JPS596407A - 空気力式サ−ボ弁のための電気空気力式の前制御段 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ノズルーストン・ξプレートー機構を有する
空気力式の駆動機構のための空気力式サーボ弁を制御す
るための′電気空気力式の前制御段であって、前記ノズ
ル−ストツノξプレートー機構のストッパプレートが磁
界の範囲で可動コイルと結合されて電気的なシグナルの
投入に基づいて制御される形式のものに関する。

電気空気力式のサージ弁は、空気力式の弁上段を通る空
気流あるいは空気圧を、前述の電気空気力式の前制御段
における電気的なシグナルの投入に比例して制御するだ
めの装置である。

それ故に、出力要求はフレキシブルな、かつ動力学的な
制御能力に関連してよシ良く満たされていてかつ機械的
あるいは純粋に流動式な機構は多くの点で優れているの
で、従来では電気的なあるいは電子的な制御機構を優先
している。

電気空気力式の前制御段における目的は、前制御段にお
ける規定された電気的な入力シグナルに、明白に限定さ
れる相応する圧力もしくは弁上段もしくは空気力式なサ
ージ弁の出口における流量を配属させることである。前
述の形式の電気空気力式の変換機によって専ら高い増幅
効果を維持するために、弁の入口側におけるできる限り
小さな電気出力によってできるだけ多い流量あるいは大
きな圧力の作用を比例制御させることが重要である。こ
のために、全ての流入値を、前述の形式の公知の弁にお
ける制御部材の構成及び組合わせに関連して検出しかつ
＆まあいによっては互いに十分に調整することが前提と
なる。申し分ない増幅効果のための主特性データの１つ
が確実に電気的な入力に存在し、該入力は、空気力式な
弁出力を維持しつつ、比較的小さな電気的な入力に基づ
いて相応して形成される弁が種々の規定された固有安定
性の範囲においてもあるいはコンピュータ制御される弁
として使用されるように減少される必要があるさらに、
適用される原則的な流入値は、電気空気力式のサージ弁
の構成から与えられる。このばあい特に構成を、弁出力
の一部を断念することなしに構成グループが、ここでは
とりわけ電気空気力式の前制御段が縮少されるように考
慮する必要がある。第１の要求は、できるだけ小さな構
成寸法を得るために構成的な処置をとることであり、こ
の処置は、たとえばケーシンダ内の空気力式な駆動機構
のように形成されるサージ弁の有利な組込みにおいて行
なわれる。

弁全体のわずかな重量及びこれに関連してなかんづく前
制御段における小さく運動する質量も極めて重要であり
、このことは全体的に見て弁の動力学的なふるまいの著
しい改良に役立つ処置である。前述の説明による流入値
に関連して、電気的に制御される弁が２つのタイプに分
類され、第１のタイプは機能形式に基づいて電気的に直
接操作される弁として示されており、第２のタイプは電
気的に間接的に操作される弁として示されている。電気
的に直接操作される弁のばあい、弁閉鎖部材を操作する
ための調整力が直接電磁石によって生ゼしぬられる。こ
めことは、最大に制御される流過量あるいは圧力が直接
、磁石の側で使用される調整力に関連していることを示
している。調整力をもたらすために、均一な大きさのコ
イルを有する大きな容積の電磁石が必要であり、該電磁
石は、空気力式の弁主段と比較すれば公知のサージ弁の
はおいの構成の大きさ及び重量において弁主段より小さ
くない。結局電気的な入力は、サージ弁のこのような構
成形状のばあいに、電気的な制御機構によってたとえば
高価な増幅切換え回路を介することによってのみ達成さ
れる大きさに変動される。それ故に、前制御段及び弁主
段の幾何学的なデータがほぼ同じ大きさであるサージ弁
は、空気力式な駆動機構への集積のためには適していな
い。運動される大きな質量は、調整駆動のために必要な
容積の動力学的なふるまいを阻止する。制限周波数はた
とえば、使用時に調整駆動の正確かつ迅速な制御のため
に操作技術において要求されているような値よりかなり
下にある。変換によってかなりの熱放出を生せしめる多
量の高い電気的な入力が投入制限をつけており、従って
付加的な冷却も減少される入力も条件とされなければな
らない。

電気的に間接的に操作される弁として示される周知の第
２のタイプのばあいにはとりわけ、所謂・ぞイロット弁
から成る電気空気力式の前制御段として形成されており
、前記・ξイロット弁は電磁石によって操作されかつ制
御ピストンの圧力負荷によって主弁を調節する。電気的
に制御されるノξイロット弁の利点は、制御される圧力
もしくは流過量が磁石の調整力に関連していることであ
る。このばあい、必要な電気的な入力は・ぐイロット弁
もしくは磁石を調整するコイルによってのみ規定される
。たとえノξイロット弁によっである程度高価な構成と
なったとしても、動力学的なふるまいの減少及び改善に
関して著しく優れた問題解決への道が準備されている。

なお克服すべき第一の困難は適当な可動コイルの設計で
ある。可動コイルは、冒頭の形式の前制御段において、
−面ではダイヤフラムばねの変向に必要な力によって、
他面では可動コイル内の許容電流密度によって制限され
る。弁用力が少なくとも変化されないままでありかつこ
のことによって変向力の減少が許容されないので、一般
的な出力改善は相応して改善される熱排出において高め
られる電流密度によってなお考えられるだけである。こ
のような考えは幾何学的に小さな構成による要求にも応
じており、かつとりわけ冒頭の形式の電気空気力式な前
制御段によって間接的に制御される弁によって行なわれ
る。

本発明の課題は、小さな入力におけるできる限り小さな
寸法によって、かつ空気力式の駆動装置における集積の
ための申し分ない動力学的なふるまいによって適してい
る空気力式のサージ弁を制御するための簡単かつ小型の
電気空気力式の前制御段を提供することである。

このような課題を解決するために本発明では、ダイヤフ
ラムばね円板が可動コイルの支持部材として形成されて
いて並びにコイル体の端面側のフランジにおいて軸線方
向で可動コイルを配置するために、かつ中央のストッ・
ξプレート面のまわシの貫通孔に対して同心的に配置さ
れており、さらに周辺のリング状の磁石とＴ字状アーマ
チュアの中央の突入するアーマチュアビン状部分とによ
って形成される円筒状の、中空室の範囲に、アーマチュ
アの端面側で外方へ案内される排気通路が設けられてお
り、さらに測定ノズルから前制御段内へ流出する空気流
が電磁的なエアギャップを通って可動コイルの円筒状の
外周面及び内周面に沿って案内されており、従ってサー
ジ弁の固有の作業媒体によって可動コイルの永続する冷
却が行なわれるように形成されていることである。

さらに本発明による装置の別の実施態様が特許請求の範
囲の従属項に記載されている。

有利な形式で本発明のように構成することによって、測
定ノズルから永続的に流出する空気流によって著しく改
善された熱排出が保証されており、該熱排出によって電
流密度が著しく高められる。ダイヤフラムばね円板にお
いて貫通孔を適当に分配して配置することによって、か
つばあいによってはコイル体の７ランジによって、永続
的に作用する空気流が強制的にかつ均一に分配されて可
動コイルの円筒状の外側及び内側に沿って案内される。

コイルにおける熱回避によって加熱される空気は、リン
グ状の磁石とアーマチュアぎン状部分との間の円筒状の
中空室を通って、かつ前制御段の端面側における複数の
排気通路を通って外気内へ排出される。

前制御段の構造的な構成及び測定ノズルからの空気流を
変向するだめの構成に基づいて、弁固有の作業媒体を利
用して、前制御段における熱排出区域範囲における著し
く効果的な冷却効果が達成される。付加的な作為的な冷
却の費用をかけずに、−面では減少された入力により変
化されない伸出力が達成される。電流密度が効果的な熱
回避によって高められ、このことは、可動コイルを制御
出力が同じばあいに小さく構成することができると言う
ことを示す。このような利点によって、動力学的な改善
が行なわれることはもとより、可動コイルの減少された
運動する質量を得ることができる。一般的に前述の構成
によって、間接的に操作される空気力式のサーボ弁のだ
めの前制御段は幾何学的に著しく小さく構成され、かつ
このような形式で得られた小型化によって、前述のサー
ボ弁を空気力式の駆動装置に集積するための付加的な有
利な前提が示される。

以下に図示の実施例につき本発明を説明する本発明によ
る形式の電気空気力式のサーボ弁の実施例は前制御段１
及び弁上段２とから成っておシ、シかも前制御段１の装
置はケーシング３内に、かつ弁上段２の装置は別個のケ
ーシング３内に収容されている。前制御段１の装置とし
て、ケーシング３内に、永久磁石５、アーマチュア６、
一体成形されたストン・ξプレート９を備えて特別に構
成されたコイル体８を有する可動コイル７が受容されて
いる（第１図）。ストン・ぐプレート９を有するコイル
体は、該ストン・ξプレート９がダイヤフラムばね円板
１０の相応する孔１．１内にたとえばプレス嵌めによっ
て、あるいは形状接続的に自体保持されて差嵌められて
いるのでダイヤフラムばね円板１０によって支持される
。第１図及び第２図による前制御段１の構成により、前
制御段１の円筒状中空室１４内で弁上段２に向かう端面
１２の近くに内方へ突出する７ランジ１３が設けられて
いる。このようなフラン、、）１３はまず、開口する端
面１５から円筒状中空室１４内に嵌込まれたリング状の
磁極片１６の当接のために役立つ。

次の部材として、中空室１４内にやはシリング状の永久
磁石５が嵌込まれ、次いで横断面形状がＴ字状であるア
ーマチュア６が嵌込まれ、該アーマチュアのビン状部分
１８は、組込み位置で磁極片１６の下縁でほぼ終わって
いる。外方へ向かうアーマチュア端面１９を越えて突出
するケーシング３の縁２０が内方へ曲げられかつこのこ
とによってケーシング３内に嵌込まれた部材が変化され
ずに限定された位置に、さもなければ前制御段ｌの構成
形状によって規定される別の機能平面に保持される。こ
のような機能平面は位置決めによって、′制御空気測定
ノズル２２の出口開口２１と協働するストン・ξプレー
ト９の面２３を形成する。第１図に示された実施例にお
けるストン・ξプレート９は一体に形成されたコイル体
８の部分でありかつすでに述べたように円板状のダイヤ
フラムばね円板１０の同心的な孔１１内に受容されてい
る。ダイヤフラムばね円板１０はケーシングδの内壁に
設けられた穿孔２６に保持される。このことによって磁
極片１６とアーマチュアピン状部分１８との間の、磁界
のエアギャップ１７内で可動コイル７の電流を流さない
出発位置を規定し、かつ同時にストン・ξプレート９の
作用面２３の位置をケーシング゛３に関連して限定する
。前制御段ｌの弁上段２に対する位置の無段の微調整の
ために、かつ同時に弁上段２と結合するための固定部拐
として、前制御段ｌのケーシング４内のフランジ状に拡
大される部分に、細目ねじ山２４が設けられており、該
細目ねじ山によって複雑な前制御段１が弁上段２のケー
シング牛における端面に配置された細目ねじ山付孔２５
内にねじ込まれる。細目ねじ山におけるつる巻線の小さ
なピッチの特性に基づき、前制御段１及びここにおいて
はとりわけ、ケーシング３に対して確実な結合で位置決
めされたストン・ξプレート９を有するダイヤフラムば
ね円板１０が、相応する大きな正確さを有する比較的大
きな回転距離にわたって測定ノズル２２の出口開口２１
に近づけられる。測定ノズル２２が交換可能なノズル円
板２７内に設けられており、該ノズル円板はケーシング
４内に円筒状の制御ブツシュ２８に当接して嵌込まれて
いる。圧縮空気が制御空気室２９から専ら測定ノズル２
２を介して流出することを保証するために、第１図及び
第２図による実施例のばあいにノズル円板２７と前制御
段１のケーシング４内３０との間にフレキシフルな中間
部材としてエラストマなシール部材３１が設けられてお
り、該シール部材は、絶対的なシール作用において、前
制御段１におけ　　　−るストン・ぞプレート９の弁上
段２における測定／ｉル２２に対する位置決めの調節を
、選ばれる作業点の範囲で補償している。細目ねじ山２
牛とねじ山付孔２５によって得られるストン・ぐプレー
ト９と測定ノズル２２との間の向かい合う側の位置の調
整に基づいて、弁上段２のケーシング４におけるノズル
円板２７のそれ自体の組込み位置が十分に制限されてし
かも位置が変化しにくい。個々のばあいに作業点の正確
な調節は、弁上段２のケーシング４内に前制御段１を精
密にねじ込むことによって行なわれる。申し分ない作業
点調節の状態を確実にするために、かつ同時に両ケーシ
ング３，４の間のねじ出納合部（２４，２５）のシール
に役立つために、細目ねじ山２４及び細目ねじ山付孔２
５のっる巻き線に後焼きされるねじ確保部材３２が提出
されている。このように物質結合されるねじ確保は、必
要なばあいには解離され、従って前制御段１と弁上段２
との間の作業点の調節の後調整が可能であシ、あるいは
前制御段１の交換が行なわれる。

組立てた状態で前制御段１と弁上段２のノズル円板２７
との間で周縁を締付けられた、可動コイル７の支持部材
としてのダイヤフラムばね円板１０が弾性的な中間区域
において貫通孔５８を有しておシ、該貫通孔は一面では
弾性アームの形成に、かつ他面では可動コイル７の円筒
状の外周面及び内周面のそばを通る測定ノズル２２から
の空気流６４の分配案内に役立つ。可動コイル７の内側
で熱排出を行なうために、第１図によるコイル体８のば
・あいに端面側７ランジ６５に別の貫通孔６１が設けら
れており、該貫通孔によって空気流６４がコイルコアを
通って流れる。第２図及び第３図による前制御段１の別
の構成においては、ダイヤフラムばね円板１０が同時に
ストン・ξプレート９として構成されており、ダイヤフ
ラムばね円板１０のストン・ξプレート面２３の周りに
同心的に貫通孔６２が設けられており、該貫通孔を介し
て測定ノズル２２から流出する空気流６４の部分が、開
放される７ランジ６５を通ってかつさらに、コイル体８
とアーマチュアビン状部分１８との間の内側エアギャッ
プ６７を通って導びかれる。コイル体８を固定するため
に、コイル体に軸方向に突出する突起部６８が設けられ
ており、該突起部によってコイル体８が、ダイヤフラム
ばね円板１０における相応して配置されたスリット６９
内に差嵌められる。可動コイル７における熱回避によっ
て温められた空気流６４を外気内へできるだけさしつか
えなく排出するために、周辺のリング状磁石５とＴ字状
のアーマチュアの中央に突入するアーマチュアピン状部
分１８とによって形成される円筒状の中空室１４の範囲
内に、アーマチュア６の端面側で外方へ案内される排気
通路６３が設けられている。制御過程中に測定ノズル２
２から常に前制御段１の空気室３４内に流出する空気流
６４が、実際に抵抗なしに貫通孔５８．６１．６２を通
って空気室３４の上方半部に達し、そこから空気流６４
は磁気のエアギャップ６６．６７を通って可動コイル７
の円筒状外周面及び内周面に沿って案′内される。この
ような構成に基づいて、サーボ弁の固有の作業媒体によ
って均一な熱回避が可動コイル７の範囲から達成される
。特別な費用なしに、可動フィル７は高い電流密度で装
荷される。さらに圧縮空気により冷却される可動コイル
７の配置によって、可動コイル７は変向力を減少させる
必要なしに、構成容積及び重量が小さく構成されかつこ
のことによって得られるわずかな質量のために前制御段
１のさらに改良される動力学的なふるまいが得られる。

排気通路６３はその流過横断面において、該排気通路が
最大の排気流のばあいにも制御空気流６４を絞らないよ
うに設計されている。排気通路６３には、たとえば断熱
材から成る保護スリーブ７１が取付けられており、かつ
同時に該保護スリーブを通って排気の排出とは別に可動
コイル７への接続導線７２が自由に可動に案内されてい
る。

前述の前制御段ｌは直接制御可能な空気方式のサーボ弁
の部分とみなされ、該サーボ弁の空気力式の弁主段２は
以下のように構成される。。

弁主段２のケーシング４内に円筒状の孔３７が設けられ
ており、該孔３７内に制御ブツシュ２８が嵌込まれてい
る。制御ブツシュ２８が外側環状みぞ３８．３９．４０
を有しており、該外側環状みぞは組立て位置で接続導管
の取付けのための孔４１．４２．４３と接続される。孔
３７内の制御ブツシュ２８の位置は一面では、中央の排
気孔４５を有する閉鎖部材４４上に載着することによっ
て確実にされており、前記閉鎖部材はばねリング４６に
よってケーシング４内の円筒状の孔３７のみぞ４７内で
軸方向で確実にされている。前制御段１に向かう別の側
では、制御ブツシュ２８は、シール部材３１を介して内
方へねじ込められた前制御段１によって制御フッシュ２
８に向がって圧着されるノズル円板２７への当接によっ
て確実にされている。

制御ブツシュ２８における外側環状みぞ３８゜３９．４
０が半径方向で設けられた孔４８，４９．５０を介して
、制御ピストン５４における環状みぞ５１．５３及び制
御ブツシュ２８における内側環状みぞ５１，５３と連通
ずる。制御ピストン５４が制御ブツシュの円筒状孔５９
内で軸方向に可動に支承されている。制御ブッシュ２８
自体がシールリング６ｏを介してケーシング生に対して
シールされている。機能において流れ制御弁として、没
えは一次圧縮空気導管の接続のだめの孔４３（Ｐ）が役
立つ。孔牛２（Ａ）には二次用導管あるいは作業圧導管
が接続され、孔４１（Ｒ）は専ら排気又は戻し導管の接
続に役立つ。制御空気を導入するために常に、−成用流
入′下にある環状みぞ５３が、制御ピストン５４におけ
る中央の孔として設けられた制御空気通路５５を介して
、さらに制御空気流絞り５６を介して、前制御段１に向
がう制御ピストン５４の端部における制御空気室２９と
連通ずる。制御空気室２９内の変化される制御可能々圧
力に基づく制御ピストン５４へのスラスト作用が、閉鎖
部材４４に支持される押しばね５７に抗して働く。押し
ばねカを調整するために、換気孔４５を維持しつつも外
側から調節可能な、図示されない調節ねじが設けられて
いる。

流れ制御弁として特性において、電気空気方式のサーボ
弁の前述の実施例の機能を第１図に基づき以下に説明す
る。孔４３　（Ｐ　）にはたとえば−成用のだめの接続
導管が取付けられている。過圧の媒体としての空気ある
いは別のガスは、制御ピストン５４の第１図に示す位置
に基づいて上端位置では作業空気流として消費接続部Ａ
Ｋ作用しない。これは前述の位置では、常に孔４３にお
ける供給空気流接続部と連通される環状みぞ５３と、個
所Ａにおける消費接続部との間で一般的な接続が行なわ
れないからである。他面では、この制御ピストン５４の
上端位置において、制御ピストン５４の環状みぞ５１が
制御ブツシュ２８の内側環状みぞ５２にオーバラップさ
れて位置することに基づいて弁才段２が接続部Ｒへの戻
し流れ方向で消費接続部Ａの最大横断面積に調節される
。、このような調節は図示の実施例では一般的に、供給
圧縮空気を供給することによって、押しはね５７により
、調節される制御ピストン５４の位置の変化のための前
提が与えられていない限りでは維持されたままである。

制御ピストン５４の位置の変化は、制御ピストン５４の
上方の制御空気室２９内の圧力が、調整力として押しは
ね５７の戻し力を克服しかつ第１図による制御ピストン
５４を下方へ摺動させるだけの大きさを生じるように供
給されるばあいに達成される。このために必要な、制御
中・気室２９における個所Ｐの供給接続部における一次
空気圧の移行は、孔４３が外側環状みぞ４ｏ及び制御ブ
ツシュ２８における半径方向の孔５０を介して環状みぞ
５３と常に接続され、該環状みぞ自体が制御空気通路５
５及び制御空気流絞り５６を介して制御空気室２９と接
続されることにより行なわ７れる。消費接続部Ａにおい
て制御される空気流を調節しようとするばあい、この調
節は制御ピストン５４の相応する位置決めによって行な
われる。電気的な入力電流シグナルに基づａて、可動コ
イル７の電流に比例された制御が行なわれる。従って可
動コイル７の運動に相応してストン・ξフレート９はた
とえば測定ノズル２２に向かって案内され、制限され、
あるいは制御空気室２９からの制御空気の流出が減少さ
れ、かつその結果制御空気室２９内に制御ピストン５４
の端面に作用するたとえば１．５〜６・々−ルの制御圧
が生ゼしぬられる。制御ピストン５４は、この変化可能
に調節される圧力に基づいて、規定された制御ピストン
位置に達成した後に制御圧が増大するにつれて、横断面
においてやはり増大して調節される、供給圧下にある環
状みぞ５３と内側環状みぞ５２ひいては消費接続部Ａと
のオーバラップが行なわれるように変向される。−次空
気圧下にある供給接続部Ｐと消費接続部Ａとの間の有効
な接続の前に、消費接続部Ａと戻し流接続部Ｒとの間の
最大流過横断面で調節される接続が行なわれる。可動コ
イル７の制御のためのシグナル電流が取消されると、状
態が相応して逆になる。すなわちまず消費接続部Ａにお
ける作業空気流が絞られ、次いで接続部Ｐから接続部Ａ
への接続が最終的に遮断される。次に再び消費接続部Ａ
の排気又は戻し流接続部Ｒへの接続の交換が行なわれる
。

図示の形式の電気空気力式のサーＩ弁の構成及び作用の
著しい特徴は、図示の装置が、電気空気力式のシグナ７
Ｌ、交換段又は前制御段１及び血前制御段によって負荷
に関連して調節される弁才段２かも成る２段の間接的な
弁制御装置として構成されていることである。サーゼ装
置としての前制御段ｌによって、はぼ２０　Ｑ　ｍＡま
での小さな電気的外制御電流によつで弁才段２の流量を
間接的に、たとえば５００１／ｍｉｎの大きさに制御す
ることができる。このばあいとりわけ有利には、可動コ
イル７における電気的なシグナル電流と、消費接続部Ａ
における流量との間で比例関係が存在する。さらに前制
御段１に設けられた、冷却部及びそれにより達成される
構成形状を縮少された構成に基づいて、サーゼ弁の小さ
な質量が迅速な反作用形式のだめの前提となる。可動コ
イル７の放熱される面のそばを直接案内されている常に
有効な均一な冷却空気流によって、持続する熱回避によ
り可動コイル７内の電流密度が著しく高くされる。この
ような効果によって、コイル寸法を維持するばあいに動
力学がたとえば短い応答時間及び高い応答感度に関して
著しく改善されるようになる。しかも他面では熱回避に
よって、可動コイル寸法によって極端に小さく維持され
かつ相応して小さく運動される質量が達成されるように
なる。可動コイル７の上側で、しかし空気流６４の排出
のために側方において排気通路６３が、前述の構成の作
用形式をほとんど変化させることなしにその都度相応す
る組立位置の要求に応じて配置される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるサーゼ弁の縦断面図、第２図は本
発明によるサーゼ弁の前制御段の別の実施例を示す縦断
面図、第３図はダイヤフラムばね円板の平面図である。 １・・・前制御段、２・・・弁上段、３・牛・・・ケー
シング、５・・・永久磁石、６・・・アーマチュア、７
・・・可動コイル、８・・・コイル体、９・・・ストツ
ノξプレート、１０・・・ダイヤフラムばね円＆、１１
・・・孔、１２・・・端面、１３・・・７ランノ、１４
・・・中空室、１５・・・端面、１６・・・磁極片、１
７・・・エアギャップ、１８・・・アーマチュアピン状
部分、１９・・・アーマチュア端面、２０・・・縁、２
１・・・出口開口、２２・・・測定ノズル、２３冑面、
２４・・・細目ねじ山、２５・・・細目ねじ山付孔、２
６・・・穿孔、２７・・・ノズル円板、２８・・・制御
ブツシュ、２９・・・制御空気室、３０・・・ケーシン
グ下縁、３１・・・シール部材、３２・・・ねじ確保部
材、３４・・・空気室、３７・・・孔、３８・３９・４
０・・・外側環状みぞ、４１・４２・４３・・・孔、４
４・・・閉鎖部材、４５・・・排気孔、４６・・・はね
リング、４７・・・みぞ、牛８・４９・５０・・・孔、
５１・・・環状みぞ、５２・・・内側環状みぞ、５３・
・・環状みぞ、５４・・・制御ピストン、５５・・・制
御空気通路、５６・・・制御空気絞り、５７・・・押し
ばね、５８・・・貫通孔、５９・・・円筒状孔、６０・
・・シールリング、６１・６２・・・貫通孔、６３・・
・排気通路、６４・・・空気流、６５・・・端面側７ラ
ンジ、６６・６７・・・エアギャップ、６８・・・突起
部、６９・・・スリット、７１・・・保護スリーブ、７
２・・・接続導線

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　ノズル−ストッパプレート−機構を有する空気力
   式の駆動機構のための空気力式サーボ弁を制御するため
   の電気空気力式の前制御段であって、前記ノズルースト
   ン・ξプレート機構のストッパプレートが磁界の範囲で
   可動コイルと結合されて電気的なシグナルの投入に基づ
   いて制御される形式のものにおいて、ダイヤフラムばね
   円板（１０）が、可動コイル（７）の支持部材として形
   成されていて並びにコイル体（８）の端面側のフラン・
   ジ（６５）において軸線方向で可動コイル（７）を配置
   するためにかつ中央のストン・ぐプレート面（９，２３
   ）のまわシの貫通孔（５８／６１／６２）に対して同心
   的に配置されており、さらに周辺のリング状の磁石（５
   ）とＴ字状アーマチュア（６）の中央の突入するアーマ
   チュアピン状部分（１８）とによって形成される円筒状
   の中空室（１４）の範囲に、アーマチュア（６）の端面
   側で外方へ案内される排気通路（６３）が設けられてお
   シ、さらに測定ノズル（２２）から前制御段（１）内へ
   流出する空気流（６４）が電磁的なエアギャップ（６６
   ，６７）を通って可動コイル（７）の円筒状の外周面及
   び内周面に沿って案内されておシ、従ってサーー弁の固
   有の作業媒体によって可動コイル（７）の永続する冷却
   が行なわれるように形成されていることを特徴とする空
   気力式サーボ弁のための電気空気力式の前制御段。 ２、前記排気通路（６３）内に保護スリーブ（７１）が
   嵌込まれており、該保護スリーブ（７１）を通って排気
   の排出の他に可動コイル（７）への接続導線も同時に案
   内されている特許請求の範囲第１項記載の電気空気力式
   の前制御段。 ３　中央のフランジ（６５）なしにコイル体（８）のコ
   イルコアを通って空気流（６４）を案内するためにかつ
   中心に軸方向で配置された突起（６８）が、ダイヤフラ
   ムばね円板（１０）における相応して配置されたスリッ
   ト内に差嵌められている特許請求の範囲第１項記載の電
   気空気力式の前制御段。 屯　均一な熱排出のために空気流（６４）を分配するた
   めに、中央のストン・ξプレート面（２３）とコイル体
   （８）の環状面（７ｏ）との間の範囲においてダイヤフ
   ラムばね円板（１０）に−列の貫通孔（６２）が設けら
   れており、該貫通孔はこれらの貫通孔を通って排出され
   る空気流（６４）に基づくコイルコアの熱排出に役立つ
   特許請求の範囲第３項記載の電気空気力式の前制御段。 ５、可動コイル（７）の円筒状の表面において、かつコ
   イルコアから作業媒体の空気流（６４）によって永続的
   に調節される熱排出に基づいて、前制御段（１）の構成
   容積が縮小されるようになっている特許請求の範囲第を
   項記載の電気空気力式の前制御段。