JPS597023A - 円盤状記録媒体成形用スタンパの取付け装置 - Google Patents
円盤状記録媒体成形用スタンパの取付け装置Info
- Publication number
- JPS597023A JPS597023A JP11730182A JP11730182A JPS597023A JP S597023 A JPS597023 A JP S597023A JP 11730182 A JP11730182 A JP 11730182A JP 11730182 A JP11730182 A JP 11730182A JP S597023 A JPS597023 A JP S597023A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- stamper
- outer periphery
- gas
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、オーディオレコードビデオディスク等の円盤
状記録媒体（以干ディスクと＋Ｉｆぶ）をＩＩ。
状記録媒体（以干ディスクと＋Ｉｆぶ）をＩＩ。
縮成形又は射出成形にて成形する成形装置における成形
用スタンパの取イ；１け装置に関するものである。
用スタンパの取イ；１け装置に関するものである。
従来スタンパを金型に取イ：１ける場合は、スタンパと
金型の対向する面の汚れや塵埃等を溶剤（アルコール等
）を浸した布切で注怠深く拭き取り、スタンパと金型と
の間に塵埃等入り込まないよう注意して取りつけている
。又、スタンパと金型の対向する而の塵埃をそれぞれ圧
縮空気等で吹き飛ばしだ後、塵埃の入り込まぬよう注意
して取りつけている。しかし、これらの方法は、取付作
業者の熟練度や周囲環境によってまちまちであり、スタ
ンパと金型との間への塵埃等の流入を常に防ｔｌ−する
ことができない。又、熟練度や周囲環境による影響をな
くす為、スタンパを金型に中心部のみ取り付けた状態で
外周から圧縮空気等吹き込んで残留している塵埃等を取
り除くことを行なうが、一部分しか流体が当らなかった
り、逆に空気中の塵埃を巻き込んだりして逆効果になる
場αがある。
金型の対向する面の汚れや塵埃等を溶剤（アルコール等
）を浸した布切で注怠深く拭き取り、スタンパと金型と
の間に塵埃等入り込まないよう注意して取りつけている
。又、スタンパと金型の対向する而の塵埃をそれぞれ圧
縮空気等で吹き飛ばしだ後、塵埃の入り込まぬよう注意
して取りつけている。しかし、これらの方法は、取付作
業者の熟練度や周囲環境によってまちまちであり、スタ
ンパと金型との間への塵埃等の流入を常に防ｔｌ−する
ことができない。又、熟練度や周囲環境による影響をな
くす為、スタンパを金型に中心部のみ取り付けた状態で
外周から圧縮空気等吹き込んで残留している塵埃等を取
り除くことを行なうが、一部分しか流体が当らなかった
り、逆に空気中の塵埃を巻き込んだりして逆効果になる
場αがある。
ディスク成形装置において、スタンパを金型に取り！：
１けた場合に、スタンパと金型との間に塵埃等が入った
壕ま成形を行なうと、成形品であるディスクの表面が凹
になり、外観及び杓子ト不良となる。
１けた場合に、スタンパと金型との間に塵埃等が入った
壕ま成形を行なうと、成形品であるディスクの表面が凹
になり、外観及び杓子ト不良となる。
本発明は、スタンパを金型に取りイス１ける際、スタン
パと金型との間に中心部イス１近より外周方向に高圧の
気体を吹き出すことによりスタンパと金型との間に残留
している塵埃等を取り除くことによって、スタンパを金
型に取り付ける時に発生する成型不良を防止せんとする
ものである。
パと金型との間に中心部イス１近より外周方向に高圧の
気体を吹き出すことによりスタンパと金型との間に残留
している塵埃等を取り除くことによって、スタンパを金
型に取り付ける時に発生する成型不良を防止せんとする
ものである。
以下図面を参照して、本発明の一実施例をあげ説明する
。図面において、１は金型、２は金型１に取りつけられ
るスタンパ、３はスタンパ２を金型１の中心部で固定す
るセンタシャフト、４はスタンパ２を金型１の外周部で
固定する外周押えリングである。スタンパ２の中心部は
金型１の中心部にセンタシャフト３によ−って押えられ
、センタシャフト３に設けられたネジ部３Ｎを金型１の
中心部に設けられたネジ部１ａにネジ込むことによって
固定される。又、スタンパ２の外周部は金型１の外周部
に外周押えリンク４によって押圧され固定ボルト５を金
型１に設けられたネジ１ｂにネジ込むことによって固定
される。
。図面において、１は金型、２は金型１に取りつけられ
るスタンパ、３はスタンパ２を金型１の中心部で固定す
るセンタシャフト、４はスタンパ２を金型１の外周部で
固定する外周押えリングである。スタンパ２の中心部は
金型１の中心部にセンタシャフト３によ−って押えられ
、センタシャフト３に設けられたネジ部３Ｎを金型１の
中心部に設けられたネジ部１ａにネジ込むことによって
固定される。又、スタンパ２の外周部は金型１の外周部
に外周押えリンク４によって押圧され固定ボルト５を金
型１に設けられたネジ１ｂにネジ込むことによって固定
される。
金型１の中心部には、高ＬＪ正の気体（ｇ素ガス又は圧
縮空気等）を吹き出す為の吹き出し口６と、この吹き出
し口６と金型１の内部にリング状に形成され設けられた
流通路分岐溝８とを接続する気体流通路７が少なくとも
１ケ所以上設けてあり、流通路分岐溝８は金型１に設け
られた気体流入１」９と流通路１ｏによって接続されて
いる。気体流入１」っけ金型１の外部に設けられた開閉
弁（電磁弁等）１１を通り高圧気体供給源１２に接続さ
れている。開閉弁（電磁弁等）１１を開くことにより高
圧気体供給源１２から送られる高圧気体は金型１に設け
られた気体流入１−１９から流通路１０を通り、流通路
分岐溝８で分流して、少なくとも１ケ所以上設けられた
気体流通路７を曲り吹き出し口６より吹き出される。又
、金型１には、加熱・冷却用の熱媒体が流れる溝１５が
設けられている。
縮空気等）を吹き出す為の吹き出し口６と、この吹き出
し口６と金型１の内部にリング状に形成され設けられた
流通路分岐溝８とを接続する気体流通路７が少なくとも
１ケ所以上設けてあり、流通路分岐溝８は金型１に設け
られた気体流入１」９と流通路１ｏによって接続されて
いる。気体流入１」っけ金型１の外部に設けられた開閉
弁（電磁弁等）１１を通り高圧気体供給源１２に接続さ
れている。開閉弁（電磁弁等）１１を開くことにより高
圧気体供給源１２から送られる高圧気体は金型１に設け
られた気体流入１−１９から流通路１０を通り、流通路
分岐溝８で分流して、少なくとも１ケ所以上設けられた
気体流通路７を曲り吹き出し口６より吹き出される。又
、金型１には、加熱・冷却用の熱媒体が流れる溝１５が
設けられている。
次に、スタンパ２の取付は時の作業を第１図および第２
図により詳細の説明をする。
図により詳細の説明をする。
金型１にスタンパ２を載置する場合、金型１とスタンパ
２０対向する面のｔ１５れや塵埃等を拭きとったあとス
タンパ２を金型１に載置し、第２図に示すように、中心
部固定用のセンタシャフト３によりスタンパ２の中心部
を金型１の中心部に七ンタシャフ１−３のネジ部３ａを
金型１の中心部に設けられだネジ部１ａにネジ込み固定
する。次にスタンパ２の外周部は固定しない状態で、開
閉弁（電磁ブｆ等）１１を開き、高Ｈ［気体供給源１２
より高圧の気体を金型１に送り込むと、気体は気体流入
１−１９から流通路１０を通り金型内部に設けられた流
通路分岐溝８で分流し、金型１の中心部側近に少なくと
も１ケ所以上設けられた気体流通路下を通り吹き出し口
６からスタンパ２と金型１との間に吹き出される。流体
は矢印１３のように流れスタンパ２と金型１の中心部よ
り外周方向に向って吹き出される。この時流体は、スタ
ンパ２と金型１との間に残留していた塵埃等をスタンパ
２と金型１の外周部のすきま１４より外部に吹き飛ばし
スタンパ２と金型１との間を塵埃のない状１焦にするこ
とができる。又、流体の流れは、中・ｂ部伺近から外周
方向になっている為、スタンパ２と金Ｊ９１Ｊ１との外
周部のすきま１４より外部から塵埃等が入り込捷す、ス
タンパ２と金型１との間を塵埃のない状態にできる。次
に開閉ＪＣ（電磁ブ「等）１１を閉じ、気体の吹き出し
を止め、第１図に示すようにスタンパ２を金型１に外周
押えリンク４で押圧し固定ボルト５を金４１Ｍ１に設け
られたネジ部１ｂにネジ込むことによって固定する。以
上によって作業者の熟練度や周囲環境の差によってスタ
ンパ２と金型１０間に残っていた塵埃等を排除すること
ができ、成形不良を防止することができる。
２０対向する面のｔ１５れや塵埃等を拭きとったあとス
タンパ２を金型１に載置し、第２図に示すように、中心
部固定用のセンタシャフト３によりスタンパ２の中心部
を金型１の中心部に七ンタシャフ１−３のネジ部３ａを
金型１の中心部に設けられだネジ部１ａにネジ込み固定
する。次にスタンパ２の外周部は固定しない状態で、開
閉弁（電磁ブｆ等）１１を開き、高Ｈ［気体供給源１２
より高圧の気体を金型１に送り込むと、気体は気体流入
１−１９から流通路１０を通り金型内部に設けられた流
通路分岐溝８で分流し、金型１の中心部側近に少なくと
も１ケ所以上設けられた気体流通路下を通り吹き出し口
６からスタンパ２と金型１との間に吹き出される。流体
は矢印１３のように流れスタンパ２と金型１の中心部よ
り外周方向に向って吹き出される。この時流体は、スタ
ンパ２と金型１との間に残留していた塵埃等をスタンパ
２と金型１の外周部のすきま１４より外部に吹き飛ばし
スタンパ２と金型１との間を塵埃のない状１焦にするこ
とができる。又、流体の流れは、中・ｂ部伺近から外周
方向になっている為、スタンパ２と金Ｊ９１Ｊ１との外
周部のすきま１４より外部から塵埃等が入り込捷す、ス
タンパ２と金型１との間を塵埃のない状態にできる。次
に開閉ＪＣ（電磁ブ「等）１１を閉じ、気体の吹き出し
を止め、第１図に示すようにスタンパ２を金型１に外周
押えリンク４で押圧し固定ボルト５を金４１Ｍ１に設け
られたネジ部１ｂにネジ込むことによって固定する。以
上によって作業者の熟練度や周囲環境の差によってスタ
ンパ２と金型１０間に残っていた塵埃等を排除すること
ができ、成形不良を防止することができる。
第３図では、高圧の気体を吹き出す為の吹き出し］−１
６を６ａ、、６ｂ、６ｃ、６ｄと４ケ所設けた場合の実
施例を示している。このように吹き出し７Ｄを多く設け
ることにより、高圧の気体の吹き出しが金型１の全周に
同時に起こり、より効果的に塵埃等の排除が行なわれる
。又、第４図に示すように金型１の吹き出しロ６０所に
リンク状の溝１６を傾斜１６ａが外側になるよう設ける
ことによって、吹き出しによる流れをスムースに外周方
向に向けることかできる。
６を６ａ、、６ｂ、６ｃ、６ｄと４ケ所設けた場合の実
施例を示している。このように吹き出し７Ｄを多く設け
ることにより、高圧の気体の吹き出しが金型１の全周に
同時に起こり、より効果的に塵埃等の排除が行なわれる
。又、第４図に示すように金型１の吹き出しロ６０所に
リンク状の溝１６を傾斜１６ａが外側になるよう設ける
ことによって、吹き出しによる流れをスムースに外周方
向に向けることかできる。
第５図は、金型１の外部に切替５Ｔ’１９と切替ブ「１
９に接続された高庄気体供給源１２及び真空ポンプ２０
と金型１の外周部及び内周部に設けられだ外ｍ部ンール
１７及び内周部シー／ｌ／１Ｂと金型１の中心部付近に
高圧の気体を吹き出す為の流匝路とを設けた構成であり
、スタンパ２と金型１との間への高圧の気体の吹き出し
とスタンパ２を金型１に密着さすだめのスタンパ２と金
型１との間の空気の吸引とを高圧の気体を吹き出す為の
流通路を共イ１することによって行ない、吹き出しと吸
引の切替を切替ブＴ−１９を使って行なう゛ことを特徴
とした本発明の他の実施例である。
９に接続された高庄気体供給源１２及び真空ポンプ２０
と金型１の外周部及び内周部に設けられだ外ｍ部ンール
１７及び内周部シー／ｌ／１Ｂと金型１の中心部付近に
高圧の気体を吹き出す為の流匝路とを設けた構成であり
、スタンパ２と金型１との間への高圧の気体の吹き出し
とスタンパ２を金型１に密着さすだめのスタンパ２と金
型１との間の空気の吸引とを高圧の気体を吹き出す為の
流通路を共イ１することによって行ない、吹き出しと吸
引の切替を切替ブＴ−１９を使って行なう゛ことを特徴
とした本発明の他の実施例である。
本実施例では、まずスタンパ２を金型１に中心部ヲセン
タシャフト３によって固定する。この時金型１の内周部
に設けられた内周部シー／ｌ／１８にスタンパ２の中心
部がセンタシャフト３によシ圧接される。次に切替弁１
９の動作により高圧気体供給源１２・から気体を送り、
気体流入に１９から流通路１０を通り流通路分岐異８で
分流され気体流ｌｎ路７を通り吹き出し１−１６から吹
き出され、スタンパ２と金型１の間に残留していた塵埃
等を排除する。その後スタンパ２を外周部えリング４で
金型１の外周部に固定ポル１・５を使って固定する。
タシャフト３によって固定する。この時金型１の内周部
に設けられた内周部シー／ｌ／１８にスタンパ２の中心
部がセンタシャフト３によシ圧接される。次に切替弁１
９の動作により高圧気体供給源１２・から気体を送り、
気体流入に１９から流通路１０を通り流通路分岐異８で
分流され気体流ｌｎ路７を通り吹き出し１−１６から吹
き出され、スタンパ２と金型１の間に残留していた塵埃
等を排除する。その後スタンパ２を外周部えリング４で
金型１の外周部に固定ポル１・５を使って固定する。
この時金型１の外周部に設けられた外周部シール１７に
スタンパ２の外周部が外周部えリンク４によって圧接さ
れ、これによってスタンパ２と金型１との間は外部と遮
断され、切替弁１９の動作により真空ポンプ２０がスタ
ンパ２と金型１の間の空気を吸引しスタンパ２を金型１
に密着させる。
スタンパ２の外周部が外周部えリンク４によって圧接さ
れ、これによってスタンパ２と金型１との間は外部と遮
断され、切替弁１９の動作により真空ポンプ２０がスタ
ンパ２と金型１の間の空気を吸引しスタンパ２を金型１
に密着させる。
空気の吸引は高圧の気体の吹き出しに使った流通路を共
有して行なわれる。
有して行なわれる。
以上によりヌタンパ取シ付は時の塵埃の残留による成形
不良や成形中に塵埃の流入によっておこる成形不良等を
防１１．することができる。
不良や成形中に塵埃の流入によっておこる成形不良等を
防１１．することができる。
以上のように、本発明はスタンパを金型に中心部のみ取
りつけた状態で中心部から外周方向に高圧の気体を吹き
出すためスタンパと金型との間に残留している塵埃等を
ほぼ完全に吹き飛ばすことができ、塵埃等が外周部のす
きまから流入することもない。高圧の気体を吹き出すだ
めの操作ｔ Ｉ’！’ｊ造も簡弔である。また、スタン
パと金型との間への塵埃等の残留又は流入がほとんどな
い為、スタンパの交換等による作業能率の低下やスタン
パ不良発生率増大等を防止することができる。また、ス
クンパ取イて１作業者の熟練度の差や周囲環境によって
発生していた不良もなくすることができる。
りつけた状態で中心部から外周方向に高圧の気体を吹き
出すためスタンパと金型との間に残留している塵埃等を
ほぼ完全に吹き飛ばすことができ、塵埃等が外周部のす
きまから流入することもない。高圧の気体を吹き出すだ
めの操作ｔ Ｉ’！’ｊ造も簡弔である。また、スタン
パと金型との間への塵埃等の残留又は流入がほとんどな
い為、スタンパの交換等による作業能率の低下やスタン
パ不良発生率増大等を防止することができる。また、ス
クンパ取イて１作業者の熟練度の差や周囲環境によって
発生していた不良もなくすることができる。
第１図は本発明のスタンパ取付は装置の一実施例を示す
側断面図、第２図は同スタンパ取付は装置のスタンパ取
付は時の側断面図、第３図は同要部平面、第４図は本発
明の他の実施例の要部断面図、第５図は本発明のさらに
他の実施例の側断面図である。 １・・・・・・金ｍ、”・・・・・・センタンヤフト固
定用ネジ部、１ｂ・・・・・・外周部え固定ボルト締め
付は用ネジ部、２ ”’ ”’スタンパ、３・・・・・
・センタシャフト、４・・・・・・外周部えリンク、５
・・・・・・外周部えリンク固定ボルト、６．６ａ 、
６ｂ 、 ６ｃ 、 ６ｄ−、、、、吹き出し１」、了
・・・・・・気体流通路、８・・・・・流通１洛分岐溝
、９・・・・・・気体流入口、１０・・・・・・流通路
、１１・・・・・開閉ブｆ、１２・・・・・・高圧気体
供給源、１３・・・・・・吹き出し気流の矢印、１４・
・・・・・スタンパ２と金型１との外周部のすきま、１
５・・・・・・加熱・冷却用の熱媒体が流れる溝、１６
・・・・・・吹き出し口に設けられたリング状の購、１
６１Ｌ・・・・・・吹き出し［ｌに設けられたリング状
の溝１６の外側に設けられた傾斜、１７・・・・・・外
周部シール、１８・・・・・・内周部、：／ ／Ｌ／
、１ ｃ。 ・・・・・・切替弁、２０・・・・・・真空ポンプ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第３図
側断面図、第２図は同スタンパ取付は装置のスタンパ取
付は時の側断面図、第３図は同要部平面、第４図は本発
明の他の実施例の要部断面図、第５図は本発明のさらに
他の実施例の側断面図である。 １・・・・・・金ｍ、”・・・・・・センタンヤフト固
定用ネジ部、１ｂ・・・・・・外周部え固定ボルト締め
付は用ネジ部、２ ”’ ”’スタンパ、３・・・・・
・センタシャフト、４・・・・・・外周部えリンク、５
・・・・・・外周部えリンク固定ボルト、６．６ａ 、
６ｂ 、 ６ｃ 、 ６ｄ−、、、、吹き出し１」、了
・・・・・・気体流通路、８・・・・・流通１洛分岐溝
、９・・・・・・気体流入口、１０・・・・・・流通路
、１１・・・・・開閉ブｆ、１２・・・・・・高圧気体
供給源、１３・・・・・・吹き出し気流の矢印、１４・
・・・・・スタンパ２と金型１との外周部のすきま、１
５・・・・・・加熱・冷却用の熱媒体が流れる溝、１６
・・・・・・吹き出し口に設けられたリング状の購、１
６１Ｌ・・・・・・吹き出し［ｌに設けられたリング状
の溝１６の外側に設けられた傾斜、１７・・・・・・外
周部シール、１８・・・・・・内周部、：／ ／Ｌ／
、１ ｃ。 ・・・・・・切替弁、２０・・・・・・真空ポンプ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第３図
Claims (2)
- （１） スタンパが取付けられる金型と、この金型の
中心部に挿入され、かつ前記スタンパの中心部を前記金
型の中心部に固定する固定シャフトと、前記金型の外周
部に取νっけられ、前記スタンパの外周を自ｉＩ記金型
に押圧周定する固定リングと、前記固定シャフトにより
前記金型に固定されたスタンパと前記金型との間に高圧
気体を噴出するよう前記金型の中心部近傍に設けられた
吹き出しに１とを有することを特徴とする円盤状記録媒
体成形用スタンパの取付は装ｆ。 - （２）吹き出し１」は、切替弁を介して高圧気体供給源
と真空源に接続されていることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の円盤状記録媒体成形用スタンパの取イ
」け装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11730182A JPS597023A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 円盤状記録媒体成形用スタンパの取付け装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11730182A JPS597023A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 円盤状記録媒体成形用スタンパの取付け装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS597023A true JPS597023A (ja) | 1984-01-14 |
Family
ID=14708361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11730182A Pending JPS597023A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 円盤状記録媒体成形用スタンパの取付け装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS597023A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998054227A2 (en) * | 1997-05-27 | 1998-12-03 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Device for curing an adhesive between two layers of an information carrier |
-
1982
- 1982-07-05 JP JP11730182A patent/JPS597023A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998054227A2 (en) * | 1997-05-27 | 1998-12-03 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Device for curing an adhesive between two layers of an information carrier |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3937368B2 (ja) | 柔軟なキャリアプレートを有する半導体ウェハポリシング装置 | |
| US6659850B2 (en) | Work piece carrier with adjustable pressure zones and barriers and a method of planarizing a work piece | |
| JP2768867B2 (ja) | 真空チャック装置 | |
| US7140956B1 (en) | Work piece carrier with adjustable pressure zones and barriers and a method of planarizing a work piece | |
| JPH0316714B2 (ja) | ||
| JPH0592372A (ja) | 円盤状ワークの研磨・研削装置 | |
| US5115961A (en) | Apparatus for assembling magnetic disk cartridge and method of producing same | |
| JPH06322533A (ja) | コーティング装置又はエッチング装置の真空チャンバ内で扁平の円板状サブストレートを保持する装置 | |
| JP2002036308A (ja) | 真空助勢排気方法および装置 | |
| US6170496B1 (en) | Apparatus and method for servicing a wafer platform | |
| US5612062A (en) | Means for holding stamper plate in molding metal die | |
| JPS597023A (ja) | 円盤状記録媒体成形用スタンパの取付け装置 | |
| JP2001129833A (ja) | 成形金型及び半導体装置の製造方法 | |
| JPH03178310A (ja) | ダストを含んだ高温のガスを濾過する装置 | |
| JPH02256256A (ja) | 半導体ウエハ処理装置のウエハ保持機構 | |
| JPH0621220A (ja) | ウエハ貼付け装置 | |
| JPS63224087A (ja) | 磁気ヘツドスライダ | |
| US2931507A (en) | Filter construction | |
| JP3349517B2 (ja) | 真空供給装置 | |
| JPS63226939A (ja) | ウエハ保持装置 | |
| JP2561946Y2 (ja) | ドレントラップ | |
| JP4029188B2 (ja) | 基板処理装置のロード・ロックチャンバ機構 | |
| JPH01228748A (ja) | ウェーハの接着方法 | |
| JP2837842B2 (ja) | 半導体製造装置のペデスタル | |
| JP2970002B2 (ja) | 基板保持装置 |