JPS60103030A - Ba(ΖrxTi↓1−x)O↓3固溶体微粒子の製造方法 - Google Patents

Ba(ΖrxTi↓1−x)O↓3固溶体微粒子の製造方法

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JPS60103030A
JPS60103030A JP20694483A JP20694483A JPS60103030A JP S60103030 A JPS60103030 A JP S60103030A JP 20694483 A JP20694483 A JP 20694483A JP 20694483 A JP20694483 A JP 20694483A JP S60103030 A JPS60103030 A JP S60103030A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、誘電体材料の1種であるチタン酸バリウムと
ジルコニウム酸バリウムの固溶体微粒子−を製造するだ
めの方法に関する。
近年、誘電体H料を微粒子化するだめの製λII7カ法
が種々の角度から研究され°ζいるが、その微粒子化し
た誘電体月料の用途の一つとしてセラミンクコンデンザ
への応用がある。電子製品の小形化、面密度化に伴い、
コンデンサについてもイ11−の電Y部品と同様に小形
、軽量にし、史に人容甲化、1l111101周波性の
向上が要求されζいる。このため、セラミソクニlンデ
ンリ−においζは、セラミック層の11F−みを薄く、
均一・にするためにも誘電体材料の数粒イ化が必要とな
る。また、この微粒子化により、焼結温度を低く川1え
るごとも「1能となる。
この他、電十伺1゛・1、圧電材オ′・I、透明セラミ
ック材料等の、原料とし゛(も、例えは焼結性、温度特
性を改善する十かり、粒子i¥−が小さく、均一なもの
が期待され”Cいる。
このような1lJj重体祠料の一つとじCチタン酸バリ
ウムとシル°l:〜ウム酸バリウムの固溶体Ba (Z
rx Ti+−x)Oq (以1・、RZTxと略記し
、数字XはZrのモル%を小ず。なお、Q<x<l)が
あり、従来この固l′H体をii−るためにB a C
03とZ「02とTiO2又はl1aTi(L+とll
++Zr(hを原料と゛」る固相反応が11われ゛(い
る。この同相反応によりCJられたIIZT固溶体を微
粒子化する場合、仮焼後の粉砕土41−においCへ12
03]、(どの不純物の混入は避りられない面がある。
また、1′))忰した固溶体微粒子の粒径が不均一であ
るごとに、1、る成形むらの発生、焼結後の気孔の増加
などの間1−14が生じる。更に、焼結は拡散によっ゛
ζ支配されるのであるが、Z r 、i:’l’ iの
固南均−性は1[IJイとは言えず、局所的ニZrとr
i(1)含r119が夫々人きい所ができるため、誘7
11特性の面からも改善の余地が大きい。
最近これらの問題点を改善するための試rhが多方向で
なされているが、その一つに金屈了ル::+ :t−シ
ト法がある。金1jf、アルコギシドとは、アル:I−
ルの水素原子を金属で置換した化合物をい・)。この金
属アルコキシド法による合成法とし°(、例えばjIS
公昭58−2220号公報にボされCいる方法がJ)る
。しかし、この方法による場合、合成1時にfi7られ
る物質は6.2 < x < 0.9の広範囲にわノ;
−,,,’C−ノ″Eルファス状憇であり、結晶質の1
)のをfi−るには熱処理が不司欠であるため、製造工
程の面からみれば従来の固相反応法を大幅に改善しノこ
とは1101難い。また、この合成法において使用する
イ1機金属化合物である金属アルコキシ1−は、通電の
固相反応で使用する原料より扇かに価格が111+いと
いつ点ごも実用化には多くの問題点がある。
本発明は、上述のような問題点を11〃決−4るごとが
でき、+I]+ Nj 13(′+勺・、JJ′)l古
(11I化)IN、 tk、 タBa (Zrx Ti
t−り旧固溶体微粒子を得ることができる$′)造方法
全1ノ1冒1(・1.るイ)のである。
本発明は、1ル団1.i 1FンルコニウムZ r c
I 4のようなlr化合物4以” <l’+14−の加
水分解ノ13成物と四塩化チタ7 ’r iCL+ 0
) 、lI2.N ’l’i化合物ノ> シ< ハソ(
7)加水分1’+’+i ?−IF、成物と6−所フI
′の、’f’1合に混合した後、バリウム]髄塩を加え
、・:’l! ’j’ルカリ側の水溶液中、沸点イ1近
の/11.!1度で1メIJ1・11、\11 ノ1成
した沈殿を水又は6(、A水で洗浄し゛(K ”’ 、
 N++” 11.+十等のアルカリイオンを十分除去
し、θ、−・〜)、く・λ燥させるごとによりIIZT
固溶イ固溶イー微粒、 、、j、−ij H冒1に(°
Jλ青力法方法シ)。
ここで、7.+化・1″11り1としくは、ZrにL 
、7.r (NO3)4、ZrO(NO3)、・211
J、ZrOにh ・811Jなどを水に溶解した水1g
 ?II<1.1、た7、x化合物の加水分1う貿1゛
成物としζは、その水y1: ’t(’tをNH40i
l、Li011、Na0II、KOJ+等のアルカリ’
/’(’; ’/(’j ’C加水分解させた4)のを
使用することかでt\る。
Ti化合物と(−2(番、1.1’iCI+ 、1’i
 (SO4)2などを水に/8解し人: 4< lIr
 ’ttk 、7EたTi化合物の加水分1’t’h″
生成物とし′Cは、その水溶液を、1−記アルカリ18
メルC加’yk分解、せたも。を使用ずお託が、。1.
。(j+し、Ti (SO4)2を使用する場合には、
硫111(根sog−を除去する必要があるので、単な
る水溶液とし′ζ反応させないで、1回アルカリで加水
うi1’l’l’、 L/ ゛(T i02・n 12
0を作り、十分水洗し”(濾別した後使用する。
Ba塩とし°ζは、Ba (NO3)2、Ba (Ol
lh、BIICI2、Ba (C113C00)2など
を使用することができる。11;ノこ、これらの加水分
解生成物を使用しζもJい。
BZI’ @粒子を合成する際の反応条件とし゛乙強r
ルカリ4(1水溶液のpHは、Q<x≦0.2の範囲ご
13.5以上、g、2<4<1の範囲で13.7以七が
好ましい。
反応温度は、O<X≦0.2の範囲で130℃以−11
、好まし、くは90℃以上、0.2 < x < 0.
7の範囲で90°C以」−2好ましくは沸点温度、0.
7≦x<lの範囲では沸点温度が好ましい。
Ba/ Zr−1−Tiのモル比は、0.7以J: 5
 kj、 l、61ましくは1から2付近とする。
反応時1110511、(1・、X≦0.2の範囲で反
応開始直後でもよく、1111.: 1iil 4>ず
れば十分l口1い収率が得られる。+1.2−1X・0
 、 ’/の範囲では、20分以19、好ましくはl 
1lli間゛I’ 4’、l、0.7≦x<1の範囲で
は1時間以」込u if: I−、<は2時間程で十分
商い収率が得られる。
本発明は、1述し7に通り、結晶性のT11jいBZT
固溶体微粒子を/r範囲にわたっ−ζ熱処理なしに液相
から合成することが(きる方法である。この製造方法に
より、口ZT微J’i>子の商均−性1.c6純度化及
び固溶因子Xの1(J1均一性が達成され、例えばセラ
ミック原石とし゛(優れた微粒子がiMられる。従来の
同相反応法によれば、仮焼やlI:b ’l+A、 ’
(:の焼成が必要であるが、この湿式合成法では合成時
に既にBZT固溶体が形成されCいるノコめ゛、仮焼上
4.ldを省略し、また焼成温度を低くするごとができ
る。従っ゛C1焼成?Aft I印の違いによるキュリ
一点や静電特性のバラツキが極め゛(少なくなり、信頼
性が101くなる。本製造力l去により得られた微粒子
は、粒子径が均一’e tk)るため、成形時のむらや
焼結時発生する気孔が減少する。一方、本製造方法ごは
、粉砕混合]二稈を含まないので、Fe、八tなどの不
純物の混入の虞れはなくなり、これらの混入による静電
特性のバラツキもなくなる。史に、同じ湿式合成法のア
ルコキシド法における金属アルニ(キシドとは異り、出
発原料としζTiCl4、− ZrCl4、Ba (N
O3)2のような低廉な原料を使用するので極め゛ζ生
産性に冨み、BZT微粒子を安価に得ることができる。
以1・、本発明を実施例に基つい“C+t(細に説明゛
4る。
実施例1 約2oogのTiCl4を氷水中に攪拌しながら加え゛
C水溶液を作った後、メスフラスコに移し変えC容はを
10F10ccとする。次に、この溶液から一部を採取
し゛ζアンモニア水で1’iChを沈殿させ、この沈殿
に約1000℃の熱処理を施した後、ldi♀測定を1
1つ′ごメスフラスコ中のTiCl4標準溶液の+1・
111「な濃度を決定するくこの場合、約1mol/β
となイ))。同様に、約200gのZrCl4を水中に
IT&外しながら加え(黄色の水溶液を作った後、メス
フラスコlに移し変え゛ζ容pをI Tl (l [1
c cにする。次に、この溶液から一部を採取してリン
酸水素二アンモニウム(Nil< )2肝04 ’e 
Zr1)ノOyを沈殿きせ、この沈ll&!に約1(1
00℃のiリシ処理を施した後、)4(用測定を行って
メスフラス:1中のZrCl4標4砦容液の正確な濃度
を決定する(・−の場合、約j1.9mol/ eとな
る)。ここでは、1゛i CI 11容tlKが(1,
956mol/ jl!、ZrCl41容液が0.85
6mol/ E (?あイ〕とする。
そこ(: 、 1lZT2(lとなるように、ごのTj
標準溶液4 !] 、25c c XZ rl’、jj
〆fI′18Y1* 13.75ccをビー力に1釆取
し、この中にIl++ (NO+ )2を15.3h加
えて完全に溶解さ−する6溶1’+’+! L/ el
fいときは、熱を少し加えれば簡f1yに透明なri:
 lIk、 、’−ノ、ダる。次に、予めilj!II
整済みの5N −KOII l′1:’/lkる一1+
1l13.!lになるまでこの溶液に加える。これに、
1、すlHtル、は白色の懸濁液となり、この後全溶液
1.1を約4(10ccにする。この/8液を611騰
させなから攪1’l’L、;3時間程熟成させる。!4
1成後生成した淡+vi 11 tt+沈殿に温水を使
用してlO回程デカンテーションを繰り返すことにより
、アルカリイオン等の不綽物を除去する。最後に、この
沈殿を濾過分呂11シて、90℃で乾燥させると、約1
3++の微粒子が冑られる。
上記操作により得られた物質を、X線回11i (tl
itクーケソト、ニッケルフィルタ)により分析した結
果を第1図13に同じく湿式合成したBJITi(b 
(第1図A)とBaZr03(第1図C)と共に小゛4
゜なお、回折強度は、人々(11(+)のItII I
J+’ピークを基準に規格化したものである。これらの
X線回折パターンから、BZTは、BaTi0:+のビ
ーク位:iqからBaZrO3のピーク位置に少しシフ
l−1,、’rいるごと力くわかり、A37Mカードの
5−626と6− :s :+ 9から)う測される立
方晶ペロブスカイト型BZT微オ゛1γ−rのピーク位
11つ1に一致し′ζいることが確認されノこ。
実施例2 実施例1で使用したTi標準溶液とZr標準溶液から1
lZT50となるように人々30.18cc、と34.
3’lc(:を採取し、この溶液にBa(0,11)2
 ・81120を111 、5(’r +!加えた後、
5N −KOII溶液でp +114とし、更に全溶液
t11を約400ccにする。この溶液を沸IIkさせ
ながり1暇1′1コし、適時抽出り、 ’(117,’
I’微粒子生成の時間依存性を4周べた結果4第2図の
曲線Aにボ“4゜このグラフご縦軸の1.1′成1;口
51、(110)のピーク強度を100に規格化し人:
場合の相対強度をボす。また、1又応r!iA度を)(
0°Cに変えC1全く同様の実験を行って87.T微粒
子生成の’LY lid依存性を測定した結果を第2図
の曲線Hに小才、、、1.のグラフから、沸点(〜10
0℃)では、BaZrO3、L、 ’/l /> a 
<生成されるが、80℃でのデータに着1「4−る2=
 BaTi0aよりも遥かにできにくいごとがわかる。
次に、合成し月−)とするBZT50の反応初期におけ
る組成状態を測定した結果を第3図の曲線Cに小ず。ご
のクーツノから明らかなように、反応初期の20〜30
分11−ごの間では、沸点i2A度での反応においても
1−1的のl 7.’[!i (lの組成とはならない
で、]゛iの含pの大きい側4..ニーJ’れ′Cおり
、30分位経過した後にBZT50の&l+成に収束す
る。なお、このグラフは(110)の回1ハじ−ク位置
からδ1算した面間隔d<1.10)を11.1間に幻
してゾしlツトシたものであり、単純なll+’r+0
3とIfZr03のd(,110)もイjf〜t!てボ
しであるので、そのずれてゆく様子が理解される。また
、同様の実験を組成がBZT?0とt「るように変えて
行った反応初期における時間依イS・性のデータを第3
図の曲線りに不ず。なお、反応時間の初期におい゛ζ組
成がBaTi0a側にずれるのと同様に、反応温度もB
ZT50の80℃の実験においζは、Ba’口0口側3
側始ずれていた。従っ°ζ、本山別人が提案したBaT
iO3の発明(特開III’:!57−147226)
及び1saZro3の発明(特願昭57−219546
)より、1laTi03は1laZro3と比較しζ遥
かに生成し易いので、本BZT微粒子の合成において、
組成、反応時間、温度等は適切にその範囲内に選ばれる
必要がある。
実施例3 実施i9+11で使用したTi標f!溶液とZr4t%
 Yl!! m液からBZ (BaZrO3) 、II
ZT90 、 BZT80 、BZT7(1、BZ、T
2O、BZT50 、BZT40 、BZT30 、B
ZT20.117.TIO、BT (BaTi03)と
なるように採取した各溶液に、11a (NO3)2を
15.38g加えた後、p 1113 、9にalM 
9’lし、沸)幾温度で3時間熟成させる。この反応に
より合成したBZT固溶体微粒子の格子定数をネルソン
ーリレイ <NGISOII 1ン11cy )外挿関
数からi用例を用い“ζ算出した結果を第4図のEに示
す。また、このBZT固溶体?+(粒子に1380℃で
3時間熱処理を施して得られた))のに、同様の算出法
を適用し′(格子定数を測定し)こ結果を第4(ス1の
Fに、)1<す。こ・の両者の測定結果から、湿式合成
したBZT固溶体微粒子の格子カニ数は、BaTi0i
とRaZrO3から月掛されるベガート則に1略従うこ
とがil+明した。一方、この微粒子のX線間(1[チ
ャーIIの回折ビーク1晶を観察すると、・14iいブ
ロードニングは見られないことから、局所的2(士やZ
r、 Tiの濃度むらは殆んどないと考えられる。
実施例4 実施例1ご使用した1゛iとlrの標準溶液からBZT
40.11ZT30 、BZT20 、IIZTIOと
なるように採取した各溶液に、Ba (011)2・8
1hOを18.56g加えた後、pH14に調整し、沸
111is 2AA 1.0.、’ご3時間熟成させる
。この反応により合成り、 /、−、IIZ丁固溶固溶
体微粒子査型電子顕微鏡)具を第5図〜第8図にボす。
第5′”図はBZTIO、第G l*l L、1. R
7,’r20 、第゛1図はBZT30 、第8図はB
ZT40の夫々電子顕微鏡写真である。これらの写真か
らZrの含有量が増加すると共に、粒子径が大きくなっ
ていくことがわかる。−力、7.rの含有量が50%以
上では、BZTの粒子径は、IIZと殆んど同じであり
、0.5<x<1の範囲では殆んど変化のないことが判
明した。
【図面の簡単な説明】
第1図AはBaTi0a、第1図Bは1lZT20 、
第1図CはBaZrO3の夫々X線回折パターンを示−
1図、第2図はBZT50生成の時間依存性をボ4′図
、第31)、1はBZT50の反応初期におりる組成状
態を小才図、第4図はXの異なるBZT固溶体微粒子に
・、ノい”(格子定数を測定した図、第5図はIIZ月
0、第6図はBZT20 、第7図はBZT30 、第
8図は117.T40 )大々電子顕微鏡写真である。 第1図 2θ (’:Cuに6〕 第21”<t [I%聞Chr3 第31ヌ1 厘応詩藺(〔rnan) 第41λI Ba(ZrxT=+−x)03[−] 1h X第8図
 ts ←一一一一一一一 第B凶 fμ 、゛ ゛」三−紀5子市−「[うン月: 開用59イ111月 !5+−1 1、串イl[の表ンJく 昭和58年特許願第206944号 ζ(、?i!i正をJる五 “11イアIとの関係 特1.′I出Yθ1人4、代理
人 6、補正により増加する発明の数 7、補正の対象 明卸I書の発明の詳dlI11な説明
の柑餡8・補正0内容 、、ζ’QPき、 (11柾+t #+II 1)中、第7貞19行[決定
する(この場合、約1mo17′F!となる)。」を[
決定した。その結果0.95 (l mol / Qで
あった。Jと訂正する。 (2)同、第8頁7行「決定する(この場合、約Q、9
mo l /εとなる。」を[決定した。その結果0.
856+no I / Qであツタ。J ト訂正t 7
.)。 (3) 同、第8 T−i 7〜9行[ここでは、・・
・・・であるとするe、−1をAIJ除する。 以 」二

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. Zr化合物もしくはその加水分解生成物とTi化合物も
    しくはその加水分解生成物とを混合した後、Ba塩を加
    え、強アルカリ性溶液中で反応さ・已ることを特徴とす
    るIla (Zrx Ti□−X)03固溶体微粒子の
    り(す遣方法。
JP20694483A 1983-11-04 1983-11-04 Ba(ΖrxTi↓1−x)O↓3固溶体微粒子の製造方法 Granted JPS60103030A (ja)

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DE8484903994T DE3484201D1 (de) 1983-11-04 1984-11-05 Verfahren zur herstellung feiner teilchen einer ba (zrx ti 1-x)o3-festen loesung.
PCT/JP1984/000530 WO1985001933A1 (en) 1983-11-04 1984-11-05 Process for preparing fine particles of ba(zrxti1-x)o3 solid solution
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