JPH01189537A - 圧力応答装置 - Google Patents

圧力応答装置

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JPH01189537A
JPH01189537A JP63280529A JP28052988A JPH01189537A JP H01189537 A JPH01189537 A JP H01189537A JP 63280529 A JP63280529 A JP 63280529A JP 28052988 A JP28052988 A JP 28052988A JP H01189537 A JPH01189537 A JP H01189537A
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ローレンス イー.クーパー
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    • G01L23/10Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by pressure-sensitive members of the piezoelectric type
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明の分野は圧力センサの分野であって、本発明は特
に、内燃機関のシリンダ内の圧力変動に応答してエンジ
ン作動を調整する上で使用するため圧力変動に対応した
i′N¥気信号を提供するシリンダ圧センサに関する。
(従来の技術) 本発明と共通に誼渡されている米国特許第4゜620.
438号および同第4.645.965号においては、
シリンダ内の圧力変動を示す初期電気信号を提供すべく
、エンジン作動の間シリンダ圧の変動に応答するようエ
ンジンのシリンダにシールして圧力応答セラミック圧゛
躍材料製の本体を取っ付番ノるために使用する金属本体
を含、むシリンダ圧センサ装置が示されている。金属製
ダイヤフラム等が、希望する圧力応答信号を発生させる
ようにシリンダから圧電材料へ圧力を伝達させる一方シ
リンダ環境のある部分から圧電材料を遮蔽する。前記公
知の装置においては、圧電本体により提供された初期電
気信号を処理してコンピュータ制御手段あるいはエンジ
ンのシリンダから遠隔個所にある他の信号処理手段まで
伝送すべく電子手段が金属製本体に担持されている。
前述のシリンダ圧センサには広第囲に変動する供給圧力
や作動圧力が加えられる。従来前述のような圧力センサ
に使用すべく検討されてぎたセラミック圧電材料は著し
い温度依存性を示している。
また、+1ff記圧電材料は比較的に高い応力レベルで
使用されると高度に非線形の応答を示すことが判明して
いる。予想される1[力や温度レベルでの応答直線性を
向上させることによって、センサにより提供される初期
信号が、希望するエンジン制御211機能等を達成する
ために使用するより容易かつ好演的に調整されるシリン
ダ圧力センサを提供することが極めて望ましい。
(発明が解決しようとする課題) 本発明の目的は、新規かつ改良された圧力センサを提供
すること、特に自動車のエンジンのシリンダ内の圧力変
動を検出するために使用するようにされた装置を提供覆
ること、出合うことが予想される環境や作動状態での応
答の直線性を向上した圧力センサを提供すること、およ
び信頼性および製作経済性に特徴のある装置を提供する
ことである。
この点に関して、圧電材料は圧力が加えられると若干の
応答の非直線性を示し、かつ圧電材料により強い応力が
加えられるとその非直線性はより大きくなる傾向がある
ことが知られている。また、作用圧力を受番ノ取るよう
従来の要領でセラミック圧電材料の本体が装着されると
、圧電材料本体の表面に対して著しい程度の非線形の荷
重伝達が行われ圧電材料に高度に局部化された応力レベ
ルが発生することも判明している。その結果、圧電材料
は実際に使用されると著しく非線形の電、気信号応答を
提供する傾向がある。即ち作用圧力レベルが低いときで
あってさえも、圧電材料本体の而に対する荷重伝達は初
期的に各係合部の3個の極めて小さい部分に集中する傾
向がある。これらの力の集中により前記の表面部分の近
傍で高度の局部的な応力レベルを発生させる。次に、さ
らに圧ノJが加えられると、圧電材料本体の表面係合部
分がある程度著しく増える傾向があるが、依然として適
正に係合するのは前記本体の面の極小さい部分でしかな
い。この理由で、局部的な材料の応力は該材料の応答の
直線性が劣るレベルで高いままである。この応力による
好ましくない応答特性は、圧電材料の温度依存性により
悪化する傾向がある。
さらに、加えられた圧力が変化するにつれて発生する係
合部の面積の変化によりさらに圧力に対する希望する信
号変化をぼかしてしまう。さらに、圧電材料の本体の面
の平行性やり°ボート即ら萌記面と係合する圧力供給手
段の欠除が(前記平行性の欠除が本体の面の形成による
のか、あるいはサポート即ち圧力供給手段に対する本体
の取付けによるのかは無関係に)変化する圧力と出力信
号との間の希望する相関関係をさらに修正させる。
(課題を解決するための手段) 要約したように、本発明による新規で、かつ改良された
圧力センサ装置は、圧電材料製本体の表面主要部分の全
ての部分に概ね均一に荷重を伝達することにより、作用
圧力を大きい領域に分配することによりその作用圧力に
対する応答の直線性を向上させるよう前記本体を取り付
ける手段を有するセラミック圧電材料製本体を含む。本
発明によれば、剛性の荷重分配手段の一端は、圧延材料
製本体の第1の面の主要部分に対して並置され、荷重分
配手段の前記端部は例えば剛性のh機付接着材の層によ
り前記本体の第1の面と1確に適合し、かつしっかりと
固定されており、そのため前記の剛性の荷重分配手段は
前記本体の第1の面の全ての部分と概ね均一に?1Fi
fiを伝達する関係で剛性の適合する接着材と協働する
。剛性の支持手段の方も一端が圧電材料製本体の反対側
の面の主要部分に対して並置され、前記支持手段の前記
端部は、前記の本体の反対側の面に正確に適合し、かつ
しっかりと固定されており、そのため前記本体の反対側
の面の全ての部分に対して概ね均一に荷重を伝達するI
ll係にある。前記の配置において、荷重分配手段と、
圧電本体と剛性の支持手段とが圧電ユニットを形成し、
本発明によれば、そのユニットが、作用圧力が変動する
につれてその応答直線性を向上させてその圧力に正確に
対応する電気信号を発生させるよう、作用圧力を受け取
るべく正確に前記ユニットを取り付ける取付は手段に固
定されるa前記支持手段は前記取付は手段の孔に締りば
めにより取り付番ノられることにJ、す、荷重分配手段
と圧電本体とが前記締りばめの個所から片持ち関係で延
び、その上に加えられたn力を受け取るように荷重分配
手段の反対側の端部を正確に位置づけることが好ましい
。このように、本発明による新規かつ改良された圧力セ
ンリ°装置は、作用圧力が広範囲にわたって変動する際
、その作用圧力に対fるさらに正確かつ高度の直線応答
性を達成する。また、本発明による新規なL(電ユニッ
ト取付は構造の性能をさらに向上するように選択した接
点手段、接着手段、熱放散手段、ダイヤフラム手段およ
びセラミック圧電本体の形態や成分が提供される。
本発明による新規かつ改良された圧力センサ装置のその
他の目的、利点および、71!lが、添付図面を参照し
た本発明の好適実施例についての以下の詳細説明から明
らかとなる。
(実施例) 図面を参照すれば、第1図から第3図までにおける10
は本発明による新規かつ改良された圧力センサ装置の好
適実施例を示し、該装置は取付は手段12)該取f4け
手段の一端におけるダイヤフラム手段14および本セン
サ装置を電気制御回路等に接続するための、前記取付は
手段の反対側の端部にある端子手段16とを含むものと
して示されている。本発明によれば、第2図に示すよう
に、圧電センサユニット18は加えられた圧りに対応す
る初期電気信号を提供すべく該圧力に応答するように取
付は手段に固定されており、信号処理手段20は前記初
期電気信号を処理してセンサ装置から遠隔の個所まで伝
送ずべくセンサ装置に内蔵されることが好ましい。セン
サ装置の全体の大きさや形状は自動車の小さい点火プラ
グに類似であることが好ましい。
取付は手段は、冷間圧延した鋼等で形成した剛性の金属
要素であって、中央孔12.1と、前記斂素の端部近傍
で9部12.3を形成する小径の一方の鎌部12.2と
、前記要素の端部近傍において(第2図において鎖線で
示す)内燃機関22のくぼみ22.1内でシールして取
付は手段をねじで取り付番プるための外ねじ12.4を
有し、前記要素の前記一端を内燃機関に対面させ、該内
燃機関のピストンシリンダ22.2内の圧力環境に該要
素を露出させる剛性の金属要素からなることが好ましい
。代替的に前記要素は圧力に露出すべき圧電ユニットを
しニタするためのその他のいずれかの区域で取り付ける
ようにしうる。前記取付は手段は、エンジンのくぼみ2
2.1への本装置の挿入を制限するための取付は肩12
.5と、信号処理手段20等を収容するための、前記孔
12.1と連通ずる取付は手段の他端における室12.
6と、取付は手段をねじで取り付tノるために使用する
六角形の把持手段12.7と、その上に端子手段16を
取り付けるための前記の取付は手段の他端に設けた肩1
2.8と、端子手段を都合よく取付参り手段に取り句G
ノるための他端における転造フランジ12.9とを提供
することが好ましい。
ダイヤフラム手段14は、底部14.1と、14.3で
示すように溶接等で金属製の取付は手段12に取り付け
られることが好ましく、孔12.1の一端をシールする
ためにその縁部仝周でシールを形成することが好ましい
側壁14.2とを有する全体的にコツプ状の金属部材か
らなることが好ましい。前記コツプの縁部は取付は手段
の肩12.3と当接して取付は手段へ取り付けやすくし
、かつ溶接部と協働してダイヤフラムを取付は手段上に
正確に位置づけることが好ましい。
好適実施例においては、ダイヤフラム手段、の中央部分
14.4は第2図においてfQ14.5で示す平面に通
常位置する比較的に大きい平坦な領域を有し、かつダイ
ヤフラムの材料は著しい撓み性を有するインコネルある
いはステンレス鋼等の薄くて耐久性の材料であって、そ
のためダイヤフラムの中央の平坦部分は、追って理解さ
れるようにエンジンの作動中にそのシリンダ22.2に
介在の流体圧の変動に応答して第2図において矢印14
.7により指示する方向に、曲率半径14.6において
側壁14.2に対して直ちに運動可能で、一方侵述のよ
うに圧電検出エレメント18と係合し続けることが好ま
しい。
圧7uユニット18は多結晶セラミック圧電材料製のデ
ィスク即ち本体24を含み、該本体は作用圧力を受け取
るための、該本体の一端におtJる第1の、好ましくは
平坦な而24.1と、反対側の、本体を支持する好まし
くは平坦で平行の而24.2とを有し、そのため加えら
れた圧力が航記本体の面の間で圧電材料を圧縮し前記圧
力に対応する電気信号を発生させる。前記本体の面24
.1および24.2には経流的な製作に見合う稈71の
平坦度と平行度を備えるのが好ましく、セラミック本体
の材料に正確に適合し、かつセラミック材に対して抵抗
接点を提供するように従来の要領で金属インク等を用い
て本体の各面に薄い導電接点24.3.24.4を設け
る。本発明によれば、本発明の範囲内で本体24には従
来のいずれかのセラミック圧fffIl料を用いればよ
いが好適実施例においてはセラミック圧電材料は、Xが
a12*成分の僅かな変動を示す、 Fe     Cr    0 0.005−0.015 0−0.0013−Xを有す
る、鉛−ストロンチウム−ジルコニウム、鉄−チタン酸
塩からなることが好ましい。
同様の鉛、ストロンチウム、チタニウムおよび鉄成分を
有する従来の圧電材料も公知であり、かつモルパーセン
トが0.5以下の鉄含有量の材料も市販されてきたが、
顕著に鉄含有量の高い前記成分は、比較的にはるかに硬
質の/[特性を有し高圧範囲にわたる応答iff線性金
白上させるためシリンダ圧力に高圧が加えられる場合に
好ましく、クロム成分が鉄含有範囲の下限での低抗性を
向上させ、また材料の放散係数を向上させる。
圧電ユニット18はさらに剛性の荷重分配手段26を含
み、該分配手段の一端は圧電本体の第1の面24.1の
主要部分にわたって接点24.3に対して並置され、か
つ前記本体の第1の面部分の全ての部分に対して概ね均
一に荷重を伝達するように前記面に正確に適合し、かつ
しっかりと固定されている。好ましくは、例えば剛性の
荷重分配エレメント28は金fluディスク28.1と
、剛性のセラミックの圧力伝達部材28.2と、前記デ
ィスクと圧力伝達部材とを一諸にしっかりと固定して荷
重分配エレメント28を形成する剛性のJ1着層28.
3とを含む。ディスク28.1は独自でも剛性となるに
十分な+iさを有し、全体的に圧電本体2゛4のそれに
対応する熱膨張係数の比較的に低い導電性金属材料から
形成されることが好ましい。例えば、ディスク28.1
はKovarの商標で市販されている材料にッケル23
−30%、コバルト30−17%、マンガン0.6−0
.8%残り鉄)あるいはInvar  にッケル36%
残り鉄)等の、熱膨張係数が6.5X10−6in/i
n/”Fあるいはそれ以下の材料から形成されることが
好ましい。セラミックの分配部材28.2は全体的に円
筒形で、ステアタイト即ち酸化ジルコン等で形成される
ことが好ましい。前記分配部材の一端はその周囲の一部
に狭い溝28.4を有し、分配部材の前記端部が例えば
エポキシ等の剛性接着材料28.3によりディスク28
.1の一方の側にしっかりと固定されることが好ましい
。両端部の中間で絶130.1を有す。
る電線30の一端は第2図で示すように溝28.4の位
置においてディスク28.1に導電関係で固定されてい
ることが好ましい。ディスク28.1の反対側の端部は
圧電本体の並置して接触した第1の而24,1に対して
、例えば金属を充てんしたエポキシ、充てんポリイミド
あるいはその他の公知の剛性接着材によりしっかりと固
定されており、萌記接4材は荷重分配エレメントと圧電
本体の接触した面の部分24.1との間で硬化され、接
触した本体の而に対して正確に適合し、かつしっかりと
固定される。−好適実施例においては、金属粒体充てん
材を含有のエポキシ接着材は金属製ディスク28.1を
圧電本体24から正確にN隔さじる作用のガラス球ある
いはロンドを含む。良りIな剛性を備えて熱間サイクル
の間良好な接着保持性を有するように、接着剤は所期用
途のffl Ill I II内でガラス変移点を有す
るよう選択づ”る。
圧電ユニット18はさらに剛性の支持手段34を含み、
該支持手段の一端は圧電本体の反対側の百24.2の主
要部分にわたって接点24.4に対して並置され、かつ
その接触部24.2に対して正確に適合し、かつしっか
りと固定され、前記本体の反対側の面部分の全ての部分
と概ね均一に荷重を伝達づる関係となっている。例えば
、剛性の支持部材36は、金属ディスク36.1と、剛
性の金属支持部材36.2と前記ディスクと支持部材と
を一緒に固定して剛性な支持部材36を形成する、36
.3で示すl電性の剛性接着手段とを含むことが好まし
い。ディスク36.1は独自で剛性となるに十分な厚さ
を有し、かつ前述のディスク28.1のような金属で形
成されることが好ましい。このように、ディスク36.
1と28.1とはヒラミック製本体24とセンサユニッ
ト18の他の要素との間で適合する熱膨張係数を向上さ
せるよう作用する。金属製支持部材36.2は金属製の
取付は手段12に対応する鋼材料から形成され、その一
部36.4は直径がディスク36.1より相対的に大き
くかつ、後述する理由から圧電本体24および荷重分配
エレメント28より大きいように選択する。接着手段3
6.3は例えば、前述の接着材32のような導電性接着
材からなるが、接着手段36.3はまた、本発明の範囲
内でディスク36.1と部材36.2との間の溶接ある
いはろう付は等としてもよい。剛性の支持部材36では
、ディスク36.1の一方の側が、前述の接着材32に
対応する剛性の導電性接着材37を用いて圧電本体の並
置して接触の面24.2にしっかりと固定されている。
剛性の接着層32および34は、有機性の導電性材等か
らなるものとして前述したが、これらの面はまた1本発
明の範囲内においてはんだ、あるいはろう等の金属製接
着手段からも形成しうろことを理解すべきである。例え
ば好適実施例においては、接着層は剛性ではあるが展性
の材料で形成され、圧電ユニット18がある供給圧力レ
ベルでその両端の間で圧縮され展性の金属製の接着材を
変形させて圧電ユニットに正確に適合させ、かつ圧電本
体の面にしっかりと固定させることにより、比較的に低
い作用圧力で圧電ユニットを次に使用する間前記面に極
めてしっかりと固定されるようにする。
本発明によれば、圧電ユニット18は取付り手段12に
固定され、荷重分配手段の反対側の端部26.2を、作
用圧力を受け取り、かつその圧力を圧電本体の面に均一
に供給して作用圧力の変り」に対してさらに正確に、か
つ直線的に応答する圧力センサ装置を提供するために正
確に決定した位置に配置させる。第2図に示す好適実施
例においては、圧電ユニット18は金属製取付は手段の
孔12.1へ挿入され、支持部材の直径は、第2図にお
いて38で示すように前記孔の選定位置において支持部
材の周囲の部分で締つばめにより前記孔に固定されるよ
う選択される。前記支持部材の周囲の部分36.3は締
つばめを促進するように設けたものである。即ち、圧電
ユニット18は選定位置において締りばめにより取り付
けられ、そのため荷重分配手段26と圧電本体24とは
前記孔内を支持手段から片持ち関係で延び、荷重分配手
段の反対側の端部26.2をダイヤフラム14と係合さ
せて圧電本体24に対して選定した予備負荷圧力を加え
ることが好ましい。電I!30は取付は手段の孔に設は
電線を室12.6へ延ばすように設けた溝40を介して
孔12.1を山9通する。
前記配置において、剛性の支持部材は電気回路に圧電本
体24の一方の側を電気的に接続する位置38において
取付は手段との良好な電気的係合状態で固定され、圧電
本体の反対側も電線3oにより前記回路に簡単に接続さ
れる。希望に応じて、圧電ユニットは第2図において4
1で示すように希望する予備負荷圧力でロックインする
よう締りばめ位置38で金属製取付は手段12に溶接す
る。
信号処理手段20は、追って理解されるようにいずれか
の従来の方法で電線30および/または取付は手段12
に、かつ端子手段16に簡単に接続される。圧電ユニッ
トは容易かつ正確に製作され、取付は手段12に取り付
ける前に希望に応じて試験等を行ない、次にダイヤフラ
ム14が受け取る作用圧力に応答して正確な電気信号を
提供する位dに確実に正確に位置させて取付は手段12
に容易かつ正確に取り付けられる。このように、圧電本
体、を適正に取り付けることによりセンサ装置の応答性
の変動は著しく低下するため、作用圧力に対する圧電水
゛体の応答の直線性は、選定された圧電材料自体の特性
による応答直線性の限度に概ね匹敵する。この配置にお
いて、取付けに関わる要素の顕著な改良によるセンナ装
置の改良は極めて著しいものであるため前述のような好
適な鉛−ストロンチウム−ジルコニウム−鉄−チタン酸
塩圧71料を用いることが望ましく、その新規かつ改良
された圧電材料の特徴は室温から200℃以上までの広
範囲にわたる温度変化の間の信号応答の直線性を向上し
たことにある。即ち、前記の成分は、変動しつる圧力や
温度条件下でセンサ装置の応答の全体的な直線性を向上
させるために、前述したように圧電ユニット18を用い
るべく鉄含有量を約0.5%以上に増加したことに特に
適合する。前述のように、圧電ユニット18は孔12.
1の壁と、荷重分配手段26と圧電本体24との間で、
第2図において24で示1選択したスペースを右する。
好適実施例においては、前記スペースは、その形状に自
在に適合しつるシリコングリース等の熱伝導性であるが
電気絶縁性の材料で充てんされ、そのため作用圧力に対
する圧電ユニット18の適正な応答を抑制せず、しかも
荷重分配手段26と圧電本体24から熱を奪い、その熱
をねじ12.4あるいは金属製要素を介して例えばエン
ジン22に放散し、そのため圧電本体24が露出される
温度範囲限度を低減させる。
対応の参照番号が対応の要素を指示している第3図に示
ず本発明の代替実施例においては、金属要素12′は底
部44を形成した孔12.1’を有し、圧電ユニット1
8′は38′において前記孔に締まりばめで挿入されて
いる。好適実施例において、圧電ユニット18′におけ
る支持手段34′は前記孔の底部に衝接し、ダイヤフラ
ム14′は荷重分配手段の反対側の端部26.2’に押
し付けられ、該ダイヤフラムが金属要素12′に溶接さ
れる前に圧電本体24′に作用する所望の予負荷の圧縮
力を確立する。
第4図に示す本発明の代替実施例においては、ダイヤフ
ラム手段が省略−されており、そのため圧電ユニット1
8″の反対側の端部26.2”は直接作用圧力を受け取
るようにされている。、この装置は前記と同じ用途およ
び/または低圧あるいは低温用途に適用される。本装置
においては、例えばシリコングリース42″のような伝
熱性で電気絶縁性材料が孔12.1″の形状に自在に適
合しつるが、前記孔内で十分な形状復元能力が保たれる
ようにしている。この配置においては、電気絶縁性材料
の薄いチューブ状エレメント46が圧′市ユニット18
″上に嵌合されてグリースあるいはその他の熱放散材料
により孔内に保持され、一方圧ミコニット18“の片持
ち部分が取付は手段12″の材料に接地されないよう保
証することが好ましい。
第5図に示す本発明の別の代替実施例においては、圧電
本体48は圧゛電本体24に代替する合成材料から形成
されている。即ち、圧電本体48は、一方のgJ48.
1が、例えば応答iiI線慴や抵抗性のような性能特性
の選定した組み合わせ、あるいは比率を有する鉛−ジル
コニウムーチクンM塩の如き圧電材料で形成された合成
セラミック圧電本体として形成されている。第2の層部
分48,2は、例えば前述の鉛−ストロンチウム−ジル
コニウム−鉄−チタン酸塩のような別の種類の圧電材料
から形成されている。この配置においては、少なくとも
一方の層は他方の層の上に形成され、両層間の境界48
.3に沿って他方の層に正確に適合することが好ましい
。電気接点48.4および48.5が本体の両側に対し
て抵抗接触する関係で設けられている。この配置におい
ては、圧電本体の層は協働して合成圧電本体に対して特
定の用途に対してtfr規かつ有利な、例えば抵抗性と
か応答のvX線性のような性能特性の組み合わせを付与
し、本体48は前述の本体24に代替するようにされて
いる。
第一6図に示す別の代替実施例においては、別の圧電本
体50は、例えば前述の鉛−ストロンヂウムージルコニ
ウムー鉄−チタン酸塩のようなセラミック圧電材料の芯
150.1を右する合成セラミック圧電本体として形成
されている。好ましくは導電性であるが、圧電効果を示
さない他のセラミック材製の他の層50.2と50.3
とが前記芯層の両側に設けられ剛性の荷重分配手段なら
びに剛性の支持手段としてそれぞれ作用する。即ち、そ
の他のセラミック層50.2と50,3とは芯層50.
1の上に形成されることによって該芯層の両側50.4
および50.5に精確に適合し、かつしっかりと固定さ
れ、芯層の面に対して概ね均一に荷重を伝達する関係と
なることが好ましい。
金属製接点50.6および50.7が導電性の支持手段
と?i?i重分配手段とに抵抗接触して設けられること
が好ましい。この配置において、圧電本体50は前述の
圧電ユニット18のような圧電ユニッ1へに代替され、
接着手段等により金属要素12等に固定される。
本発明の特定実施例について本発明の例示として説明し
てきたが、本発明は特許請求の範囲内に網羅される、開
示実施例に対する修正および均等物を全て包含すること
を理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による圧力センサ装置の斜視図、第2図
は第1図のII!2−2に沿って視た、増尺衛面図、 第3図は本発明の代替実施例を示す、第2図に類似の部
分断面図、 第4図は本発明の別の代替実施例を示す、第2図に類似
の部分断面図、 第5図は本発明の別の代替実施例に用いる要素の軸線に
沿った断面図、および 第6図は本発明の別の代替実施例に用いる別の要素の@
線に沿った断面図である。 図において、 10・・・センサ装置 12・・・取付は手段 12.1・・・孔 14・・・ダイヤフラム手段 16・・・端子手段 18・・・圧電ユニット 20・・・信号処理手段 22・・・内燃機関 24・・・圧電本体 24.1,24.2・・・面 24.3,24.4・・・接点 26・・・荷重分配手段 34・・・剛性支持手段。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)第1の面と反対側の面とを有するセラミック圧電
    材料製の本体と、前記面の間の圧電材料が作用圧力に応
    答して圧縮され、作用圧力に対応した電気信号を提供す
    るよう前記本体を取り付ける手段とを含む、電気信号を
    提供する圧力応答装置において、剛性の荷重分配手段の
    一端が前記本体の第1の面の所定の主要部分に対して並
    置され、かつ前記本体の第1の面部分の全ての部分に対
    して概ね均一な荷重伝達関係となるよう前記本体の第1
    の面部分に正確に適合し、かつしつかりと固定されてお
    り、剛性の支持手段の一端が前記本体の反対側の面の所
    定の主要部分に対して並置され、かつ前記本体の反対側
    の面部分の全ての部分に対して概ね均一な荷重伝達関係
    となるよう前記本体の反対側の面部分に対して正確に適
    合し、かつしつかりと固定されて圧電ユニットを形成す
    るようにされ、前記圧電ユニットの支持手段が選定され
    た位置において前記取付け手段に固定されることによつ
    て、圧電材料の本体と荷重分配手段とが前記取付け手段
    から片持ち状に延び作用圧力を受け取り、前記本体の面
    部分の間の圧電材料を該作用圧力に正確に対応する電気
    信号を提供する均一な程度まで圧縮することを特徴とす
    る圧力応答装置。
  2. (2)特許請求の範囲第1項に記載の装置において、前
    記取付け手段が開口を形成する孔を有する剛性の金属要
    素からなり、ダイヤフラム手段が作用圧力に応答して運
    動可能なるように前記開口に対してシール関係で前記取
    付け手段に配置され、かつ前記圧電ユニットの剛性支持
    手段の周囲部分が選定された位置において前記孔に締り
    ばめで配置され、作用圧力に応答してダイヤフラム手段
    により所定の要領で係合し前記電気信号を提供するよう
    に荷重分配手段を位置づけることを特徴とする圧力応答
    装置。
  3. (3)特許請求の範囲第2項に記載の装置において、前
    記剛性の支持手段が前記の締りばめ位置において前記取
    付け手段の金属成分に溶接され前記荷重分配手段をダイ
    ヤフラム手段に対する希望位置でロックすることを特徴
    とする圧力応答装置。
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