JPS5999230A - 差圧伝送器 - Google Patents
差圧伝送器Info
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- JPS5999230A JPS5999230A JP20905282A JP20905282A JPS5999230A JP S5999230 A JPS5999230 A JP S5999230A JP 20905282 A JP20905282 A JP 20905282A JP 20905282 A JP20905282 A JP 20905282A JP S5999230 A JPS5999230 A JP S5999230A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- casing
- diaphragm
- volume
- intermediate diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は低圧側および高圧側の両被測定流体の差圧を検
出しその差圧に応じた電気信号を出力する差圧伝送器の
改良に関する。
出しその差圧に応じた電気信号を出力する差圧伝送器の
改良に関する。
まず第１図を参照して従来の差圧伝送器を説明する。高
圧側被測定流体が流入する流入口Ｉａｆ有するフランジ
１と、低圧側被測定流体が流入する流入口２ＩＬを有す
るフランジ２とは、それぞれ受圧ダイアフラム３および
４を介してケーシング５，６および７に密着固定されて
いる。このケーシング５．６．７の受圧ダイアフラム３
，４側には、それぞれ受圧ダイアプラム座３に、４ｋが
形成されている。また、ケーシング５，６．７のフラン
ジ１，２との接続部は、シール部材８によって液密にシ
ールされている。
圧側被測定流体が流入する流入口Ｉａｆ有するフランジ
１と、低圧側被測定流体が流入する流入口２ＩＬを有す
るフランジ２とは、それぞれ受圧ダイアフラム３および
４を介してケーシング５，６および７に密着固定されて
いる。このケーシング５．６．７の受圧ダイアフラム３
，４側には、それぞれ受圧ダイアプラム座３に、４ｋが
形成されている。また、ケーシング５，６．７のフラン
ジ１，２との接続部は、シール部材８によって液密にシ
ールされている。
また、上記ケーシング５，６間には、中間ダイアフラム
９が介在されている。そして、この中間ダイアフラム９
と前記受圧ダイアグラム３と１１が形成されておシ、こ
の第２の圧力室１１内には圧力伝達媒体１２が充填され
ている。また、前記ケーシング７内には感圧素子１３が
設で伝達される差圧を検知して電気信号に変換し、リー
ド線１６を介して外部に出力する構成となっている。
９が介在されている。そして、この中間ダイアフラム９
と前記受圧ダイアグラム３と１１が形成されておシ、こ
の第２の圧力室１１内には圧力伝達媒体１２が充填され
ている。また、前記ケーシング７内には感圧素子１３が
設で伝達される差圧を検知して電気信号に変換し、リー
ド線１６を介して外部に出力する構成となっている。
したがって、高圧側より流入口１ａを介して圧力Ｐ１が
、同時に低圧側より流入口２ａを介して圧力Ｐ、？（た
だしＰｌ〉Ｐ２とする）が供給されたとすると、それぞ
れ受圧ダイアフラム３．４および圧力伝達媒体１２を介
して感圧素子１３および中間ダイアフラム９に上記圧力
ＰＩ、Ｐ２が加わる。そして、中間ダイアフラム９は低
圧側にたわみ、感圧素子１３は上記圧力Ｐ１とＰ２の差
圧を感知しこの差圧に応じた出力信号を外部に出力する
。次に前記圧力Ｐ１とＰ２の差がさらに大きくなった場
合には前記中間ダイアフラム９はさらに低圧側にたわみ
、このたわみによって圧力伝達媒体１２１Ｌ、１２〆が
移動した容積分だけ受圧ダイアフラム３，４も低圧側に
たわむ。上記圧力Ｐ１とＰ２の差がさらに大きくなると
、受圧ダイアフラム３は受圧ダイアフラム座３Ａに着座
する。したがって、これ以上差圧が大きくなっても受圧
ダイアフラム３は移動不可能であるために圧力伝達媒体
１２にもそれ以上の圧力が伝達されないと、とになる。
、同時に低圧側より流入口２ａを介して圧力Ｐ、？（た
だしＰｌ〉Ｐ２とする）が供給されたとすると、それぞ
れ受圧ダイアフラム３．４および圧力伝達媒体１２を介
して感圧素子１３および中間ダイアフラム９に上記圧力
ＰＩ、Ｐ２が加わる。そして、中間ダイアフラム９は低
圧側にたわみ、感圧素子１３は上記圧力Ｐ１とＰ２の差
圧を感知しこの差圧に応じた出力信号を外部に出力する
。次に前記圧力Ｐ１とＰ２の差がさらに大きくなった場
合には前記中間ダイアフラム９はさらに低圧側にたわみ
、このたわみによって圧力伝達媒体１２１Ｌ、１２〆が
移動した容積分だけ受圧ダイアフラム３，４も低圧側に
たわむ。上記圧力Ｐ１とＰ２の差がさらに大きくなると
、受圧ダイアフラム３は受圧ダイアフラム座３Ａに着座
する。したがって、これ以上差圧が大きくなっても受圧
ダイアフラム３は移動不可能であるために圧力伝達媒体
１２にもそれ以上の圧力が伝達されないと、とになる。
これは、前記感圧素子１３に検出範囲があり、この検出
範囲を越えた差圧が感圧素子１３に加わると感圧素子１
３が破壊する恐れが有るために、検出範囲を越えた差圧
が感圧素子に加わらないように保護しようとするもので
ある。
範囲を越えた差圧が感圧素子１３に加わると感圧素子１
３が破壊する恐れが有るために、検出範囲を越えた差圧
が感圧素子に加わらないように保護しようとするもので
ある。
受圧ダイアフラム３が受圧ダイアフラム座３Ａに着座し
たときの差圧（以後は過圧保護作動圧力と称す）は、受
圧ダイアフラム３の硬さと、受圧ダイアフラム３，４と
受圧ダイアフラムＩＩＪＡ 、４Ａとで夫々囲まれた空
隙部２０（以後箱１の空隙部２０と称す）の容積に依存
している。この第１の空隙部２０の容積は、前記受圧ダ
イアフラム３，４が前記圧力伝達媒体１２の周囲温度変
化に伴う膨張あるいは収縮により移動する為に変化し、
それによって過圧保護作動圧力が変化してしまう。一般
に例えば半導体感圧素子の場合は、測定範囲の最大差圧
と破壊差圧との比が１：３′〜７：６程度と小さい為に
上記過圧保護作動圧力の温度による変化率全使用温度範
囲内で多くとも±５０係以内に抑える５− 必要があった。そこで従来は第１の空隙部２゜の容積を
大きくとることによシ過圧保護作動圧力の温度による変
化率を小さく抑えていた。
たときの差圧（以後は過圧保護作動圧力と称す）は、受
圧ダイアフラム３の硬さと、受圧ダイアフラム３，４と
受圧ダイアフラムＩＩＪＡ 、４Ａとで夫々囲まれた空
隙部２０（以後箱１の空隙部２０と称す）の容積に依存
している。この第１の空隙部２０の容積は、前記受圧ダ
イアフラム３，４が前記圧力伝達媒体１２の周囲温度変
化に伴う膨張あるいは収縮により移動する為に変化し、
それによって過圧保護作動圧力が変化してしまう。一般
に例えば半導体感圧素子の場合は、測定範囲の最大差圧
と破壊差圧との比が１：３′〜７：６程度と小さい為に
上記過圧保護作動圧力の温度による変化率全使用温度範
囲内で多くとも±５０係以内に抑える５− 必要があった。そこで従来は第１の空隙部２゜の容積を
大きくとることによシ過圧保護作動圧力の温度による変
化率を小さく抑えていた。
上記構成によると、第１の空隙部２ｏの容積を大きくす
ることは、中間ダイアグラム９の移動量を大きくしてそ
れによって中間ダイアグラム９に加わる応力を大きくす
ることになる。その結果、ヒステリシスが増大し過大差
圧印加後の出力に誤差が生じてしまうという不具合があ
った。
ることは、中間ダイアグラム９の移動量を大きくしてそ
れによって中間ダイアグラム９に加わる応力を大きくす
ることになる。その結果、ヒステリシスが増大し過大差
圧印加後の出力に誤差が生じてしまうという不具合があ
った。
本発明の目的とするところは、過圧保護作動圧力の温度
による変化率を小さくしかつ中間ダイアグラムに作用す
る応力を小さくしヒステリシスの低減それによって過大
差圧印加後の出方誤差を小さくし全使用温度範囲内で安
定した測定をすることができる差圧伝送器を提供するこ
とにある。
による変化率を小さくしかつ中間ダイアグラムに作用す
る応力を小さくしヒステリシスの低減それによって過大
差圧印加後の出方誤差を小さくし全使用温度範囲内で安
定した測定をすることができる差圧伝送器を提供するこ
とにある。
６−
〔発明の概要〕
本発明による差圧伝送器は、ケーシングと、このケーシ
ングを挾むようにしてそれぞれ密着固定され被測定流体
が流入する流入口を有する１対のフランジと、この一対
のフランジと上記ケーシングとの間に設けられた１対の
受圧ダイアフラムと、この１対の受圧ダイアフラム間の
ケーシング内に設けられた中間ダイアフラムと、この中
間ダイアフラムと上記１対の受圧ダイアフラムとの間に
それぞれ形成された第１および第２の圧力室と、この第
１および第２の圧力室間のケーシング内に設置され第１
および第２の圧力室の圧力差を検出して電気信号に変換
し外部に出力する感圧体とを備えた差圧伝送器において
、上記受圧ダイアフラムとケーシングの受圧ダイアフラ
ムの対向面との間の容積をＶｌ、中間ダイアフラムとケ
ーシングの中間ダイアフラムとの対向面との間の容積を
ｖｌ、それ以外の部分の容積をｖ３とした場合にＶ１＊
Ｖ２およびＶｓ カ１．５Ｖ１≦ｖ２≦２Ｖｌおよびｖ
３≦３．７Ｖ＋° すなわちｖｌを小さくしかつＶ２お
よびｖ３カ１．５Ｖｔ≦ｖ２≦２ｖｌおよびｖ３≦３．
７Ｖｔを満足するように構成することによシ過圧保護作
動圧力の温度による変化を小さくする構成である。
ングを挾むようにしてそれぞれ密着固定され被測定流体
が流入する流入口を有する１対のフランジと、この一対
のフランジと上記ケーシングとの間に設けられた１対の
受圧ダイアフラムと、この１対の受圧ダイアフラム間の
ケーシング内に設けられた中間ダイアフラムと、この中
間ダイアフラムと上記１対の受圧ダイアフラムとの間に
それぞれ形成された第１および第２の圧力室と、この第
１および第２の圧力室間のケーシング内に設置され第１
および第２の圧力室の圧力差を検出して電気信号に変換
し外部に出力する感圧体とを備えた差圧伝送器において
、上記受圧ダイアフラムとケーシングの受圧ダイアフラ
ムの対向面との間の容積をＶｌ、中間ダイアフラムとケ
ーシングの中間ダイアフラムとの対向面との間の容積を
ｖｌ、それ以外の部分の容積をｖ３とした場合にＶ１＊
Ｖ２およびＶｓ カ１．５Ｖ１≦ｖ２≦２Ｖｌおよびｖ
３≦３．７Ｖ＋° すなわちｖｌを小さくしかつＶ２お
よびｖ３カ１．５Ｖｔ≦ｖ２≦２ｖｌおよびｖ３≦３．
７Ｖｔを満足するように構成することによシ過圧保護作
動圧力の温度による変化を小さくする構成である。
したがって、過圧保護作動圧力の温度による変化を小さ
くすることができ、確実に±５０係以内に抑えることが
できる。そして、Ｖｌを小さくすることによシ中間ダイ
アフラムの移動量を抑制し、それによって中間ダイアフ
ラムに加わる応力を小さくすることができ、ヒステリシ
スを低減させ、過大差圧印加後の出力誤差を小さくする
ことができる。さらに全体の圧力伝達媒体の体積が小さ
くなるので、体積膨張あるいは収縮量が小さくなシ、温
度誤差、静圧誤差が小さくなり安定した測定を行なうこ
とができる。
くすることができ、確実に±５０係以内に抑えることが
できる。そして、Ｖｌを小さくすることによシ中間ダイ
アフラムの移動量を抑制し、それによって中間ダイアフ
ラムに加わる応力を小さくすることができ、ヒステリシ
スを低減させ、過大差圧印加後の出力誤差を小さくする
ことができる。さらに全体の圧力伝達媒体の体積が小さ
くなるので、体積膨張あるいは収縮量が小さくなシ、温
度誤差、静圧誤差が小さくなり安定した測定を行なうこ
とができる。
第２図を参照して本発明の一実施例を説明する。高圧側
被測定流体が流入する流入口１０１１’。
被測定流体が流入する流入口１０１１’。
を有するフランジ１０１と、低圧側被測定流体が流入す
る流入口１０２Ａを有するフランジ１０２とは、それぞ
れ受圧ダイアフラム１０３および１０４を介してケーシ
ング１０５に密着固定されている。また、上記ケーシン
グ１０５の受圧ダイアフラム１０３，１０４側には、そ
れぞれ受圧ダイアプラム座１０３１．１０４ｋが形成さ
れている。そして、ケーシング１０５の７ランジ１０１
，１０２との接続部は、シール部材１０８によって液密
にシールされている。
る流入口１０２Ａを有するフランジ１０２とは、それぞ
れ受圧ダイアフラム１０３および１０４を介してケーシ
ング１０５に密着固定されている。また、上記ケーシン
グ１０５の受圧ダイアフラム１０３，１０４側には、そ
れぞれ受圧ダイアプラム座１０３１．１０４ｋが形成さ
れている。そして、ケーシング１０５の７ランジ１０１
，１０２との接続部は、シール部材１０８によって液密
にシールされている。
そして上記ケーシング１０５には中間ダイアフラム１０
９が介在されている。この中間ダイアフラム１０９と前
記受圧ダイアフラム１０３とらなる圧力伝達媒体１１２
が充填されている。
９が介在されている。この中間ダイアフラム１０９と前
記受圧ダイアフラム１０３とらなる圧力伝達媒体１１２
が充填されている。
同様に中間ダイアフラム１０９と前記受圧ダイアフラム
１０４とによって第２の圧力室１１ノが形成されており
、この第２の圧力室１１ノ内には圧力伝達媒体１１２が
充填されている。１だ、前記ケーシング１０５内には、
感圧体とし９− ての半導体感圧素子１１３が感圧素子取付は基台１１２
を介して取付けられている。この感圧素子取付基台１１
７には中継基板１１８が設置されている。そして、上記
半導体感圧素子１１３圧を検出して電気信号に変換し中
断基板１１８およびリード線１１６を介して外部に出力
する構成とテっている。また、受圧ダイアフラム１０３
、１０４と受圧ダイアフラム座Ｊ ｏ ｓ Ａ１１０
４Ａとの間の空隙部１２０（以後綿１の空隙部１２０と
称す）の容積ｖ１は、小さく構成されておりＩ ＣＣ以
下となっている。そして、ケーシング１０５の中間ダイ
アフラム１０９との対向面は、中間ダイアフラム１０９
の形状に合わせて波形となっている。これは中間ダイア
フラム１０９とケーシング１０５の中間ダイアフラム１
０９との対向面との間の空隙部１２１１０− （以後第２の空隙部１２ノと称す）の容積ｖ２を小さく
ｔ、１．５ｖｌ≦Ｖ２≦２Ｖ、を満足させる為である。
１０４とによって第２の圧力室１１ノが形成されており
、この第２の圧力室１１ノ内には圧力伝達媒体１１２が
充填されている。１だ、前記ケーシング１０５内には、
感圧体とし９− ての半導体感圧素子１１３が感圧素子取付は基台１１２
を介して取付けられている。この感圧素子取付基台１１
７には中継基板１１８が設置されている。そして、上記
半導体感圧素子１１３圧を検出して電気信号に変換し中
断基板１１８およびリード線１１６を介して外部に出力
する構成とテっている。また、受圧ダイアフラム１０３
、１０４と受圧ダイアフラム座Ｊ ｏ ｓ Ａ１１０
４Ａとの間の空隙部１２０（以後綿１の空隙部１２０と
称す）の容積ｖ１は、小さく構成されておりＩ ＣＣ以
下となっている。そして、ケーシング１０５の中間ダイ
アフラム１０９との対向面は、中間ダイアフラム１０９
の形状に合わせて波形となっている。これは中間ダイア
フラム１０９とケーシング１０５の中間ダイアフラム１
０９との対向面との間の空隙部１２１１０− （以後第２の空隙部１２ノと称す）の容積ｖ２を小さく
ｔ、１．５ｖｌ≦Ｖ２≦２Ｖ、を満足させる為である。
さらに、前記中継基板１１８とケーシング１０５との間
には絶縁部材１１９が充填されている。これは、前記空
隙部１２０，１２１以外の空隙１２２（以後第３の空隙
部１２２と称す）容積ｖ３をできるだけ小さくシｖ３≦
３．７ Ｖｌを満足させる為である。
には絶縁部材１１９が充填されている。これは、前記空
隙部１２０，１２１以外の空隙１２２（以後第３の空隙
部１２２と称す）容積ｖ３をできるだけ小さくシｖ３≦
３．７ Ｖｌを満足させる為である。
次に、上記２つの条件１．５Ｖ＋≦Ｖ２≦２Ｖ１゜ｖ３
≦３．７Ｖｌの背景について説明する。圧力伝達媒体１
１２０体膨張係数をβ、温度変化をΔＴとすると、容器
の膨張を無視するとすれば第１の空隙部１２０の容積ｖ
ｌの温度変化による変化量ΔＶは ΔＶ−ＣＶ１＋Ｖ２ ＋Ｖ３ ） ・β・ΔＴ
・（Ａ）で表わされる。（ただし、このとき受圧ダイア
フラム１０３，１０４の硬さは、中間ダイアフラム１０
９の硬さに比べてきわめて大きく、総ての空隙部に充填
されている圧力伝達媒体１１２の温度変化による体積変
化分は、総て受圧ダイアフラム１０３，１０４の移動で
吸収されるとする。） したがって、第１の空隙部１２０の変化率をεとすると
前記式（Ａ）より で表わされる。シリコーン油からなる圧力伝達媒体１１
２０体膨張係数βはＩ Ｘ １０−”（ＣＣ／ＣＣ／Ｔ
：）程度であり、ΔＴは差圧伝送器の使用温度範囲が一
４０℃〜１００℃とすると常温（２５℃）からの最大の
変化量は７５℃である。したがって前記式（Ｂ）におい
てβ・ΔＴは β・ΔＴ＝ＩＸ１０−３Ｘ７５＝７．５Ｘ１０ ’と々
り となる。この式（Ｃ）において仮にＶ２＋Ｖ３キ０であ
ってもεは０．０７５となり７．５チの容積変化が生ず
る。ここで第２の空隙部１２１の容積ｖ２は、中間ダイ
アフラム１０９の移動量分の容積を有する必要があるの
でＶ２＞Ｖｌである必要がある。また仮にＶ２ ＋Ｖ３
＝Ｖ１としても前記式（Ｃ）よシεは０，１５となシ１
５チの容積変化が生ずることになる。そして、前述した
ように過圧保護作動圧力の変化幅は約±５０ｃＩ６以内
に抑える必要がある。したがって、前記式（Ｃ）よシト
ナリ、コノ式（σ）よりＶ２＋Ｖｓ／Ｖｔ≦５．７−（
Ｄ）に設定する必要がある。またｖ２は原理的にｖ２≧
１，５Ｖ１・・・ＣＥ）である必要があり、この条件を
満足できない場合には、過圧保護機能が総ての使用温度
範囲で満足できなくなる。またｖ２の上限をｖ２≦２ｖ
ｌとすると前記式（匂より１．５Ｖｒ≦ｖ２≦２ Ｖｌ
−（ｒ）となる。この式（Ｆ′
）と前記式０）よりｖ３≦３，７ Ｖｌ
−（Ｆ）となる。以上の理由から第２の空
隙部１２１の容積（Ｖ２ ）を１．５Ｖ１≦ｖ２≦２Ｖ
、とし、第３の空隙部１２２の容積（Ｖ３ ）をｖ３≦
３．７Ｖ１とし１３− たのである。
≦３．７Ｖｌの背景について説明する。圧力伝達媒体１
１２０体膨張係数をβ、温度変化をΔＴとすると、容器
の膨張を無視するとすれば第１の空隙部１２０の容積ｖ
ｌの温度変化による変化量ΔＶは ΔＶ−ＣＶ１＋Ｖ２ ＋Ｖ３ ） ・β・ΔＴ
・（Ａ）で表わされる。（ただし、このとき受圧ダイア
フラム１０３，１０４の硬さは、中間ダイアフラム１０
９の硬さに比べてきわめて大きく、総ての空隙部に充填
されている圧力伝達媒体１１２の温度変化による体積変
化分は、総て受圧ダイアフラム１０３，１０４の移動で
吸収されるとする。） したがって、第１の空隙部１２０の変化率をεとすると
前記式（Ａ）より で表わされる。シリコーン油からなる圧力伝達媒体１１
２０体膨張係数βはＩ Ｘ １０−”（ＣＣ／ＣＣ／Ｔ
：）程度であり、ΔＴは差圧伝送器の使用温度範囲が一
４０℃〜１００℃とすると常温（２５℃）からの最大の
変化量は７５℃である。したがって前記式（Ｂ）におい
てβ・ΔＴは β・ΔＴ＝ＩＸ１０−３Ｘ７５＝７．５Ｘ１０ ’と々
り となる。この式（Ｃ）において仮にＶ２＋Ｖ３キ０であ
ってもεは０．０７５となり７．５チの容積変化が生ず
る。ここで第２の空隙部１２１の容積ｖ２は、中間ダイ
アフラム１０９の移動量分の容積を有する必要があるの
でＶ２＞Ｖｌである必要がある。また仮にＶ２ ＋Ｖ３
＝Ｖ１としても前記式（Ｃ）よシεは０，１５となシ１
５チの容積変化が生ずることになる。そして、前述した
ように過圧保護作動圧力の変化幅は約±５０ｃＩ６以内
に抑える必要がある。したがって、前記式（Ｃ）よシト
ナリ、コノ式（σ）よりＶ２＋Ｖｓ／Ｖｔ≦５．７−（
Ｄ）に設定する必要がある。またｖ２は原理的にｖ２≧
１，５Ｖ１・・・ＣＥ）である必要があり、この条件を
満足できない場合には、過圧保護機能が総ての使用温度
範囲で満足できなくなる。またｖ２の上限をｖ２≦２ｖ
ｌとすると前記式（匂より１．５Ｖｒ≦ｖ２≦２ Ｖｌ
−（ｒ）となる。この式（Ｆ′
）と前記式０）よりｖ３≦３，７ Ｖｌ
−（Ｆ）となる。以上の理由から第２の空
隙部１２１の容積（Ｖ２ ）を１．５Ｖ１≦ｖ２≦２Ｖ
、とし、第３の空隙部１２２の容積（Ｖ３ ）をｖ３≦
３．７Ｖ１とし１３− たのである。
すなわち、第１の空隙部１２０の容積（Ｖ＋）をＩＣＣ
以下とする。そしてケーシング１０５の中間ダイアフラ
ム１０９との対抗面は中間ダイアフラム１０９の形状に
合わせて波形とすることによシ第２の空隙部１２１の容
積（ｖ２ ）を１．５Ｖ１≦ｖ２≦２ｖ１を満足させる
ようにし、さらに中継基板１１８とケーシング１０５と
の間に絶縁部材１１９を充填させて第３の空隙部１２２
の容積（ｖ３ ）をＶ３≦３．７Ｖ１を満足させるよう
にした構成である。
以下とする。そしてケーシング１０５の中間ダイアフラ
ム１０９との対抗面は中間ダイアフラム１０９の形状に
合わせて波形とすることによシ第２の空隙部１２１の容
積（ｖ２ ）を１．５Ｖ１≦ｖ２≦２ｖ１を満足させる
ようにし、さらに中継基板１１８とケーシング１０５と
の間に絶縁部材１１９を充填させて第３の空隙部１２２
の容積（ｖ３ ）をＶ３≦３．７Ｖ１を満足させるよう
にした構成である。
したがって、過圧保護作動圧力の温度による変化を小さ
くすることができ確実に±５０チ以内に抑えることがで
きる。そして、第１の空隙部１２０の容積（ｖｌ ）を
小さくすることにより中間ダイアフラム１０９の移動量
を抑制することができ、それによって中間ダイアフラム
１０９に加わる応力を小さくしヒステリシスを低減させ
過大差圧印加後の出力誤差を小さくすることができる。
くすることができ確実に±５０チ以内に抑えることがで
きる。そして、第１の空隙部１２０の容積（ｖｌ ）を
小さくすることにより中間ダイアフラム１０９の移動量
を抑制することができ、それによって中間ダイアフラム
１０９に加わる応力を小さくしヒステリシスを低減させ
過大差圧印加後の出力誤差を小さくすることができる。
さらに、全体の圧力伝達媒体１４−
の体積が小さくカるので体積膨張あるいは収縮能が小さ
くなり温度誤差、静圧誤差が小さくなり安定した測定を
行なうことができる。
くなり温度誤差、静圧誤差が小さくなり安定した測定を
行なうことができる。
なおり２およびｖ３が前記２つのφ件１，５Ｖ１≦ｖ２
≦２ｖｌＸｖ３≦３．７Ｖ＋を満足するように構成する
には前記笑施例以外にも種々の方法が考えられる。
≦２ｖｌＸｖ３≦３．７Ｖ＋を満足するように構成する
には前記笑施例以外にも種々の方法が考えられる。
本発明による差圧伝送器は、ケーシングと、このケーシ
ングを挾むようにしてそれぞれ密着固定され被測定流体
が流入する流入口を有する１対のフランジと、この−１
対のフランジと上記ケーシングとの間に設けられた１対
の受圧ダイアフラムと、この１対の受圧ダイアフラム間
のケーシング内に設けられた中間ダイアフラムと、この
中間ダイアフラムと上記１対の受圧ダイアフラムとの間
にそれぞれ形成された第１および第２の圧力室と、この
第１および第２の圧力室間のケーシング内に設置され第
１および第２の圧力室の圧力差を検出して電気信号に変
換し外部に出力する感圧体とを備えた差圧伝送器におい
て、上記受圧ダイアフラムとケーシングの受圧ダイアフ
ラムの対向面との間の容積をＶＩ％中間ダイアフラムと
ケーシングの中間ダイアフラムとの対向面との間の容積
をＶ２、それ以外の部分の容積をｖ３とした場合にＶＩ
＋Ｖ２およびｖ３が１．５Ｖ１≦ｖ２≦２Ｖ＋およびＶ
３≦３．７Ｖ１）丘 を満足するよう一物成でｂへ。
ングを挾むようにしてそれぞれ密着固定され被測定流体
が流入する流入口を有する１対のフランジと、この−１
対のフランジと上記ケーシングとの間に設けられた１対
の受圧ダイアフラムと、この１対の受圧ダイアフラム間
のケーシング内に設けられた中間ダイアフラムと、この
中間ダイアフラムと上記１対の受圧ダイアフラムとの間
にそれぞれ形成された第１および第２の圧力室と、この
第１および第２の圧力室間のケーシング内に設置され第
１および第２の圧力室の圧力差を検出して電気信号に変
換し外部に出力する感圧体とを備えた差圧伝送器におい
て、上記受圧ダイアフラムとケーシングの受圧ダイアフ
ラムの対向面との間の容積をＶＩ％中間ダイアフラムと
ケーシングの中間ダイアフラムとの対向面との間の容積
をＶ２、それ以外の部分の容積をｖ３とした場合にＶＩ
＋Ｖ２およびｖ３が１．５Ｖ１≦ｖ２≦２Ｖ＋およびＶ
３≦３．７Ｖ１）丘 を満足するよう一物成でｂへ。
すなわちＶｌを小さくしかつｖ２およびｖ３が１．５Ｖ
！≦Ｖ２≦２ＶｔおよびＶ３≦３．７Ｖｔを満足するよ
うに構成することによシ過圧保護作動圧力の温度による
変化を小さくする構成である。
！≦Ｖ２≦２ＶｔおよびＶ３≦３．７Ｖｔを満足するよ
うに構成することによシ過圧保護作動圧力の温度による
変化を小さくする構成である。
したがって過圧保護作動圧力の温度による変化を小さく
することができ確実に±５０％以内に抑えることができ
る。そしてｖｌを小さくすることにより中間ダイアフラ
ムの移動量を抑制しそれによって中間ダイアフラムに加
わる応力を小さくすることができ、ヒステリシスを低減
させ過大差圧印加後の出力誤差を小さくすることができ
る。さらに全体の圧力伝達媒体の体積’７５１ツ」ｚさ
くなるので体積膨張あるいは収縮量が小さくな多温度誤
差、静圧誤差が小さくなり安定した測定を行なうことが
できる等その効果は大である。
することができ確実に±５０％以内に抑えることができ
る。そしてｖｌを小さくすることにより中間ダイアフラ
ムの移動量を抑制しそれによって中間ダイアフラムに加
わる応力を小さくすることができ、ヒステリシスを低減
させ過大差圧印加後の出力誤差を小さくすることができ
る。さらに全体の圧力伝達媒体の体積’７５１ツ」ｚさ
くなるので体積膨張あるいは収縮量が小さくな多温度誤
差、静圧誤差が小さくなり安定した測定を行なうことが
できる等その効果は大である。
第１図は従来の差圧伝送器の構成を示す断面図、第２図
は本発明の一実施例を示す差圧伝送器の断面図である。 １０１．１０２・・・フランジ１．１０１ Ａ 、１０
２ｋ・・・流入口、１０３，１０４・・・受圧ダイアフ
ラム、１０５・・・ケーシング、１０９・・・中間ダイ
アフラム、１１０・・・第１の圧力室、１１１・・・第
２の圧力室、１１３・・・半導体感圧素子。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦１７− 第１図
は本発明の一実施例を示す差圧伝送器の断面図である。 １０１．１０２・・・フランジ１．１０１ Ａ 、１０
２ｋ・・・流入口、１０３，１０４・・・受圧ダイアフ
ラム、１０５・・・ケーシング、１０９・・・中間ダイ
アフラム、１１０・・・第１の圧力室、１１１・・・第
２の圧力室、１１３・・・半導体感圧素子。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦１７− 第１図
Claims (2)
- （１） ケーシングと、このケーシングを挾むように
してそれぞれ密着固定され被測定流体が流入する流入口
を有する１対のフランジと、この一対のフランジと上記
ケーシングとの間に設けられた一対の受圧ダイアフラム
と、この１対の受圧ダイアフラム間のケーシング内に設
けられた中間ダイアフラムと、この中間ダイアフラムと
上記１対の受圧ダイアフラムとの間にそれぞれ形成され
た第１および第２の圧力室と、この第１および第２の圧
力室間のケーシング内に設置され第１および第２の圧力
室の圧力差を検出して電気信号に変換し外部に出力する
感圧体とを備えた差圧伝送器において、上記受圧ダイア
フラムとケーシングの受圧ダイアフラムの対向面との間
の容積をＶｌ、中間ダイアフラムとケーシングの中間ダ
イアフラムとの対向面との間の容積をｖ２、それ以外の
部分の容積ｋ Ｖ ｓ とした場合にＶ１＋Ｖ２および
ｖ３が１．５Ｖ１≦Ｖ２≦２Ｖ、およびｖ３≦３．７Ｖ
１ を満足するように構成されたことを特徴とする差圧
伝送器。 - （２） 容積ｖｌが１ ｃｃ以下であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の差圧伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20905282A JPS5999230A (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20905282A JPS5999230A (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 差圧伝送器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5999230A true JPS5999230A (ja) | 1984-06-07 |
| JPH0416729B2 JPH0416729B2 (ja) | 1992-03-25 |
Family
ID=16566453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20905282A Granted JPS5999230A (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5999230A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60185130A (ja) * | 1984-03-02 | 1985-09-20 | Hitachi Ltd | 半導体差圧発信器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5322483A (en) * | 1976-03-24 | 1978-03-01 | Ict Instruments | Transducer assembly for differential pressure measurement |
| JPS57151543U (ja) * | 1981-03-20 | 1982-09-22 |
-
1982
- 1982-11-29 JP JP20905282A patent/JPS5999230A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5322483A (en) * | 1976-03-24 | 1978-03-01 | Ict Instruments | Transducer assembly for differential pressure measurement |
| JPS57151543U (ja) * | 1981-03-20 | 1982-09-22 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60185130A (ja) * | 1984-03-02 | 1985-09-20 | Hitachi Ltd | 半導体差圧発信器 |
| JPH0544617B2 (ja) * | 1984-03-02 | 1993-07-06 | Hitachi Ltd |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0416729B2 (ja) | 1992-03-25 |
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