JPS5979825A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS5979825A JPS5979825A JP19042082A JP19042082A JPS5979825A JP S5979825 A JPS5979825 A JP S5979825A JP 19042082 A JP19042082 A JP 19042082A JP 19042082 A JP19042082 A JP 19042082A JP S5979825 A JPS5979825 A JP S5979825A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic alloy
- amorphous magnetic
- lid member
- pot
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/16—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in the magnetic properties of material resulting from the application of stress
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、非晶質磁性合金の磁歪効果を利用した圧力セ
ンサに関し、特に、非晶質磁性合金を固定する構造に関
するものである。
ンサに関し、特に、非晶質磁性合金を固定する構造に関
するものである。
（従来例の構成とその問題点）
近年、非晶質磁性合金の磁歪効果を利用した圧力センサ
が提案されているが、非晶質磁性合金をダイヤフラムと
して用いるため、その固定方法の開発が望まれている。
が提案されているが、非晶質磁性合金をダイヤフラムと
して用いるため、その固定方法の開発が望まれている。
第１図は、従来のこの種の圧力センサにおける非晶質磁
性合金の固定方法を示したものである。
性合金の固定方法を示したものである。
ｌは円筒の一端に少なくとも部分的な底部１ａを有する
筒状容器、２は断面がＥ字形をなし、筒状容器１に挿入
された壷形軟磁性体、３はコイルで、コイル引出線３ａ
を有する。４は壷形軟磁性体２の開口側を覆う非晶質磁
性合金、５は蓋部材で、筒状容器１の円筒他端（かしめ
部１’ｂ）をかしめることにより非晶質磁性合金に圧接
する。この蓋部材５には圧力伝達媒質７を介して非晶質
磁性合金４の一部に圧力Ｐが加えられるための透孔５ａ
が設けられており、との透孔５ａを取巻くように形成さ
れた溝５ｂにＯリング６が嵌め込１れている。０リング
６は、圧力伝達媒質７の漏出を防止する。
筒状容器、２は断面がＥ字形をなし、筒状容器１に挿入
された壷形軟磁性体、３はコイルで、コイル引出線３ａ
を有する。４は壷形軟磁性体２の開口側を覆う非晶質磁
性合金、５は蓋部材で、筒状容器１の円筒他端（かしめ
部１’ｂ）をかしめることにより非晶質磁性合金に圧接
する。この蓋部材５には圧力伝達媒質７を介して非晶質
磁性合金４の一部に圧力Ｐが加えられるための透孔５ａ
が設けられており、との透孔５ａを取巻くように形成さ
れた溝５ｂにＯリング６が嵌め込１れている。０リング
６は、圧力伝達媒質７の漏出を防止する。
圧力伝達媒質７に圧力が加えられると、それに比例した
圧力Ｐが透孔５ａを通して非晶質磁性合金４に加わり、
その結果、非晶質磁性合金４が壷形軟磁性体２の開口部
２ａ側に変形し、内部応力が発生する。このとき、コイ
ル３のインダクタンスに、圧力に応じた変化が生じ、そ
のインダクタンス変化をコイル引出線３ａで検出するよ
うにすれば、圧カーインダクタンス変換膨圧力センナと
なる。
圧力Ｐが透孔５ａを通して非晶質磁性合金４に加わり、
その結果、非晶質磁性合金４が壷形軟磁性体２の開口部
２ａ側に変形し、内部応力が発生する。このとき、コイ
ル３のインダクタンスに、圧力に応じた変化が生じ、そ
のインダクタンス変化をコイル引出線３ａで検出するよ
うにすれば、圧カーインダクタンス変換膨圧力センナと
なる。
このような構成の圧力センサにおいては、非晶質磁性合
金４の固定が非常に重要となる。しかしながら本構成で
は、非晶質磁性合金４の固定が確実には行なえない。す
なわち蓋部材５の下面の凹凸、非晶質磁性合金４の凹凸
、軟磁性体２の上面の凹凸により非晶質磁性合金４の固
定が不均一になり、確実に固定されない。そしてその結
果、固定が確実でない部分では、非晶質磁性合金のすベ
シが生じ、圧力Ｐの増加に伴い、壷形軟磁性体２の開口
部２ａに押し込まれたわみ変形する。こうなると次に圧
力Ｐが減少しても非晶質磁性合金４は元の形に戻ろうと
するが機械的パラクララシーのため完全には元の形状に
復帰できない。そのため同一圧力を印加しても非晶質磁
性合金４の内部応力が異なり、圧力のインピーダンスも
一定値にならず、圧力センサの誤差となる。
金４の固定が非常に重要となる。しかしながら本構成で
は、非晶質磁性合金４の固定が確実には行なえない。す
なわち蓋部材５の下面の凹凸、非晶質磁性合金４の凹凸
、軟磁性体２の上面の凹凸により非晶質磁性合金４の固
定が不均一になり、確実に固定されない。そしてその結
果、固定が確実でない部分では、非晶質磁性合金のすベ
シが生じ、圧力Ｐの増加に伴い、壷形軟磁性体２の開口
部２ａに押し込まれたわみ変形する。こうなると次に圧
力Ｐが減少しても非晶質磁性合金４は元の形に戻ろうと
するが機械的パラクララシーのため完全には元の形状に
復帰できない。そのため同一圧力を印加しても非晶質磁
性合金４の内部応力が異なり、圧力のインピーダンスも
一定値にならず、圧力センサの誤差となる。
（発明の目的）
本発明は、上記のような非晶質磁性合金の固定の不確実
性を除去し、安定な出力が得られる圧力センサを提供す
るものである。
性を除去し、安定な出力が得られる圧力センサを提供す
るものである。
（発明の構成）
上記目的を達成するために、蓋部材と非晶質磁性合金と
の間における、壷形軟磁性体の開口部に対応する部分以
外の少なくとも一部に薄帯を挿入する。
の間における、壷形軟磁性体の開口部に対応する部分以
外の少なくとも一部に薄帯を挿入する。
以下、実施例を図面とともに詳細に説明する。
（実施例の説明）
第２図は、本発明の一実施例を示したもので、第１図と
同一符号のものは同一のものを示しておシ、また、８は
非晶質磁性合金４と蓋部材５との間に挿入された薄帯で
ある。この薄帯８は壷形軟磁性体２の開口部２ａに対応
する部分を除いて、他の部分の少なくとも一部に設けら
れる。本実施例では、Ｏリング６装着部の外側に沿った
リング状の薄帯にしている。
同一符号のものは同一のものを示しておシ、また、８は
非晶質磁性合金４と蓋部材５との間に挿入された薄帯で
ある。この薄帯８は壷形軟磁性体２の開口部２ａに対応
する部分を除いて、他の部分の少なくとも一部に設けら
れる。本実施例では、Ｏリング６装着部の外側に沿った
リング状の薄帯にしている。
以上のように構成された本実施例では、薄帯８が蓋部材
５の下面や非晶質磁性合金４の表面の凹凸に応じて変形
し、従ってそれぞれ互いによく密着するようになる。そ
のため、非晶質磁性合金４は蓋部材５に対して横すベク
することができなくなシ、また、薄帯８の変形によっ゛
て固定の不均一も解消され、非晶質磁性合金４は確実に
固定されるようになる。
５の下面や非晶質磁性合金４の表面の凹凸に応じて変形
し、従ってそれぞれ互いによく密着するようになる。そ
のため、非晶質磁性合金４は蓋部材５に対して横すベク
することができなくなシ、また、薄帯８の変形によっ゛
て固定の不均一も解消され、非晶質磁性合金４は確実に
固定されるようになる。
なお、薄帯８としてはアルミニウム箔やベリリウム箔等
が使用でき、厚さは１０〜２０μｍ程度が好ましい。薄
帯の設置位置は、壷形軟磁性体２の開口部２ａに対応す
る部分（この部分には蓋部材５の透孔５ａが対向してい
る）を除けば、どの部分に設けても実施例と同様の効果
を得ることができる。また、０リングの代シに薄帯をも
って圧力伝達媒質の漏出防止を行なうこともできる。
が使用でき、厚さは１０〜２０μｍ程度が好ましい。薄
帯の設置位置は、壷形軟磁性体２の開口部２ａに対応す
る部分（この部分には蓋部材５の透孔５ａが対向してい
る）を除けば、どの部分に設けても実施例と同様の効果
を得ることができる。また、０リングの代シに薄帯をも
って圧力伝達媒質の漏出防止を行なうこともできる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、非晶質磁性合金
の固定が確実になシ、従って圧力センサの出力誤差を大
幅に低減し、検出精度を高めることができる。
の固定が確実になシ、従って圧力センサの出力誤差を大
幅に低減し、検出精度を高めることができる。
第１図は、従来例の断面図、第２図は、本発明の一実施
例の断面図である。 ｌ・・・筒状容器、２・・・壷形軟磁性体、３・・・コ
イル、４・・・非晶質磁性合金、５・・・蓋部材、５ａ
・・・透孔、６・・・Ｏリング、７・・・圧力伝達媒質
、８・・・薄帯。
例の断面図である。 ｌ・・・筒状容器、２・・・壷形軟磁性体、３・・・コ
イル、４・・・非晶質磁性合金、５・・・蓋部材、５ａ
・・・透孔、６・・・Ｏリング、７・・・圧力伝達媒質
、８・・・薄帯。
Claims (2)
- （１） 円筒の一端に少なくとも部分的な底部を有す
る筒状容器と、断面がＥ字形をなし前記筒状容器内に挿
入された壷形軟磁性体と、該壷形軟磁性体の開口側を覆
う非晶質磁性合金と、該非晶質磁性合金の一部に圧力伝
達媒質を介して圧力を加える透孔を有する蓋部材と、該
蓋部材と前記非晶質磁性合金との間における前記壷形軟
磁性体の開口部に対応する部分以外の少なくとも一部に
設けられた薄帯とを備え、前記筒状容器の円筒他端をか
しめることによシ前記蓋部材を押圧し、前記非晶質磁性
合金を固定してなることを特徴とする圧力センサ。 - （２）前記蓋部材は、その前記非晶質磁性合金に 、
対向する面に、前記壷形軟磁性体の開口部に対応する部
分を取巻くような溝を有し、畝溝にＯリングを装着して
なることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の
圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19042082A JPS5979825A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19042082A JPS5979825A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5979825A true JPS5979825A (ja) | 1984-05-09 |
Family
ID=16257833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19042082A Pending JPS5979825A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5979825A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63228038A (ja) * | 1985-11-26 | 1988-09-22 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体圧力変換器 |
-
1982
- 1982-10-29 JP JP19042082A patent/JPS5979825A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63228038A (ja) * | 1985-11-26 | 1988-09-22 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体圧力変換器 |
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