JPS5992941A - 火炎加水分解法 - Google Patents
火炎加水分解法Info
- Publication number
- JPS5992941A JPS5992941A JP20338682A JP20338682A JPS5992941A JP S5992941 A JPS5992941 A JP S5992941A JP 20338682 A JP20338682 A JP 20338682A JP 20338682 A JP20338682 A JP 20338682A JP S5992941 A JPS5992941 A JP S5992941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- burner
- material container
- container
- flame hydrolysis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/30—For glass precursor of non-standard type, e.g. solid SiH3F
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/46—Comprising performance enhancing means, e.g. electrostatic charge or built-in heater
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は気相原料を酸水素火炎等で加水分解し、生成さ
れるガラス粉末を堆積させること（こよって多孔質母材
を形成する火炎加水分解法に関する。
れるガラス粉末を堆積させること（こよって多孔質母材
を形成する火炎加水分解法に関する。
第１図は従来の火炎加水分解法を示すもので、原料容器
（１）に入った液体原料り内に酸化ガス或このバーナ（
２）には、１１２ 万ヌと０２ガスとが供給されており
、気相原料Ｌ′は、両ガスの反応によって生じる酸水素
火炎（３）（こ達し、ここで火炎加水分解されることに
よりガラス粉末となり、ダミー石英棒（４）に１欠き伺
けられる。
（１）に入った液体原料り内に酸化ガス或このバーナ（
２）には、１１２ 万ヌと０２ガスとが供給されており
、気相原料Ｌ′は、両ガスの反応によって生じる酸水素
火炎（３）（こ達し、ここで火炎加水分解されることに
よりガラス粉末となり、ダミー石英棒（４）に１欠き伺
けられる。
こうして多孔質母材（５）が形成される。
このよう（こ多孔質母材（５）となる原料は、バブリン
グによって気化され酸水素火炎内に供給されるのである
から、固体を用いることはできず、したがって室温で液
体の原料、例えば５ｉＣｔいＧｅＣｔ４、ＰＯＣｌ２、
ＢＢｒ３．５ｂＣｔ５等に限られることになり、原料の
選択範囲が小さかった。
グによって気化され酸水素火炎内に供給されるのである
から、固体を用いることはできず、したがって室温で液
体の原料、例えば５ｉＣｔいＧｅＣｔ４、ＰＯＣｌ２、
ＢＢｒ３．５ｂＣｔ５等に限られることになり、原料の
選択範囲が小さかった。
そこで、力・かる対策として室温で固体の原料を液比し
て使用することが試みられ、このために原料容器用を加
熱し、同容器（１１内で固体原料を液化していた。
て使用することが試みられ、このために原料容器用を加
熱し、同容器（１１内で固体原料を液化していた。
しかし室温で固体の原料は冷えると液化または固化する
ため、バブリングによって気相状態となった気相原料は
酸水素火炎に達するまである温度以上に保持されなけれ
ばならないが、実際番こは酸水素火炎に達する前に冷え
て液化または固化してし−Ｐ、うという不都合があった
。
ため、バブリングによって気相状態となった気相原料は
酸水素火炎に達するまである温度以上に保持されなけれ
ばならないが、実際番こは酸水素火炎に達する前に冷え
て液化または固化してし−Ｐ、うという不都合があった
。
本発明は上記問題点に鑑み気相原料が酸水素火炎に達す
る前まで（こ液化または固化しないように同原料を加熱
し、基層、で固体の原料を使用可能にしようというもの
で、これを図面に示す実施例を参照しながら説明すると
、第２図に示すよ′）ｌこ原料容器００）とバーナαＤ
の基端部とは、同容器α０）に設けられた気相原料（１
２）の出口部（ｉ３１において一体に連結されており、
同容器（ＪＯ）を出た気相原料（１２１は直接にバーナ
Ｉｌｌに入るようになっている。
る前まで（こ液化または固化しないように同原料を加熱
し、基層、で固体の原料を使用可能にしようというもの
で、これを図面に示す実施例を参照しながら説明すると
、第２図に示すよ′）ｌこ原料容器００）とバーナαＤ
の基端部とは、同容器α０）に設けられた気相原料（１
２）の出口部（ｉ３１において一体に連結されており、
同容器（ＪＯ）を出た気相原料（１２１は直接にバーナ
Ｉｌｌに入るようになっている。
そして原料容器００）の全体とバーナ圓の少なくとも一
部とは加熱炉軌内に装入されており、同容器（１０）と
バーナａυとは所望の温度に加熱されるようになってい
る。
部とは加熱炉軌内に装入されており、同容器（１０）と
バーナａυとは所望の温度に加熱されるようになってい
る。
したがって室温で固体の原料を原料容器（ｉｏ）内に入
れ、加熱炉９勺を適当な温度に設定するとと（こより、
固体の原料？液化させることができ、こうして液体とな
った液体原料ａ９中に上記同様アルゴン等の稀釈カスＧ
を導入し、液体原料住９をバブリ゛／グすることにより
気化させて気相原料（１，２１とする。
れ、加熱炉９勺を適当な温度に設定するとと（こより、
固体の原料？液化させることができ、こうして液体とな
った液体原料ａ９中に上記同様アルゴン等の稀釈カスＧ
を導入し、液体原料住９をバブリ゛／グすることにより
気化させて気相原料（１，２１とする。
該気相原料Ｏｚは原料容器００）ヲ出てバーナＵ内に入
り、酸水素火炎Ｃ１６）に達する。
り、酸水素火炎Ｃ１６）に達する。
前述のよう（こバーナ圓の少なくとも一部は加熱炉ａ＜
内（こ装入されているので気相原料０２）は、酸水素火
炎αりに遅する以前に液化または固化することがない。
内（こ装入されているので気相原料０２）は、酸水素火
炎αりに遅する以前に液化または固化することがない。
向原料容器００）としては耐熱性のものが使用される。
ここでより具体的な例（こついて述べると、原料容器０
０）として石英製の容器を用い、また加熱炉ａりとして
抵抗加熱電気炉を使用した。
０）として石英製の容器を用い、また加熱炉ａりとして
抵抗加熱電気炉を使用した。
尚、加熱炉部は容器α０）の出し入れが便利なように２
つ割れ構造のものを採用した。
つ割れ構造のものを採用した。
〔具体例１〕
固体原料として塩化鉛（融点４９８℃、沸点９５４℃）
を用い、加熱炉ｕ４の湿度を８００℃に設定して塩化鉛
を液化し、アルゴンガスでバブリングして気化させると
共にバーナ０］）に気相の四塩化珪素による原料ガスｇ
ｔ供給して石英系組成の多孔質母材α力を作製した。
を用い、加熱炉ｕ４の湿度を８００℃に設定して塩化鉛
を液化し、アルゴンガスでバブリングして気化させると
共にバーナ０］）に気相の四塩化珪素による原料ガスｇ
ｔ供給して石英系組成の多孔質母材α力を作製した。
即ち従来石英系光ファイバのドーパントとして使用され
ているゲルマニウムを鉛で量き換えたものである。
ているゲルマニウムを鉛で量き換えたものである。
こうして得られた多孔質母材（Ｌ？ｊを焼結して透明ガ
ラス化し、光ファイバ（こ線引したところ、伝送損失は
波長０．８３Ｉｔｎ１のドで１０ｄＢ／Ｋｆｎと低いも
のであった。
ラス化し、光ファイバ（こ線引したところ、伝送損失は
波長０．８３Ｉｔｎ１のドで１０ｄＢ／Ｋｆｎと低いも
のであった。
尚ゲルマニウムの代りとしては、塩化鉛の外に塩化アル
ミニウム、四塩化テルル、三塩化アンチモン等が使用さ
れる。
ミニウム、四塩化テルル、三塩化アンチモン等が使用さ
れる。
〔具体例２〕
固体原料として塩化セリウム（ＣｅＣＬ３、融点８２２
℃）を用い、加熱炉９勺の温度を１０００℃に設定し、
バーナ圓に原料ガスｇとして四塩化珪素及び四塩化ゲル
マニウムを供給して多孔質母拐叩を作製した０ これを焼結し、透明ガラス化した後、光ファイバに線引
し、この光ファイバに放射線を照射して損失特性を調べ
たところ、損失増加は小さく、１１ｉｉ１放射線性が良
好であった０〔具体例３〕 固体原料として塩化ネオジウム（Ｎ ｄ Ｃｔ３、重点
７８４℃）を用い、原料ガスｇとして四塩化珪素をバー
ナＱｌｌに供給して多孔質母材Ｏ″ｌ）を作製した。
℃）を用い、加熱炉９勺の温度を１０００℃に設定し、
バーナ圓に原料ガスｇとして四塩化珪素及び四塩化ゲル
マニウムを供給して多孔質母拐叩を作製した０ これを焼結し、透明ガラス化した後、光ファイバに線引
し、この光ファイバに放射線を照射して損失特性を調べ
たところ、損失増加は小さく、１１ｉｉ１放射線性が良
好であった０〔具体例３〕 固体原料として塩化ネオジウム（Ｎ ｄ Ｃｔ３、重点
７８４℃）を用い、原料ガスｇとして四塩化珪素をバー
ナＱｌｌに供給して多孔質母材Ｏ″ｌ）を作製した。
これを焼結し、透明ガラス化したところガラスレーザー
が得られた。
が得られた。
これに脱ボ処理を施せばより水分の少ないガラスレーザ
ーが得られる。
ーが得られる。
以上のように本発明においては、原料容器とバーナとを
連通状態（こして直結させ、原料容器全体とバーナの少
なくとも一部とを加熱しつつ火炎加水分解を行なうので
、室ｌ益で固体の原料であっても原料容器からバーナの
火炎に到るまでの間に液化または固化することがなく、
したかつて室温で液体の原料に加えて室温で固体の原料
をも使用することができるよう（こなるため、使用原料
の種類が増えることになり、安価な石文系光ファイバ、
開口数の大ぎな石Ｐ：系光コアイバ或いは耐放射線性を
有する石英系光ファイバ等種々の光ファイバを得ること
が可能になる０’１ ｆｃガラスレーザー等特殊な高純
度ガラスの合成も可能になる。
連通状態（こして直結させ、原料容器全体とバーナの少
なくとも一部とを加熱しつつ火炎加水分解を行なうので
、室ｌ益で固体の原料であっても原料容器からバーナの
火炎に到るまでの間に液化または固化することがなく、
したかつて室温で液体の原料に加えて室温で固体の原料
をも使用することができるよう（こなるため、使用原料
の種類が増えることになり、安価な石文系光ファイバ、
開口数の大ぎな石Ｐ：系光コアイバ或いは耐放射線性を
有する石英系光ファイバ等種々の光ファイバを得ること
が可能になる０’１ ｆｃガラスレーザー等特殊な高純
度ガラスの合成も可能になる。
第１図は従来の火炎加水分解法の略示説明図、第２図は
本発明ｆこ係る火炎加水分解法の陥示説明図である。 αＯ）・・・・・原料容器 ＯＤ・・・・・バーナ α２・・・・・気相原料 ０５）・・・・・散体原料 特許出願人 代理人 弁理士 井 藤 酸 第 １ １ 第 ２ 図 ↑
本発明ｆこ係る火炎加水分解法の陥示説明図である。 αＯ）・・・・・原料容器 ＯＤ・・・・・バーナ α２・・・・・気相原料 ０５）・・・・・散体原料 特許出願人 代理人 弁理士 井 藤 酸 第 １ １ 第 ２ 図 ↑
Claims (1)
- 原料容器内の液体原料中に所定のガスを導入し、該原料
をバブリングすることにより気化させて気相原料とし、
該気相原料をバーナに供給し火炎加水分解によりガラス
粉末とし、該ガラス粉末を所定の部材に吹き付けて堆積
させる火炎加水分解法（こおいて、上記原料容器とバー
ナとを連通状態にして直結し、該容器全体とバーナの少
なくとも一部とを加熱しつつ上記気相原料の火炎加水分
解を行なうことを特徴とする火炎加水分解法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20338682A JPS5992941A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 火炎加水分解法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20338682A JPS5992941A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 火炎加水分解法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5992941A true JPS5992941A (ja) | 1984-05-29 |
Family
ID=16473175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20338682A Pending JPS5992941A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 火炎加水分解法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5992941A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993000307A1 (en) * | 1991-06-29 | 1993-01-07 | Shin-Etsu Quartz Products Company Limited | Synthetic quartz glass optical member for excimer laser and production thereof |
-
1982
- 1982-11-19 JP JP20338682A patent/JPS5992941A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993000307A1 (en) * | 1991-06-29 | 1993-01-07 | Shin-Etsu Quartz Products Company Limited | Synthetic quartz glass optical member for excimer laser and production thereof |
| US5364433A (en) * | 1991-06-29 | 1994-11-15 | Shin-Etsu Quartz Products Company Limited | Optical member of synthetic quartz glass for excimer lasers and method for producing same |
| US5523266A (en) * | 1991-06-29 | 1996-06-04 | Shin-Etsu Quartz Products Company Limited | Optical member of synthetic quartz glass for excimer lasers and method for producing same |
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