JP2970002B2 - 基板保持装置 - Google Patents
基板保持装置Info
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- JP2970002B2 JP2970002B2 JP4121691A JP4121691A JP2970002B2 JP 2970002 B2 JP2970002 B2 JP 2970002B2 JP 4121691 A JP4121691 A JP 4121691A JP 4121691 A JP4121691 A JP 4121691A JP 2970002 B2 JP2970002 B2 JP 2970002B2
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- clamper
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- refrigerant
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばイオン注入装
置、イオンビームエッチング装置、電子ビーム照射装置
等のように、真空中またはそれに近い雰囲気中で基板に
イオンビーム、電子ビーム、プラズマ等のエネルギーを
有する粒子を入射させる場合に用いられる基板保持装置
に関し、特に当該基板の冷却性能の向上手段に関する。
置、イオンビームエッチング装置、電子ビーム照射装置
等のように、真空中またはそれに近い雰囲気中で基板に
イオンビーム、電子ビーム、プラズマ等のエネルギーを
有する粒子を入射させる場合に用いられる基板保持装置
に関し、特に当該基板の冷却性能の向上手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の基板保持装置の従来例を図４に
示す。
示す。
【０００３】この基板保持装置は、基板（例えばウェー
ハ）２を載せるベース４と、基板２の周縁部をベース４
に対して押さえ付ける環状のクランパー６とを備えてお
り、このベース４とクランパー６との間に基板２を挟ん
で保持する構造をしている。
ハ）２を載せるベース４と、基板２の周縁部をベース４
に対して押さえ付ける環状のクランパー６とを備えてお
り、このベース４とクランパー６との間に基板２を挟ん
で保持する構造をしている。
【０００４】ベース４には、複数本のクランパー軸８が
上下動自在に貫通しており、それらの上端部にクランパ
ー６が取り付けられており、下端部に連結板１２が取り
付けられている。各クランパー軸８の周りには、各クラ
ンパー軸８およびクランパー６をベース４に向けて弾性
的に押し下げるばね（例えば圧縮コイルばね）１０が設
けられている。また、ベース４内には、冷媒（例えば冷
却水）１４を通す環状の冷媒通路４ａ（図２も参照）が
設けられている。
上下動自在に貫通しており、それらの上端部にクランパ
ー６が取り付けられており、下端部に連結板１２が取り
付けられている。各クランパー軸８の周りには、各クラ
ンパー軸８およびクランパー６をベース４に向けて弾性
的に押し下げるばね（例えば圧縮コイルばね）１０が設
けられている。また、ベース４内には、冷媒（例えば冷
却水）１４を通す環状の冷媒通路４ａ（図２も参照）が
設けられている。
【０００５】上記のように保持された基板２に、クラン
パー６の開口部を通して例えばイオンビーム１６を照射
する等して、基板２に処理を施すことができる。その
際、イオンビーム１６の照射に伴って基板２内に熱が発
生するが、基板２はクランパー６によってベース４に押
し付けられているので、基板２の熱はベース４に伝達さ
れ、更にその冷媒通路４ａ内に通される冷媒１４によっ
て奪い去られ、これによって基板２が冷却される。
パー６の開口部を通して例えばイオンビーム１６を照射
する等して、基板２に処理を施すことができる。その
際、イオンビーム１６の照射に伴って基板２内に熱が発
生するが、基板２はクランパー６によってベース４に押
し付けられているので、基板２の熱はベース４に伝達さ
れ、更にその冷媒通路４ａ内に通される冷媒１４によっ
て奪い去られ、これによって基板２が冷却される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記基板保
持装置においては、クランパー６は基板２の熱を奪い去
るのに殆ど寄与せず、基板２の熱は主としてベース４側
にのみ奪い去られるので、基板２の冷却性能があまり良
くなく、従って基板２に大きな熱量を与えた場合、基板
２の温度上昇が過大になるという問題がある。
持装置においては、クランパー６は基板２の熱を奪い去
るのに殆ど寄与せず、基板２の熱は主としてベース４側
にのみ奪い去られるので、基板２の冷却性能があまり良
くなく、従って基板２に大きな熱量を与えた場合、基板
２の温度上昇が過大になるという問題がある。
【０００７】そこでこの発明は、基板の冷却性能を向上
させることを主たる目的とする。
させることを主たる目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の基板保持装置は、前述したようなベース
およびクランパー内に、冷媒を通す冷媒通路を設けたこ
とを特徴とする。
め、この発明の基板保持装置は、前述したようなベース
およびクランパー内に、冷媒を通す冷媒通路を設けたこ
とを特徴とする。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、基板の熱は、ベース４に伝
わってその冷媒通路に通される冷媒によって奪い去られ
ると共に、クランパー６に伝わってその冷媒通路に通さ
れる冷媒によって奪い去られるので、基板に対する冷却
性能が向上する。
わってその冷媒通路に通される冷媒によって奪い去られ
ると共に、クランパー６に伝わってその冷媒通路に通さ
れる冷媒によって奪い去られるので、基板に対する冷却
性能が向上する。
【００１０】
【実施例】図１は、この発明の一実施例に係る基板保持
装置を示す断面図である。図２は、ベース内の冷媒通路
の一例を示す水平断面図である。図３は、クランパー内
の冷媒通路の一例を示す水平断面図である。図４の従来
例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下
においては当該従来例との相違点を主に説明する。
装置を示す断面図である。図２は、ベース内の冷媒通路
の一例を示す水平断面図である。図３は、クランパー内
の冷媒通路の一例を示す水平断面図である。図４の従来
例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下
においては当該従来例との相違点を主に説明する。
【００１１】この実施例においては、前述したようなベ
ース４内だけでなく、クランパー６内にも冷媒１４を通
す環状の冷媒通路６ａを設けている。
ース４内だけでなく、クランパー６内にも冷媒１４を通
す環状の冷媒通路６ａを設けている。
【００１２】そしてこの実施例では、ベース４内に冷媒
通路４ａにつながる分岐路４ｂ、４ｃを設け、かつこの
分岐路４ｂ、４ｃとクランパー６内の冷媒通路６ａとを
可撓性を持つフレキシブルパイプ１８ａ、１８ｂでそれ
ぞれ接続して、冷媒通路４ａに供給された冷媒１４の一
部を分岐路４ｂおよびフレキシブルパイプ１８ａを通し
てクランパー６内の冷媒通路６ａの一端部に供給し、更
に冷媒通路６ａの他端部から排出される冷媒１４をフレ
キシブルパイプ１８ｂおよび分岐路４ｃを通して冷媒通
路４ａ内に戻すようにしている。パイプ１８ａ、１８ｂ
をフレキシブルにするのは、クランパー６の上下動を許
容するためである。
通路４ａにつながる分岐路４ｂ、４ｃを設け、かつこの
分岐路４ｂ、４ｃとクランパー６内の冷媒通路６ａとを
可撓性を持つフレキシブルパイプ１８ａ、１８ｂでそれ
ぞれ接続して、冷媒通路４ａに供給された冷媒１４の一
部を分岐路４ｂおよびフレキシブルパイプ１８ａを通し
てクランパー６内の冷媒通路６ａの一端部に供給し、更
に冷媒通路６ａの他端部から排出される冷媒１４をフレ
キシブルパイプ１８ｂおよび分岐路４ｃを通して冷媒通
路４ａ内に戻すようにしている。パイプ１８ａ、１８ｂ
をフレキシブルにするのは、クランパー６の上下動を許
容するためである。
【００１３】このような構造にすると、基板２の熱は、
ベース４に伝わってその冷媒通路４ａ内に通される冷媒
１４によって奪い去られると共に、クランパー６に伝わ
ってその冷媒通路６ａ内に通される冷媒１４によって奪
い去られるので、即ち基板２の表裏両面より熱が奪い去
られるので、基板２の冷却性能が向上する。その結果、
基板２に大きな熱量が与えられても、基板２の温度上昇
を軽減することができる。
ベース４に伝わってその冷媒通路４ａ内に通される冷媒
１４によって奪い去られると共に、クランパー６に伝わ
ってその冷媒通路６ａ内に通される冷媒１４によって奪
い去られるので、即ち基板２の表裏両面より熱が奪い去
られるので、基板２の冷却性能が向上する。その結果、
基板２に大きな熱量が与えられても、基板２の温度上昇
を軽減することができる。
【００１４】なお、クランパー６内の冷媒通路６ａに対
する冷媒１４の供給および排出は、上記実施例と違っ
て、ベース４の冷媒通路４ａに対するものとは別ルート
で行うようにしても良い。
する冷媒１４の供給および排出は、上記実施例と違っ
て、ベース４の冷媒通路４ａに対するものとは別ルート
で行うようにしても良い。
【００１５】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、基板の
熱をベース側およびクランパー側の両方から奪い去るこ
とができるので、基板の冷却性能が向上する。
熱をベース側およびクランパー側の両方から奪い去るこ
とができるので、基板の冷却性能が向上する。
【図１】 この発明の一実施例に係る基板保持装置を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】 ベース内の冷媒通路の一例を示す水平断面図
である。
である。
【図３】 クランパー内の冷媒通路の一例を示す水平断
面図である。
面図である。
【図４】 従来の基板保持装置の一例を示す断面図であ
る。
る。
２ 基板 ４ ベース ４ａ 冷媒通路 ４ｂ，４ｃ 分岐路 ６ クランパー ６ａ 冷媒通路 １４ 冷媒 １８ａ，１８ｂ フレキシブルパイプ
Claims (1)
- 【請求項１】 基板を載せるベースと、基板の周縁部を
ベースに対して押さえ付ける環状のクランパーとを備え
る基板保持装置において、前記ベースおよびクランパー
内に、冷媒を通す冷媒通路を設けたことを特徴とする基
板保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4121691A JP2970002B2 (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4121691A JP2970002B2 (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 基板保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04259741A JPH04259741A (ja) | 1992-09-16 |
| JP2970002B2 true JP2970002B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=12602206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4121691A Expired - Fee Related JP2970002B2 (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 基板保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2970002B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5954566B2 (ja) | 2012-03-17 | 2016-07-20 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
-
1991
- 1991-02-12 JP JP4121691A patent/JP2970002B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04259741A (ja) | 1992-09-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |