JPS596590A - 薄膜集積回路用基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は薄膜集積回路用基板に関するものである。

薄膜集積回路はアルミナなどの絶縁性基板上に抵抗やコ
ンデンサなどの受動素子を形成したもの、あるいは受動
素子形成後にＩＣなどの能動素子を取付けたものである
。薄膜集積回路に用いられる基板としてはアルミナ基板
が広く用いられており、基板形状としては特殊用途用と
して円形や半円形の形状があるが大部分は長方形や正方
形状のものが使用されている。

この理由は長方形や正方形状の方が円形や半円形状より
も製造工程中での基板の取扱いが容易であり、才た一般
的には長方形や正方形状の方が一枚の基板からより多く
の製品を得ることが可能なためである。薄膜集積回路の
製造に際しては、基板の洗浄、成膜、フォトレジストの
塗布、露光。

乾燥、エツチング、フォトレジスト除去などといった数
多くの種類の工程を何回か経ることが必要となる。ここ
で問題になることは使用する基板の表裏と基板の方向性
の識別である。周知の様にアルミナ基板などでは基板の
表面は裏面よりも平滑性にすぐれている。これは使用し
ない裏面は表面はど平滑性が不必要なわけであり、逆に
そうした方が基板を作る上で経済的とも言える。

しかしこの基板の表裏の平滑性の相違は肉眼で容易に識
別することは不可能であり、したがって最初の工程の方
では表裏の識別を簡単にできる様に、基板自体に何らか
の標示が必要である。

さらに基板の上下方向も各工程の処理に際し統一してお
く仁とが一般的に望ましい。たとえば露光の時に基板の
上下方向が不ぞろいだと上下方向を確認してから作業を
することが必要なため作業能率の低下をもたらす。また
自動装置を使用して露光する時には上下方向を統一して
から作業することが絶対条件となる。

もちろん露光回数が２回目以降の露光では何らかのパタ
ーンが存在するはずであり、このパターンを見て基板の
上下の方向を識別することも可能ではあるが、いちいち
基板を収納しているトレーから基板を引き出し、識別す
ることは煩雑であり、経済的な方法でない。

さらに品質管理上、他の製造工程でも基板の上下方向を
統一して作業しておくと、不良が発生した際に不良原因
を究明する上で役に立つ場合が多く、有利である。した
がって従来の基板は第１図（ａ）、　（ｂ）４こ示すよ
うに基板の隅にある一つまたは三つの角を取って基板の
表裏及び方向性を識別して３を常に左上にすれば基板の
表裏及び方向は常に一定になるし、また（ｂ）では基板
の角２の部分を常に左上にすれば（ａ）と同じように表
裏及び方向を一定にすることができる。

しかしながら従来の基板形状では必ず基板の角２を少く
とも一つ以上有しており、この角２が各工程でのトレー
の移し替えの際に障害になる。

たとえばエツチングでは耐薬品性のあるテフロン系のト
ン１洗浄やフォ、トレジストの除去では熱容量が少ない
トレー、基板を保管する時には塵埃が付着しない様に気
密性の良いトレーに移し替える必要があるが、この際基
板の角の部分が各トレーの溝の部分にあたって基板の移
し替えが円滑にいかない場合がかなりある。

このトレーの移し替えは１０ツトからなる複数枚のの基
板を同時にトレーからトレーに移し替えるが、トレーを
移し替えるごとにトレーに対する基板の上下の向きは反
対になるため、トレーの移し替えを円滑に行えるように
するためには基板のすべての角を落とすことが必要であ
る。

そこで本発明は、基板の四隅にある四つの角を取り、か
つ基板の一部に方向指示部を設けて、基板のトレーの移
し替え及び基板の表裏、方向性の識別を容易に行えるこ
とができるようにしたものである。

以下に本発明の実施例を第２図（ａ）、　（ｂ）、　（
１：）、　（ｄ）を用いて具体的に説明する。

第２図（ａ）は基板１の四つの角を３のように取り、方
向指示部として５のように半円状にアルミナ部を欠いた
基板である。角取り部３及び方向指示部５の大きさは特
ｌこ限定されるものではなくある一定以上の大きさがあ
ればよいが角取り部３の長さは２ｍ、４た方向指示部の
半円状の直径の長さは２ＷＩｎもあれば充分である。

ｆｆ１２図（ｂ）は方向指示部を長方形６にした他の実
施例であり、第２図（Ｃ）は角取り部に丸み４をつけた
他の実施例であり、第２図（ｄ）は部分グレーズ基板に
おいて方向指示部をグレーズ７で形成した他の実施例で
ある。

以上に述べたような基板の角取り及び方向指示部の形成
はアルミナ焼成後に行ってもよいがアルミナ基板の焼成
前のアルミナグリーンテープの形状加工時に同時に形成
しておく方法が経済的である。

以上の様に本発明は簡便にして、その実用的効果は非常
に大きく、充分実用に供されるものである。なお本発明
の角取り部の形状及び方向指示部の形状は実施例で説明
した形状に限定されるものでなく他の形状でも可能であ
り、さらに方向指示部は二つ以上設けても可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、　（ｂ）は従来の薄膜集積回路用基板を
示す平面図、第２図（Ｊｌ）、　（ｂ）、　（Ｃ）、　
（ｄ）はそれぞれ本発明の実施例による薄膜集積回路用
基板を示す平面図である。 尚図において、１・・・・・・混成集積回路用基板、２
・・・・・・角、３・・・・・・角取り部、４・・・・
・・丸みをつけた角取り部、５・・・・・・半円形状の
方向指示部、６・・・・・・長方形状の方向指示部、７
・・・・・・グレーズによる方向指示部である。 Ｕり 楽　１ （久） （ｂ） 圓 （ｂ） （ｄ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 長方形または正方形状の薄膜集積回路用基板において、
   該基板の四隅にある四つの角を取り、かつ該基板の表裏
   及び方向性を示すために該基板の一部に方向指示部を設
   けたことを特徴とする薄膜集積回路用基板。