JPS5972151A - オリエンテ−シヨンフラツト合せ装置 - Google Patents
オリエンテ−シヨンフラツト合せ装置Info
- Publication number
- JPS5972151A JPS5972151A JP57182520A JP18252082A JPS5972151A JP S5972151 A JPS5972151 A JP S5972151A JP 57182520 A JP57182520 A JP 57182520A JP 18252082 A JP18252082 A JP 18252082A JP S5972151 A JPS5972151 A JP S5972151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- sheet
- light source
- orientation flat
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、オリエンテーションフラット合せ装置に関す
る。
る。
従来、半導体ウェハを各々のチップに分割するダイシン
グ工程等では、正確なダイシング処理を施すために、ウ
ニノーのオリエンテーションフラット面を所定位置に設
定するオリエンテーションフラットの合せ操作が行われ
ている。このオリエンテーションフラットの合せ操作ハ
、第１図に示す如く、先ず、ビンセット１でウェハ２を
把持し、ウニノル固定チャック３上に載置する。次いで
、第２図に示す如く、載置したウェハ２を顕微鏡４で観
察しながら、ウニノ・固定チャック３を手動操作によっ
て回転させ、ウェハ２Ｖｃ形成されたオリエンテーショ
ンフラット面２ａが所定位置に来たところで回転操作を
停止する。然る後、ダイシング装置等の次工程の装置で
微調整が行われた後に、次のダイシング処理が行われて
いる。
グ工程等では、正確なダイシング処理を施すために、ウ
ニノーのオリエンテーションフラット面を所定位置に設
定するオリエンテーションフラットの合せ操作が行われ
ている。このオリエンテーションフラットの合せ操作ハ
、第１図に示す如く、先ず、ビンセット１でウェハ２を
把持し、ウニノル固定チャック３上に載置する。次いで
、第２図に示す如く、載置したウェハ２を顕微鏡４で観
察しながら、ウニノ・固定チャック３を手動操作によっ
て回転させ、ウェハ２Ｖｃ形成されたオリエンテーショ
ンフラット面２ａが所定位置に来たところで回転操作を
停止する。然る後、ダイシング装置等の次工程の装置で
微調整が行われた後に、次のダイシング処理が行われて
いる。
従来のオリエンテーションフラットの合せ操作は、作業
者が顕微鏡４を使用して目視によって行っているため、
作業者による誤差が大きい。
者が顕微鏡４を使用して目視によって行っているため、
作業者による誤差が大きい。
また、ウェハ固定チャック３ごとに一人の作業者を必要
とし、極めて作業性が悪い。
とし、極めて作業性が悪い。
本発明は、ウェハのオリエンテーションフラット面の位
置合せを高精閃に行うと共に作業性の向上を達成したオ
リエンテーションフラット合せ装置を提供することをそ
の目的とするものである。
置合せを高精閃に行うと共に作業性の向上を達成したオ
リエンテーションフラット合せ装置を提供することをそ
の目的とするものである。
本発明は、光源とこれに対向して設けた撮像素子とによ
り、ウェハの外周面の輪郭を検出し、これと予め記憶さ
れた基準情報とを比較することにより、ウェハチャック
の必要回転量を算出して、オリエンテーション７ラツト
面の位置合わせを極めて高檜度に行うと共に、作業性の
向上を達成したオリエンテーションフラット面の位置合
せ装置である。
り、ウェハの外周面の輪郭を検出し、これと予め記憶さ
れた基準情報とを比較することにより、ウェハチャック
の必要回転量を算出して、オリエンテーション７ラツト
面の位置合わせを極めて高檜度に行うと共に、作業性の
向上を達成したオリエンテーションフラット面の位置合
せ装置である。
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第３図は、本発明の一実施例の要部を示す正面図である
。図中１０は、回転自在に立設されたウェハチャックで
ある。ウェハチャックＩＯの下端部は、駆動機構１１に
接続されている。
。図中１０は、回転自在に立設されたウェハチャックで
ある。ウェハチャックＩＯの下端部は、駆動機構１１に
接続されている。
ウェハチャック１０の先端部Ｑζけ、ウェハ固定部１２
が形成されている。ウェハ固定部１２の近傍には、これ
と同心円状にシート押えリング１３が設けられている。
が形成されている。ウェハ固定部１２の近傍には、これ
と同心円状にシート押えリング１３が設けられている。
ウェハ固定部１２上には、透光性部材からなるシート１
４が敷設されている。シート１４はその周辺部をシート
押えリング１３にかみ込まれるようにして固定されてい
る。ウェハ固定部１２とシート押えリング１３との間に
は、シート１４をその両面から挾むようにしてシート面
から所定間隔を設けて光源１５とイメージセンサ−等の
撮像素子１６が設けられている。光源１５から出た光が
、撮１象素子１６に向ってシート面を透過する部分には
、シート１４上に載置されたウェハ１７の周辺部が位置
するようになっている。撮像素子１６と駆動機構１１間
には、信号伝達ケーブル１８を介して制御部１２が設け
られている。制御部１９には、ウェハ１７に形成された
オリエンテーションフラット面１７ａを検出するために
、基準となるウェハ１７の輪郭を記憶する基準情報記憶
回路と、この基準輪郭情報と撮は素子１６から送られて
来た測定情報とを比較する比較回路と、比較回路の出力
を受けて駆動機構１１に必要な回転信号を供給する駆動
機構ＩＩの動作制御回路が内蔵されている。
４が敷設されている。シート１４はその周辺部をシート
押えリング１３にかみ込まれるようにして固定されてい
る。ウェハ固定部１２とシート押えリング１３との間に
は、シート１４をその両面から挾むようにしてシート面
から所定間隔を設けて光源１５とイメージセンサ−等の
撮像素子１６が設けられている。光源１５から出た光が
、撮１象素子１６に向ってシート面を透過する部分には
、シート１４上に載置されたウェハ１７の周辺部が位置
するようになっている。撮像素子１６と駆動機構１１間
には、信号伝達ケーブル１８を介して制御部１２が設け
られている。制御部１９には、ウェハ１７に形成された
オリエンテーションフラット面１７ａを検出するために
、基準となるウェハ１７の輪郭を記憶する基準情報記憶
回路と、この基準輪郭情報と撮は素子１６から送られて
来た測定情報とを比較する比較回路と、比較回路の出力
を受けて駆動機構１１に必要な回転信号を供給する駆動
機構ＩＩの動作制御回路が内蔵されている。
而して、このように構成されたオリエンテーション合せ
装置１ｔ３０によれば、ウニノ’１７をシート１４を介
してウェハ固定部１２上に載置すると、光源１５から出
た光がシート１４を透過して撮１象素子１６に入射し、
ウニノー１７の輪郭を写し出す。制御部１９は、撮像素
子１６から供給された信号と基準信号とを比較回路にて
比較し、オリエンテーションフラット面１７ａを所定位
置に設定するために必要なウニノ・チャック１０の回転
信号を、動作制御回路から駆動機構１１に供給する。駆
動機構１１はこの信号により、ウェハチャック１０を所
定角度だけ回転させて、ウェハ１７の位置を所定位置に
設定する。
装置１ｔ３０によれば、ウニノ’１７をシート１４を介
してウェハ固定部１２上に載置すると、光源１５から出
た光がシート１４を透過して撮１象素子１６に入射し、
ウニノー１７の輪郭を写し出す。制御部１９は、撮像素
子１６から供給された信号と基準信号とを比較回路にて
比較し、オリエンテーションフラット面１７ａを所定位
置に設定するために必要なウニノ・チャック１０の回転
信号を、動作制御回路から駆動機構１１に供給する。駆
動機構１１はこの信号により、ウェハチャック１０を所
定角度だけ回転させて、ウェハ１７の位置を所定位置に
設定する。
このようにしてこのオリエンテーション合せ装置すによ
れば、電気信号の処理によってウェハ１７の位置設定を
行うので、極めて高精度にオリエンテーションフラット
面１７ａの位置決めを行うことができる。しかも、複数
個のウェハチャック１０を設けてこれらに制御部１９を
接続すれば、複数のウニノ・１７のオリエンテーション
フラット合せ操作を同時に、かつ、正確に行って作業性
を著しく向上させることができる。
れば、電気信号の処理によってウェハ１７の位置設定を
行うので、極めて高精度にオリエンテーションフラット
面１７ａの位置決めを行うことができる。しかも、複数
個のウェハチャック１０を設けてこれらに制御部１９を
接続すれば、複数のウニノ・１７のオリエンテーション
フラット合せ操作を同時に、かつ、正確に行って作業性
を著しく向上させることができる。
以上説明した如く、本発明に係るオリエンテーションフ
ラット合せ装置によれば、ウニノ１のオリエンテーショ
ンフラット面を高精度に位置決めできると共に、作業性
を著しく向上させることができる等顕著な効果を奏する
ものである。
ラット合せ装置によれば、ウニノ１のオリエンテーショ
ンフラット面を高精度に位置決めできると共に、作業性
を著しく向上させることができる等顕著な効果を奏する
ものである。
第１図及び第２図は、従来のオ、リエンテーシヨンフラ
ット合せ装置の概略構成を示す説明図、第３図は、本発
明の一実癩例の要部を示す正面図、第４図は、同実施例
の要部の平面図である。 １０・・・ウェハチャック、１１・・・駆動機構、Ｉ２
・・・ウェハ固定部、１３・・・シート押えリング、１
４・・・シート、１５・・・光源、Ｉ６・・・撮像素子
、１７・・・ウェハ、１７ａ・・・オリエンテーション
フラット面、１８・・・信号伝達ケーブル、１９・・・
制御部、Ｌ・・・オリエンテーションフラット合せ装置
。 出１噴人代浬人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図
ット合せ装置の概略構成を示す説明図、第３図は、本発
明の一実癩例の要部を示す正面図、第４図は、同実施例
の要部の平面図である。 １０・・・ウェハチャック、１１・・・駆動機構、Ｉ２
・・・ウェハ固定部、１３・・・シート押えリング、１
４・・・シート、１５・・・光源、Ｉ６・・・撮像素子
、１７・・・ウェハ、１７ａ・・・オリエンテーション
フラット面、１８・・・信号伝達ケーブル、１９・・・
制御部、Ｌ・・・オリエンテーションフラット合せ装置
。 出１噴人代浬人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図
Claims (1)
- 回転自在に立設されたウェハチャックと、該ウェハチャ
ックの先端部に形成されたウェハ固定部と、該ウェハ固
定部の外周部近傍にウェハ載置面の延長面を挾むように
相対向して設けられた光源と撮像素子と、該撮像素子と
前記ウェハ固定部の駆動機構間に電気的に介在された制
御部と、該制御部に設けられた基準情報記憶回路、比較
回路及び前記駆動機構の動作制御回路とを具備すること
を特徴とするオリエンテーションフラット合せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57182520A JPS5972151A (ja) | 1982-10-18 | 1982-10-18 | オリエンテ−シヨンフラツト合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57182520A JPS5972151A (ja) | 1982-10-18 | 1982-10-18 | オリエンテ−シヨンフラツト合せ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5972151A true JPS5972151A (ja) | 1984-04-24 |
Family
ID=16119733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57182520A Pending JPS5972151A (ja) | 1982-10-18 | 1982-10-18 | オリエンテ−シヨンフラツト合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5972151A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04109652A (ja) * | 1990-08-30 | 1992-04-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
-
1982
- 1982-10-18 JP JP57182520A patent/JPS5972151A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04109652A (ja) * | 1990-08-30 | 1992-04-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
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