JPS5986153A - マイクロ波無電極光源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は新規なマイクロ波発生式電極なし光源（ｔｎ、
ｉｃｒｏｗａｖｅ　ｇｅｎｅｒａｔｅｄ　ｅｌｅｃｔｒ
ｏｄｅＮｓｓｌｉｇｈｔ　５ｏｕｒｃｅｓ　）　、特に
深紫外線フォトリトグラフィー（ｄｅｅｐ　ＵＶ　ｐｈ
ｏｔｏｌｉｔ／ｒ、ｏｇｒａｐｈｙ）の実施に有用なか
かる光源に関する。

深紫外線フォトリトグラフィーにおける露光工程は非常
に輝度があシそしてスペクトルの深紫外部（１９０−２
６０ｎｍ）において相対的に高い・ぐワー（ｐｏｗｅｒ
　）を有する光源の使用を必要とする。現在量も広範に
使用されている光源は、ランプ被包体における２つの電
極間に起こるアーク放電により放射が与えられるキセノ
ン−水銀（ｘｅ−１１ｇ＞アークラングである。

Ｘ　ｅ　−１１ｇランプ及び深紫外線フォトリトグラフ
ィーの実施に試みられた他のアークランプに関する第１
の問題は、深紫外線領域におけるそれらのスイクトルノ
ぞワーが余りにも低過ぎるということである。たとえば
、Ｘｅ−１１ｇランプはそれに入力された電力の２％よ
多少ないものを深紫外における出力放射に転換する。

本発明の目的は、深紫外線における相対的により高いス
ペクトル成分を有する放射を出力するマイクロ波発生式
電極なし光源を提供すること及び深紫外線フォトリトグ
ラフィーの実施に必要とされる輝度水準のかかる放射を
提供することでおる。

マイクロ波発生式光源は先行技術では知られているが、
それらは典型的には、相対的に低い又は中程度の輝度で
あり、この場合に輝度は放射フラックスＡワー／表面積
として定義され、それ故に、高い輝度が必要とされるフ
ォトリトグラフィー又は他の使用へ、の適用に対して適
当ではない。従来は、輝光源を得るのにマイクロ波エネ
ルギーを高いノクワー密度（ｐｏｗｅｒ　ｄｅｎｓｉｔ
ｙ　）で小さなランプ被包体にカップリングさせるだめ
のラング構造は知られていなかった。

故に、本発明の目的は、深紫外線フォトリトグラフィー
に使用するのに好適なマイクロ波発生式電極なしランプ
構造を提供することである。

本発明の他の目的は、相対的に高い輝度水準ｒ（おいて
深紫外線領域における相対的に高いスペクトルパワーを
与える電極なしラング構造を提供することである。

本発明の他の目的は、プラズマ形成性媒体に対するカッ
プリングが相対的に効率が良くそして反射パ＋７−　（
ｒｅｆｌｅｃｔｅｄ　ｐｏｗｅｒ　）対吸収ノ母ワー（
ａｂｓｅｒｂｅｄ　ｐｏｗｅｒ　）　　の比が相対的に
小さい光源を提供することである。

本発明の他の目的は相対的に高い・ぞワー密度で操作す
ることができる電極なしランプを提供することである。

本発明の他の目的は相対的に輝度の高い電極なしランプ
を提供することである。

本発明の他の目的は電極なしラングを冷却するための改
良された方法及び装置を提供することである。

本発明の他の目的は相対的に長い寿命を有する電極なし
ランプを提供することである。

本発明の他の目的は水中にランプを浸漬させることなく
電極なしランプを冷却することである。

本発明に従えば、上記目的は、マイクロ波チャンバと、
該チャンバ内に配置され、使用されるマイクロ波エネル
ギーの波長より実質的に小さい最大寸法を有するプラズ
マ形成性媒体含有ランプ被包体（ｅｎｖｅｌｏｐｅ　）
　　とから成るマイクロ波発生式電極なしランプ構造体
を提供することによシ達成される。チャンバはマイクロ
波エネルギーを被包体にカップリングさせるためのスロ
ットを有する。所望の放射ノぐワーを与えるために、チ
ャン・９の内側は紫外線反射性材料で被覆され、そして
チャンバは、紫外線を実質的に通すがマイクロ波は実質
的に通さない金属網で被覆されている、紫外線放射が出
ることを許容するだめの開口を有する。

小さな被包体に対する所望のカップリングを与えるため
に、チャンバはマイクロ波エネルギーの単一波長におい
て共振近傍（ｎｅａｒ　−ｒｅｓｏｎａｎｔ　）である
ように構成されている。更に、被包体におけるプラズマ
形成性媒体は、１気圧４“ｄ　ＩＫの相対的に低い圧力
で存在する水銀である。少なくともｄｉ −が被包体如カップリングされると、放電の大部分が被
包体の外半径（０υｔｅｒ　？″ｕｄ百）に向けて起こ
るように小さな皮部深さく　ｓｋｉ′ｎｄｅｐｔｈ）が
生じ、相対的に高い輝度水準の相対的に高い深紫外線出
力を生じる。

得られる電極なし光源は深紫外線フォトリトグラフィに
おける使用に好適であシ、そしてこの用途に対する現存
する光源よりすぐれている。故に、好ましい態様におい
ては本発明の光源は、それに入力された電気的エネルギ
ーの約８％を必要な輝度水準のスペクトルの深紫外線部
の出力に転換する。これに対して最も広範に使用されて
いる先行技術のコン／’？クトアークランプ源に対して
は２％しか転換されない。

本発明の他の観点に従えば、高いノソワー密度がカップ
リングされることを許容しそして過熱することなく高い
輝度が達成されそして相対的に長いパルプ寿命を生じる
独特な冷却技術が使用される。

この方法に従えばランプ被包体は１つ又はそれよシ多く
の冷却ガスの流れをそれに向けながら回転せしめられる
。被包体が回転するにつれて、その隣接表面部分は逐次
的に１つ又は複数のその流れの直接の通路に現われ、そ
の結果全表面積は十分に冷却される。この方法を使用し
２て、シリンダ状被包休の平均表面温度は慣用の冷却を
使用して８５０℃から約６５０℃に減じられた。

添付図面を参照し７て本発明を更にＩＩ情明する。

第１図を参照すると、マイクロ波発生式電極なしランプ
２が示されており、そ１７てプヤンパ４及びチャンバ４
内に配置されているランプ被包体６から成ることがわか
る。ランプ被包体６は使用されるマイクロ波エネルギー
の波長より実質的に小さい最大寸法を有し、チャン・９
４はマイクロ波エネルギーを被包体に有効にカップリン
グさせるためのスロット８を有する。マイクロ波エネル
ギーは電源】２により活性化されるマグネｌロア１０に
よシ供給されそしてマグネトロンによシ発生されるマイ
クロ波エネルギーはマイクロ波チャンバにおける長方形
８を通して供給される。ランプがマイクロ波設計要件に
より指令されない形状の紫外線出力を有することが所望
される。この点において、チャンバ４は光学的用途の観
点から望ましい形状を有するように構成される。チャン
バの内側は紫外線反射材料で被覆され、チャンバはラン
プ被包体により放出される紫外線放射がチャンバから抜
は出ることを許容するための開口１８を有する。開口は
紫外線放射を実質的に通すがチャンバ内のマイクロ波エ
ネルギーを実質的に通さない金属の網２０で覆われてい
る。

本発明の他の特徴に従えば、マイクロ波エネルギーをラ
ンプ被包体に有効にカップリングさせるために、チャン
バそれ自体は共振近傍であるがランプが存在しない理想
的チャンバに対して計算される如き共振性（ｒｅｓｏｎ
ａｎｔ　）　　ではないように構成される。共振近傍の
条件は小さな被包体６に最大カップリングをもたらし、
従ってそれから最大光線出力をもたらすことが見出され
た。更にカップリングを最大にするために、チャンバは
多数の波長よりはむしろ単一波長で共振近傍であシ、こ
れはマイクロ波エネルギーが有効に吸収されることを確
実にする。

第１図に示された本発明の好ましい態様においては、被
包体６はマイクロ波チャンバ４と同様に球形であり、そ
して被包体はチャンバの中心に位置づけられている。第
１図に示されたスロット８及び開口１８の相対的位置づ
けは網２０を通る相対的に均一な紫外線出力を与える。

これは重−要である。何故ならば紫外線フォトリトグラ
フィー及び他の用途は均一な放射を必要とするからであ
る。

深紫外線フォトリトグラフィーに必要な輝度水準を与え
るために、慣用の・切−密度水準よシ実質的に高い・ぞ
ワー密度を被包体にカップリングすることが必要である
。同時に、スペクトルの深紫外線部分において相対的に
高い出力を与えることが所望され、そしてこれを達成す
るために、放射が被包体６の内側に向けてよりはむしろ
被包体６の外半径（ｏｕｔｅｒ　ｒａｄｉｉ　）におい
て放出されることが望ましいことが見出された。これに
対する理由は被包体の内側に向けて放出された放射は被
包体壁に達する前にプラズマにより吸収される傾向を有
するということであり、更に深紫外線波長は優先的に吸
収されると考えられる。

外半径において紫外線放射放出を引起こすために、プラ
ズマの皮部深さεは相対的に薄くせしめることが必要で
ある。しかしながら、皮部深さはより薄くなるにつれて
、エネルギーをプラズマにカップリングさせることはま
すます困難となる。

好ましい態様の場合においては水銀であるプラズマ形成
性媒体の圧力を相対的に低く、１気圧乃至２気圧の操作
範囲に調整することに１つ′Ｃ及びイクロ波エネルギー
をカッシリンダさせることにより、必要な輝度水準にお
ける高められた深紫外線スペクトル出力が得られること
が見出された。

第１図に示された本発明の好ましい態様においては、金
属チャンバ２は網２０により覆われている２、８“円形
開口１８を有する３９″直径の球である。網２０はワイ
ヤ中心間に０．０３３“の間隙を有する０、００１７“
直径ワイヤの格子である。

球形ランプ被包体４は内径が　７５　／／でありそして
ｌ１ｃｌ、アルゴンの如き貴ガス及びｎｇｃｔ　を充填
されている。水銀充填は相対的に低い圧力にあり、そし
２て枠作期間中ＨＱは約１−２気圧であシ、アルゴンは
約１００−２００）ルである。適当なＥｇの操作圧力を
得るだめに、液体水銀約２×１０−６ｍ１の容量か製造
期間中パルプに挿入される。

マグネトロンｌＯはｚ４５ｏＪｉｈｚの周波数における
マイクロ波パワー約１５００ワツトを与える。このノ七
ワーの大部分はプラズマにカップリンしる。得られる光
源は約８％のス被りトルの深紫外部における転化効率を
有し、そして約１９０該光源は、カップリングスロット
に入るパワーの大部分が吸収され、少量のみが反射され
るので非常に効率が良く、このことはマグネトロンに対
する好適に長い寿命をもたらす。

好ましい態様が球形被包体及び球形チャンバに関連して
示されだが、他の被包体及びチャンバ形状が本発明の精
神から逸脱することなく可能であることが理解されよう
。非限定的実施例として、第２図はシリンダ形状チャン
バにおいて球形ランプ被包体を使用する態様を示す。図
を参照すると、チャンバ３０はその中におけるマイクロ
波カップリングスロット３２と紫外線放射がチャンバか
ら出ることを許容するための、シリンダ形状表面に直径
方向にスロット３２と対向した網で覆われた開口３４を
有する。ラング被包体３８は単一波長に対し、て共振近
傍であるように寸法づけられているシリンダの幾何学的
中心に位置づけられている。

種々の他の被包体形状が可能であり、そして他のチャン
バ形状の例は楕円体、双曲面、放物面、及び凹角球（ｒ
ｅ−ｅｎｔｒａｎｔ　　５ｐｈｅｒｅｓ　）テある。

更に、マイクロ波チャンバは１つよシ多くのカッ表面を
非常に高温ならしめ、そしてもし十分な冷却が与えられ
ないならば、被包体は溶融しそして破断するであろう。

電極力しランプを冷却するだめの常用の方法は定置ラン
プ被包体上に空気を押しつけ又は引き離すことであり、
そして米国特許第４，０４２，８５０号に示された慣用
の正の強制式％式％ ｔｅｍ）においては、圧縮機からの空気はランプ被包体
上にランプチャンバ内に押し込まれ、−力負ノモしくは
真空型システムにおいては、空気はチャンバからラング
被包体上から抜き取られる。

慣用の冷却システムの限界はヤサキヨシオ氏によシ特公
昭５５−１５４０９７号に記載されており、制された空
気を使用する限界であること、それはよシ高い密度はラ
ング被包体を破断せしめそして輝度の高い光源を達成す
るために、ヤサキ氏はうンプ被包体が操作期間中水に浸
漬されているシステムを提唱している。

本発明に従えば、ラング被包体は、１つ又はそれより多
くの冷却ガスの流れを被包体に向けながら、被包体を通
過する軸線のまわシに回転せしめられる。被包体が回転
せしめられるにつれて、その隣接表面部分は逐次的に１
つ又はそれより多くの流れの直接の通路に現われ、それ
により全表面積が十分に冷却されるという結果と共に、
流れからの最大冷却効果を得る。冷却ガスの流Ｊ１が定
置ラングに向けられている先行技術システノ、に対して
非常に大きい改良をもたらす、。

第１図を参照すると、２ンプ被包体の心＠＃２９を回転
さぜるためのモータ２３が設けられている。

モータシャフト又はその延長部は、マイクロ波エネルギ
ーの逃けに対して有効にシールされているチャンバの開
口を通って延びている。。

網２０は当業者には知られている機械的手段によってチ
ャンバ開口に取付けることができ、そして第１図におい
ては、網はチャンバに取付けられている綱取付はプレー
ト３７に’ｉｆ’；接される。

当業者に知られた種々の機械的手段がモータを心棒２９
にカップリングさせるのに使用することができる。第１
図に示された態様において、その中にガスケット２６を
有するフランツ２１はチャンバ開口に配置されそして、
たとえば、１端でスクリーン旧刊はプレート３７に、そ
してチャンバと並んでいる（αｌｏｎσ５ｉｄｅ　）他
端において支持ロッド又はロッド６０に取付けられるこ
とによって支持されることができる。心棒２９はそのｌ
端にフェルール６１を有し、フェルール６１はシリンダ
形状カッシラー２７にセメント接着する（　ｃｅｍｅｎ
ｔｉｎｇ　）ことによって取付けられ、一方モータシャ
フト２８は、たとえばカップラーの他端において止めね
じによって、取付けられている。

かくして、心棒２９は実質的にはモータシャフト２８の
延長部である。モータは７ランソ２４に取付けられてお
り、これは取付はポスト２２によって７ランソ２１に数
句けられている。ばね２５を設けることができ、そして
所ｖｎの位１１−Ｌに被包体６をねじ調節して位置づけ
る（　５ｃｒｅｖ）−ａｄｊｖ、５ｔｅｄｐｏｓｉｔｉ
ｏｎ　）　　ことができる、。

第３図は心棒２９の長さ方向に垂直にチーヤンパ４の中
心を通って取られた第１図の断面図であり、そして示さ
れた特定態様における冷却ノズ２しの変位を示す。かく
して導管５０．５２及び５４の末端であるノズル４０，
４２．及び４４は・フィクロ波漏洩を防止するようにチ
ャンバ４の開【」の後ろに配置されそしてほぼチャンバ
の中心に向けられている。圧縮空気供給源３８が設けら
れ、そして圧力下の空気が導管に供給されそして回転し
ている被包体６に向けてそれぞれのノズルを通して噴出
される。圧縮空気が説明の目的で記載されているが、窒
素又はヘリウムの如き他の冷却ガスを使用することがで
きる。

被包体が回転するにつれて、その隣接表面部分は冷却ガ
スの流れＫよって直接打ち当たられそして全表面が十分
に冷却される。もし適当であるならば、４個より少ない
か又は多いノズルを使用することができる。第３図に示
された態様において１．７５″直径の球形被包体を使用
して、ノズルのすべては球の中心を通過する面内に位置
づけられる。何故ならば、第１図に示された形状に関し
てはホットスポットがこの面において起こることが決定
されたからである。しかしながら、１，０”球形被包体
が使用されたときには、表面部分７０及び第３図におい
てそれに直径方向に対向した表面部分においてよシ多く
の冷却が必要であることが見出された。故に、ノズル４
０はチャンバ中心面の１側に僅かにずれると共にノズル
４２は他側にイ♂Δかにすれそしてノズル４４及び４６
に対して同様である。

か＜　１．て深紫外放射に冨んでいる効率の良い輝光源
を与えるマイクロ波発生式電極なしランプのだめの種々
の構造が開示された。本発明は深紫外線フォトリトグラ
フィーに対する使用と関連して開示されだが、輝光源が
必要ないかなる場合にもその用途を見出すことができる
ことは認められるべきである。何故ならば充填物は深紫
外線を弱くしたり紫外線又は可視線を強めたりするよう
に変えることができるからである。更に、冷却システム
は球形以外のパルプを冷却するのに使用することができ
る。

従って、本発明の範囲内にある変更が当業者には行なわ
れ得ること及び本発明が’Ｐ：ｊ　ｉｌ’ｌ’　ｉ？ｉ
￥求の範囲及びその均等物によってのみ限定されること
は理解されるべきである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の具体例の図である。 第２図は本発明の第２の具体例の図である。 第３図は本発明の冷却システムの具体例の図である。 図において、２・・・マイクロ波発生式電極なしう／グ
、　　４・・・チャンバ、　　６・・・２ンプ被包体、
８・・・スロット、　　ＩＯ・・・マグネトロン、　　
１２・・・電源、　　１８・・・開口、　　２０・・・
金属網、　　２３・・・モータ、　　２９・・・　ラン
グ被包体の心棒、３０・・・チャンバ、　　３２・・・
マイクロ波カップリングスロット、　　３４・・・網で
覆われた開口、３８・・・ラング被包体、　である。 特許庁長官　イ・Ｔ　杉和　夫　　殿 ３補正をする渚 名称　　フュージヨン・システムス・コーポレーション
（氏　名） ４代　理　人〒１０７ 、−ン

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、実質的輝度で放射するマイクロ波発生式電極なしラ
   ングであって、 マイクロ波チャンバに特定周波数のマイクロ波エネルギ
   ーを入れるだめのスロットを有するマイクロ波チャンバ
   と、 プラズマ形成性媒体を含む該チャンバ内の被包体とを具
   備し、該被包体は該マイクロ波エネルギーの波長よシ実
   質的に小さい最大寸法を有し、該チャンバは該被包体に
   より放出される放射が出ることを許容するための開口を
   有し、そして該開口は該紫外線放射を実質的に通すが該
   マイクロ波エネルギーを実質的に通さない網によシ覆わ
   れている、上記ランプ。 λ　その中に該被包体を持たない該マイクロ波チャンバ
   が共振近傍キャビティである特許請求の範囲第１項記載
   のランプ。 ３、該マイクロ波チャンバが該マイクロ波エネルギーの
   単一の波長において共振近傍である特許請求の範囲第２
   項記載のランプ。 ４、該特定の周波数におけるマイクロ波エネルギーを発
   生するだめの手段と、該発生したマイクロ波エネルギー
   を該スロットにカップリングするための手段とを更に含
   む特許請求の範囲第３項記載のランプ。 ５　該プラズマ形成性媒体を入れる被包体が球形である
   特許請求の範囲第４項記載のランプ。 ６、該マイクロ波チャンバが実質的に球形である特許請
   求の範囲第１項記載のランプ。 ７、該マイクロ波チャンバが実質的に球形である特許請
   求の範囲第５項記載のランプ。 ８．　該マイクロ波チャンバの内側が紫外線放射反射材
   料である特許請求の範囲第７項記載のランプ。 ９、該被包体が該球形チャンバの中心に位置しダ ている時；τ′「請求の範囲第８項記載のランプ。 １０、該スロット及び放射が出ることを許容する、該開
   口が該球形チャンバのまわりに９００だけ相互に変位し
   ている特許請求の範囲ｐ（（４１項記載のランプ。 ｌｘ、Ｈチャンバがシリンダ形状であわ、該シリンダの
   半径が共振近傍寸法である時１ｔ’ｌ’　ｉｉ＋’ｌ求
   の範囲第４項記載のラング。 １２、被包体が該シリンダ形状チーＶンバの幾何学的中
   心に位置している特許請求の範囲第１１項記載のランプ
   。 １３、Ｂスロット及び放射が出ることを許容する該開口
   がシリンダ形チャンバの曲がった壁に相互に直径方向に
   対向して位置しており、該被包体はその間に位置してい
   る特許請求の範囲第１２項記載のランプ。 １４、ｉ紫外線出力に相対的に富んでおシ、該被包体が
   操作期間中はに’ｌ、　を気圧乃至２気圧の圧力で水銀
   ケ含み、そして２５０ワツ）　／　ｃｒＡを越える・ぐ
   ワー密度のマイクロ波エネルギーが該被包体にカンプリ
   ングされ、それによって該被包体の半径の半分より小さ
   い皮部深さが生じそして深紫外線放射は被包体の外半径
   において放出される特許請求の範囲第１項記載のランプ
   。 １５　操作期間中非常に高温になるランプ被包体を有す
   る電極なしラング０を冷却する方法であって、 少なくとも１つの圧力下の冷却ガスの流れを与えること
   と、 該少なくとも１つの冷却ガスの流れを該ランプ被包体に
   向けることと、 該被包体を通過する軸線のまわシに該ランプ被包体を回
   転ぜしめて、該軸線のまわりの該被包体の表面部分が該
   少なくとも１つのガスの流れＫよシ冷却されるようＫす
   ることを含む方法。 １６、該軸線は該被包体の中心を通過する特許請求の範
   囲第１５項記載の方法。 １７、　　該少なくともガスのｂ１コれははｔｌ：該被
   包体の中心に向けられている特許、ｉ〜求の範囲第１６
   項記載の方法。 ］　１（該電極なしランプはマイクロ波発式プラズマラ
   ンプより成る特許請求の範囲第１５項記載の方法。 １９、　　操作期間中非常に高温になるう／プ被包休を
   有する電極なしランプを冷却するための装置であって、 少なくとも１つの圧力下の冷却ガスの流れを与える手段
   と、 該少なくとも１つの冷却ガスの流れを該被包体に向ける
   ための手段と、 該被包体を通過する軸線のまわりに該ランプ被包体を回
   転させて該軸線のまわりの該被包体の表面部分が該少な
   くとも１つのガスの流れにより冷却されるようにする手
   段とを具備する装置。 ２０、該軸線が該被包体の中心を通過する特許請求の範
   囲第１９項記載の装置。 ２１、少なくとも１つの冷却ガスの流れを向けるだめの
   該手段が該少なくとも１つの流れを該被包体のは＃コニ
   中心に向ける特許請求の範囲第２０項記載の装置。 ２ｚ　該ランプはマイクロ波発生式グラズマラングより
   成る特許請求の範囲第１８項記載の装置。 ２３、該ランプ被包体は伝導性チャンバ内に配随され、
   そして該少なくとも１つの冷却ガスの流れを向けるため
   の手段が該チャン・々の開口に配置されている少なくと
   も１つのノズル手段より成る特許請求の範囲第２２項記
   載の装置。 ２４、該被包体中のプラズマの存在によシ被包体に操作
   期間中１つ又はそれよシ多くの高温スポットを発生せし
   め、そして該ノズル手段の該少なくとも１つは該被包体
   の回転期間中、該高温スポットがある区域に向けられる
   ように配置されている特許請求の範囲第２３項記載の装
   置。 ２５　該ランプ被包体及び該チャンバが球形である特許
   請求の範囲第１５又は２２項記載の装置。 ２６、該球形チャンバはマイクロ波エネルギーをカップ
   リングするためのスロットを含み、該被包体は該スロッ
   トを通過する軸線の甘わシに回転せしめられ、該ノズル
   手段の少なくとも１つは該軸線に対［７て垂直で該被包
   体の中心を通過する面内に位置している特許請求の範囲
   第２５項記載の装置。 ２７、該少なくとも１）のノズル手段は該面内に配置さ
   れそして該球形チャンバ上に実質的に相互に間隔を置い
   て配置された４個のノズル手段より成る特許請求の範囲
   第２６項記載の装置。 ２８、該チャンバは該被包体により放出される紫外線放
   射が逃げることを許容するだめの開口を有し、そして核
   間は該開口の中心を通過する特許請求の範囲第２７項記
   載の装置。 ２９　回転させるための該手段が電動機よシ成る特許請
   求の範囲第２２項記載の装置。 ３０、　　回転させるための該手段がシャフト並びにｌ
   端でモータシャフトに接続されそして他端でランプ被包
   体に接続された心棒を有する電動機より成る特許請求の
   範囲第２８項記載の装置。 ３１、該モータシャフトは該カップリングスロットから
   該球形チャンバを直接横切って配置されている特許請求
   の範囲第３０項記載の装置。