JPS5974569A - 電子写真感光体およびその製造方法 - Google Patents

電子写真感光体およびその製造方法

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JPS5974569A
JPS5974569A JP57184192A JP18419282A JPS5974569A JP S5974569 A JPS5974569 A JP S5974569A JP 57184192 A JP57184192 A JP 57184192A JP 18419282 A JP18419282 A JP 18419282A JP S5974569 A JPS5974569 A JP S5974569A
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conductive layer
conductive
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Yoshiyuki Mimura
三村 義行
Takao Okada
孝夫 岡田
Akitoshi Toda
戸田 明敏
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Olympus Corp
Olympus Optical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、静電電子写真複写機に用いる導電層、光導電
層、透明絶縁層から成る電子写真感光体およびその製造
法に関する。
この種の感光体は、主として静電潜像形成プ[]セス中
、同時帯電光像露光を含む工程により静電潜像が形成さ
れる。1なわち、特公昭42−23910号および特公
昭43−24748号各公報に記′載されているように
、一時帯電、AC帯電または一次帯電とは逆極性の帯電
による二次帯電と同時の光像露光、全面露光のプロレス
で静電潜像が形成される。
感光体として、導電層によく用いられる八ρ、光導電層
としてSe、絶縁層としてポリエチレン・テレフタレー
ト(PET)よりなるものを用いた場合、Se光導電層
がP型であるため、負の前記−成帯電、前記二次のAC
または正のコロナ帯電同時光像露光、全面露光を加える
プロセスにおい゛C1−次帯電に絶縁層の上下に電荷対
を形成するという効果が十分発揮されず、高い静電コン
トラストをもった静電潜像が得難いv1貞がある。
すなわち、−数帯電荷において、Se光導電層の暗抵抗
が高いためと、導電層側からのキャリアの注入が少ない
ため、絶縁層の」−下にのみに電荷対を形成した理想的
状態とは、はど遠い状態になっている。その結果、明部
、暗部のコン1−ラス1への決定は、−成帯電が増感帯
電であるという効果を失い、単に二次帯電同時光像露光
の工程のみCご依存し、二次帯電がACの場合には殆ん
どコントラス[・がとれず、逆極性直流コロナの場合で
あっても極めて低いコンミルラスl−t、か冑られない
欠点がある。
また、それを補う補助的手段として、−成帯電全面露光
しながら、あるいは−成帯電全面露光を入れた後、二次
帯電同時光像露光を行なう方法等があるが、これらの補
助的手段により若干コントラストはJ:くなるものの、
−成帯電後の全面露光用の全面露光ランプの挿入が必要
であり、これがため装置が複雑化するばかり′Cなく、
それでもなお実用に十分なコントラス1へが得られず、
さらにプロセスが高速化するに伴ない、そのような補助
的手段では解決しえないのが実情である。
一方、高コントラストを得る3e以外の光導電層として
、粉末状のZnO,Cd’S等をバインダーに分散した
光導電層を用い、これど絶縁層よりなる感光体も開発さ
れているが、耐湿性の点で問題がある。
本発明者らは1.F記の問題点を解決づべく種々実験、
検討した結果、本発明をなすにいたったものである。り
なわら、本発明の目的は、導電層、光導電層および透明
絶縁層よりなる電子写真感光体における」ニ述の如き諸
問題を解8!l″gるため、高コン1−ラスト、高耐湿
性、高耐久性を有する電子写真感光体の構成およびその
製造法を提供しようとするものCある。
本発明の電子写真感光体は、△(支持導電層、ln導電
層およびCu導電層、Ag導電層、Se系光導電層およ
び透明絶縁層の順に積層して成ることを特徴とするもの
である。
また、本発明の電子写真感光体の製造方法は、上記の本
発明感光体を製造するにあたり、AA支持導電層上に置
換法または電気メツキ法によりln導電層を形成した後
、Cu導電層おJ:びAg導電層もしくはAg導電層を
順次電気メツキ法により形成し、次いでイのAg導電層
上に蒸着法によりse系光導電層を形成した後、任意の
適当な方法により透明絶縁層を形成づ−ることを特徴と
覆るものである。
以下、本発明の電子写真感光体とその製造方法について
詳細に説明する。
第2図は、本発明の感光体の構成の一例を示1断面図で
ある。同図において、1はΔ℃支持導電層、2はZnl
電層、3はCu導電層、4はAq導電層、5はSe系光
導電層、および6は透明絶縁層であって、これらが図示
のように積層された構成となっている。
Aβ支持導電層1は、加工性、硬度、コスh、表面性の
点で従来がら感光体の導電性支持体として最も適切であ
ることが知られCいるので、本発明においてもこれを利
用した構成となっている。
前記AC+導電層4は、へβ支持導電P1に直接被着さ
せればよいわけであるが、蒸着法では付着力が十分でな
く、かつ数μ以上の厚さに形成づるには適さず、またメ
ッキ法でΔg導電層4をAJ2支持導電層1に直接被着
させた場合には、均一に被着せず、かつ付着力が弱く、
光沢も悪く、耐久性が劣るのC1図示の実施例のもので
は、A(+導電層4と八(支持導電層1との間に7n導
電層2とCu導電層3を介挿した構成とし、それらを電
気メツキ法ににり形成している。なお、そのZn導電層
2は、厚みが0.1〜10μ程磨とし、好ましくは1μ
程度とするのが適当である。また、そのZn導電層は、
/n置換液への浸漬による置換法によって形成してもよ
い。この実施例でA(1導電層4を−そう効果的に付着
させるため、7 n導電層2上にまずC1導電層3を形
成した構成となっているが、その場合、Cu導電層3の
厚さは、1〜50μ、好ましくは10〜15μとするの
が適当であり、Cu CN液を用いて電気メツキ法によ
って形成しでいる。
以上のように形成した/11尋電導電もしくはCU導電
層3上にAgを電気メツキ法により、0.5〜50μ程
度、好ましくは5μ前後の厚さにメッキしてA(]導電
層4を形成しくいる。この場合のメッキ液組成どし−C
は、シアン化銀、シアン化カルシウムおよび炭酸ノJリ
ウムからなる液か、銀シアン化カリ・クム、シアン化カ
リウl\および炭酸カリウムからなる液が適しでいる。
なお、メッキ湿度は10〜30′C1電流密度は0.1
〜2△/(1m、P H9以上の条(’tによっUAC
I導電層4を形成するのがj内当である。
このようにして/l支持導電層1上に形成した7 IT
 −GO−八〇の各層からなるメッキ導電層は、洗浄、
乾燥後、密着性が良好な導電層として本発明の感光体を
構成する光導電層5に対し電荷の注入が容易な電極に供
せられる。この密着性が改良される理由は、主どして各
導電層界面にお(Jる材質間の相溶性に起因しているも
のと考えられる。
しかも、八ぶ支持導電層1に直接A(]導電層を形成し
たものに比べて、きんいつな光沢面をも5つたΔg導電
層が得られるばがりC゛なく、Zll 〜CIJ−18
の全部をAUによって形成した場合に比べて、コスト、
加工性、硬度、表面性ども優れている。
透明絶縁層6は、可視光を透過し、体梢固右抵抗の高い
(たとえば1014(’)・cm以上)たとえばポリエ
チレン・テレフタレ−1−、バラキシリレンおよびその
他のアクリル、エポキシ、ウレタン、フッ素、スチレン
、カーボネー1〜樹脂等が適しており、任意の適当な方
法で厚さ5〜40μ程度となるように光導電層5上に被
着させCいる。
また、光導電層5は、Se系の光導電材料たとえばSe
、あるいはSeを主成分とし、1−e。
△S、Ge、S、Sb、ハロゲン等の副成分をドープし
たものよりなり、蒸着法によってへ19電層4上に形成
した構成となっている。
第1図の実施例では、ぞのse系先光導電層5単一層に
形成しCある例を示しているが、好ましくは第2図の本
発明の感光体の実施例の構成図に示したように、Seの
み、あるいはハロゲンをドープしたScによって形成し
た電荷輸送層5−1と、5e−T’eを主体とする電荷
発生層5−2の二層構成とすることである。なa3、同
図において第1図と同一構成部分は、同一符号を付して
示してあり、これらの部分については第1図により説明
済みであるので゛、説明を省略する。
周知のように、静電潜像につぃC8二1ンt−ラスI−
を得るには、−広帯電荷に注入された電荷は、光導電層
の電極を構成づる導電層にまり用害されることなく、透
明絶縁層のFに十分捕獲されるよう、できるだ(プづみ
ゃかに光導電層を移動層る必要がある。ところで、se
e感光体については、ハロゲンを除いて、一般に不純物
が少しでもドープされると易動度の低下があることが報
告されており、たどえば不純物どしU ’l−aが入る
ことはあまりりrましくない。一方、二次帯電同時光像
露光おJ:び最終■程C′ある全面露光部に、光導電層
が純粋のSeのみによるものにd3いては、光感度域が
、可視光の短波域にしがないので効率が悪く、そのため
にTe、As等のドープによって分光感度域を拡大し効
率向上をはかる必要がある。
第2図に示した実施例のものは、上記の二つの要求を同
時に満たまため、透明絶縁層6の下に3e−1−eを主
体とする易動度を低下させない程度に薄く形成した電荷
発生層5−2を設(プて、これにより光感度波長域の拡
大をはかるどともに、光感度を増大さぜ、もって、同時
帯電光像露光時および全面露光時の効率を向上さけ、ま
たその電荷発生FFl5−1の下に、Seのみ、あるい
はハロゲンをO〜4000 ppm含む以外には他の不
純物を含まない大きな易動度を有りるSeによって形成
した電荷輸送層5−1を設けることにより、A(]導電
層4より注入された電荷の移動をすみやかにし、もって
増感帯電効果を十分発揮させ7よう、光導電R5を二層
構造に形成した例を示している。
すなわち、前記電荷発生層5−1は、0.05〜5μの
厚さの5e−Te層であって、l−eの含有率が5〜2
5%であり必要に応じて結晶化防止、感度向上、残留電
位除去等の目的で、As 、 Qe 。
3i、31)、ハロゲンを含有させてもよい。
また、前記電荷輸送層5−2は、5ナイン(99,,9
99%>U上の]K+ 1.Wの純粋なSeか、あるい
はり[1ル等のハロゲンをO〜40001)0m含有づ
るSeを20−70μ厚に真空蒸着により形成するのが
適当Cある。真空蒸着の基板温度は、55°〜65℃が
適しており、55℃以下の場合には、残留電位が高くな
るとともに、プロセス応答速度が遅くなり、かつ十分な
コン1〜ラストがとれないものとなる恐れがある。一方
、55°C以上の基板温度で゛は、光導電層の抵抗が著
しく低下し、電圧印加時、光導電層に電位分配しなくな
るため、−次帯電時にお()るΔg導電層4からの電荷
法人、移動効果についてすぐれた効果を呈するようにな
シが、二次の同時帯電光像露光時においても、明部、暗
部の区別なくA(I導電層4側にり電荷の注入、移動が
行なわれるようになり、コン1〜ラストがとれなくなる
ことを確認している。
以上、Se系光導電層5を電荷発生層5−2および電荷
輸送層5−1の二層構造に形成した実施例について、そ
れら各層5−1.5−2の高コントラス]−に対する役
割を説明したが、高コン1〜ラストに対するAJ2−Z
n−Cu−AQからなる導電層の寄与について次に説明
する。
導電層の習性としては、−次帯電時に、できるだけ良好
な電荷の注入性を示し、二次帯電同時光像露光時には、
明部、暗部のコントラストを得るため、導電層側から電
荷の注入がないことが必要である。すなわち、プロセス
に応じて光導電層と整合のとれた導電層の材質が要求さ
れる。
本発明の感光体を構成づるAA−7n−Cu−A(Iか
らなる導電層のコントラストに対重る寄与は、次のよう
な実験から明らかである。
八ぶを導電層とした電荷発生層と電荷輸送層からなるS
e感光体ど、本発明のAJ2−Zn−Cu−AQからな
る導電層からなるそれと同一構成のSe系感光体に、そ
れぞれ−2000Vの暗中コロナ帯電をした後、強い全
面露光を行なった時の電位低下を測定した結果、A1.
導電層のものでは、1000V近く電位変化があるのに
対して、本発明のものでは250 V Pii度とがな
り小さい値を示した。このことから、本発明のものCは
、−2000V暗中帯電ニ、、L リ’l F ニー 
1750 Vに相当する電荷が、透明絶縁層の1Fに形
成されていることがわかる。
一方、前者のAJ2導電層のものでは、−1ooov近
くの電位分配が光導電層にあり、せっか<−2000V
を印加しているにもががねらず、−次帯電どし゛C有効
に透明絶縁層に電荷対を形成しているのは、その印加電
圧の半分の−1000V程度であり、本発明のものに比
べCはるかに小さく、電荷の注入が悪いことがわかる。
つぎに、二次帯電時を想定して、Ilf’を中で+20
00Vの正コロナ帯電を行ない、その時の本発明による
感光体の電位変化ど、Δ℃導電層の感光体における電位
変化を調べた結果、ともに1150V程度であった。
以上の実験結果から、本発明の感光体は、Δ℃導電層の
みによる従来の感光体に比べて、−次帯電においては電
荷の注入性が良好Cあり、二次帯電荷においては電荷阻
止性を示し、高コントラストの静電潜像が得られ易い特
性をもっていることがわかる。
なお、本発明の感光体におけるΔz’−zn−Cu−A
(+からなる導電層とSe系導電層界面での電荷の注入
を支配しCいる機構はつぎの三つの可能性が考えられる
が、現在のところ明らかではない。
1、 たとえば光導電層との接触面積等、導電層の表面
状態。
2、 界面での3e系導電囮の再結合レンター密度の大
小。
3、3eど導電層の仕事関数の差にJ、るバリア形成の
難易。
4、 Δ1. Zn 、 C’、u 、 A(]の各層
間の(1事関数の差によるバリア形成の難易等。
以上説明した本発明の電子写真感光体についてその製造
方法を実施例に基づいて以下説明する。
〔実施例1〕 脱脂、前処理したアルミニウムドラムをNa 01−1
   (525(+ /1)ZnO(100a/ρ) のアルカリ溶液に1分間浸)きし、酸化皮膜を表面から
除去し、約1μの密着性の7q層で表面置換した。つい
で、 Cu 、CN    (41,3a /β)Na CN
    (48,8g/J2>NazCO3(30,0
(!/J2) ロッシェル塩 (60,0(1/β) Pl−110,3 温  度         40  ℃の111iF1
5分間電気メッキし、前記7[1層の表面に10μのC
u層を形成した。ここでQLIメッキをほどこす理由を
説明りると、7−n層の上に直接へ〇メッキする方法で
は、管理上不安定であり常に良好4に密着性を冑I11
いためである。
ついで、そのドラムを シアン化銀    (26,25M J2)シアン化カ
ルシウム(52,59(1/β)炭酸カリウム  (3
7,5(1/ぶ)PI−1、10,5 温  度           20  ℃の浴に入れ
−C電流密度1.8A/dm  にして5分間電気メツ
キし、約5μのA(lliを形成した。これを洗浄、乾
燥した後、基板温度60℃で、50μの厚さに5ナイン
のSe層を真空蒸着法によって蒸着し、ついで10%の
Teを含有する5e−Te層を0.5μの厚さに真空蒸
着してSe系光導電層を形成した。この Se系光導電
層の上に透明絶縁層として厚さ20μのPETフィルム
をはりつけて、本発明の感光体を得た。
以上のように製造した感光体にまず一次帯電として、ス
コロトロン帯電器により 一2000Vに帯電し、ついで6.5KVのACコロナ
帯電と同時に光像を露光し、その後、全面露光し−C静
電潜像をlr/た。
また、同様にして一次帯電後、4−6.5KVの直流性
]ロナ帯電と同時に光像を露光し、その後全面露光し℃
静電潜像を1qた。
それら両りの方法によつ(得られたコントラス1〜電位
は、表1の実施例1のAC,l)Cの各欄に記載したよ
うに、420VJ3よび540vとそれぞれ高い値を示
した。これらの静電潜像を磁気ブラシ現像し、転写紙に
転写したところ、予期したとおり高濃度のコン1−ラス
トの良好な画像を得ることができた。
その後、除電、クリーニングし、次の画像を繰り返しと
ったところ、残留電位、残像等のない画質良好な画像が
得られた。また、同様にして現像、転写の練り十し、5
万枚後の]ン1〜ラスト電位保有率は、90%以上と極
めて優れた耐久性を示した。
さらに、温度特性として、上記のように製造した本発明
の感光体を、85%RI−1の高湿化に3日間放置後、
再び上記と同じ方法で評とんとなかった。
(実施例2〕 脱脂、前処理したアルミニウムドラム上に、1nGN 
 (60(1/ρ) NaCN  (42g/j2) Na 0H(78,8(1/J2 > の亜鉛メッキ液により、Z n層を2μの厚さに電気メ
ッキした後、前記実施例1と同じ処理により、Cu層お
よびΔg層を順次各5μ厚に電気メッキしてAJ2−Z
n −Cu −A(+の各層からなるg電層を形成した
。この導電層のA(]導電層上に、基板温度57°Cに
より、りUルを15p1)m含有する3e層を45μの
厚さに真空蒸着し、ついで15%の1eと1.5%のA
Sを含有づる3e−’1−c重金属を1μの厚さに真空
蒸着して光導電層を形成した。この光導電層上にバラキ
シリレン樹脂層を気相蒸着により25μの厚さに被着形
成して本発明の感光体を得た。
この感光体を前記実施例1の場Cと同様の条件にJ:っ
て評価したどころ、上記表1の実施例2の欄に示した如
き良好なコントラストを示した。また、耐湿性、耐久性
ども実施例1によるものと同様に極めて良好であった。
〔実施例3〕 脱脂、前処理したアルミニウムドラム上に実施例2の場
合と同じ処方の亜鉛メツ4:液により70層2μ厚に電
気メッキした後、実施例1の場合と同じ手法により、そ
の7−n層上にA(1層を5μ厚に形成した。ついで、
57℃の基板温度により45μの厚さに、クロルを15
1)I)Ill含有りるSe層を真空蒸着し、さらにそ
のSe層上に15%のTeと1.5%のASを含有する
3e−Te合金層を1μの厚さに真空蒸着して光導電層
を形成した。この光導電層上にハラキシリレン層を25
μの厚さに気相蒸着して本発明の感光体を得た。
この感光体を実施例1の場合と同一条件で評価したとこ
ろ、上記表1の実施例3の欄に示したように、良好なコ
ントラスト電位を示し、また耐湿性も実施例1にJ、る
ものと同様に良好であった。また、耐久性は、後記りる
本発明の感光体にJ、らないものについての参考例3に
比べると、かなり良い保有率Vcを示した。
(参考例1) ノ1ルミニウムドラム」−に直接、5ナインのSe層を
50μの厚さに真空蒸着し、ついで10%のTeを含有
づる3e−’l’eHを0.5μの厚さに真空蒸着して
光導電層を形成し、この光導電層上に20μ厚のフィル
ムをはりつけて得た感光体について、実施例1の場合と
同様に評価したどころ、上記表1の参考例1の欄に示す
如く、AC,OCの各帯電時にd3りるコントラスト電
位は、非常に低い値しか示さなかった。
〔参考例2〕 実施例1と同条1′1によって作製したΔρ−7n −
Cu−A(lの各層からなる導電層上に、10%のTe
を含有づる5e−To合金層を50μの厚さに真空蒸着
して光導電層を形成し、この光導電層の上に20μの厚
さの()F[フィルムをはりつ(〕て本発明の感光体を
得た。
この感光体について、実施例1ど同様の条件で評価した
結果は、上記表1の参考例2の欄に記したとa3りであ
って、参考例1のものに比べると優れたコントラスト電
位を示り−が、実施例1の場合のもののコントラス1〜
電位レベルには達しなかった。
(参考例3〕 アルミニウムドラム上に、Zn−CUfflを入れない
で、直接Ag層を実施例におりるAt1層形成と同じ条
件にJ、って5μ厚に形成し、以下実施例1と同様に光
導電層および透明絶縁層を形成して得た感光体について
、実施例1と同じ条件で評価した。
その結果は、上記表1の参考例3の欄に示したとおりで
ある。すなわち、初期のコントラス1〜電位については
、AC,’DC帯電ども実施例1のものとほぼ同じであ
ったが、画質の均一性に問題があり、部分的な乱れがみ
られた。また、耐久性につい(は、実施例1のものに比
べるとコントラス1−電位保有率Vcが75%と低い値
を示しており、Δ℃−八りからなる導電層と光導電層の
密着性変化にともなう劣化が、早くおきているものと元
えられる。
以上は、本発明の感光体を同時帯電光像露光を利用した
作像ブ1」セスに用いる場合について説明したが、本発
明の感光体は、いままで説明しCきたようなプロレス用
に限定されるものではなく、たとえば特開昭48−89
737号公報に記載されている如き、−数帯電とし′C
Cココ1す帯電を加え、ついで、正コロナ帯電を加えた
後、光像を露光するようにした電子写真法に用いること
もできることは勿論である。なお、その場合、前記特開
昭48−89737号公報に記載のものにJ3いては、
全面露光しながら一次帯電をしているが、電荷の注入性
が良好な本発明の感光体を用いれば、その−広帯電荷に
全面露光がなくても透明絶縁層の上下に電荷対を十分形
成させることが可能であるばかりではなく、引続く静電
形成プロセスにより良好なコン1−ラスト電位を得るこ
とができる。
以」ニの説明から明らかなように本発明の感光体によれ
ば、3e系先光導電と導電層の界面導電層どし’l’ 
A LJを用いたことにより、−広帯電荷の電荷注入性
が改善され、かつ二次帯電同時光像露光時の注入阻止性
は維持された状態になるため、高]ン1〜ラス1〜、高
温度の複写画像が育られる。また、前記の八〇による界
面導電層は、/11導電囮もしくはそのZO導電層上に
形成したCu導電層を介して△β支持導電層と強く密着
した構成であるから、静電潜像画質の均一性、安定性が
ともに優れ、かつ同一静電潜像の繰り返し使用時のコン
トラスト電位の保有率が優れている等の効果がある。ま
た、Se系光導電層を電荷発生層と電荷輸送層の2層に
構成したものにおいては、光キャリアの発生は電荷発生
層に、光キャリアの輸送および注入キャリアの輸送は電
荷輸送層に、それぞれ機能分担させるようにしているた
め光感度に擾れ、かつ残留電位、残像のない良好な画像
特性を示す等の効果をもあわけ有づるはか、光導電層ど
じC8e系の蒸@膜を用いているので、バインダー系感
光体に比べて耐湿性が非常に優れている等の効果をもあ
わせ有づる。
さらに本発明の製造方法によれば、密着性の浸れた導電
層が形成されるのC゛、前記表1に示した如き高性能を
右ηる本発明の感光体を容易に製造しつる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は、本発明の電子写真感光体のそれ
ぞれ異なる実施例の構成を示′IIfli面図Cある。 1・・・Aββ支持導電層2・・・/11導電層3・・
・Cu導電層   4・・・Ag)g電層5・・・Se
系光導電層 5−1・・・電荷輸送層5−2・・・電荷
発生層  6・・・透明絶縁層第1図 第2図 手続補正書 昭和58年8月25日 1、事件の表示 昭和57年 特 許 願第184192号2、発明の名
称 電子写真感光体およびその製造方法 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 (037)  オリンパス光学工業株式会社電話(58
1) 2241番(代表) 5゜ 6、補正の対象  明細書の「発明の詳細な説明」の欄
7°補’iE Cr) l*I@ (別0°1°’  
       方、*  /ii’1、明細書第4頁第
14行の「全面露光しながら、・・・全面露光を」を「
同時全面露光後、あるいは−数帯電後全面露光を」と訂
正し、 同頁第第17行の「−数帯電後の」を「−成帯電荷、ま
たは帯電後の」と訂正する。 2、同第6頁第11行の「第2図は、」を「第1図は、
」と訂正する。 3、同第8頁第20行の「きんいつな」を「均一な」と
訂正する。 4、同第11頁第9行のl’−5−IJを[5−24と
訂正し、 同頁第17行のl’−5−1」をl’−5−2jと訂正
する。 5、同第12頁第2行のl”5−2」を「5−1」と訂
正する。 6、同第15頁第6行の「三つの」を「四つの」と訂正
する。 7、同第21頁第16行の「ハラキシリレン層」を「バ
ラキシリレン層」と訂正する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、  AJ2支持導電層、7−n導電層または7n導
    電層およびCu導電層、A(+導電層、Se系光導電層
    および透明絶縁層の順に積層しで成ることを特徴とする
    電子写真感光体。 2、 前記Se系導電層が前記AQ導電層上に、55℃
    〜65℃の基板温度で蒸着された25〜70μ厚のSe
    電荷輸送層と、55℃〜65℃の基板温度でそのSe電
    荷輸送層上に蒸着された少なくとも丁eを5〜25%含
    有する0、05〜5μ厚の3e −Te電荷発生層の二
    層よりなることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記
    載の電子写真感光体。 3、 前記Se系光導電層が、前記Ag導電層上に、5
    5℃〜65℃の基板温度で蒸着されたハロゲンを0〜4
    000 Dpm含有する25〜70μ厚のSe電荷輸送
    層と、そのSe電荷輸送層上に、55°〜65℃の基板
    温度で蒸着された少なくとも丁eを5〜25%含有する
    3e−−je電荷発生層の二層よりなることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項に記載の電子写真感光体。 4、  /l支持導電層、711導電層または7n導電
    層おJ、びCu1j電層、Ag導電層、Se系光導電層
    および透明絶縁層の順に積層して成る電子写真感光体を
    製造りるにあたり、Δ℃支持導電層上に直換法または電
    気メツキ法により7n導電層を形成した後、CuS電層
    およびAg導電層もしくはへ〇導電層を順次電気メツキ
    法により形成し、次いでそのA(l導電層上に蒸着法に
    よりSe系光導電層を形成した後、透明絶縁層を形成す
    ることを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
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