JPS5963533A - 測光方法 - Google Patents
測光方法Info
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- JPS5963533A JPS5963533A JP17520782A JP17520782A JPS5963533A JP S5963533 A JPS5963533 A JP S5963533A JP 17520782 A JP17520782 A JP 17520782A JP 17520782 A JP17520782 A JP 17520782A JP S5963533 A JPS5963533 A JP S5963533A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000005375 photometry Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 abstract description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 241000545744 Hirudinea Species 0.000 description 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は測光方法に関し、試料測定時間が長くなって
も光源出力のモニタリング用受光素子部分の飽和が起ら
ないようにして補正を的確に行なうようにした方法であ
る。
も光源出力のモニタリング用受光素子部分の飽和が起ら
ないようにして補正を的確に行なうようにした方法であ
る。
測光装置における光源のモニタリング袖正方法として従
来より採用されていた方法については、光源出力を回転
セクターにて試料側の光路とリファレンス側の光路とを
交互に変換させるものや、ハーフミラ−などにて光源出
力を分割させるものが代表的な方法であり、前者の場合
、高速回転による駆動部を有するため振動や摩耗等の問
題を伴なうほか装置自体が高価となるＰＩ３点があり、
後者の場合、分割されたそれぞれの光路にシリコンフォ
トダイオードなどによる検出器を必要とするものであり
、シリコンフォートダイオードなどの素子についても数
′多くの種類があり、光電蛭換特性モ異なるので、モニ
タ用検出器とサンプル［１の検出器とを全て同条件で実
測することが不可能であるほか、各々の検出器の温度特
性が全く同一になる素子を揃えて用いることは現状とし
て非電に難しいものであった。
来より採用されていた方法については、光源出力を回転
セクターにて試料側の光路とリファレンス側の光路とを
交互に変換させるものや、ハーフミラ−などにて光源出
力を分割させるものが代表的な方法であり、前者の場合
、高速回転による駆動部を有するため振動や摩耗等の問
題を伴なうほか装置自体が高価となるＰＩ３点があり、
後者の場合、分割されたそれぞれの光路にシリコンフォ
トダイオードなどによる検出器を必要とするものであり
、シリコンフォートダイオードなどの素子についても数
′多くの種類があり、光電蛭換特性モ異なるので、モニ
タ用検出器とサンプル［１の検出器とを全て同条件で実
測することが不可能であるほか、各々の検出器の温度特
性が全く同一になる素子を揃えて用いることは現状とし
て非電に難しいものであった。
そのため、本件の出願人は上記従来枝打１の問題点解消
のために新しい装置として、オプティカルファイバを用
いそ先部出力をモニタリングすることを先に提案したが
（特願昭５６−２０１８７’６号）、この場合、試料測
定とモニタリングとを同時に行な−）でいたゆえ、１回
分の試料測定時間が長くなると、検出用の受光素子であ
る固体撮像素子が飽和してしまい、モニタリング補正す
ることができなかった。
のために新しい装置として、オプティカルファイバを用
いそ先部出力をモニタリングすることを先に提案したが
（特願昭５６−２０１８７’６号）、この場合、試料測
定とモニタリングとを同時に行な−）でいたゆえ、１回
分の試料測定時間が長くなると、検出用の受光素子であ
る固体撮像素子が飽和してしまい、モニタリング補正す
ることができなかった。
そこで、この発明において上記素子飽和の問題点を解消
しようとしており、その測光方法は、光源から試料に入
射させた光を光学系を経て固体撮像素子にて検出し、ま
た前記光学系とは別にオプティカルファイバにて光源を
前記固体撮像素子のうちの光電変換面の一部と接続して
光源出力等をモニタリングするようにした方法において
、試料測定時の測光時間とモニタリング時の測光時間と
を各々設定し、かつほぼ連続的に測光することを特徴と
している。
しようとしており、その測光方法は、光源から試料に入
射させた光を光学系を経て固体撮像素子にて検出し、ま
た前記光学系とは別にオプティカルファイバにて光源を
前記固体撮像素子のうちの光電変換面の一部と接続して
光源出力等をモニタリングするようにした方法において
、試料測定時の測光時間とモニタリング時の測光時間と
を各々設定し、かつほぼ連続的に測光することを特徴と
している。
次いで、この発明の実施態様について図を参照しながら
以下に例示する。
以下に例示する。
第１図は分光光学系を含むこの発明実施のための装置を
示しており、（１）は光源、（２）は試料、（３）はス
リット、（４）は平面ミラー、（５）は分光光学系の主
要部となる回折格子、（６）は検出器としての固体撮像
素子、（７）は固体撮像素子（６）からの信号をデータ
処理するコンピューターを示している。（８）は光源＋
１１とｌ１５１体撮像素子（６）とを接続したオプティ
カルファイバであって、分光光学系とは別に固体撮像素
子（６）のうちの光電変換面の一部に接続している。固
体撮像素子（６）として例えば１０２４ｂｉｔ、２８．
６７ｍの光電変換面を保有しているものを使い、回折格
子（５）として焦点面で２５．００ｍの像を結ぶホログ
ラフィックグレーティングを用いた場合、３．６７ｍは
不要な光電変換面となる。この不要な光電変換面にオプ
ティカルファイバ（８）を接続し、光源出力をモニタリ
ングすることになる。固体撮像素子（６）としては、複
数ｂｉｔを有するものとなるが、好ましくは６４ｂｉｔ
以上の市販品を用い、そのうちの一部の光電変換面をオ
プティカルファイバ（８）を用いて光源＋１１と接続す
ればよく、特に１０２４ｂｉｔの場合のように分光光学
系とは別に不要な光電変換面があって、これを用いる場
合には一層好適となる。
示しており、（１）は光源、（２）は試料、（３）はス
リット、（４）は平面ミラー、（５）は分光光学系の主
要部となる回折格子、（６）は検出器としての固体撮像
素子、（７）は固体撮像素子（６）からの信号をデータ
処理するコンピューターを示している。（８）は光源＋
１１とｌ１５１体撮像素子（６）とを接続したオプティ
カルファイバであって、分光光学系とは別に固体撮像素
子（６）のうちの光電変換面の一部に接続している。固
体撮像素子（６）として例えば１０２４ｂｉｔ、２８．
６７ｍの光電変換面を保有しているものを使い、回折格
子（５）として焦点面で２５．００ｍの像を結ぶホログ
ラフィックグレーティングを用いた場合、３．６７ｍは
不要な光電変換面となる。この不要な光電変換面にオプ
ティカルファイバ（８）を接続し、光源出力をモニタリ
ングすることになる。固体撮像素子（６）としては、複
数ｂｉｔを有するものとなるが、好ましくは６４ｂｉｔ
以上の市販品を用い、そのうちの一部の光電変換面をオ
プティカルファイバ（８）を用いて光源＋１１と接続す
ればよく、特に１０２４ｂｉｔの場合のように分光光学
系とは別に不要な光電変換面があって、これを用いる場
合には一層好適となる。
なお、回折格子（５）としてはホログラフィックグレー
ティングや他のグレーティングを用いて実施することも
でき、分光光学系としては種々既知の光学系を採用でき
る。
ティングや他のグレーティングを用いて実施することも
でき、分光光学系としては種々既知の光学系を採用でき
る。
上記の測光装置を用いて、光源＋１１から試料（２）に
入射させた光を光学系を経て固体撮像素子（６）にて試
料測定でき、また光源ｆｉ＋と固体撮像素子（６）のう
ちの光電変換面の一部と接続しているオプティカルファ
イバ（８）にて光源ｆｉｌの出力をもモニタリングでき
ることになる。
入射させた光を光学系を経て固体撮像素子（６）にて試
料測定でき、また光源ｆｉ＋と固体撮像素子（６）のう
ちの光電変換面の一部と接続しているオプティカルファ
イバ（８）にて光源ｆｉｌの出力をもモニタリングでき
ることになる。
そしてこの発明では、１回の試料測定時間が長くなって
も固体撮像素子（６）に飽和が起らないよう試料測定時
の測光時間とモニタリング時の測光時間とを各々設定し
、かつほぼ連続的に測光を行なう測光方法を採用してお
り、具体的には先ず、第２図に示すようにモニタリング
を試料測定の前後で行ない、モニタ■とモニタＯとをプ
ラスした数値をモニタリング補正のために用いるもので
ある。
も固体撮像素子（６）に飽和が起らないよう試料測定時
の測光時間とモニタリング時の測光時間とを各々設定し
、かつほぼ連続的に測光を行なう測光方法を採用してお
り、具体的には先ず、第２図に示すようにモニタリング
を試料測定の前後で行ない、モニタ■とモニタＯとをプ
ラスした数値をモニタリング補正のために用いるもので
ある。
また第３図に示すようにモニタリングを試料測定の途中
で行ない、試料測定値は測定■プラス測定のとなる。
で行ない、試料測定値は測定■プラス測定のとなる。
このように、モニタリングを試料測定の前後又は試料測
定の途中で行なうため、経時による出力の微小変化を最
小限にとどめることができる。
定の途中で行なうため、経時による出力の微小変化を最
小限にとどめることができる。
そして、何れの場合も、試料測定時の測光時間とモニタ
リング時の測光時間とが、各々設定され、かつほぼ連続
的に行なわれるため、受光側となる固体撮像素子につい
ての飽和は起らず、的確なモニタリング補正を行なうこ
とができる。
リング時の測光時間とが、各々設定され、かつほぼ連続
的に行なわれるため、受光側となる固体撮像素子につい
ての飽和は起らず、的確なモニタリング補正を行なうこ
とができる。
また、この発明方法については、光源出力のモニタリン
グ補正のみならず、オプティカルファイバ側の光電変換
面をマスク側にしてダーク出力（レベル出力）のモニタ
リングに′も利用できる方法である。
グ補正のみならず、オプティカルファイバ側の光電変換
面をマスク側にしてダーク出力（レベル出力）のモニタ
リングに′も利用できる方法である。
第１図は、この発明実施に用いる分光装置の概要系統図
例、第２図および第３図はこの発明方法の具体的実施を
例示する測光時間的な流れを示したグラフ図である。 ｉｌｌ・・・光綜、（２）・・・試料、（３）・・・ス
リット、（４）・・・平面ミラー、（５）・・・回折格
子、（６）・・・固体撮像素子、（７）・・・コンピュ
ーター、（８）・・・オプティカルファイバ。 特許出願人 株式会社ユニオン技研 第１図
例、第２図および第３図はこの発明方法の具体的実施を
例示する測光時間的な流れを示したグラフ図である。 ｉｌｌ・・・光綜、（２）・・・試料、（３）・・・ス
リット、（４）・・・平面ミラー、（５）・・・回折格
子、（６）・・・固体撮像素子、（７）・・・コンピュ
ーター、（８）・・・オプティカルファイバ。 特許出願人 株式会社ユニオン技研 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光源から試料に入射させた光を光学系を経て固体撮
像素子にて検出し、また前記光学系とは別にオプティカ
ルファイバにて光源を前記固体撮像素子のうちの光電変
換面の一部と接続して光源出力等をモニタリングするよ
うにした方法において、試料測定時の測光時間とモニタ
リング時の測光時間とを各々設定し、かつほぼ連続的に
測光することを特徴とする測光方法。 ２、モニタリングを試料測定の前後で行なう上記特許請
求の範囲第１項記載の測光方法。 ３、モニタリングを試料測定の途中で行なう上記特許請
求の範囲第１項記載の測光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17520782A JPS5963533A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 測光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17520782A JPS5963533A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 測光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5963533A true JPS5963533A (ja) | 1984-04-11 |
| JPH041291B2 JPH041291B2 (ja) | 1992-01-10 |
Family
ID=15992161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17520782A Granted JPS5963533A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 測光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5963533A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63158431A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-01 | Shimadzu Corp | 分光光度計 |
| FR2664382A1 (fr) * | 1990-07-03 | 1992-01-10 | Dilor | Installation de spectrometrie dispersive a detection multicanale perfectionnee. |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5213885U (ja) * | 1975-07-16 | 1977-01-31 | ||
| JPS5334422A (en) * | 1976-09-11 | 1978-03-31 | Hitachi Ltd | Photo electric converter |
| JPS5416317U (ja) * | 1977-07-07 | 1979-02-02 | ||
| JPS54111878A (en) * | 1978-02-22 | 1979-09-01 | Hitachi Ltd | Multiwavelength spectrophotometer |
| JPS5530633A (en) * | 1978-08-28 | 1980-03-04 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Photoelectric output optimizer for spectroscopic optimizer |
| US4266878A (en) * | 1978-12-26 | 1981-05-12 | Norlin Industries, Inc. | Apparatus for measurement of soil moisture content |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5213885B2 (ja) * | 1972-04-17 | 1977-04-18 | ||
| JPS51103351A (ja) * | 1975-03-07 | 1976-09-11 | Masao Moryama | Renzokushorisochi |
-
1982
- 1982-10-04 JP JP17520782A patent/JPS5963533A/ja active Granted
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5213885U (ja) * | 1975-07-16 | 1977-01-31 | ||
| JPS5334422A (en) * | 1976-09-11 | 1978-03-31 | Hitachi Ltd | Photo electric converter |
| JPS5416317U (ja) * | 1977-07-07 | 1979-02-02 | ||
| JPS54111878A (en) * | 1978-02-22 | 1979-09-01 | Hitachi Ltd | Multiwavelength spectrophotometer |
| JPS5530633A (en) * | 1978-08-28 | 1980-03-04 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Photoelectric output optimizer for spectroscopic optimizer |
| US4266878A (en) * | 1978-12-26 | 1981-05-12 | Norlin Industries, Inc. | Apparatus for measurement of soil moisture content |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63158431A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-01 | Shimadzu Corp | 分光光度計 |
| FR2664382A1 (fr) * | 1990-07-03 | 1992-01-10 | Dilor | Installation de spectrometrie dispersive a detection multicanale perfectionnee. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH041291B2 (ja) | 1992-01-10 |
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