JPS5990807A - カラ−フイルタ−の製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタ−の製造方法Info
- Publication number
- JPS5990807A JPS5990807A JP57201474A JP20147482A JPS5990807A JP S5990807 A JPS5990807 A JP S5990807A JP 57201474 A JP57201474 A JP 57201474A JP 20147482 A JP20147482 A JP 20147482A JP S5990807 A JPS5990807 A JP S5990807A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dye
- color filter
- dyeing
- color
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、カラーフィルターの製造法、特に固体撮像素
子に用いる色分解用のカラーフィルターの製造法に関す
るものである。
子に用いる色分解用のカラーフィルターの製造法に関す
るものである。
従来例の構成とその問題点
従来、カラーフィルターの製造法には、第１図から第３
図に示す方法が一般に用いられている。
図に示す方法が一般に用いられている。
すなわち光学的に透明な基板１上に染色可能な感光性樹
脂（ゼラチンやカゼインに重クロム酸アンモニーウムに
より感光性を付与）をスピンナーで均一に塗布し、乾燥
した後所定のパターンのマスクを介して１色目のパター
ン部分２だけ光硬化し現像処理を行なって１色目のパタ
ーン部分２を形成し、これを所定の分光特性を有する色
素の水溶液に浸漬して染色を行い、その後水洗を行って
基板および必要なパターン部以外に付着した色素を除去
し、乾燥を行なって着色パターンを得る。ついで混色防
止のだめの透明中間膜３を全面に塗布する。（第１図） 次に、同様にして第２図に示すように前記と同じ感光性
樹脂を塗布し、乾燥した後所定の、＜夕一ンのマスクで
露光・現像して、２色目のパターン部分４を形成後、所
定の分光特性を有する第２の色素で染色する。さらに、
前記透明な中間膜５を全面に塗布する。
脂（ゼラチンやカゼインに重クロム酸アンモニーウムに
より感光性を付与）をスピンナーで均一に塗布し、乾燥
した後所定のパターンのマスクを介して１色目のパター
ン部分２だけ光硬化し現像処理を行なって１色目のパタ
ーン部分２を形成し、これを所定の分光特性を有する色
素の水溶液に浸漬して染色を行い、その後水洗を行って
基板および必要なパターン部以外に付着した色素を除去
し、乾燥を行なって着色パターンを得る。ついで混色防
止のだめの透明中間膜３を全面に塗布する。（第１図） 次に、同様にして第２図に示すように前記と同じ感光性
樹脂を塗布し、乾燥した後所定の、＜夕一ンのマスクで
露光・現像して、２色目のパターン部分４を形成後、所
定の分光特性を有する第２の色素で染色する。さらに、
前記透明な中間膜５を全面に塗布する。
次に、同様にして、第３図に示すように、前記と同じ感
光性樹脂を均一に塗布し、乾燥した後、所定のパターン
のマスクで露光現像して、３色目のパターン部分６を形
成し、所定の分光特性を有する第３の色素で染色する。
光性樹脂を均一に塗布し、乾燥した後、所定のパターン
のマスクで露光現像して、３色目のパターン部分６を形
成し、所定の分光特性を有する第３の色素で染色する。
最後に、トップコート７を塗布して、第３図に示すよう
なカラーフィルターが製造される。その後、このカラー
フィルターと固体撮像素子を接着剤を用いて、撮像素子
の微細パターンへ位置合せをしながら貼合せる方法がと
られている。まだ、上記の工程をへて、固体撮像素子上
に直接カラーフィルターを積層する方法が行なわれてい
る。
なカラーフィルターが製造される。その後、このカラー
フィルターと固体撮像素子を接着剤を用いて、撮像素子
の微細パターンへ位置合せをしながら貼合せる方法がと
られている。まだ、上記の工程をへて、固体撮像素子上
に直接カラーフィルターを積層する方法が行なわれてい
る。
種々の半導体装置が形成されている固体撮像素子」二に
有機高分子材料たるカラーフィルターを形成した鴇合に
、染料中に含まれるアルカリ金属が、半導体装置に悪影
響を与える。
有機高分子材料たるカラーフィルターを形成した鴇合に
、染料中に含まれるアルカリ金属が、半導体装置に悪影
響を与える。
発明の目的
本発明は、カラーフィルター製造工程において染料のア
ルカリ金属を有機塩基で置換した色素を使用することに
より、染浴への染料の溶解度を増し染着濃度を増加する
。さらに、アルカリ金属による半導体装置への悪影響を
防止する。
ルカリ金属を有機塩基で置換した色素を使用することに
より、染浴への染料の溶解度を増し染着濃度を増加する
。さらに、アルカリ金属による半導体装置への悪影響を
防止する。
発明の構成
本発明は以下の工程に示される処理を行なった染料を色
素として染色に使用することを特徴とする。
素として染色に使用することを特徴とする。
工程１１色素不溶化（染料水溶液に酸を添加）、工程２
１色素水不溶物口過（色素成分以外の除去）、 工程３０色素水不溶物の有機塩基による水可溶化、 工程４．水洗、保護膜形成。
１色素水不溶物口過（色素成分以外の除去）、 工程３０色素水不溶物の有機塩基による水可溶化、 工程４．水洗、保護膜形成。
実施例の説明
以下、本発明の詳細な説明する。本発明の処理工程をへ
ることが出来る染料としては、酸性染料と直接染料を例
示すれば次の如くである。
ることが出来る染料としては、酸性染料と直接染料を例
示すれば次の如くである。
（１）赤色染料としては、スミノール・ミリング・スカ
ーレソト・Ｇ（住友化学）、チノ（クロン・スカーレノ
ト・Ｇ −Ｐ’ （チノ（・ガイギー社）、チノ；クロ
ン・プロント・スカーレ、ノド（チノ；・ガイギ−社）
、スミノール・ファスト・し、ノド・Ｇ（住友化学）
、スミライト・スブラ・レッド・ａＢＬ（住友化学）、
アミニル・し・ノド・Ｅ−２ＢＬ（住友化学）、アミニ
ル・し、ド・Ｅ−３ＢＬ（住友化学）、アシド・スカー
レノト・９０１（住友化学）、スミノール・ミリング・
スカーレ７ト・ＦＧ（住友化学）、スミノール・ミリン
グ・オレンジ・ＳＧ（住友化学）、スミノール・７７ス
ト・オレンジ・ＰＯ（住友化学）、マキシロン・レッド
・ＧＲＬ（チバ・ガイギー）、エリオシイ・スカーレソ
ト・ＲＥ（チノ（・ガイギー社）、ミカワン・ブリリア
ント・レッド・ｓＢＳ （三菱化学）。
ーレソト・Ｇ（住友化学）、チノ（クロン・スカーレノ
ト・Ｇ −Ｐ’ （チノ（・ガイギー社）、チノ；クロ
ン・プロント・スカーレ、ノド（チノ；・ガイギ−社）
、スミノール・ファスト・し、ノド・Ｇ（住友化学）
、スミライト・スブラ・レッド・ａＢＬ（住友化学）、
アミニル・し・ノド・Ｅ−２ＢＬ（住友化学）、アミニ
ル・し、ド・Ｅ−３ＢＬ（住友化学）、アシド・スカー
レノト・９０１（住友化学）、スミノール・ミリング・
スカーレ７ト・ＦＧ（住友化学）、スミノール・ミリン
グ・オレンジ・ＳＧ（住友化学）、スミノール・７７ス
ト・オレンジ・ＰＯ（住友化学）、マキシロン・レッド
・ＧＲＬ（チバ・ガイギー）、エリオシイ・スカーレソ
ト・ＲＥ（チノ（・ガイギー社）、ミカワン・ブリリア
ント・レッド・ｓＢＳ （三菱化学）。
／
アシド・ライト・スカーレ・ノド・ＧＬ１３０％（三菱
化学）、カヤノール・ミリング・レッドＲ３１２５（三
菱化学）などが挙げ′られる０（２）紺色染料としては
、スミノール・ミリング・ブリリアント・グリーン・５
Ｇ（住友化学）、アンド・ブリリアント・ミリング・グ
リーン・Ｇ（住友化学）、アンド・ブリリアント・ミリ
ング・グリーン・Ｂ（住友化学）、ミカチオン・オリー
ブ・グリーン・３ＧＳ （チバ・ガイギー）、カヤノー
ル・ミリング・グリーン・５ＧＷ（日本金集）。
化学）、カヤノール・ミリング・レッドＲ３１２５（三
菱化学）などが挙げ′られる０（２）紺色染料としては
、スミノール・ミリング・ブリリアント・グリーン・５
Ｇ（住友化学）、アンド・ブリリアント・ミリング・グ
リーン・Ｇ（住友化学）、アンド・ブリリアント・ミリ
ング・グリーン・Ｂ（住友化学）、ミカチオン・オリー
ブ・グリーン・３ＧＳ （チバ・ガイギー）、カヤノー
ル・ミリング・グリーン・５ＧＷ（日本金集）。
ソオリイダゾール・グリーン・Ｐ−ＧＧ（ヘキスト）、
ペーパー・ファスト・グリーン・６Ｇ（パイヘル）など
が挙げられる。
ペーパー・ファスト・グリーン・６Ｇ（パイヘル）など
が挙げられる。
（３）青色染料としては、スミライト・スプラー・ター
ユイス・ブルー・Ｇ（住友化学）、チバクロン・ブルー
・３Ｇ−Ａ（チバ・ガイギー）、チ・くクロラン・ブル
ー・８Ｃａ（チバ・ガイギー）、プロジオン・ターコイ
ス・Ｈ−Ａ（ＣＩＣ）、カヤチオン・ターコイス・Ｐ−
Ａ（日本金集）、カヤチオン・ターコイスＰ−ＮＧＦ（
日本金集）、スミカロン・ブルー・Ｅ−ＦＢＬ（住友化
学）、スミカロン・ブリリアント・ブルー５−ＢＬ（住
友ｆヒ学）、スミノール・レベリング・スカイ・ブルー
・Ｒ・エキストラ・コンク（住友化学）・オラゾール・
ブルー・Ｃ１Ｎ（チバ・ガイギー）、マキジオン・ブル
ー・３ＧＳ （三菱化学）、マキジオン・フ／ｌｚ−・
２ＧＳ （三菱化学）、カヤノール・ミリング・ブルー
・Ｇ’Ｗ（日本金集）、カヤフル・スカイブルー・Ｒ（
日本金集）などが挙げられる。
ユイス・ブルー・Ｇ（住友化学）、チバクロン・ブルー
・３Ｇ−Ａ（チバ・ガイギー）、チ・くクロラン・ブル
ー・８Ｃａ（チバ・ガイギー）、プロジオン・ターコイ
ス・Ｈ−Ａ（ＣＩＣ）、カヤチオン・ターコイス・Ｐ−
Ａ（日本金集）、カヤチオン・ターコイスＰ−ＮＧＦ（
日本金集）、スミカロン・ブルー・Ｅ−ＦＢＬ（住友化
学）、スミカロン・ブリリアント・ブルー５−ＢＬ（住
友ｆヒ学）、スミノール・レベリング・スカイ・ブルー
・Ｒ・エキストラ・コンク（住友化学）・オラゾール・
ブルー・Ｃ１Ｎ（チバ・ガイギー）、マキジオン・ブル
ー・３ＧＳ （三菱化学）、マキジオン・フ／ｌｚ−・
２ＧＳ （三菱化学）、カヤノール・ミリング・ブルー
・Ｇ’Ｗ（日本金集）、カヤフル・スカイブルー・Ｒ（
日本金集）などが挙げられる。
次に、このような処理に使用しうる有機塩基としては、
アンモニアの水素原子がアルキル基で置換された脂肪族
アミン（＠−アミン： ＲＮＨ２，第二アミン：Ｒ２Ｎ
Ｈ，第三アミン： Ｒ３Ｎ）、アンモニアの水素原子が
アリール基で置換された芳香族アミン（アニリン、ジメ
チルアニリン）、アミンの窒素原子が環内に含まれてい
る環状塩基（ピリジン、キノリン、ピペリジン）、ヒド
ラジン誘導体などが挙げられる。
アンモニアの水素原子がアルキル基で置換された脂肪族
アミン（＠−アミン： ＲＮＨ２，第二アミン：Ｒ２Ｎ
Ｈ，第三アミン： Ｒ３Ｎ）、アンモニアの水素原子が
アリール基で置換された芳香族アミン（アニリン、ジメ
チルアニリン）、アミンの窒素原子が環内に含まれてい
る環状塩基（ピリジン、キノリン、ピペリジン）、ヒド
ラジン誘導体などが挙げられる。
この様な染料と有機塩基を使用して、前述の工程により
処理した色素をカラーフィルター用着色剤として使用す
ると次の様な利点を持っている。
処理した色素をカラーフィルター用着色剤として使用す
ると次の様な利点を持っている。
（１） 色素の水に対する溶解度が、未処理の染料に
比較して数倍上昇する。第−表にその結果を示す。
比較して数倍上昇する。第−表にその結果を示す。
第１表・溶解度比較
（２） （１）の様に溶解変角上昇することができ、
染浴中の色素濃度を上げることができるため、同一の光
学濃度を得るだめに、染色可能感光性樹脂を薄い膜厚で
染色することができる。第２表にその結果を示す。
染浴中の色素濃度を上げることができるため、同一の光
学濃度を得るだめに、染色可能感光性樹脂を薄い膜厚で
染色することができる。第２表にその結果を示す。
第 ２ 表
この結果から明らかな様に、従来の未処理染料の使用し
た染色に比較して、約５０％の膜厚で同一の光学濃度を
得ることができる。従って、より精密なカラー・フィル
ターを形成することができる○ （３）アルカリ金属を除去しているだめ、染色時に半導
体装置に悪影響を与えるアルカリ金属の汚染がまったく
ない。
た染色に比較して、約５０％の膜厚で同一の光学濃度を
得ることができる。従って、より精密なカラー・フィル
ターを形成することができる○ （３）アルカリ金属を除去しているだめ、染色時に半導
体装置に悪影響を与えるアルカリ金属の汚染がまったく
ない。
次に本発明のさらに詳細な具体例を述べる。
染料中にアルカリ金属の置換に使用する有機塩基として
、トリエチルアミンを用いて行なった。
、トリエチルアミンを用いて行なった。
すなわち、染料水溶液に塩酸を滴下１〜、染料のスルホ
ン酸塩のアルカリ金属をスルホン酸に置換し、水に対す
る溶解度を下げ、色素成分のみを析出させる。この後、
色素成分を性別し、トリエチアミン水溶液に添加し、水
可溶色素を得る。このようにしてアルカリ金属を除去し
た色素を使用して、下記に示す工程によりカラー・フィ
ルターを製造した。
ン酸塩のアルカリ金属をスルホン酸に置換し、水に対す
る溶解度を下げ、色素成分のみを析出させる。この後、
色素成分を性別し、トリエチアミン水溶液に添加し、水
可溶色素を得る。このようにしてアルカリ金属を除去し
た色素を使用して、下記に示す工程によりカラー・フィ
ルターを製造した。
まず、染色可能な感光性樹脂を下記の組成で調合した。
カゼイン １０ｇ
重クロム酸アンモン ０．４！ｊ水
６０ｍ１第４図〜第６図は固
体撮像素子上にカラー・フィルターを形成する工程を示
す断面図である。
６０ｍ１第４図〜第６図は固
体撮像素子上にカラー・フィルターを形成する工程を示
す断面図である。
」二記示す感光性樹脂を、固体撮像素子上に回転塗布機
を用いて均一に感光膜を形成する。
を用いて均一に感光膜を形成する。
次いで、マスク露光により赤色を感じるべき部分である
１色目のパターン部分１０だけを面照度２．０ Ｍ Ｗ
／ｃｒ＆ （波長３５０ ｎ ｍ ） で２０秒間露光
し、水（３６℃）で現像しパターン部分１ｏ以外の感光
性樹脂を除去する。次にパターン部分１ｏを次の染色条
件で染色を行なう。
１色目のパターン部分１０だけを面照度２．０ Ｍ Ｗ
／ｃｒ＆ （波長３５０ ｎ ｍ ） で２０秒間露光
し、水（３６℃）で現像しパターン部分１ｏ以外の感光
性樹脂を除去する。次にパターン部分１ｏを次の染色条
件で染色を行なう。
染色条件
１ 染浴
スミノール・ミリング・スカーレ１．トＧ２ｗｔ％（前
述の処理をしたもの） 酢酸 １ｗｔ％水 ２ 染色温度 ６０℃ ３ 染色時間 ２分 この上部に、透明な中間膜（ポリメチルメタアクリレー
ト）１１を塗布する。第４図がこの状態を示す断面図で
ある。次いで、同様に前記感光性樹脂を均一に塗布しマ
スク露光法で緑色を感じるべき部分で２色目のパター／
部分１２だけを露光し、水（３５℃）で現像しパターン
部分１２以外の感光性樹脂を除去する。次にパターン部
分１２を次の条件で染色を行なう。
述の処理をしたもの） 酢酸 １ｗｔ％水 ２ 染色温度 ６０℃ ３ 染色時間 ２分 この上部に、透明な中間膜（ポリメチルメタアクリレー
ト）１１を塗布する。第４図がこの状態を示す断面図で
ある。次いで、同様に前記感光性樹脂を均一に塗布しマ
スク露光法で緑色を感じるべき部分で２色目のパター／
部分１２だけを露光し、水（３５℃）で現像しパターン
部分１２以外の感光性樹脂を除去する。次にパターン部
分１２を次の条件で染色を行なう。
染色条件
１ 染浴
アシッド・ブリリアント・ミリング・グリーン・Ｂ（前
述の処理をしだもの） ３ｗｔ％酢酸
２ｗｔ％水 ２ 染色温度 ６０℃ ３ 染色時間 ２分 この上部に前述の透明な中間膜１３を塗布する。
述の処理をしだもの） ３ｗｔ％酢酸
２ｗｔ％水 ２ 染色温度 ６０℃ ３ 染色時間 ２分 この上部に前述の透明な中間膜１３を塗布する。
第５図ガンの状態を示す断面図である。さらに、同様に
して前記感光性樹脂を均一に塗布してマスク露光法で青
色を感じるべき部分である３色目のパターン部分１４だ
けを露光し、水（３６℃）で現像し、パターン部分１４
以外を除去する。次にパターン部分１４を次の条件で染
色を行なう。
して前記感光性樹脂を均一に塗布してマスク露光法で青
色を感じるべき部分である３色目のパターン部分１４だ
けを露光し、水（３６℃）で現像し、パターン部分１４
以外を除去する。次にパターン部分１４を次の条件で染
色を行なう。
染色条件
１ 染浴
チバクロラン・ブルー・８Ｇ
（前述の処理をしたもの） ０．５ｗｔ％酢酸
１ｗｔ％染色温度
６０℃ ３ 染色時間 ２分 この上部にトップコート１３を形成する。このようにし
て固体撮像素子上にモザイクのカラー・フィルターを形
成することができる。
１ｗｔ％染色温度
６０℃ ３ 染色時間 ２分 この上部にトップコート１３を形成する。このようにし
て固体撮像素子上にモザイクのカラー・フィルターを形
成することができる。
発明の効果
本発明は、半導体素子に悪影響を与えるアルカリ金属を
除去した色素を使用することにより、固体撮像素子の寿
命を大幅に延ばすことができる。
除去した色素を使用することにより、固体撮像素子の寿
命を大幅に延ばすことができる。
さらに、染浴中の染料濃度上げることにより、短時間で
染色ができ、薄い膜厚で同一の光学濃度を得ることがで
きる。
染色ができ、薄い膜厚で同一の光学濃度を得ることがで
きる。
ｆ、１図、第２図、第３図は、従来のカラーフィルター
製造工程を示す図、第４図、第６図、第６図は本発明の
実施例のカラーフィルター製造工程を示す図である。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・第１色目の
パターン、３・・・・・・中間膜、４・・・・・・第２
色目のパターン、５・・・・・・中間膜、６・・・・・
・第３色目のパターン、７・・・・・・トップコート、
８・・・・・・固体撮像素子の基板、９・・・・・・光
検出物および半導体素子、１０・・・・・・第１色目の
パターン、１１・・・・・・中間膜、１２・・・・・・
第２色目のパターン、１３・・・・・・中間膜、１４・
・・・・・第３色目のパターン、１５自・・・・トップ
コート。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １ 第２図 ／ 第３図 第４図 第５図 第６図 ４５
製造工程を示す図、第４図、第６図、第６図は本発明の
実施例のカラーフィルター製造工程を示す図である。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・第１色目の
パターン、３・・・・・・中間膜、４・・・・・・第２
色目のパターン、５・・・・・・中間膜、６・・・・・
・第３色目のパターン、７・・・・・・トップコート、
８・・・・・・固体撮像素子の基板、９・・・・・・光
検出物および半導体素子、１０・・・・・・第１色目の
パターン、１１・・・・・・中間膜、１２・・・・・・
第２色目のパターン、１３・・・・・・中間膜、１４・
・・・・・第３色目のパターン、１５自・・・・トップ
コート。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １ 第２図 ／ 第３図 第４図 第５図 第６図 ４５
Claims (2)
- （１）基板上に染色可能な感光性樹脂を塗布する工程、
前記工程により形成された塗膜に所定のパターンを露光
し、現像によって所定のパターンの塗膜を得る工程、上
記塗膜を染料が有するアルカリ金属を有機塩基で置換し
てなる色素で染色する工程、水により該染色塗膜を洗浄
する工程および保護膜となる中間膜を塗布する工程、前
記工程と同様に染色可能な感光性樹脂を塗布し、露光、
現像。 染色、水洗、保護膜塗布を繰り返し、順次染色されだ所
定の着色パターンを形成する工程よりなるカラーフィル
ターの製造方法。 - （２）基板として、固体撮像素子を用いることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のカラーフィす ルターの製置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57201474A JPS5990807A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57201474A JPS5990807A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5990807A true JPS5990807A (ja) | 1984-05-25 |
Family
ID=16441675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57201474A Pending JPS5990807A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5990807A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130102A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-23 | Nippon Kayaku Co Ltd | 塗膜の染色法 |
| JPH07271020A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-20 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ブラックマトリックス形成用感光性組成物、カラーフィルター基板及びそれを用いた液晶表示装置 |
-
1982
- 1982-11-16 JP JP57201474A patent/JPS5990807A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130102A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-23 | Nippon Kayaku Co Ltd | 塗膜の染色法 |
| JPH07271020A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-20 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ブラックマトリックス形成用感光性組成物、カラーフィルター基板及びそれを用いた液晶表示装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02127602A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPH06224399A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 | |
| JPH04128703A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| US4355087A (en) | Color imaging device having a color filter array using a metal salt of a long-chain fatty acid as a barrier | |
| JP2001004823A (ja) | カラーフィルター | |
| JPH0343701A (ja) | カラーフィルタの剥離方法 | |
| US4450215A (en) | Color filter elements comprising hexaalkoxymethylmelamine barrier layers | |
| JPS5990807A (ja) | カラ−フイルタ−の製造方法 | |
| JPH0326802B2 (ja) | ||
| JPH06289217A (ja) | カラー固体撮像素子及びその製造方法 | |
| JP2614064B2 (ja) | 固体カラー撮像素子 | |
| JPS63217304A (ja) | 着色パタ−ンの製法 | |
| JPH01130102A (ja) | 塗膜の染色法 | |
| JPS59220706A (ja) | カラ−フイルタ−製造方法 | |
| JPS60114807A (ja) | 微細色フイルタ−作製法 | |
| JPH0214569A (ja) | カラーセンサーの製造方法 | |
| JPH0486801A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPS63220203A (ja) | カラ−フイルタ− | |
| JPS59155412A (ja) | 染色用感光性樹脂 | |
| JPH0256503A (ja) | カラー固体撮像素子用カラーフィルタ | |
| JPH0746612A (ja) | カラー固体撮像装置の製造方法 | |
| JP2001011331A (ja) | 新規フタロシアニン類及びカラーフィルター | |
| JP2956732B2 (ja) | 固体撮像装置カラーフィルターの製造方法 | |
| JP2701896B2 (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPH01279203A (ja) | カラー撮像素子の製造方法 |