JPS5974568A - 電子写真感光体およびその製造方法 - Google Patents

電子写真感光体およびその製造方法

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JPS5974568A
JPS5974568A JP57184189A JP18418982A JPS5974568A JP S5974568 A JPS5974568 A JP S5974568A JP 57184189 A JP57184189 A JP 57184189A JP 18418982 A JP18418982 A JP 18418982A JP S5974568 A JPS5974568 A JP S5974568A
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conductive layer
conductive
photoreceptor
charge
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JP57184189A
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Yoshiyuki Mimura
三村 義行
Takao Okada
孝夫 岡田
Akitoshi Toda
戸田 明敏
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Olympus Corp
Olympus Optical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、静電電子写真複写機に用いる導電層1元導電
層、透明絶縁層から成る電子写真感光体およびその製造
法に関する。
この種の感光体は、主として静電潜像形成プロセス中、
同時帯電光像露光を含む工程により静電潜像が形成され
る。丁なわち、特公昭42−28910号および特公昭
48−2474’8号各公報に記載されているように、
−成帯[、AC・:帯電または一次帯電とは逆極性の帯
電による二次帯電と同時の光像露光、全面露光のプロセ
スで静電潜像が形成される。
感光体として、導電層としてよく用いられるA4光導電
層としてSe、絶縁層としてポリエチレンテレフタレー
ト(PET)よりなるものを用いた場合、Se元導電層
がP型であるため、負の前記−成帯電、前記二次のAC
または正のコロナ帯電同時光像yt光、全面露光を加え
るプロセスにおいて、−成帯電荷に、絶縁層の上下に電
荷対を形成するという効果が十分発揮されず、高い静電
コントラストをもった静電潜像が得難い難点がある。
Tなわち、−成帯電荷において、Se光導mNの暗抵抗
が高いためと、導電層側からのキャリアの注入が少ない
ため、絶縁層の上下にのみに電荷対を形成した理想的状
態とは、はど遠い状態になっている。その結果、明部、
暗部のコントラストの決定は、−成帯電が増感帯電であ
るという効果を失い、単に二次帯電同時光像露光の工程
のみに依存し、二次帯電がACの場合には殆んどコント
ラストがとれず、逆極性直流コpすの場合であっても極
めて低いコントラストしか得られない欠点がある。
また、それを補う補助的手段として、−成帯電荷全面露
光しながら、あるいは−成帯電後全面露光を入れた後、
二次帯電同時光像露光を行なう方法等があるが、これら
の補助的手段により若干コントラストはよくなるものの
、−成帯電後の全面露光用の全面露光ランプの挿入が必
要であり、これがため装置が複雑化するばかりでなく、
それでもなお実用に十分なコントラストが得られず、さ
らにプロセスが高速化するに伴ない、そのような補助的
手段では解決し得ないのが実情である。
一方、高コントラストを得るSe以外の光導電層として
、粉末状のZnO、OdS等をバインダーに、分散した
光導電層を用い、これと絶縁層よりなる感光体も開発さ
れているが、耐湿性の点で問題がある。
本発明者らは、上記の問題点を解決丁べく種々実験1検
削した結果、本発明をなTにいたったものである。すな
わち、本発明の目的は、導電層。
光導電層および透明絶縁層よりなる電子写真感光体にお
ける上述の如き諸問題を解消するため、高コントラスト
、高耐湿性、高耐久性を有する電子写真感光体の構成お
よびその製造法を提供しようとするものである。
本発明の電子写真感光体は、Al支持導電層。
Zn導電層またはzn′#1.電層およびCu導電層、
N1導電1層、Se系光導電層および透明絶縁層の順に
積層して成ることを特徴とするものである。
また、本発明の電子写真rrxyr、、体の製造方法は
、上記の本発明感光体を製造するにあたり%  Al支
持導電層上に置換法または電気メツキ法によりZn□ 
導電層を形Jれた後、Cu導電層およびAg l電層も
しくはNi導電層を順次電気メツキ法により形成し、次
いでそのN1導′Pf、層上に蒸着法によりSe系光導
電層を形成した後、任意の適当な方法により透明絶縁層
を形成することを特徴とするものである0 以下、本発明の電子写真感光体とその製造方法について
詳細に説明する。
第1図は、本発明の感光体の構成の一例を示す断面図で
ある。同図において、1はl支持導電層+2はZn導電
層、8はCu導電層、4はNi導電層、5はSe系光導
電層および6は透明絶縁層であって、これらが図示のよ
うに積層された構成となっている。
Al支持導mJ’&1は、加工性、硬度、コスト。
表面性の点で、従来から感yC体の導電性支持体として
最も適切であることが知られているので、本発明におい
てもこれを利用した構成となっている。
N1導電層4は、A/支持導劃側に直接被着せしめれば
よいわけであるが、蒸着法では付着力が十分でなく、か
つ数μ以上の厚さに形成するには適さず、またメッキ法
でN1導電層4をU支持導電層1に直接被着させた場合
には、均一に被着せず1かつ付着力が弱く、光沢も悪く
、耐久性が劣るので、図示の実施例のものでは、Ni導
電w14とAl支持導電層1との間にZn導電層2とO
u導m層8を介挿した構成とし、それらを電気メツキ法
により形成している。なお、そのZn導電層2は、厚み
が0.1〜1(]μ程度とし、好ましくは1μ程度とす
るのが適当である。また、そのzn導電層は、zn置換
液への浸漬による置換法によって形成してもよい。この
実施例ではNi導電N4を−そう効果的に付着させるた
め、zn導電層2上にまず゛Ou導m層8を形成した構
成となっているが、その場合、Ou導電層3の厚さは、
1〜50μ、好ましくは10〜15μとするのが適当で
あり、0uON液を用いて電気メツキ法によって形成し
2ている。
以上のように形成したZn導電層2もしくはQu導m 
N a上にNiを電気メツキ法により、o、5〜50μ
程度、好ましくは5μ前後の厚さにメッキしてNi導1
1.Nj4を形成している。この場合1メッキ液組成と
しては、硫酸ニッケルを主成分とし〜・、電導度をよく
するため塩化ニッケル、塩化アンモン等を少量加えたも
のを用い、硼酸等でPH変化を防ぎ、PH2〜6.5.
温度2(1〜70“C1電流密度0.5〜50 Ald
m”でメッキを実施すると良好なNi導導電4を形成1
−るのができる。
このようにしてA/支持導mWjl上に形成したZn 
−Ou −Niの各層からなるメッキ導電層は、洗浄、
乾燥後、密着性が良好な導電層として本発明の感光体を
構成するツC導Tl15に対し電荷の注入が容易な電極
に供せられる。この密着性が改良される理由は、主とし
て各導電層界面における材質間の相溶性に起因している
ものと考えられる。
しかも、Al支持4111層1に直接Ni導電層を形成
したものに比べて、均一な光沢面をもったNi導IT?
1層が得られるばかりでなく、Zn −Ou −Ni層
の全部をNiによって形成した場合に比べて、コスト、
加工性、硬度1表面性ともに優れている。
透明絶縁層6は、可視光な透過し、体積固有抵抗の高い
(たとえば1014Ω・cm” 砒)たとえばポリエチ
レン中テレフタレート、バラキシリレンおよびその池の
アクリル、エポキシ、ウレタン。
フッ素、スヂレン、カーボネート樹脂等が適しており、
任意の適当な方法で厚さ5〜40μ程度となるようにy
c導電層5上に被着させている。
また、光導電層5は、Se系のyr:、 s 屯利料た
とえばse、するいはSeを主成分とし、Te 、 A
s 、 Ge。
s、sb、ハロゲン等の副成分をドープしたものよりな
り、蒸着法によってNi導電層4上に形成した構成とな
っている。
第1図の実施例では、そのse系光導電層5を単一層に
形成しである例を示しているが、好ましくは第2図に本
発明の感光体の池の実施例の構成図を示したように、S
eのみ、あるいはハロゲンをドープしたseによって形
成した電荷輸送N5−1と、Se −Teを主体とする
電荷発生層5−2の二層構成とすることである。なお、
同図において第1図と同一構成部分は、同一符号を付し
て示してあり、これらの部分については第1図により説
明済Tあるので、説明を省略する。
周知のように、静電潜像について高コントラストを得る
には、−成帯電荷に、注入された電荷は、光導電層の電
極を構成Tる導電層により阻害されることなく透明絶縁
層の下に十分捕獲されるよう、できるだけ丁みゃかに光
導電層を移動する必要がある。ところで、se系感光体
については、ハロゲ・。
ンを除いて、一般に不純物が少しでもドープされると易
動度の低下があることが報告されており、たとえば不純
物としてTeが入ることはあまり好ましくない。一方、
二次帯電同時光像側ycおよび最終工程である全面ジオ
ン0時に、光導電層が純粋のseI・・のみによるもの
においては、光感度域が1可視元の短波域にしがないの
で効率が悪く、そ(7) タ?l) ニT8.As等の
ドープによって分光感度域の拡大して効率向上をはかる
必要がある。
第2図に示した実施例のものは、上記の二つの11要求
を同時に満たすため、j方間絶縁層6の下にSe −T
6を主体とTる易動度を低下させない程度に薄く形成し
た電荷発生JrI5−2を設けて、これにより光感度波
長域の拡大をはかるとともに、光感度を増大させ、もっ
て、同時帯電光像14光時お一゛・・よび全面露光時の
効率を向上させ、またその′r4L狗発生R5−1の下
に、Seのみ、あるいはハロゲンを+l y 4 (1
(l Oppm含む以外には池の不純物を含まない大き
な易動度を有するSeによって形成した電荷輸送層5−
1を設けることにより、Ni導電層4より注入された電
荷の移動をすみやかにし、もって増感帯電効果を十分発
揮させるよう、光導電層5を二層構造に形成した例を示
している。
丁なわち、前記電荷発生層5−1は、0.05〜5μの
厚さのSe −Te層であって、Teの含有率が5〜2
5%であり必要に応じて結晶化防止、感度向上、残留電
位除去等の目的で、As、Ge。
Si、Sb、ハロゲンな含有させてもよい。
また、前記電荷輸送層5−2は、5ナイン(lJ9.9
99 %)以上の純度の純粋なSeか、あるいはクロル
等のハロゲンを()〜4 (100pPm含有するSe
を20〜70μ厚に真空蒸着により形成するのが適当で
ある。真空蒸着の基板温度は、550〜65°Cが適し
ており、65°C以下の場合には、残留電位が高くなる
とともに、プロセス応答速度が遅くなり、かつ十分なコ
ントラストがとれないものとなる恐れがある。一方、5
5°C以上の基板温度では、光導電層の抵抗が著しく低
下し、電圧印加時、光導電層に電位分配しなくなるため
、−成帯電荷におけるNi導雷1層4からの電荷注入。
移動効果についてすぐれた効果を呈するようになるが、
二次の同時帯電光像露光時においても、明部、暗部の区
別なく Ni導■層4側より電荷の注入。
移動が行なわれるようになり、コントラストがとれなく
なることを確認している。
以上、Se系光導電層5を電荷発生層5−2および電荷
輸送層5−1の二層構造に形成した実施例について、そ
れら各層5−1.5−2の高コントラストに対する役割
を説明したが、高コントラストに対するAl−Zn −
Ou −Niからなる導電性の寄与について次に説明す
る。
導電層の要件としては、−成帯電荷に、できるだけ良好
な電荷の注入性を示し、二次帯電同時yC像露光時には
、明部、暗部のコントラストを得るため、導電層側から
電荷の注入がないことが必要である。丁なわち、プロセ
スに応じて光導電層と整合のとれた導電層の材質が要求
される。
本発明の感光体を構成するAl−Zn −Ou −Ni
からなる導電層のコントラストに対する寄与は、次のよ
うな実験から明らかである。
Alを導電層とした電荷発生層と電荷輸送層からなるs
e糸感光体と、本発明のht −zn −au −Ni
から 411層からなるそれと同一構成のse系感光体
に、それぞれ−2000Vの暗中コロナ帯電をした後、
強い全面露光を行なった時の電位低下を測定じた結果、
A/導亀止層ものでは、100OV近く電位変化がある
のに対して、本発明のものでは250層程度とかなり小
さい値を示した。このことから、本発明のものでは、−
2000Vの暗中帯電によりすでに−1750Vに相当
する電荷が、透明絶縁層の上下に形成されていることが
わかる。
一方、前者のA!導電層のものでは、−1000v近く
の電位分配が光導電層にあり、せっかく−2000Vを
印加しているにもかかわらず、−成帯電として有効に透
明絶縁層に電荷対を形成しているのは、その印加電圧の
半分の一1000V程度であり、本発明のものに比べて
はるかに小びく、電荷の注入が悪いことがわかる。
つぎに、二次帯電時を想定して、暗中で+2000゜■
の正コロナ帯電を行ILい、その時の本発明による感光
体の電位変化と、A!導電層の感光体における電位変化
を調べた結果、ともに1150V程度であった。
以上の実験結果から、本発明の感光体は、Al導導電の
みによる従来の感光体に比べて、−成帯時においては電
荷の注入性が良好であり、二次帯電時においては電荷阻
止性を示し、高コントラストの静電潜像が得られ易い特
性をもっていることがわかる。
なお、本発明の感光体におけるl −Zn −Ou −
Niからなる導電層とse系光導m層界面での電荷の注
入を支配している機構は、つぎの三つの可能性が考えら
れるが、現在のところ明らかではない。
したとえば光導電層と接触面積等、導電層の表面状態。
区界面でのSe系光導電層の再結合センター密度の大小
& 88と導wL層の仕事関数の差によるバリア形成の
li!易。
4 Al+ Zn + Ou l Ni、−の各層間の
仕事関数の差によるバリア形成の邦易等。
以上説明した本発明の電子写真感光体について、その製
造方法を実施例に基づいて以下説明する。
〔実施例1〕 脱脂、前処理したアルミニウムドラムをNaOH(52
5g/l  ) ZnO(100&/l  ) のアルカリ溶液に1分間浸漬し、酸化皮膜を表面から除
去し、約1μの密着性のZn層で表面置換した。ついで
、 0uON    (41,31/l )NaON   
 (48,89/l  )Nano   (80,01
//l  )8 0ツシエル境  (e、o、o  g/l  )PH1
0,3 温度     40°C の液で15分間電気メツキし、前記zn層の表面に10
μのOu層を形成した。ここでOuメッキをほどこす理
由を説明すると、ZnNの上に直接Niメッキする方法
では、管理上不安定であり常に良し 好な密着性を得難
いためである。
ついで、そのドラムを N15O(225g/l  ) NiCl2    (481!/l) 硼酸    (87,59/l  ) PH5,0 温度     57°C の浴に入れ電流密度45 A/dm2にして20分間電
気メツキし、約lOμのNi層を形成した。しかる後、
洗浄、乾燥した後、基板温度60℃で、50μの厚さに
5ナインのSe層を真空蒸着法によって蒸着し、ついで
10%のTeを含有するSe −Te層を()、5μの
厚さに真空蒸着してSe系光導電層を形成した。このS
e系光導電層の上に透明絶縁層として厚さ20μのPE
Tフィルムをはりつけて、本発明の感光体を得た。
以上のように製造した感光体に、まず−成帯電として、
スコロトロン帯電器により一2000Vに帯電し、つい
で6.5KVのACコロナW[と同時に光像を露光し、
その後全面露光して静電潜像を得た。
また、同様にして一成帯1[後、+6.5KVの直流正
コロナ帯電と同時に光像を露光し、その後全面露光して
静電潜像を得た。
それら両方の方法によって得られたコントラスト電位は
、表1の実施例1のAC,D(3の各欄に記載したよう
に、455vおよび565■とそれぞれ高い値を示した
。これらの静電潜像を磁気ブラシ現像し、転写紙に転写
したところ、予期したとおり高濃度のフントラストの良
好な画像を得ることができた。その後、除電クリーニン
グし、次の画像を繰り返しとったところ、残留電位、残
像等のない画質良好なIi!iI像が得られた。また、
同様にし像ξ※陀て現像、転写の繰り返し5万枚後のコ
ントラス)i位V。の保有率は、90%程度と極めて優
れた耐久性゛を示した。
さらに、温度特性として、上記のように製造した本発明
の感光体を85%RHの高湿下に8日III]放置後、
再び上記と同じ方法で評1ti シたところ、コントラ
スト電位の変化はほとんどなかった0〔表1〕 〔実施例2〕 脱脂、前処理したアルミニウムドラム上に、Zn0N 
  (601//l ) NaON   (42g/l ) Mail((7B、81//l) の亜鉛メッキ液により、zn層を2μの厚でに電気メッ
キした後、前記実施例1と同じ処決により、Cu層を5
μ厚にメッキし、Ni層を15μの厚さに電気メッキし
てA4− Zn −Ou −Niの各潮力1らなる導電
層を形成した。この導電層のNi導導層層上、基板温度
57℃により、クロルを15 ppm含有するSe層を
45μの厚さに真空蒸着し・ついで20%のTeと2 
% (7) AJを@有するSe −Te合金層を1μ
の厚さに真空蒸着して光導電層を形成した。この光導電
層上にノぐラキシリレン樹脂層を気相蒸着により24μ
の)Vさに被着形成して本発明の感光体を得た。
この感光体を前記実施例1の場合と同様の条件によって
評価したところ、上記表1の実施例2の欄に示した如く
良好なコントラストを示した。また、耐湿性、耐久性と
も実施例1によるものと同様に極めて良好であった。
〔実施例8〕 脱脂、前処理したアルミニウムドラム上に、実施例2の
場合と同じ処゛法の亜鉛メッキ液によりZnした。つい
で、57℃の基板温度により45μの厚さに、クロルを
15 ppm含有するSe層を真空蒸着し、さらにその
Se層上に20%のTeと2%のAJを含有するSe 
−Te合金層を1μの厚さに真空蒸着して光導電層を形
成した。この光導電層上にバラキシリレン層を24μの
厚さに気相蒸着して本発明の感光体を得た。
この感光体を実施例1の場合と同一条件で評価したとこ
ろ、上記表1の実施例3の欄に示したように、良好なコ
ントラスト電位を示し、また耐湿性も実施例1によるも
のと同様に良好であった。
また耐久性は後記する本発明−の感光体によらないもの
についての参考例8に比べると、かなり良い保有率VC
を示した。
(参考例]) アルミニウムドラム上に直接、・5ナインのSe層を5
0μの厚さに真空蒸着し、ついで10%のTeを含有す
るSe −Te層を0.5μの厚さに真空蒸着して光導
電層を形成し、この光導電層上に20μ厚のフィルムな
はりりけて得た感光体について、実施例1の場合と同様
に評価したところ、上記表1の参考例1の欄に示す如(
、AC・DCの各帯電時におけるコントラスト電位t位
は、非常(こ低い値しか示さなかった。
(参考例2) 実施例1と同条件によって作製したAI−Zn −Cu
 −Niの各層からなる導電層上に、10%のTeを含
有するSe −Te合金層を50μの厚さに真空蒸着し
て光導電層を形成し、この光導電層の上(こ20μの厚
さのPETフィルムをけりつけて本発明の感光体を得た
この感光体について、実施例1と同様の条件で評価した
結果は、上記表1の参考例2のIFαに記したとおりで
あって、参考例1のものとしこ比べると優れたコントラ
スト電位を示すが、実施例1の場合のもののコントラス
ト電位レベルには達しなカ)つた。
(参考例8) アルミニウムドラム上に、Zn−0uiを入れないで、
直接IJi層を実施例におけるNi層形成と同じ条件に
よって10μ厚に形成し、以下実施例】と同様に光導電
層および透明導電層を形成して得た感光体について、実
施例1と同じ条件で評価した。
その結果は、上記表1の参考例8の欄に示したとおりで
ある。すなわち、初期のコントラス)i位については、
AO,DO帯電とも実施例1のものとほぼ同じであった
が、画質の均一性に問題があり、部分的IL乱れがみら
れた。また、耐久性については、実施例1のものに比べ
るとコントラスト電位保有率VCが75%と低い値を示
しており、AI−Niからなる導電層と光導NMの密着
性変化にともIよう劣化が早くおきているものと考えら
れるO 以上は、本発明の感光体を同時帯電光像露光を利用した
作像プロセスに用いる場合について説明したが、本発明
の感光体は、いままで説明してきたようなプロセス用に
限定されるものではなく、たとえば特開昭48−89’
MI7号公報に記載されている如き、−次?ft [と
して負コロナ帯電を加え、ついで正コロナ帯電を加えた
後、光像を露光するようにした電子写真法に用いること
もできることは勿論である。なお、その場合、前記特開
昭48−89787号公報に記載のものにおいては、全
面露光しながら一次帯電をしているが、■11荷の注入
性が良好な本発明の感光体を用いれば、その−成帯電荷
に全面露光がなくても、透明絶縁層の上下に1じ荷対を
十分形成させることが可能〜富・本物であるばかりでは
すく、引続<t#x形成プロセスにより良好なフントラ
スト電位を得ることができる。
以上の説明から明らかなように本発明の感光体によれば
、Se系光導電層と導m層の界面導電層としてNiを用
いたことにより、−成帯m時の電荷注入性が改臂され、
かつ二次帯電同時yC像露光時の注入阻止性は維持され
た状態になるため、高コントラスト、高濃度の複オ画像
が得られる。また、前記のNiによる界面導電層は、Z
nJ電層もしくはそのZnn導層層上形成したOu導電
層を介してAl支持導電層と強く密着した構成であるか
ら、静電潜像画質の均一性、安定性がともに優れ、かつ
同−rfITm潜像の繰り返し使用時のコントラス)!
位の保有率が優れている等の効果がある。また、Se系
光導電層を電荷発生層と電荷輸送層の2層に構成したも
のにおいては、光キャリアの発生は電荷発生層に、光キ
ャリアの輸送および注入キャリアの輸送は電荷輸送層に
、それぞれ機能公傷させるようにしているため光感度に
優れ、かつ残留電位、残像のない良好な画像特性を示す
等の効果をもあわせ有するほが、光導電層としてSe系
の蒸着膜を用いているのでバインダー系感光体に比べて
耐湿性が非常に優れている等の効果をもあわせ有する。
さらに本発明の製造方法によれば、密着性の優れた導電
層が形成されるので、前記表1に示した如き高性能を有
する本発明の感光体を容易に製造しつる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は、本発明の電子写真感光体のそれ
ぞれ141する実施例の構成を示す断面図である。 】・・・Al支持導電層    2・・・Zn導電層3
・・・aU導電層      4・・・Ni導電層5・
・・Se系光導電層    5−1・・・電荷輸送層5
−2・・・電荷発生層   6・・・透明絶縁層特許出
願人   オリンパス光学工業株式会社第1図 第2図 昭和58年8 月利日 1、事件の表示 昭和57年 特 許 願第184189  号2、発明
の名称 電子写真感光体およびその製造方法 3、補正をする者 事Mとの1ν1(系 特許出願人 (037)オリンパス光学工業株式会社電 話 (58
1) 2241 番(代表)5゜ 6、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」 「発明
の詳細な説明」の欄1、明細書第1頁第4行〜第2頁第
16行の特許請求の範囲をつぎのとおり訂正する0 [2、特許請求の範囲 L  l支持導電層、Zn導電層またはzn導電層およ
びOu導導電、Ni導電層、Se系光導電層および透明
絶縁層の順に積層して収ることを特徴とする電子写真感
光体。 λ 前記Se系光導電層が、前記Ni導電層上に55°
〜65°Cの基板温度で蒸着された25〜75μ厚の5
eWL荷輸送層と、55°C〜65°Cの基板温曳でそ
のSe電荷輸送層上に蒸着された少なくともTeを5〜
25%含有する0゜05〜5μ厚のSe −Te 電荷
発生層の二層よりなることを特徴とする特許請求の範囲
第1項に記載の電子写真感光体。 & 前記Se系光導電層が、前記Ni導電層1に55°
C〜65°Cの基板温度で蒸着されたハロゲンを0〜4
000 ppm含有する25〜70μ厚のSe 711
.荷輸送層と、Iその5eTi荷輸送層上に55°〜6
5°Cの基板温度で蒸着された少なくともTeを5〜2
5%含有するSe −Te m荷発生層の二層よりなる
ことを特徴とする特if′f:請求の範囲第1項に記載
の電子写真感光体。 4  At支持導電層、zn導N /WまたはZn導電
層およびQul電層、Ni導電層、Se系光導電層およ
び透明絶縁層の順に積層して成る電子写真感光体を製造
するにあ1.。 たり、kll支持導層層上置換法または電気メツキ法に
よりZn導電層を形成した後、尋 CU導亀止層よびNi導電層もしくはNi導導電P順次
屯気メッキ法により形成し、次いでそのNi導電層上に
蒸着法により1Se系光導電層を形成した後、透明絶縁
層を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方
法。」 2、明l1II書第5頁第19行中のrAg導1層」を
「Ni導電層」と訂正する。 3、同@9頁第4行中の「被着させている。」を「形成
される。」と訂正する。 盃同第11頁@2行中および第9行中にそれぞれ「5−
 IJとあるのを各15−2Jと訂正し、同−第14行
中の[5−2Jを[5−IJと訂正する。 5、同第12頁第2行中の「55°C以上」を165°
C以上」と訂正し、 同頁第15行中の「導電性」紮「導電層」と訂正する。 6同第14頁第3行中の「から導電層からなる」を1か
らなる導電層を用いた」と訂正する。 7、同第15頁第18行中の「三つJを「四つ」と訂正
する。 8同第25頁第10行中の「機能分1旦」を「機能分担
」と訂正する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 L  It支持導電層、 Zn導電層またはZn導電層
    およびCu導電層、Ni導電層、 Se系光導電層およ
    び透明絶縁層の順に積層して成ることを特徴とする電子
    写真感光体。 2 前記Se系光導電層が〜・前記Ni導電層上に55
    0〜6500の基板温度で蒸着された25〜75μ厚の
    Se電荷輸送層と、F+5°C〜65°Cの基板温度で
    そのSe電荷輸送層上に蒸着された少なくともTeを6
    〜25%含有する11.05〜5μ厚のSe −Te電
    荷発生層の二層よりなることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項に記載の電子写真感光体。 & 前記Se系光導電層が、前記Ni導電層上に65°
    C〜65°Cの基板温度で蒸着されたハpゲンを0〜4
    000ppln含有する25〜70μ厚のse電荷輸送
    層と、そのSe電荷輸送層上に55°〜65°Cの基板
    温度で蒸着された少なくとも’re tt 5〜25 
    %含有するSS −Te電荷発生層の二層よりなること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の電子写真感
    光体。 4  Al支持導電層、 Zn導電層またはZn導電層
    およびOu#1.電層、Ni導電層、 Se系光導電層
    および透明絶縁層の順に積層して成る電子写真感光体を
    製造するにあたり、Al支持導電層上に置換法または電
    気メツキ法によりZn導電層を形成した後、Cu導電層
    およびAg導電層もしくはNi導電層を順次電気メツキ
    法により形成し、次いでそのNi導mN上に蒸着法によ
    りSe系光導電層を形成した後、透明絶縁層を形成、す
    ることを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
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