JPS60124347A - 無電極ランプを冷却する装置 - Google Patents
無電極ランプを冷却する装置Info
- Publication number
- JPS60124347A JPS60124347A JP58229730A JP22973083A JPS60124347A JP S60124347 A JPS60124347 A JP S60124347A JP 58229730 A JP58229730 A JP 58229730A JP 22973083 A JP22973083 A JP 22973083A JP S60124347 A JPS60124347 A JP S60124347A
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- Japan
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- envelope
- cooling gas
- lamp
- cooling
- flow
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- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、無電極ランプを冷却する方法及び装置に関す
る。
る。
本発明に関連する無電極ランプは、プラズマ形成媒体を
含むランプ被包体（ｅｎｖｅｌｏｐｅ）を一般に具備す
るものである。このランプを作動させるために、被包体
内の媒体は、マイクロウェーブ、Ｒ，Ｆ、、その他の電
磁エネルギによって、振起され、これによって、プラズ
マを生成し、これが、紫外線、可視線又はスペクトルの
赤外部の放射線を放出する。今日のこのような無電極ラ
ンプの有用な使用目的は、光重合反応又は写真平版のイ
ンク又は被覆の硬化にある。
含むランプ被包体（ｅｎｖｅｌｏｐｅ）を一般に具備す
るものである。このランプを作動させるために、被包体
内の媒体は、マイクロウェーブ、Ｒ，Ｆ、、その他の電
磁エネルギによって、振起され、これによって、プラズ
マを生成し、これが、紫外線、可視線又はスペクトルの
赤外部の放射線を放出する。今日のこのような無電極ラ
ンプの有用な使用目的は、光重合反応又は写真平版のイ
ンク又は被覆の硬化にある。
無電極ランプなよ作動中に被包体にかなシの量の熱を云
えることが知られておシ、そして、冷却されるランプ被
包体の有効性が、ランプ全体の特性の制限要素であると
いうことが見出された。従って、ランプによって放射さ
れるエネルギに供なう輝度が、ランプ披包体内のマイク
ロウェーブ又は他エネルギのパワー密度により増大する
が、ノ＜ワー密度が増大するに従って、被包体の温度が
高くなり、適切に冷却しないと被包体が溶融する温度に
なる。従って、ランプによって得られる輝度は、結局、
冷却の関数である。また、ランプが所定の被包体温度で
満足に作動している場合、被包体の冷却は、史に、パル
プの寿命を実質的に長くする効果を有する。
えることが知られておシ、そして、冷却されるランプ被
包体の有効性が、ランプ全体の特性の制限要素であると
いうことが見出された。従って、ランプによって放射さ
れるエネルギに供なう輝度が、ランプ披包体内のマイク
ロウェーブ又は他エネルギのパワー密度により増大する
が、ノ＜ワー密度が増大するに従って、被包体の温度が
高くなり、適切に冷却しないと被包体が溶融する温度に
なる。従って、ランプによって得られる輝度は、結局、
冷却の関数である。また、ランプが所定の被包体温度で
満足に作動している場合、被包体の冷却は、史に、パル
プの寿命を実質的に長くする効果を有する。
無電極ランプを冷却するだめの従来の技術は、定置ラン
プ被包体を覆って空気を出し又は吸入す従来の強制的空
気システムにおいては、圧縮機からの空気が、ランプ被
包体を覆うランプチャンバ内に押し込められ、一方、負
即ち真空型システムにおいては、ランプ被包体の囲シの
チャンバから空気が吸引される。
プ被包体を覆って空気を出し又は吸入す従来の強制的空
気システムにおいては、圧縮機からの空気が、ランプ被
包体を覆うランプチャンバ内に押し込められ、一方、負
即ち真空型システムにおいては、ランプ被包体の囲シの
チャンバから空気が吸引される。
従来の強制空気システムによる冷却は全く制限的であり
、これはランプを作動できるパワー密度を制限し、とれ
によって、ランプの輝度も制限する。従来の冷却システ
ムの制限は、ヨシオヤサキ氏の特公昭５５−１５４０９
７に説明されておシ、これによると、１００ワツト／ｃ
ｍ ’のパワー密度が強制空気を使用した場合の制限で
あり、これは、より高い密度では、ランプ被包体を破壊
してしまうことにより、そして、よシ輝度の高い源を得
るために、ヤザキ氏はランプを作動中に水中に入れるこ
とを提案している。
、これはランプを作動できるパワー密度を制限し、とれ
によって、ランプの輝度も制限する。従来の冷却システ
ムの制限は、ヨシオヤサキ氏の特公昭５５−１５４０９
７に説明されておシ、これによると、１００ワツト／ｃ
ｍ ’のパワー密度が強制空気を使用した場合の制限で
あり、これは、より高い密度では、ランプ被包体を破壊
してしまうことにより、そして、よシ輝度の高い源を得
るために、ヤザキ氏はランプを作動中に水中に入れるこ
とを提案している。
ンプの冷却方法及び装置を提供することである。
本発明の他の目的は、比較的高パワー密度で作動し得る
無電極ランプを提供することである。
無電極ランプを提供することである。
本発明の他の目的は、比較的輝度の高い無電極ランプを
提供することである。
提供することである。
本発明の他の目的は、比較的長寿命の無電極ランプを提
供することである。
供することである。
本発明の他の目的は、ランプを水に浸す必要のない無電
極ランプを冷却することに関する。
極ランプを冷却することに関する。
本発明によると、上記した目的が、ランプ被覆体と冷却
ガスの流れとの間に相対的な回転を与えることによって
達成される。回転運動が生ずる際に、被包体の表面部分
に隣接して、連続的に、流れ（単数は初数）の路が、直
接的に表われ、これによって、全表面領域が適切に冷却
される。との技術を使用することによって、円筒状被包
体の平均表面温度が、従袈の冷却を使用した場合の８５
０℃から約６５０℃に下がる。
ガスの流れとの間に相対的な回転を与えることによって
達成される。回転運動が生ずる際に、被包体の表面部分
に隣接して、連続的に、流れ（単数は初数）の路が、直
接的に表われ、これによって、全表面領域が適切に冷却
される。との技術を使用することによって、円筒状被包
体の平均表面温度が、従袈の冷却を使用した場合の８５
０℃から約６５０℃に下がる。
特Ｖ（、冷却ガスの流れをパルプの回シに回転でき、又
は完全な回転することなしに振動せしめることができる
。更に、他の具体例においては、ガスの流れ及びバルブ
被包体の双方が回転せしめられる。
は完全な回転することなしに振動せしめることができる
。更に、他の具体例においては、ガスの流れ及びバルブ
被包体の双方が回転せしめられる。
次に、添付図面を参照して、本発明の好適具体例を説明
する。
する。
第１図を参照して説明すると、無電極光源２で発生した
マイクロ波が示されている。
マイクロ波が示されている。
光源２は球形ランプ被包体６と被包体が配置されている
球形マイクロ波チャンバー４とを含んでいる。ランプ被
包体は典型的には石英で作られておシ、一方チャンパー
は銅又はアルミニウムの如き導体材料で作られておυ、
そして被包体はフランジ９によシチャンバーに確実にと
められている取（１Ｊけステム８によシチャンバーの中
心に保持されている。チャンバー４は光を放出するだめ
の円形の開孔１０を有しており、これはマイクロ波エネ
ルギーをチャンバー内に有効に保持し、一方うンプ破包
体６により放出された紫外線光を逃がすことができる伝
導性のメツシュ１２でカバーされている。図示の特定の
光源は球形のマイクロ波チャンバーを使用しているが、
このようなチャンバーは種々の形状であることができる
。
球形マイクロ波チャンバー４とを含んでいる。ランプ被
包体は典型的には石英で作られておシ、一方チャンパー
は銅又はアルミニウムの如き導体材料で作られておυ、
そして被包体はフランジ９によシチャンバーに確実にと
められている取（１Ｊけステム８によシチャンバーの中
心に保持されている。チャンバー４は光を放出するだめ
の円形の開孔１０を有しており、これはマイクロ波エネ
ルギーをチャンバー内に有効に保持し、一方うンプ破包
体６により放出された紫外線光を逃がすことができる伝
導性のメツシュ１２でカバーされている。図示の特定の
光源は球形のマイクロ波チャンバーを使用しているが、
このようなチャンバーは種々の形状であることができる
。
ランプ被包体６はプラズマ形成媒体、例えば貴ガス中の
水銀で満たされている。マイクロ波エネルギーにより励
起されると、この媒体は紫外線を放出するホットプラズ
マとなる。マイクロ波エネルギーは電源１６により電力
を供給されるマグネトロン１４によシ供給される。マグ
ネトロンによシ放出されたマイクロ波エネルギーは矩形
の導波’Ｉｇ ｉ、Ｉｓ分２０によシチャンパー４に結
合され、そしイ〃；春ｌｒｌ’ ｌｉｌ ＝ｔｑ ２
Ｊ ７°９９ Ｖ ｒ ｈ ｈｋ：？；５イに弐り入−
チャンバー４はマイクロ波エネルギーをチャンバー内に
入れ、そして被包体６内にプラズマを励起するためその
中に矩形状のスロット２４を有している。
水銀で満たされている。マイクロ波エネルギーにより励
起されると、この媒体は紫外線を放出するホットプラズ
マとなる。マイクロ波エネルギーは電源１６により電力
を供給されるマグネトロン１４によシ供給される。マグ
ネトロンによシ放出されたマイクロ波エネルギーは矩形
の導波’Ｉｇ ｉ、Ｉｓ分２０によシチャンパー４に結
合され、そしイ〃；春ｌｒｌ’ ｌｉｌ ＝ｔｑ ２
Ｊ ７°９９ Ｖ ｒ ｈ ｈｋ：？；５イに弐り入−
チャンバー４はマイクロ波エネルギーをチャンバー内に
入れ、そして被包体６内にプラズマを励起するためその
中に矩形状のスロット２４を有している。
第１図に示されたランプに対して必要な輝度をクロ波エ
ネルギーは被包体６内の媒体に結合されなければならな
い。
ネルギーは被包体６内の媒体に結合されなければならな
い。
上述の如く、これは被包体を極端に高温にならしめ、若
しも適切々冷却が与えられなければ、被包体は溶解し、
そして最終的に破損する。これは正確には、第１図に示
されたランプが先行技術の従来の強制空気システムによ
り冷却された時の結果であった。
しも適切々冷却が与えられなければ、被包体は溶解し、
そして最終的に破損する。これは正確には、第１図に示
されたランプが先行技術の従来の強制空気システムによ
り冷却された時の結果であった。
本発明の冷却方法及び装置によれば、冷却ガスの流れは
う／プ被包体の周りに回転される。回転が生ずると、被
包体の隣接する表面部分が順次流れ又は４Ｍ 数の流れ
の直接径路に現われ、そしてこれにより流れから最大の
冷却効果を受け、この結果、全表面積が適切に冷却され
る。先行技術のシステムに優る大きな改良を生ずる結果
となシ、冷却ガスの定宿流れが定置ランプに向けられる
。
う／プ被包体の周りに回転される。回転が生ずると、被
包体の隣接する表面部分が順次流れ又は４Ｍ 数の流れ
の直接径路に現われ、そしてこれにより流れから最大の
冷却効果を受け、この結果、全表面積が適切に冷却され
る。先行技術のシステムに優る大きな改良を生ずる結果
となシ、冷却ガスの定宿流れが定置ランプに向けられる
。
第２図及び第３図は本発明の改良された冷却システムの
実施態様の概略図である。
実施態様の概略図である。
第２図を参照して説明すると、球形ランプ被包体３０を
有している無電極ランプが示されている。
有している無電極ランプが示されている。
被包体は他端が固定部材３４に確実にとめられているス
テム３２に確実（Ｃとめられている。ランプ被包体は放
物線の反射鏡３６及び平らなメツシュ３８を含むマイク
ロ波チャンバー内に配置されている。反射鏡３６はその
中にスロット４０を有しておシ、そしてマグネトロン４
２からのマイクロ波エネルギーは導波管４４及びスロッ
ト４０を通りマイクロ波チャンバーの内部へ送られる。
テム３２に確実（Ｃとめられている。ランプ被包体は放
物線の反射鏡３６及び平らなメツシュ３８を含むマイク
ロ波チャンバー内に配置されている。反射鏡３６はその
中にスロット４０を有しておシ、そしてマグネトロン４
２からのマイクロ波エネルギーは導波管４４及びスロッ
ト４０を通りマイクロ波チャンバーの内部へ送られる。
ランプ被包体３０を冷却するため、組立体４４が設けら
れている。組立体４４は駆動モータ４６を含み、その軸
が駆動歯車４８葡回転する。駆動歯車４８がアイドル歯
車５０を回転し、これが更に駆動歯車５２を回転する。
れている。組立体４４は駆動モータ４６を含み、その軸
が駆動歯車４８葡回転する。駆動歯車４８がアイドル歯
車５０を回転し、これが更に駆動歯車５２を回転する。
回転部分５４と定置部分５６とを含む回転シールが設け
られている。固定マニホールド５８が定置シール部分５
６に配置されており、そして冷却ガスが圧力下で固定マ
ニホールドへ送られる。第２図に示された組立体は横断
面におけるものであり、そして回転シール及びマニホー
ルドの幾何学的形状は円筒形である。
られている。固定マニホールド５８が定置シール部分５
６に配置されており、そして冷却ガスが圧力下で固定マ
ニホールドへ送られる。第２図に示された組立体は横断
面におけるものであり、そして回転シール及びマニホー
ルドの幾何学的形状は円筒形である。
回転冷却流体導管６０及び６２が設けられており、そし
て各々はこれと関連している６４及び６６の如き複数の
ノズルを有しておシ、これ等のノズルはランプ被包体の
方に向けられている。導管は回転シールの回転部分内に
ある終端部分６８及び７０で終っている。シール部分５
４が回転すると、それが導管６０及び６２を回転し、一
方冷却流体は、終端部分６８及び７０がそれ等が回転す
るときマニホールド５８から流体を供給されつづけると
き、回転中に連続的に導管へ供給される。
て各々はこれと関連している６４及び６６の如き複数の
ノズルを有しておシ、これ等のノズルはランプ被包体の
方に向けられている。導管は回転シールの回転部分内に
ある終端部分６８及び７０で終っている。シール部分５
４が回転すると、それが導管６０及び６２を回転し、一
方冷却流体は、終端部分６８及び７０がそれ等が回転す
るときマニホールド５８から流体を供給されつづけると
き、回転中に連続的に導管へ供給される。
０−リング７２及び７４は外部からの流体通路をシール
するのに役立っている。実際の実施態様では２１状上の
冷却流体導管を含むことができ、例えば４つの流体導管
によシより大きな冷却作用が得られる。
するのに役立っている。実際の実施態様では２１状上の
冷却流体導管を含むことができ、例えば４つの流体導管
によシより大きな冷却作用が得られる。
第２図に示された態様においては、流体導管は最大冷却
効果を達成するように相対的に速い速度で回転されるで
あろう。導管は被包体のまわシに完全には回転される必
要はないが、一定の位置のまわりに振動させられる（ｏ
ｓｃｉ ｌ１ａｔｅｄ）ことができることは理解されよ
う。定置冷却ノズルは光ＭＡ ｎａ −１−＋ ／ １
Ｆ ＋Ｌ ４ ＋＋＋’＋ ＋Ｉｌ ａ ’＋ ｌｚ
６＆ ｌ −ｒ隅Ｎ’ｌＪ−々・Ｊ−１−Ｌい陰影（ｓ
ｈａｄｏｗ） を投げかける効果を及はすことかある。
効果を達成するように相対的に速い速度で回転されるで
あろう。導管は被包体のまわシに完全には回転される必
要はないが、一定の位置のまわりに振動させられる（ｏ
ｓｃｉ ｌ１ａｔｅｄ）ことができることは理解されよ
う。定置冷却ノズルは光ＭＡ ｎａ −１−＋ ／ １
Ｆ ＋Ｌ ４ ＋＋＋’＋ ＋Ｉｌ ａ ’＋ ｌｚ
６＆ ｌ −ｒ隅Ｎ’ｌＪ−々・Ｊ−１−Ｌい陰影（ｓ
ｈａｄｏｗ） を投げかける効果を及はすことかある。
本発明における如くノズルを回転させることは、優れた
冷却を与えることの他に、ノズルによる陰影膜げかけを
ならしくｅｕｅｎｉｎｇ ｏｕｔ）、その欠点をはるか
に少なくする効果を有する。
冷却を与えることの他に、ノズルによる陰影膜げかけを
ならしくｅｕｅｎｉｎｇ ｏｕｔ）、その欠点をはるか
に少なくする効果を有する。
第３図に示された態様は、ランプ被包体及び流体ノズル
の両方が回転することを除いて第２図の態様に同じであ
る。かくして、第３図においては、ランプ被包体３０’
のステム３２′けモータシャフト８０により回転される
。この態様はノズルが相対的に遅い速度で回転しながら
、ランプ被包体は相対的に速い速度で回転するように構
成することができる。
の両方が回転することを除いて第２図の態様に同じであ
る。かくして、第３図においては、ランプ被包体３０’
のステム３２′けモータシャフト８０により回転される
。この態様はノズルが相対的に遅い速度で回転しながら
、ランプ被包体は相対的に速い速度で回転するように構
成することができる。
本発明は特定の無電極ランプを例示する好ましい態様に
関して開示されているけれども、円筒形、ドーナツ形（
ｔｏｒｏｉｄａｌ）、及び他の形状の被包体を包含する
すべてのタイプの無電極ランプを冷却するのに使用でき
ることはｉ３められるべきである。
関して開示されているけれども、円筒形、ドーナツ形（
ｔｏｒｏｉｄａｌ）、及び他の形状の被包体を包含する
すべてのタイプの無電極ランプを冷却するのに使用でき
ることはｉ３められるべきである。
更に、本発明の範囲内に入る多くの変更が当業者によシ
行なわれることができ、そして本発明の範囲は特許請求
の範囲及びその均等物によってのみ限定されることは理
解されるべきである。
行なわれることができ、そして本発明の範囲は特許請求
の範囲及びその均等物によってのみ限定されることは理
解されるべきである。
第１図は、本発明の方法及び装置によって冷却されるべ
き無電極ランプの簡略図。 第２図及び第３図は、本発明の具体例の簡略図。 ２・・・・光源 ６・・・・ランプ被包体 １２・・・・導通メツシュ １６・・・・電力源 ４２・・・・マグネトロン 】０１・・・・冷却空気入口 １０２・・・・回転密封部 １０３・・・・光学的放射 １０４・・・・固定マニホルド ％許出ａ人 フュージョン会システムズ・コーポレーシ
ョン 手続補正書（力式） 昭和４＋ ９年１ 月３１日 特許片長′自 −６杉 シ：ｊ 夫 殿１、事件の表示 ←ＩＱ！ｈ、ｆｌｉｔ ５８−２２９７３０−Ｌ７２、
発明の名称 無屯使う／プのｔ′ｄか］方ｔん及び装置ｒｔ３、補正
をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 フユーヅヨ７・ンヌデムズ・コーポレーション
（氏 名） ４代 理 人〒１０７
き無電極ランプの簡略図。 第２図及び第３図は、本発明の具体例の簡略図。 ２・・・・光源 ６・・・・ランプ被包体 １２・・・・導通メツシュ １６・・・・電力源 ４２・・・・マグネトロン 】０１・・・・冷却空気入口 １０２・・・・回転密封部 １０３・・・・光学的放射 １０４・・・・固定マニホルド ％許出ａ人 フュージョン会システムズ・コーポレーシ
ョン 手続補正書（力式） 昭和４＋ ９年１ 月３１日 特許片長′自 −６杉 シ：ｊ 夫 殿１、事件の表示 ←ＩＱ！ｈ、ｆｌｉｔ ５８−２２９７３０−Ｌ７２、
発明の名称 無屯使う／プのｔ′ｄか］方ｔん及び装置ｒｔ３、補正
をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 フユーヅヨ７・ンヌデムズ・コーポレーション
（氏 名） ４代 理 人〒１０７
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、操作期間中極端に熱くなるランプ被包体を有する無
電極ランプを冷却する方法であって、圧力下の冷却ガス
の少なくとも１つの流れを形成し、 該少なくとも１つの冷却ガスの流れを該ランプ被包体に
向け、そして 該ランプ被包体と該少なくとも１つの冷却ガスの流れと
の間に相対的回転運動を与える工程よシ成る方法。 ２、該相対的回転運動が該少なくとも１つの冷却ガスの
流れを完全に該被包体のまわシに回転させることを含む
特許請求の範囲第１項記載の方３、該相対的回転運動が
該少なくとも１つの冷却ガスの流れを１つの方法におい
て不完全に、次いで反対方向において不完全に該被包体
のまわりに回転させて、該少なくとも１つの流れが所定
の位置のまわシに振動するよう−にすることを含む特許
請求の範囲第１項記載の方法。 ４、該無電極ランプがマイクロ波発生式プラズマランプ
よシ成る特許請求の範囲第１又は２項記載の方法。 ５、操作期間中極端に熱くなるランプ被包体を有する無
電極ランプを冷却する装置であって、圧力下の冷却ガス
の少なくとも１つの流れを与える手段と、 該少なくとも１つの冷却ガスの流れを該被包体に向ける
だめの手段と、 該ランプ被包体と該少なくとも１つの冷却ガスハ苓アし
／７−１１Ｌ’ｌ Ｉｒ姻肘品ＩＦｉｌ ムｊＪ ｕｉ
ｈ ルＬ ４ス壬のＬシ具備する装置。 ６．相対的回転運動を与えるための前記手段が、該受な
くとも１つの冷却ガスの流れを該被包体のまわりに不完
全に回転させる手段を含む特許請求の範囲第５項記載の
装置。 ７、相対的回転運動を与える前記手段が、該受なくとも
１つの冷却ガスの流れを１つの方向において不完全に次
いで反対方向において不完全に該被包体のまわりに回転
させて少なくとも１つのガスの流れが所定の位置のまわ
シに振動するようにする手段を含む特許請求の範囲第５
項記載の装置。 ８、該相対的回転運動を与える手段が該ランプ被包体及
び該受なくとも１つの冷却ガスの流れの両方に対して回
転運動を与える手段を含む特許請求の範囲第５項記載の
装置。 ９、相対的回転運動を与える該手段が、定置部分と可動
部分から成る回転密封手段を含み、冷却ガス供給手段が
該定置部分に接続されており、該冷却ガスを向けるだめ
の手段が核可動部分に接続されている特許請求の範囲第
５項記載の装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58229730A JPS60124347A (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 無電極ランプを冷却する装置 |
| US06/674,631 US4695757A (en) | 1982-05-24 | 1984-11-26 | Method and apparatus for cooling electrodeless lamps |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58229730A JPS60124347A (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 無電極ランプを冷却する装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60124347A true JPS60124347A (ja) | 1985-07-03 |
| JPH0226343B2 JPH0226343B2 (ja) | 1990-06-08 |
Family
ID=16896789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58229730A Granted JPS60124347A (ja) | 1982-05-24 | 1983-12-05 | 無電極ランプを冷却する装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60124347A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62294439A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-21 | Japan Storage Battery Co Ltd | 高出力紫外線ランプの冷却方法 |
| JPS62294438A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-21 | Japan Storage Battery Co Ltd | 高出力紫外線ランプの冷却方法 |
| JPS6484503A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-29 | Fusion Systems Corp | Lamp rotator |
| JPH01217891A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-31 | Orc Mfg Co Ltd | 環状の無電極放電光源装置およびその点灯方法 |
| JP2000106147A (ja) * | 1998-09-29 | 2000-04-11 | Orc Mfg Co Ltd | 気体冷却式誘電体バリア放電ランプ |
| JP2005532667A (ja) * | 2002-07-11 | 2005-10-27 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 冷却手段を有する放電ランプ |
| JP2021509465A (ja) * | 2018-04-20 | 2021-03-25 | ケーニッヒ ウント バウアー アー・ゲーＫｏｅｎｉｇ ＆ Ｂａｕｅｒ ＡＧ | 放射乾燥機を備える処理機械およびこの乾燥機を運転する方法 |
Citations (1)
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| JPS58196023A (ja) * | 1982-03-29 | 1983-11-15 | フユ−ジヨン・システムズ・コ−ポレ−シヨン | 深紫外線フオトリトグラフイ−を達成する方法及び装置 |
-
1983
- 1983-12-05 JP JP58229730A patent/JPS60124347A/ja active Granted
Patent Citations (1)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0226343B2 (ja) | 1990-06-08 |
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