JPH0349102A - マイクロ波無電極光源装置用のランプ冷却装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 援４発見 本発明は、マイクロ波無電極光源装置に関するものであ
って、更に詳細には、マイクロ波無電極光源装置のラン
プ冷却装置に関するものである。

炙釆皮先 遠紫外線フォトリングラフィにおける露光工程は非常に
輝度が高く、且つ遠紫外線領域（１９０−２６０ｎｍ）
において相対的に高いパワーを有する光源を使用するこ
とが必要である。現在最も広範に使用されている光源は
、ランプ被包体内の２つの電極間に発生するアーク放電
により放射が発生されるキセノン−水銀（Ｘｅ−Ｈｇ）
アークランプである。

Ｘ　ｅ　−Ｈｇアークランプ及び遠紫外線フォトリング
ラフィにおいて試みられたその他のアークランプに関す
る第１の問題は、遠紫外線領域におけるスペクトルパワ
ーがあまりにも低すぎるということである。例えば、Ｘ
ｅ−Ｈｇアークランプは。

入力されたパワーの２％以下を遠紫外線に変換するに過
ぎない。

マイクロ波無電極光源装置は従来公知であるが、従来装
置は９典型的に、その輝度が相対的に低いか又は中程度
のものである。この場合に、輝度は。

放射束パワー／表面積として定義される。従って、従来
装置は、高い輝度が必要とされるフォトリソグラフィ又
は他の用途への適用に対しては適当ではない。従来、高
い輝度の光源を得るために、マイクロ波エネルギを高い
パワー密度で小さなランプ被包体に結合させるための無
電極光源装置は提供されていない。

マイクロ波無電極光源装置においては、高エネルギのマ
イクロ波をランプ被包体に結合させるので、通常石英か
ら形成されるランプ被包体は非常に高温となる。特に、
マイクロ波無電極光源装置においては、ランプ被包体の
内部に形成されるプラズマの中心部ではなく、ランプ被
包体表面に接触するプラズマ部分（所謂、皮殻深さ）に
おいてマイクロを吸収し発光を行う。従って、ランプ被
包体自身が比較的高温となる本質的特性を有している。

然し乍ら、この様にランプ被包体自身が高温となるので
、何等かの理由により温度分布が発生し、顕著な熱応力
分布が発生すると、ランプ被包体が破裂することがある
。マイクロ波無電極光源装置は、フォトリソグラフィそ
の他の種々の画像装置に適用されるものであり、この様
にランプ被包体が破裂すると１画像操作が停止されるの
みならず、オペレータに破片が飛来して障害を発生する
危険性がある。

■−煎 本発明は１以上の点に鑑みなされたものであって、上述
した如き従来技術の欠点を解消し、ランプ被包体を実質
的に一様に冷却することが可能であり、且つランプ被包
体の破裂を防止することの可能なマイクロ波無電極光源
装置のランプ冷却装置を提供することを目的とする。

盪−履 本発明によれば、マイクロ波を吸収して紫外線等の所望
の波長領域の光を照射することの可能な物質を封入した
ランプ被包体と、該ランプ被包体へ向けて冷却ガスを放
出させることの可能な冷却ガス放出手段と、該ランプ被
包体を所定の回転軸の周りに回転させる回転手段とを有
するマイクロ波無電極光源装置が提供される。

好適実施形態においては、冷却ガス放出手段は少なくと
も１個のノズルを有しており、該ノズルは静止状態に配
設されておりランプ被包体へ向けて冷却ガスの流れを放
出する。より好適には、冷却ガス放出手段は、複数個の
ノズルを有しており、これら複数個のノズルはランプ被
包体の周りに互いに離隔して配設されており、夫々のノ
ズルは夫々の位置からランプ被包体へ向けて冷却ガスを
放出する。１実施形態においては、ランプ被包体は球形
であり、マイクロ波空胴内部に配置されている。マイク
ロ波空胴は、マイクロ波を内部に導入するためのスロッ
トが形成されると共に、ランプ被包体から射出された光
を外部へ取り出すための開口が形成されている。この開
口は、光を透過させるがマイクロ波を透過させることの
ない網で被覆されている。マイクロ波空胴には、各ノズ
ルに対応してノズルから流出する冷却ガスの流れをマイ
クロ波空胴内に配設されているランプ被包体へ指向させ
るために、貫通孔が穿設されている。従って、ノズルは
マイクロ波空胴の外部に固定して配置されている。

１実施例においては１回転手段は、ランプ被包体を一端
に固定した心棒と、モータと、該心棒の他端を該モータ
の回転軸に作動連結する連結手段とを有している。従っ
て、モータを駆動回転させることにより、ランプ被包体
を所定の方向に回転させることが可能である。このよう
に、ノズルをマイクロ波空胴の外部に固定的に配設した
としても、ランプ被包体を回転させることにより、高温
状態となるランプ被包体の表面を満遍無く常時コンスタ
ントに冷却ガスが吹き付けられ、従ってランプ被包体は
動作中室に一定の冷却効果を受けることが可能である。

従って、ランプ被包体の発光動作は一様性が向上される
と共に安定化され、且つランプ被包体上の温度分布を常
に一定に維持することが可能となるので、熱応力分布も
一定となり、ランプ被包体が変形したり破裂したりする
欠点を解消することが可能となる。

失態■ 以下、添付の図面を参考に１本発明の具体的実施の態様
について詳細に説明する。

第１図を参照すると、本発明の１実施例に基づいて構成
されたマイクロ波無電極光源装置２が示されており、そ
れは、マイクロ波空Ｍ４及び該空胴４内に配置されてい
るランプ被包体６を具備している。ランプ被包体６は、
使用されるマイクロ波エネルギの波長よりも実質的に小
さい最大寸法を有している。又、マイクロ波空胴４は、
マイクロ波エネルギをランプ被包体に結合させるために
空Ｍ４内に導入するためのスロット８が形成されている
。マイクロ波エネルギは電源１２により駆動されるマグ
ネトロン１０により発生され、導波管１４を介して、ス
ロット８を介してマイクロ波空胴４内に導入される。

本光源装置は、マイクロ波に関する設計条件によって支
配されないような紫外線出力部の形状を有するものであ
ることが望ましい、即ち、マイクロ波空胴４は、光学的
観点から所望の形状を有するように構成することが可能
であることが望ましい、マイクロ波空胴４の内側は、好
適には、紫外線反射性材料で被覆されている。マイクロ
波空胴４は、ランプ被包体６から放出される紫外線放射
が空胴４の外部へ取りだされることを許容する開口１８
が形成されている。開口１８は、紫外線放射を実質的に
透過させるがマイクロ波エネルギを実質的に透過させる
ことのない金属性の網２０で被覆されている。

本発明の他の特徴によれば、マイクロ波エネルギをラン
プ被包体６に効果的に結合させるために。

マイクロ波空胴４自身は共振近傍、即ち準共振状態であ
るが、ランプ被包体６が存在しない状態のマイクロ波空
胴４に対して計算される如き共振状態ではないように構
成する。共振近傍、即ち準共振の条件は、小さな被包体
６に対してマイクロ波の結合を最大とすることを可能と
し、従って最大の光出力を得ることを可能とする。更に
、結合を最大とするために、マイクロ波空胴は、多数の
波長ではなく、所定の単一波長で共振近傍状態とするこ
とが望ましく、これによりマイクロ波エネルギを効果的
に吸収させることを可能となる。

第１図に示した本発明の好適実施態様においては、ラン
プ被包体６は、マイクロ波空胴４と同様に球形であり、
且つ被包体６はマイクロ波空ｇ４４の中心に位置されて
いる。第１図に示したスロット８と開口１８の相対的位
置関係は、網２０を介して均一な紫外線出力を外部に取
り出すことを可能とする。このことは、特に均一な放射
を必要とする紫外線フォトリソグラフィの適用において
重要である。

遠紫外線フォトリソグラフィに必要な輝度レベルを与え
るために、従来のパワー密度レベルよりも実質的に高い
パワー密度を被包体６に結合させることが重要である。

同時に、遠紫外線のスペグ１−ル領域において比較的高
い出力を得ることが所望され、且つ、このことを達成す
るためには、発生される紫外線放射が被包体６の半径方
向内側へ向かうのではなく半径方向外側に向かって放出
されるものであることが望ましいことが判明した。

その理由は、被包体６の半径方向内側に向けて発生され
た紫外線放射は被包体６の壁に到達する前に内部のプラ
ズマにより吸収される傾向となり。

又遠紫外線波長はこのプラズマに優先的に吸収される傾
向があると考えられるからである。

半径方向外側において紫外線放射を発生させるためには
、プラズマの皮殻深さ表を比較的薄いものとすることが
必要である。然し乍ら、皮殻深さが一層薄くなると、マ
イクロ波エネルギを被包体６内のプラズマに結合させる
ことは一層困難となる。好適実施態様においては、プラ
ズマ形成用媒体の水銀の圧力を比較的低く設定し１例え
ば、１気圧乃至２気圧の範囲に設定し、且つ３００ワッ
ト／−以上のパワー密度においてマイクロ波エネルギを
結合させることにより、所要の輝度レベルにおいて向」
ニした遠紫外線スペクトルの光出力が得られることが判
明した。

第１図に示された本発明の好適実施態様においては、金
属製のマイクロ波空胴４は、網２０により被覆されてい
る２、８インチ（７，１１ｃ■）の直径の円形開口１８
を有する３、９インチ（９゜９１ｃ鳳）の直径の球形状
を有している。網２０は。

ワイヤ中心間の間隔が０．０３３インチ（０，０８ｃｓ
＋）である直径が０．００１フインチ（０，００４ｃ鵬
）のワイヤからなる格子である０球形ランプ被包体６は
内径が０．７５インチ（１，９１ｃｍ）であり、Ｈｇ及
びアルゴンの如き希ガス及びＨｇＣ１，を充填している
。充填されている水銀は比較的低い圧力にあり、且つ操
作期間中、Ｈｇは約１〜２気圧であり、アルゴンは約１
００〜２００トールである。適当なＨｇの操作圧力を得
るために、液体水銀的２　Ｘ　１０”−”ｗ、Ｑの容量
を製造期間中にバルブ即ちランプ被包体６内に封入する
。

マグネトロン１０は、２４５０ＭＨｚの周波数において
マイクロ波パワー約１５００ワツトを与える。このパワ
ーの大部分はプラズマに結合されて、約５００ワツト／
ｃｃのパワー密度を発生する。

その結果得られる本光源装置は、遠紫外線スペクトル領
域において、約８％の変換効率を有しており、且つ約１
９０ワツト／ｃｃで放射する高輝度光源装置である。又
１本光源装置は、結合スロットに入るパワーの大部分が
吸収され、はんの少量のみが反射されるに過ぎないので
、非常に効率が良く、このことは、マグネトロンに適切
な長寿命をもたらす。

好適実施形態として、球形のランプ被包体及び球形マイ
クロ波空胴を有する場合について説明したが、その他の
被包体及びマイクロ波空胴の形状を使用することも本発
明の技術的範囲を逸脱することなしに使用可能であるこ
とは勿論である。

例えば、別の実施例として、第２図は、円筒形状のマイ
クロ波空胴内に球形のランプ被包体を配設した構成を示
している。第２図に示した如く。

マイクロ波空胴３０は、大略円筒形状であり、マイクロ
波を空胴３０内に導入する為の結合スロット３２を有す
ると共に、空ｍｓｏ内部に配設されたランプ被包体３８
から放射される紫外線照射がマイクロ波空調３０から外
部へ取り出されるための開口３４を有している。結合ス
ロット３２は、空胴３０の円筒形状表面に軸方向に延在
して設けられており、一方１ｑ３４は紫外線を透過させ
るがマイクロ波を透過させることのない網３６で被覆さ
れている。又、開口３４は、結合スロット３２とは、円
筒形状の空胴３０の直径方向に対向して配置されている
。

ランプ被包体３８は１円筒形状のマイクロ波空胴３０の
幾何学的中心、即ち円筒の中心軸の中心で且つ直径方向
における中心、に位置されており。

該空胴３０は、単一波長に対して共振の近傍、即ち準共
振であるように寸法決定されている。ランプ被包体３８
としては、球形以外の任意の形状とすることも可能であ
り、又マイクロ波空胴３０の形状も円筒形状以外の種々
の形状、例えば、楕円体、双曲面、放物面、及び凹角味
等の形状とすることが可能である。更に、マイクロ波空
胴３０は。

１個を超えた数の結合スロットを具備することが可能で
ある。

マイクロ波無電極光源装置において、ランプ被包体が操
作される高いパワー密度においては１通常石英から構成
される被包体の表面を非常に高温状態とさせる。従って
、このようなランプ被包体が十分に冷却されない場合に
は、被包体は溶融を開始し破裂することとなる６無電極
光源装置におけるランプ被包体を冷却するための通常の
方法は。

固定したランプ被包体に対して空気を吹き付けることで
ある０例えば、米国特許筒４．４０４２゜８５０号に開
示される正の強制空気システムにおいては、圧縮機から
の空気が空胴内に導入されてランプ被包体を通過するも
のであり、一方、負の即ち真空型システムにおいては、
空気は空胴から吸引され、その際にランプ被包体の周り
から空気を持ち去るものである。従来の冷却システムの
限界条件は特公昭５５−１５４０９７号に記載されてお
り、それには１強制空気を使用した場合には。

１００ワツト／ｃｃのパワー密度が限界であり、何故な
らば、それよりも高いパワー密度ではランプ被包体を破
裂させることとなることが記載されている。そして、高
輝度の光源装置を得るために。

操作期間中にランプ被包体を水中に浸漬させるシステム
を提案している。

本発明によれば、１つ又はそれ以上の冷却ガスの流れを
ランプ被包体に向けて吹き付け、一方ランプ被包体をそ
れを通過する所定の軸線の周りに回転させることを特徴
としている。ランプ被包体が回転されるので、被包体の
表面部分は順次に冷却ガスの流れに露呈され直接的に冷
却ガスにより冷却されることとなる。従って、ランプ被
包体のほぼ全表面積が十分に且つ一様に冷却されること
となり、冷却ガスにより最大の冷却効果を得ることを可
能としている。ランプ被包体の全表面積をほぼ均一の温
度に維持することが可能であるので、ランプ被包体の全
表面積にわたってほぼ均一な光照射を得ることが可能で
あり、従って、最終的に得られる光照射もほぼ均一なも
のとなり、このことは、特にマイクロ波空胴の設計を容
易とする。

更に、ランプ被包体はほぼ均一に冷却することが可能で
あるから、パワー密度が高い場合であっても、ランプ被
包体に発生する応力が均一化され。

従ってランプ被包体の破裂の可能性をほぼ完全に取り除
いている。従って、ランプ被包体を固定した状態で冷却
ガスの流れを吹き付ける従来技術と比較して１本発明の
冷却システムは顕著な効果を奏することが可能である。

第１図を参照して説明すると、ランプ被包体６は心棒２
９の先端に固着されており、心棒２９の他端はモータ２
３の回転軸２８に連結されている。

図示例においては、心棒２９はマイクロ波空胴４の一部
に形成した孔を介して外部へ延在しており、心棒２９は
連結部材２７を介してモータ２３の回転軸２８に連結さ
れている。後述する如く、心棒２９が通過する孔からマ
イクロ波が外部へ漏洩することを防止するために適宜の
シール手段が施されている。

マイクロ波空胴４の開口１８は、紫外線等の光は透過さ
せるがマイクロ波は透過させることのない網２０で被覆
されており、網２０は当業者に公知の任意の機械的手段
を使用して開口１８に取付けることが可能である。第１
図に示した実施例においては、ｖ４２０は、綱取付プレ
ート３７をマイクロ波空ｇ４４へ溶接させることにより
、開口１８に固定されている。

当業者に公知の種々の機械的手段を使用してモータ２３
を心棒２９に連結させることが可能である。第１図に示
した実施例においては、フランジ２１がマイクロ波空胴
４に装着されており、その一端は綱取付プレート３７に
、他端は支持ロッド６０に支持されている。心棒２９は
、その一端にフェルール６１が形成されており、該フェ
ルール６１は円筒形状をした連結部材２７に接着して固
定されている。連結部材２７内部にはガスケット２６が
詰められており、心棒２９とマイクロ波空胴４の孔との
間の隙間を介して外部へマイクロ波が漏洩することを防
止している。モータ２３の回転軸２８は連結部材２７の
他端に挿入され且つ例えば螺子止めされている。従って
、心棒２９は。

実質的には、モータ２３の回転軸２８の延長部として機
能する。モータ２３は、取付ボスト２２を介してフラン
ジ２４に装着されている。図示した如くに、バネ２５を
設けることが可能である。又、取付ボスト２２を螺子調
節することにより、ランプ被包体６をマイクロ波空胴４
内の所望の位置に位置させることが可能である。

第３図は、心棒２９の長手軸方向に見た場合の第１図の
実施例の概略断面を示しており、所定の態様で配置され
た複数個の冷却ノズルの位置関係を示している。導管５
０及び５４が、圧縮空気供給源３８から延在しており、
夫々の導管５０及び５４にはノズル４０．４２及び４４
．４６が形成されている。マイクロ波空胴４には適数個
（本実施例においては、４個）の冷却空気導入孔が穿設
されており、これらの導入孔の夫々に対応してノズル４
０．４２，４４．４６が外部からマイクロ波空胴４内部
に冷却空気を吹き込む態様で配置されている１本実施例
においては、各ノズル４０゜４２．４４．４６の先端は
、マイクロ波空胴４のほぼ中心に向けて指向されており
、従って各ノズルから流出する冷却空気の流れは、その
ノズルの対向するランプ被包体６の表面部分に向けて指
向される。即ち、圧縮空気源３８から圧縮空気が導管５
０及び５４を介して各ノズル４０，４．２，４４．４６
からランプ被包体６へ向けて吹き付けられ、一方被包体
６は矢印で示した如くに所定の回転方向に回転される。

従って、各ノズルから吹き付けられる冷却空気の流れは
、満遍無くランプ被包体６のほぼ全表面をほぼ均一に冷
却することが可能である。尚、圧縮空気を冷却ガスとし
て使用した場合について説明したが、冷却ガスとしては
、例えば窒素又はヘリウム等のその他の冷却ガスを使用
することも可能である。

上述した如く、ランプ被包体６が回転するので、ノズル
４０，４２，４４．４６は固定して配設されているにも
拘らず、ランプ被包体６の全表面は順次にノズル４０，
４２，４４．４６から吹き出される冷却ガスの流れに露
呈されることとなり、従って、ランプ被包体６の全表面
が十分に且つ均一に冷却されることとなる。所望により
、より多くの又はより少ない数のノズルを設けることも
可能である。第３図に示した態様において、０．７５イ
ンチ（１，９１ｃｍ）の直径の球形のランプ被包体６を
使用した場合には、各ノズルは球形のランプ被包体６の
中心を通過する面内に位置させる。

何故ならば、第１図に示した形態の場合には、ホットス
ポットがこの面において発生することが判明したからで
ある。一方、１６０インチ（２，５４ｃ＋ｍ）の直径の
球形のランプ被包体６を使用した場合には、ランプ被包
体６の表面部分７０及びそれと直径方向における対応表
面部分において一層多くの冷却が必要であることが判明
した。従って。

この場合には、ノズル４０はマイクロ波空ＷＡ４の中心
から１側部に僅かにずらして指向させ、一方ノズル４２
は同様に、他側部に僅かにずらして指向させ、更に、ノ
ズル４４及び４６も同様に僅かにずらして指向させるこ
とが必要であった。

夏−求 以上詳説した如く、本発明によれば、遠紫外線に富んだ
光を照射することが可能であり効率の良い高輝度光源と
してのマイクロ波無電極光源装置が提供される。特に、
ランプ被包体の最大寸法を使用するマイクロ波の波長よ
りも実質的に小さく設定することにより、高強度の照射
を発生することが可能な高輝度光源を提供することが可
能であり、且つランプ被包体が小さいので、内部に発生
するプラズマも−様であり、従ってランプ被包体から発
生される光照射も極めて−様である。更に。

ランプ被包体は小さいので１点光源に近づき、従って、
光源装置から外部に取りだされる光照射も全体的に極め
て一様性が向上される。又、使用するマイクロ波の波長
に比較して十分に小さいから。

ランプ被包体がマイクロ波空胴内の位置を多少変化した
としても、ランプ被包体に印加されるマイクロ波の強度
分布は実質的に影響を受けることが無く、従って設計及
び製造は極めて容易となる。

特に、ランプ被包体を回転させた場合に、多少の軸振れ
が発生したとしても、光照射性能に悪影響が与えられる
ことはない。

又、本発明によれば、ランプ被包体冷却システムにおい
てランプ被包体を回転させる構成としたので、ランプ被
包体は、その全表面がほぼ十分に且つ均一に冷却される
こととなり、異常な熱応力分布によりランプ被包体が破
裂したりする危険性が完全に回避され、且つランプ被包
体の表面を全体的に−様な温度状態に維持することが可
能であるから、ランプ被包体の全放射方向において常時
−様な光放射を与えることが可能である。また、ランプ
被包体を回転させるので、冷却ガスをランプ被包体に吹
き付けるためのノズルの配置位置及び数に関して設計上
の自由度が増加されている。

従って、マイクロ波空胴の設計においては、より光学的
側面に関して注意を払うことを可能とし、そのことはマ
イクロ波空胴の設計を容易とするとともにより一様性且
つ効率の高いマイクロ波空胴を設計することを可能とす
る。

以上１本発明の具体的実施のＳ様に付いて詳細に説明し
たが１本発明はこれら具体例にのみ限定されるべきもの
では無く、本発明の技術的範囲を逸脱すること無しに種
々の変形が可能であることは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例に基づいて構成されたマイ
クロ波無電極光源装置を示した概略図、第２図は本発明
の第２実施例に基づいて構成されたマイクロ波無電極光
源装置を示して概略図、第３図は本発明の冷却システム
を示した概略図、である。 ２：マイクロ波無電極光源装置 ４．３０：マイクロ波空胴 ６．３８：ランプ被包体 ８．３２７スロツト １０：マグネトロン １２：電源 １８．３４：開口 ２０：金属網 ２３：モータ ２９：心棒

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、マイクロ波無電極光源装置用のランプ冷却装置にお
   いて、マイクロ波を吸収して光を放射する物質を封入し
   たランプ被包体、前記ランプ被包体を所定の回転軸周り
   に回転させる回転手段、前記ランプ被包体へ向けて冷却
   ガスを放出させる冷却ガス放出手段、を有することを特
   徴とするマイクロ波無電極光源装置用のランプ冷却装置
   。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記冷却ガス放出
   手段は、前記ランプ被包体の中心へ向けて冷却ガスを放
   出させることを特徴とするマイクロ波無電極光源装置用
   のランプ冷却装置。 ３、特許請求の範囲第１項において、前記冷却ガス放出
   手段は、前記ランプ被包体の中心からずれた所定の方向
   へ向けて冷却ガスを放出させることを特徴とするマイク
   ロ波無電極光源装置用のランプ冷却装置。 ４、特許請求の範囲第１項乃至第３項の内のいずれが１
   項において、前記冷却ガス放出手段が複数個のノズルを
   有しており、前記複数個のノズルは前記ランプ被包体の
   周りに互いに離隔して配設されており夫々のノズルが前
   記ランプ被包体へ向けて冷却ガスを放出することを特徴
   とするマイクロ波無電極光源装置用のランプ冷却装置。 ５、特許請求の範囲第４項において、前記ランプ被包体
   はマイクロ波空胴内に配置されており、前記マイクロ波
   空胴は、マイクロ波を空胴内部に導入するためのスロッ
   トが形成されており、且つ光を透過させるがマイクロ波
   を透過させることのない網で被覆された開口が形成され
   ていることを特徴とするマイクロ波無電極光源装置用の
   ランプ冷却装置。 ６、特許請求の範囲第５項において、前記複数個のノズ
   ルは前記マイクロ波空胴の外部に配設されており、前記
   マイクロ波空胴には、各ノズルに対応して、ノズルから
   放出される冷却ガスをマイクロ波空胴内部に導入させる
   ための導入孔が穿設されていることを特徴とするマイク
   ロ波無電極光源装置用のランプ冷却装置。 ７、特許請求の範囲第４項乃至第６項の内のいずれか１
   項において、前記複数個のノズルは導管を介して圧縮ガ
   ス供給源へ連通されていることを特徴とするマイクロ波
   無電極光源装置用のランプ冷却装置。 ８、特許請求の範囲第５項乃至第７項の内のいずれか１
   項において、前記マイクロ波空胴が実質的に球形である
   ことを特徴とするマイクロ波無電極光源装置用のランプ
   冷却装置。９、特許請求の範囲第５項乃至第７項の内の
   いずれか１項において、前記マイクロ波空胴が実質的に
   円筒形であることを特徴とするマイクロ波無電極光源装
   置用のランプ冷却装置。 １０、特許請求の範囲第１項乃至第９項の内のいずれか
   １項において、前記回転手段が、前記ランプ被包体を一
   端に固定した心棒、モータ、及び前記心棒の他端を前記
   モータの回転軸に動作連結させる連結手段、を有するこ
   とを特徴とするマイクロ波無電極光源装置用のランプ冷
   却装置。 １１、特許請求の範囲第１０項において、前記ランプ被
   包体は、前記心棒の軸線の周りに回転されることを特徴
   とするマイクロ波無電極光源装置用のランプ冷却装置。 １２、特許請求の範囲第１項乃至第１１項の内のいずれ
   か１項において、前記ランプ被包体が球形であることを
   特徴とするマイクロ波無電極光源装置用のランプ冷却装
   置。