
以上要するに本発明は、互いに分割された複数個の振動
素子群からなる圧電振動子と、前記振動素子群を周縁で
保持し、中央部に貫通溝を有する振動子保持手段と、前
記各振動素子表面の、貫通溝に対向する領域内に設けら
れた第１の電極と、前記第１の電極と反対側の各振動素
子表面に設けられた第２の電極と、前記第２の電極に接
して設けられた少なくとも１層からなる整合層と、前記
振動子保持手段の、圧電振動子と反対側に設けら扛た導
体と、前記各振動素子表面上の前記第１の電極と前記導
体を接続する手段と、前記貫通溝を少なくとも充填して
設けられた音波吸収体とを具備することを特徴とする超
音波探触子を提供するもので、従来の構造方式では困雌
であった振動素子君Ｙの整列・保持を構造面から改良し
、高精度な分解能が得られる利点を有する。
素子群からなる圧電振動子と、前記振動素子群を周縁で
保持し、中央部に貫通溝を有する振動子保持手段と、前
記各振動素子表面の、貫通溝に対向する領域内に設けら
れた第１の電極と、前記第１の電極と反対側の各振動素
子表面に設けられた第２の電極と、前記第２の電極に接
して設けられた少なくとも１層からなる整合層と、前記
振動子保持手段の、圧電振動子と反対側に設けら扛た導
体と、前記各振動素子表面上の前記第１の電極と前記導
体を接続する手段と、前記貫通溝を少なくとも充填して
設けられた音波吸収体とを具備することを特徴とする超
音波探触子を提供するもので、従来の構造方式では困雌
であった振動素子君Ｙの整列・保持を構造面から改良し
、高精度な分解能が得られる利点を有する。
第１図は従来例の超音波探触子の斜視図、第２図は本発
明の一実施例における超音波探触子の分解斜視図、第３
図は同断面図である。 １・・・・・・圧電振動子、２・・・・・・音波吸収体
、３・・・・・・第１整合層、４・・・・・・振動子保
持台、５・・・・・・第２整合層、６・・・・・・フラ
ットケーブル、γ・・・・・・表面電極、８・・・・・
・裏面電極、９・・・・・・導電性接着剤、１ｏ・・・
・・アルミワイヤ、１１・・・・・・音波吸収体伶振動
子保持代理人の氏名 弁理士 中 尾 数カ ほか１名
第３図
明の一実施例における超音波探触子の分解斜視図、第３
図は同断面図である。 １・・・・・・圧電振動子、２・・・・・・音波吸収体
、３・・・・・・第１整合層、４・・・・・・振動子保
持台、５・・・・・・第２整合層、６・・・・・・フラ
ットケーブル、γ・・・・・・表面電極、８・・・・・
・裏面電極、９・・・・・・導電性接着剤、１ｏ・・・
・・アルミワイヤ、１１・・・・・・音波吸収体伶振動
子保持代理人の氏名 弁理士 中 尾 数カ ほか１名
第３図
Claims (1)
- 力、いに分割された複数個の振動素子群からなる圧′亀
振動子と、前記撮動素子群を周縁で保持し、中火部に貫
通溝を有する振動子保持手段と、前記各振動素子表面の
、前記貫通溝側の領域内に設けられた第１の７に極と、
前記第１の電極と反対側の各振動素子表面に設けられた
第２の電極と、前記第２の′電極に接して設けられた少
なくとも１層からなる整合層と、前記振動子保持手段の
、前記圧電振動子と反対側に設けられた導体と、前記各
振動素子表面上の前記第１の電極と前記導体を接続する
手段と、前記貫通溝を少なくとも充填して設けられた音
波吸収体とを具備することを特徴とする超音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58215405A JPS60107999A (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58215405A JPS60107999A (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | 超音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60107999A true JPS60107999A (ja) | 1985-06-13 |
Family
ID=16671776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58215405A Pending JPS60107999A (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60107999A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013521866A (ja) * | 2010-03-10 | 2013-06-13 | デビメデックス インコーポレイテッド | 超音波撮像プローブおよび方法 |
-
1983
- 1983-11-16 JP JP58215405A patent/JPS60107999A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013521866A (ja) * | 2010-03-10 | 2013-06-13 | デビメデックス インコーポレイテッド | 超音波撮像プローブおよび方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103961137B (zh) | 超声波设备、超声波探测器、电子设备及超声波图像装置 | |
| JP2502685B2 (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JP4773366B2 (ja) | 超音波振動子、及び湾曲アレイに対してフリップチップ二次元アレイ技術を実行する方法 | |
| JPS60100950A (ja) | 超音波探触子 | |
| US6776762B2 (en) | Piezocomposite ultrasound array and integrated circuit assembly with improved thermal expansion and acoustical crosstalk characteristics | |
| JPH0446579B2 (ja) | ||
| JP3288815B2 (ja) | ２次元アレイ超音波プローブ | |
| US10603009B2 (en) | Piezoelectric device, probe, electronic apparatus, and ultrasonic imaging apparatus | |
| US6514618B1 (en) | Multilayer backing material for 2-D ultrasonic imaging arrays | |
| US9872120B2 (en) | Ultrasonic transducers and methods of manufacturing the same | |
| JP2017196211A (ja) | 振動波形センサ | |
| US3622825A (en) | Mosaic acoustic transducer for cathode-ray tubes | |
| JPS60107999A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS60261293A (ja) | ハイドロホン | |
| JP2003079621A (ja) | 超音波プローブおよび超音波診断装置 | |
| JP2615517B2 (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JP2749488B2 (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| US3596335A (en) | Method for making a mosaic of ultrasonic transducers adapted for use with image conversion tubes | |
| JPS59189834A (ja) | アレイ型超音波探触子 | |
| JPH03162839A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP2003325526A (ja) | 超音波トランスジューサ及び超音波トランスジューサの製造方法 | |
| JPH0479263B2 (ja) | ||
| JP2694962B2 (ja) | 超音波探触子およびその製造方法 | |
| JPS6222634A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP2000125393A (ja) | 超音波トランスデューサー |