JPS5979826A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS5979826A JPS5979826A JP19042182A JP19042182A JPS5979826A JP S5979826 A JPS5979826 A JP S5979826A JP 19042182 A JP19042182 A JP 19042182A JP 19042182 A JP19042182 A JP 19042182A JP S5979826 A JPS5979826 A JP S5979826A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soft magnetic
- pot
- cylindrical container
- shaped soft
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/16—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in the magnetic properties of material resulting from the application of stress
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、非晶質磁性合金の磁歪効果を利用した圧力セ
ンナに関し、特に、非晶質磁性合金を固定する構造に関
するものである。
ンナに関し、特に、非晶質磁性合金を固定する構造に関
するものである。
（従来例の構成とその問題点）
近年、非晶質磁性合金の磁歪効果を利用した圧力センナ
が提案されているが、非晶質磁性合金をダイヤフラムと
しても用いるため、その固定方法の開発が望まれている
。
が提案されているが、非晶質磁性合金をダイヤフラムと
しても用いるため、その固定方法の開発が望まれている
。
第１図は、従来のこの種の圧力センサにおける非晶質磁
性合金の固定方法を示したものである。
性合金の固定方法を示したものである。
ｌは円筒の一端に少なくとも部分的な底部１ａを有する
筒状容器、２は断面がＥ字形をなし、筒状容器１に挿入
された壷形軟磁性体、３ばコイルで、コイル引出線３ａ
を有する。４は壷形軟磁性体２の開口側を覆う非晶質磁
性合金、５は蓋部材で、筒状容器１０円筒他端（かしめ
部ｉｂ）をかしめることによシ非晶質磁性合金４に圧接
する。この蓋部材５には圧力伝達媒質７を介して非晶質
磁性合金４の一部に圧力Ｐが加えられるための透孔５ａ
が設けられておシ、この透孔５ａを取巻くように形成さ
れた溝５ｂＫＯ！Ｊング６が嵌め込まれている。０リン
グ６は、圧力伝達媒質７の漏出を防止する。
筒状容器、２は断面がＥ字形をなし、筒状容器１に挿入
された壷形軟磁性体、３ばコイルで、コイル引出線３ａ
を有する。４は壷形軟磁性体２の開口側を覆う非晶質磁
性合金、５は蓋部材で、筒状容器１０円筒他端（かしめ
部ｉｂ）をかしめることによシ非晶質磁性合金４に圧接
する。この蓋部材５には圧力伝達媒質７を介して非晶質
磁性合金４の一部に圧力Ｐが加えられるための透孔５ａ
が設けられておシ、この透孔５ａを取巻くように形成さ
れた溝５ｂＫＯ！Ｊング６が嵌め込まれている。０リン
グ６は、圧力伝達媒質７の漏出を防止する。
圧力伝達媒質７に圧力が加えられると、それに比例した
圧力Ｐが透孔５ａを通して非晶質磁性合金４に加わシ、
その結果、非晶質磁性合金４が壷形軟磁性体２の開口部
２ａ側に変形し、内部応力が発生する。この′とき、コ
イル３のインダクタンスに、圧力に応じた変化が生じ、
そのインダクタンス変化をコイル引出線３ａで検出する
ようにすれば、圧カーインダクタンス変換膨圧カセンサ
となる。
圧力Ｐが透孔５ａを通して非晶質磁性合金４に加わシ、
その結果、非晶質磁性合金４が壷形軟磁性体２の開口部
２ａ側に変形し、内部応力が発生する。この′とき、コ
イル３のインダクタンスに、圧力に応じた変化が生じ、
そのインダクタンス変化をコイル引出線３ａで検出する
ようにすれば、圧カーインダクタンス変換膨圧カセンサ
となる。
このような構成の圧力センサにおいては、かしめ部１ｂ
が、誤差の少ない圧力センサを実現するための重要部分
となる。かしめ部１ｂは、がしめ工程でわずかながら弾
性変形を含むため、戻シが生ずる。この場合蓋部材５は
ｏリング６の圧力によって上方向に押し戻される。この
状態になると非晶質磁性合金４の固定はｏリング６によ
るだけとなシ非常に不安定になる。すなわち非晶質磁性
合金４の内部応力は圧力Ｐに対応しなくなってしまう。
が、誤差の少ない圧力センサを実現するための重要部分
となる。かしめ部１ｂは、がしめ工程でわずかながら弾
性変形を含むため、戻シが生ずる。この場合蓋部材５は
ｏリング６の圧力によって上方向に押し戻される。この
状態になると非晶質磁性合金４の固定はｏリング６によ
るだけとなシ非常に不安定になる。すなわち非晶質磁性
合金４の内部応力は圧力Ｐに対応しなくなってしまう。
例えば、圧力Ｐが次第に増加していくと非晶質磁性合金
４は壷形軟磁性体２の開口部２ａに押し込まれ変形する
。次に圧力Ｐか減少していくと非晶質磁性合金４はもと
の形に戻ろうとするが、機械的パラクララシーのため完
全には元の形状には復帰しない。そのため同一圧力にも
がかわらず内部応力が異なシ、出力のインダクタンスも
一定値にならず、圧力センサの誤差となる〇また、第２
図に示したように、筒状容器のかしめ部の先端角部１ｃ
で蓋部材５０表面を押えるような場合、蓋部材５０表面
に角部１ｃが食い込むようになる。これは円滑なかしめ
工程を阻害し、かつ前述のかしめ部の戻シ現象を大きく
する原因ともなっていた。
４は壷形軟磁性体２の開口部２ａに押し込まれ変形する
。次に圧力Ｐか減少していくと非晶質磁性合金４はもと
の形に戻ろうとするが、機械的パラクララシーのため完
全には元の形状には復帰しない。そのため同一圧力にも
がかわらず内部応力が異なシ、出力のインダクタンスも
一定値にならず、圧力センサの誤差となる〇また、第２
図に示したように、筒状容器のかしめ部の先端角部１ｃ
で蓋部材５０表面を押えるような場合、蓋部材５０表面
に角部１ｃが食い込むようになる。これは円滑なかしめ
工程を阻害し、かつ前述のかしめ部の戻シ現象を大きく
する原因ともなっていた。
（発明の目的）
本発明は、非晶質磁性合金の固定における上記のような
不都合を除去し、安定な出力が得られる圧力センサを提
供するものである。
不都合を除去し、安定な出力が得られる圧力センサを提
供するものである。
（発明の構成）
上記目的を達成するために、０リンダの材質よシ硬く、
また筒状容器あるいは壷形軟磁性体の少なくとも一方よ
シ硬い弾性体を、壷形軟磁性体の底と筒状容器の底部と
の間に挿入してかしめの戻シを吸収させるとともに、筒
状容器がかしめられたとき、その先端部が蓋部材の表面
を面接触で押圧するように筒状容器のかしめ部を予め先
端にいく程薄くなるようにしておき、かつ、前記弾性体
が壷形軟磁性体の底または筒状容器の底部と接する面積
が、かしめによシ筒状容器の先端が蓋部材と接する面積
よシ小さくなるようにしている。
また筒状容器あるいは壷形軟磁性体の少なくとも一方よ
シ硬い弾性体を、壷形軟磁性体の底と筒状容器の底部と
の間に挿入してかしめの戻シを吸収させるとともに、筒
状容器がかしめられたとき、その先端部が蓋部材の表面
を面接触で押圧するように筒状容器のかしめ部を予め先
端にいく程薄くなるようにしておき、かつ、前記弾性体
が壷形軟磁性体の底または筒状容器の底部と接する面積
が、かしめによシ筒状容器の先端が蓋部材と接する面積
よシ小さくなるようにしている。
以下、実施例を図面とともに詳細に説明する。
（実施例の説明）
第３図は、本発明の一実施例を示したもので、第１図と
同一符号のものは同一のものを示しており、また、１１
は筒状容器で、その円筒端部がかしめによシ曲けられた
とき、第４図に示したように、先端部が蓋部材５の上面
と面で接するように、予め先端にいくに従って薄く形成
されている。
同一符号のものは同一のものを示しており、また、１１
は筒状容器で、その円筒端部がかしめによシ曲けられた
とき、第４図に示したように、先端部が蓋部材５の上面
と面で接するように、予め先端にいくに従って薄く形成
されている。
１２は、壷形軟磁性体２の底と筒状容器の底部１１ａと
の間に挿入された弾性体で、そのヤング率が壷形軟磁性
体２または筒状容器のそれよシ大きいものを用いる。こ
の弾性体１２が軟磁性体２の底と接する部分の面積が、
かしめ部の圧接面積より小さくなるようにしている。
の間に挿入された弾性体で、そのヤング率が壷形軟磁性
体２または筒状容器のそれよシ大きいものを用いる。こ
の弾性体１２が軟磁性体２の底と接する部分の面積が、
かしめ部の圧接面積より小さくなるようにしている。
以上のように構成された圧力センサでは、かしめ時にわ
ずかな戻シが生じたとしても、その戻シは弾性体１２が
吸収する。即ち、弾性体１２は、壷形軟磁性体２の底と
接する面積がかしめ部の圧接面積よシも小さくなってい
るため、単位面積蟲ｙＬ シにかかる応力は弾性１２の方が大きく、従って、変形
は弾性体１２が吸収するようになる。このように、かし
めのわずかな戻りは弾性体１２が吸収し、０リングの部
分に伺ら変化は生じないので、非晶質磁性合金４の固定
は、蓋部材５およびＱ ＩＪソングと、壷形軟磁性体２
の間で行々われ、これによシ非晶質磁性合金４のすベシ
変形が阻止され、圧力に対して内部応力が対応するよう
になる。即ち、圧力センサとしての誤差の要因を無くす
ることができる。
ずかな戻シが生じたとしても、その戻シは弾性体１２が
吸収する。即ち、弾性体１２は、壷形軟磁性体２の底と
接する面積がかしめ部の圧接面積よシも小さくなってい
るため、単位面積蟲ｙＬ シにかかる応力は弾性１２の方が大きく、従って、変形
は弾性体１２が吸収するようになる。このように、かし
めのわずかな戻りは弾性体１２が吸収し、０リングの部
分に伺ら変化は生じないので、非晶質磁性合金４の固定
は、蓋部材５およびＱ ＩＪソングと、壷形軟磁性体２
の間で行々われ、これによシ非晶質磁性合金４のすベシ
変形が阻止され、圧力に対して内部応力が対応するよう
になる。即ち、圧力センサとしての誤差の要因を無くす
ることができる。
また、筒状容器２のかしめ部先端が蓋部材５の土面に面
で圧接するので、かしめが円滑に行なわれ、従来のよう
に蓋部材にかしめ部端部が食い込んで蓋部材が動くよう
なことがなくなシ、従って非晶質磁性合金に有害な応力
が加わることを避けることが可能となる。また、かしめ
が従来に比べて深くなシ、固定が確実になる。
で圧接するので、かしめが円滑に行なわれ、従来のよう
に蓋部材にかしめ部端部が食い込んで蓋部材が動くよう
なことがなくなシ、従って非晶質磁性合金に有害な応力
が加わることを避けることが可能となる。また、かしめ
が従来に比べて深くなシ、固定が確実になる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、非晶質磁性合金
をかしめによシ固定する際に、かしめ戻シを最小限に抑
えることができ、この結果、圧力センサの出力を安定に
し、検出精度を向上することができる。
をかしめによシ固定する際に、かしめ戻シを最小限に抑
えることができ、この結果、圧力センサの出力を安定に
し、検出精度を向上することができる。
第１図は、従来例の断面図、第２図は、同力）しめ部の
拡大図、第３図は、本発明の一実施ｆｌＪの断面図、第
４図は、同かしめ部の拡大図である。 ２・・・壷形軟磁性体、３・・・コイル、４・・・非晶
質磁性合金、５・・・蓋部材、５ａ・・・透孔、６・・
・０１ノング、１１・・・筒状容器、ｌｌａ・・・底部
、ｌｌｂ・・・７５≧シめ部、１２・・・弾性体。 第１図 フ 第２図 ＋ｂ’ ゛第３図 第４図
拡大図、第３図は、本発明の一実施ｆｌＪの断面図、第
４図は、同かしめ部の拡大図である。 ２・・・壷形軟磁性体、３・・・コイル、４・・・非晶
質磁性合金、５・・・蓋部材、５ａ・・・透孔、６・・
・０１ノング、１１・・・筒状容器、ｌｌａ・・・底部
、ｌｌｂ・・・７５≧シめ部、１２・・・弾性体。 第１図 フ 第２図 ＋ｂ’ ゛第３図 第４図
Claims (3)
- （１） 円筒の一端に少なくとも部分的な底部を有す
る筒状容器と、断面がＥ字形をなし前記筒状容器内に挿
入された壷形軟磁性体と、該壷形軟磁性体内に挿着され
たコイルと、前記壷形軟磁性体の底と前記筒状容器の底
部との間に挿入され、前記軟磁性体および前記筒状容器
の少なくとも一方よシャング率の大きい材質からなる弾
性体と、前記壷形軟磁性体の開口側を覆う非晶質磁性合
金と、該非晶質磁性合金の一部に圧力伝達媒質を介して
圧力を加えるための透孔と圧力伝達媒質の漏出を防止す
るために装着したＯリングとを有し、前Ｓ前筒状容器の
円筒他端をかしめることによシ前記非晶質磁性合金に圧
接する蓋部材とからなることを特徴とする圧力センサ。 - （２） 前記筒状容器は、その円筒他端がかしめられ
たとき、その先端部が前記蓋部材の表面と面で接するよ
うに先端にいくに従って薄くなっていることを特徴とす
る特許請求の範囲第（０項記載の圧力センサ。 - （３）前記弾性体が前記軟磁性体の底または筒状容器の
底部と接する面積のうち少なくともその一方が、かしめ
によシ前記円筒他端と蓋部材表面とが接触する面積よシ
小さいことを特徴とする特許請求の範囲第（２〉項記載
の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19042182A JPS5979826A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19042182A JPS5979826A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5979826A true JPS5979826A (ja) | 1984-05-09 |
Family
ID=16257850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19042182A Pending JPS5979826A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5979826A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018004491A (ja) * | 2016-07-04 | 2018-01-11 | 株式会社東栄科学産業 | 磁歪計測装置、磁歪計測方法 |
-
1982
- 1982-10-29 JP JP19042182A patent/JPS5979826A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018004491A (ja) * | 2016-07-04 | 2018-01-11 | 株式会社東栄科学産業 | 磁歪計測装置、磁歪計測方法 |
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