JPS596261B2 - 光伝送用素材の製造方法 - Google Patents
光伝送用素材の製造方法Info
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- JPS596261B2 JPS596261B2 JP14757479A JP14757479A JPS596261B2 JP S596261 B2 JPS596261 B2 JP S596261B2 JP 14757479 A JP14757479 A JP 14757479A JP 14757479 A JP14757479 A JP 14757479A JP S596261 B2 JPS596261 B2 JP S596261B2
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- JP
- Japan
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- core material
- gas
- cladding material
- optical transmission
- cladding
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
- C03B37/01211—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments by inserting one or more rods or tubes into a tube
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光損失の著しく少ない光伝送用素材（光ファイ
バ）の製造方法に関する。
バ）の製造方法に関する。
光伝送用素材の製造方法として代表的なロッド ５イン
チューブ法はクラッド材の石英系ガラス管（チューブ）
にコア材の石英系ガラス棒（ロッド）を挿入し加熱して
クラッド材とコア材を溶着させ、これを紡糸して光伝送
用素材のファイバとする方法であるが、この方法はコア
材とクラッド材の界 こ面に気泡、不純物が混在し易く
、そのためにファイバの光損失が大きくあられれるとい
う欠点がある。
チューブ法はクラッド材の石英系ガラス管（チューブ）
にコア材の石英系ガラス棒（ロッド）を挿入し加熱して
クラッド材とコア材を溶着させ、これを紡糸して光伝送
用素材のファイバとする方法であるが、この方法はコア
材とクラッド材の界 こ面に気泡、不純物が混在し易く
、そのためにファイバの光損失が大きくあられれるとい
う欠点がある。
このような欠点を解決するために、上記コア材の挿入前
に、無塵室などを使用してコア材とクラッド材の表面を
それぞれ慎重に機械研摩または化学研摩あるいは熱処理
して、表面を滑らかにかつ浄化するのであるが、その後
の取扱い時に外気に曝らすこともあつて上記コア材、ク
ラッド材の表面に不純物が再付着するのを避けることが
できなかつた。これが解決策として、本出願人はすでに
、それぞれ機械研摩または化学研摩あるいは熱処理した
石英系ガラスコア材を石英系ガラスクラッド材の中に挿
入して加熱し、該コア材と該クラッド材の溶着前に該コ
ア材と該クラッド材間の間隙にＣ、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｂｅよ
りなる群の中から選ばれた少なくとも一種とハロゲンの
少なくとも一種とを含みかつ水素を含まない化合物を気
相で流すとともに高温度に加熱して該コア材と該クラッ
ド材の表面を気相処理することよりなる光伝送用素材の
製造方法を特願昭５３−１４３１６０号明細書−特開昭
５５−７１６３６号（以下、先願発明という）において
開示している。
に、無塵室などを使用してコア材とクラッド材の表面を
それぞれ慎重に機械研摩または化学研摩あるいは熱処理
して、表面を滑らかにかつ浄化するのであるが、その後
の取扱い時に外気に曝らすこともあつて上記コア材、ク
ラッド材の表面に不純物が再付着するのを避けることが
できなかつた。これが解決策として、本出願人はすでに
、それぞれ機械研摩または化学研摩あるいは熱処理した
石英系ガラスコア材を石英系ガラスクラッド材の中に挿
入して加熱し、該コア材と該クラッド材の溶着前に該コ
ア材と該クラッド材間の間隙にＣ、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｂｅよ
りなる群の中から選ばれた少なくとも一種とハロゲンの
少なくとも一種とを含みかつ水素を含まない化合物を気
相で流すとともに高温度に加熱して該コア材と該クラッ
ド材の表面を気相処理することよりなる光伝送用素材の
製造方法を特願昭５３−１４３１６０号明細書−特開昭
５５−７１６３６号（以下、先願発明という）において
開示している。
この先願発明において、クラッド材とコア材間の間隙に
両者の溶着前に気相の形で流されるＣ、Ｎ、Ｏ、Ｓ２Ｂ
ｅよりなる群の中から選ばれた少なくとも一種とハロゲ
ンの少なくとも一種とを含みかつ水素を含まない化合物
は高温度に加熱されると気相処理剤として作用し、クラ
ッド材内面とコア材表面の不純物をそれぞれ揮発性ハロ
ゲン化物として除去して溶着の際のクラッド材とコア材
の界面状態を改善し光損失の著しい低減を可能ならしめ
る効果を有するものである。
両者の溶着前に気相の形で流されるＣ、Ｎ、Ｏ、Ｓ２Ｂ
ｅよりなる群の中から選ばれた少なくとも一種とハロゲ
ンの少なくとも一種とを含みかつ水素を含まない化合物
は高温度に加熱されると気相処理剤として作用し、クラ
ッド材内面とコア材表面の不純物をそれぞれ揮発性ハロ
ゲン化物として除去して溶着の際のクラッド材とコア材
の界面状態を改善し光損失の著しい低減を可能ならしめ
る効果を有するものである。
その後、さらに気相処理に関する研究を進め、気相処理
剤としてはハロゲンガス単独でも有効であることを見出
し、本発明に到達した。
剤としてはハロゲンガス単独でも有効であることを見出
し、本発明に到達した。
すなわち、本発明の要旨とするところは、それぞれ機械
研摩または化学研摩あるいは熱処理した石英ガラスコア
材を石英ガラスクラッド材の中に挿入して加熱し、該コ
ア材と該クラツド材を溶着させて紡糸することよりなる
光伝送用素材の製造方法において、該コア材と該クラツ
ド材の溶着前に該コア材と該クラツド材間の間隙にハロ
ゲンガスの少なくとも一種を気相で流すとともに高温度
に加熱して該コア材と該クラツド材の表面を気相処理す
ることを特徴とする光伝送用素材の製造方法、にある。
ハロゲンガスは一般に腐食性、毒性の点から取扱い上特
別の注意を要するものの、ハロゲンガスを気相処理材と
して使用する本発明の場合は前記先願発明におけるハロ
ゲン化合物気相処理剤と異なり、それ自体分解を伴わな
いので気相処理剤として使用後、常法により冷却凝縮し
て回収し、これを蒸留によつて精製し、再利用すること
が可能であり、従つて廃ガス処理の負担を著しく軽減し
うる大きな利点が得られる。また、前記先願発明のハロ
ゲン化合物気相処理剤がＣを含む場合、たとえばＣＣ２
４の場合にはその熱分解による炭素が該コア材の表面や
該クラツド材の内表面に付着する場合があり、そのため
酸化による該付着炭素の分解、除去が必要であるが、本
発明のハロゲンガスによる気相処理ではこのような後処
理が全く不要となる。本発明におけるハロゲンガスの気
相処理作用は明らかではないが、ハロゲンガスは所要温
度に加熱された状態において該クラツド材内表面および
該コア材表面の不純物をそれぞれ揮発性ハロゲン化物な
いしオキシハロゲン化物として除去し、それによつて該
クラツド材と該コア材の溶着の際の界面を浄化し、光損
失の低減を実現するものと思われる。
研摩または化学研摩あるいは熱処理した石英ガラスコア
材を石英ガラスクラッド材の中に挿入して加熱し、該コ
ア材と該クラツド材を溶着させて紡糸することよりなる
光伝送用素材の製造方法において、該コア材と該クラツ
ド材の溶着前に該コア材と該クラツド材間の間隙にハロ
ゲンガスの少なくとも一種を気相で流すとともに高温度
に加熱して該コア材と該クラツド材の表面を気相処理す
ることを特徴とする光伝送用素材の製造方法、にある。
ハロゲンガスは一般に腐食性、毒性の点から取扱い上特
別の注意を要するものの、ハロゲンガスを気相処理材と
して使用する本発明の場合は前記先願発明におけるハロ
ゲン化合物気相処理剤と異なり、それ自体分解を伴わな
いので気相処理剤として使用後、常法により冷却凝縮し
て回収し、これを蒸留によつて精製し、再利用すること
が可能であり、従つて廃ガス処理の負担を著しく軽減し
うる大きな利点が得られる。また、前記先願発明のハロ
ゲン化合物気相処理剤がＣを含む場合、たとえばＣＣ２
４の場合にはその熱分解による炭素が該コア材の表面や
該クラツド材の内表面に付着する場合があり、そのため
酸化による該付着炭素の分解、除去が必要であるが、本
発明のハロゲンガスによる気相処理ではこのような後処
理が全く不要となる。本発明におけるハロゲンガスの気
相処理作用は明らかではないが、ハロゲンガスは所要温
度に加熱された状態において該クラツド材内表面および
該コア材表面の不純物をそれぞれ揮発性ハロゲン化物な
いしオキシハロゲン化物として除去し、それによつて該
クラツド材と該コア材の溶着の際の界面を浄化し、光損
失の低減を実現するものと思われる。
なお、気相処理剤としてフツ素が使用される場合には上
記の不純物の除去に加えて、そのエツチング作用により
該クラツド材内表面および該コア材表面に新規に清浄な
面を露出させる効果をもたらす。これら気相処理剤とし
てのハロゲンガスはキヤリアーガス、たとえば、窒素ガ
ス、ヘリウムガス等とともに使用することができる。上
記気相処理に必要な加熱温度は５００〜１６００℃の範
囲が好ましく、加熱温度が５００℃未満では上記ハロゲ
ンガスによる前記クラツド材内表面およびコア材表面の
不純物の除去作用がきわめて緩漫となり、また１６００
℃を越えると、石英ガラスの軟化、変形が顕著となり、
処理操作に困難が伴う。
記の不純物の除去に加えて、そのエツチング作用により
該クラツド材内表面および該コア材表面に新規に清浄な
面を露出させる効果をもたらす。これら気相処理剤とし
てのハロゲンガスはキヤリアーガス、たとえば、窒素ガ
ス、ヘリウムガス等とともに使用することができる。上
記気相処理に必要な加熱温度は５００〜１６００℃の範
囲が好ましく、加熱温度が５００℃未満では上記ハロゲ
ンガスによる前記クラツド材内表面およびコア材表面の
不純物の除去作用がきわめて緩漫となり、また１６００
℃を越えると、石英ガラスの軟化、変形が顕著となり、
処理操作に困難が伴う。
加熱温度が上記５００〜１６００℃の範囲内の場合でも
、特に１２００℃を越えると、石英ガラスが熱変形し易
くなるので、該コア材、クラツド材の加熱はともに適宜
定速回転の下で、全長を一様に加熱するよりも、局部加
熱ゾーンをコア材挿入のクラツド材の長手方向に所要回
数移動させることが好ましい。本発明ではこのようにハ
ロゲンガスによる気相処理によつて浄化されたクラツド
材内表面およびコア材表面を外気に曝らすことなく、直
ちに温度を上昇させて溶着させるので、不純物が該浄化
されたクラツド材内表面およびコア材表面に再付着する
ことなく、クラツド材とコア材の界面状態の改善を可能
とするもので、これを紡糸することによつて、光損失の
著しく低減された光フアイバ一が得られる。
、特に１２００℃を越えると、石英ガラスが熱変形し易
くなるので、該コア材、クラツド材の加熱はともに適宜
定速回転の下で、全長を一様に加熱するよりも、局部加
熱ゾーンをコア材挿入のクラツド材の長手方向に所要回
数移動させることが好ましい。本発明ではこのようにハ
ロゲンガスによる気相処理によつて浄化されたクラツド
材内表面およびコア材表面を外気に曝らすことなく、直
ちに温度を上昇させて溶着させるので、不純物が該浄化
されたクラツド材内表面およびコア材表面に再付着する
ことなく、クラツド材とコア材の界面状態の改善を可能
とするもので、これを紡糸することによつて、光損失の
著しく低減された光フアイバ一が得られる。
次に、本発明の具体的な実施方法の一例について述べる
。
。
プラズマ法により製造した無水のＡｌ２Ｏ３ドープド石
英ガラス棒を機械研摩により、１０Ｗ！ｌφのコア材と
し、これをトリクロロエチレン、メタノール、純水、１
０％ＨＦｌ純水の順で洗浄し、次いで真空乾燥器中で乾
燥する。
英ガラス棒を機械研摩により、１０Ｗ！ｌφのコア材と
し、これをトリクロロエチレン、メタノール、純水、１
０％ＨＦｌ純水の順で洗浄し、次いで真空乾燥器中で乾
燥する。
一方、純石英ガラス管からなるクラツド材は上記コア材
と同様に洗浄、乾燥したのち、ガラス旋盤にセツトし、
上記のコア材を挿入し、抵抗炉、酸水素炎などにより５
００℃ないし１６００℃の範囲に加熱する。このように
、所要温度に加熱された溶着前の状態において、クラツ
ド材とコア材間の間隙にＣｌ２をＮ２とともに流して気
相処理し、気相処理終了後直ちにさらに温度を上げ、コ
ア材をクラツド材に溶着せしめ、これを紡糸して所要の
光損失のきわめて少ない光伝送用素材のフアイバが得ら
れる。本発明は、以上のごとく、ハロゲンガスを気相処
理剤として使用することによつて、コア材とクラツド材
の界面状態を改善し光損失の著しい低減を可能ならしめ
る光伝送用素材の製造方法を提供するもので、その工業
的価値はきわめて大きい。次に、本発明を実施例によつ
て具体的に説明するが、本発明はその要旨を越えない限
り以下の実施例に限定されるものではない。実施例 １ Ａ１２０３を４％含んだ高純度合成石英ガラス棒を機械
研摩したのち、パークロロエチレン、エタノール、純水
、１０％弗酸、純水の順に各液中で超音波洗浄を行ない
、次いで電熱乾燥器中１２０℃で乾燥した。
と同様に洗浄、乾燥したのち、ガラス旋盤にセツトし、
上記のコア材を挿入し、抵抗炉、酸水素炎などにより５
００℃ないし１６００℃の範囲に加熱する。このように
、所要温度に加熱された溶着前の状態において、クラツ
ド材とコア材間の間隙にＣｌ２をＮ２とともに流して気
相処理し、気相処理終了後直ちにさらに温度を上げ、コ
ア材をクラツド材に溶着せしめ、これを紡糸して所要の
光損失のきわめて少ない光伝送用素材のフアイバが得ら
れる。本発明は、以上のごとく、ハロゲンガスを気相処
理剤として使用することによつて、コア材とクラツド材
の界面状態を改善し光損失の著しい低減を可能ならしめ
る光伝送用素材の製造方法を提供するもので、その工業
的価値はきわめて大きい。次に、本発明を実施例によつ
て具体的に説明するが、本発明はその要旨を越えない限
り以下の実施例に限定されるものではない。実施例 １ Ａ１２０３を４％含んだ高純度合成石英ガラス棒を機械
研摩したのち、パークロロエチレン、エタノール、純水
、１０％弗酸、純水の順に各液中で超音波洗浄を行ない
、次いで電熱乾燥器中１２０℃で乾燥した。
この石英ガラス棒（直径１０ｍＴ！Ｌ）を同様な洗浄工
程を経た高純度合成石英ガラス管（内径１５１１１外径
１９１１）に挿入し、両者の間隙に気相処理剤としての
Ｃｌ２ガス５０ａ／分とＮ２ガス５００１／分とよりな
る混合ガスを流しつつ、酸水素塩による１４００℃の加
熱ゾーンを該ガスの流れに沿つて１０ＣＩＴＬ／分の移
動速度で２０回加熱を繰返したのち、先ずＣｌ２ガスの
通気を止め、次いでＮ２ガスの通気を止め、直ちに温度
をさら ｌに上昇させて上記石英ガラス管と石英ガラス
棒を溶着させ、常法によりコア径１２０ｔｔｍのフアイ
バに延伸して、光透過損失を測定したところ、波長０．
８！Ｄｒｌにおいて４．７ｄＢ／４（：ｍを得た。比較
例として、上記Ｃ２２ガスによる気相処理を施さなかつ
た場合のフアイバの光透過損失は１１．２ｄＢ／軸であ
つた。実施例 ２ Ａ１２０３１．２％を含む高純度石英ガラス棒を実施例
１と同様に機械研摩及び湿式洗浄した後、電 二熱乾燥
器中１２０℃で乾燥した。
程を経た高純度合成石英ガラス管（内径１５１１１外径
１９１１）に挿入し、両者の間隙に気相処理剤としての
Ｃｌ２ガス５０ａ／分とＮ２ガス５００１／分とよりな
る混合ガスを流しつつ、酸水素塩による１４００℃の加
熱ゾーンを該ガスの流れに沿つて１０ＣＩＴＬ／分の移
動速度で２０回加熱を繰返したのち、先ずＣｌ２ガスの
通気を止め、次いでＮ２ガスの通気を止め、直ちに温度
をさら ｌに上昇させて上記石英ガラス管と石英ガラス
棒を溶着させ、常法によりコア径１２０ｔｔｍのフアイ
バに延伸して、光透過損失を測定したところ、波長０．
８！Ｄｒｌにおいて４．７ｄＢ／４（：ｍを得た。比較
例として、上記Ｃ２２ガスによる気相処理を施さなかつ
た場合のフアイバの光透過損失は１１．２ｄＢ／軸であ
つた。実施例 ２ Ａ１２０３１．２％を含む高純度石英ガラス棒を実施例
１と同様に機械研摩及び湿式洗浄した後、電 二熱乾燥
器中１２０℃で乾燥した。
この石英ガラス棒（直径１０ｍ１）を、気相反応により
ＢＣｌ２をドープして屈折率ＮＤ＝１．４５１５のクラ
ツド層（厚み０．５７ｍ１）をその内面に成長させた石
英ガラス管に挿入し、上記石英ガラス管と石英ガラス棒
間の間隙にＦ２ガス０．５ａ／分、Ｃｌ２ガス１０ｄ／
分及びＮ２ガス３００１／分よりなる混合ガスを通気し
つつ都市ガス炎による６００℃の加熱ゾーンを該ガスの
流れに沿つて１０ＣＴｎ／分の速度で１５回移動して加
熱を繰返した後、さらに１０分間Ｎ２ガスのみを通気し
、次いで直ちに加熱温度を上げて、上記石英ガラス管と
石英ガラス棒を溶着させ、常法によりコア径１２０μｍ
のフアイバとし、その光透過損失を測定したところ、波
長０．８μｍにおいて２．９ｄＢ／１Ｃｆ１１を得た。
比較例として、上記Ｆ２ガスとＣｌ２ガスの混合ガスに
よる気相処理を施さなかつた場合のフアイバの光透過損
失は１０．５ｄＢ／ｉであつた。実施例 ３〜７コア材
として屈折率Ｎ。
ＢＣｌ２をドープして屈折率ＮＤ＝１．４５１５のクラ
ツド層（厚み０．５７ｍ１）をその内面に成長させた石
英ガラス管に挿入し、上記石英ガラス管と石英ガラス棒
間の間隙にＦ２ガス０．５ａ／分、Ｃｌ２ガス１０ｄ／
分及びＮ２ガス３００１／分よりなる混合ガスを通気し
つつ都市ガス炎による６００℃の加熱ゾーンを該ガスの
流れに沿つて１０ＣＴｎ／分の速度で１５回移動して加
熱を繰返した後、さらに１０分間Ｎ２ガスのみを通気し
、次いで直ちに加熱温度を上げて、上記石英ガラス管と
石英ガラス棒を溶着させ、常法によりコア径１２０μｍ
のフアイバとし、その光透過損失を測定したところ、波
長０．８μｍにおいて２．９ｄＢ／１Ｃｆ１１を得た。
比較例として、上記Ｆ２ガスとＣｌ２ガスの混合ガスに
よる気相処理を施さなかつた場合のフアイバの光透過損
失は１０．５ｄＢ／ｉであつた。実施例 ３〜７コア材
として屈折率Ｎ。
＝１．４５８５の高純度合成石英ガラス棒を用い、熱源
としては酸水素炎を利用して気相処理温度を１２００℃
とし、気相処理剤及びその流量を次表の通りとしたこと
においては異なるが、その他の方法、条件は実施例２と
同様とする光伝送用材の製造を行なつた。但し、実施例
５では実施例４で使用したＣｌ２ガスを冷却凝縮により
回収し、蒸留後再利用した。各実施例で得られたフアイ
バの波長０．８μｍにおける光透過損失は同様に示す通
りである。なお、比較例として、上記の気相処理を施さ
なかつた場合のフアイバ一の光透過損失は波長０．８５
μｍにおいて１０．１ｄＢ／Ｋｇであつた。
としては酸水素炎を利用して気相処理温度を１２００℃
とし、気相処理剤及びその流量を次表の通りとしたこと
においては異なるが、その他の方法、条件は実施例２と
同様とする光伝送用材の製造を行なつた。但し、実施例
５では実施例４で使用したＣｌ２ガスを冷却凝縮により
回収し、蒸留後再利用した。各実施例で得られたフアイ
バの波長０．８μｍにおける光透過損失は同様に示す通
りである。なお、比較例として、上記の気相処理を施さ
なかつた場合のフアイバ一の光透過損失は波長０．８５
μｍにおいて１０．１ｄＢ／Ｋｇであつた。
Claims (1)
- １ それぞれ機械研摩または化学研摩あるいは熱処理し
た石英系ガラスコア材を石英系ガラスクラッド材の中に
挿入して加熱し、該コア材と該クラッド材を溶着させて
紡糸することよりなる光伝送用素材の製造方法において
、該コア材と該クラッド材の溶着前に該コア材と該クラ
ッド材間の間隙にハロゲンガスの少なくとも一種を気相
で流すとともに高温度に加熱して該コア材と該クラッド
材の表面を気相処理することを特徴とする光伝送用素材
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14757479A JPS596261B2 (ja) | 1979-11-14 | 1979-11-14 | 光伝送用素材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14757479A JPS596261B2 (ja) | 1979-11-14 | 1979-11-14 | 光伝送用素材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5673637A JPS5673637A (en) | 1981-06-18 |
| JPS596261B2 true JPS596261B2 (ja) | 1984-02-09 |
Family
ID=15433433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14757479A Expired JPS596261B2 (ja) | 1979-11-14 | 1979-11-14 | 光伝送用素材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS596261B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008156176A1 (ja) * | 2007-06-20 | 2008-12-24 | Asahi Glass Company, Limited | フッ素化剤による酸化物ガラスの表面処理方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9212082B2 (en) | 2012-12-26 | 2015-12-15 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | System and method for fabricating optical fiber preform and optical fiber |
-
1979
- 1979-11-14 JP JP14757479A patent/JPS596261B2/ja not_active Expired
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008156176A1 (ja) * | 2007-06-20 | 2008-12-24 | Asahi Glass Company, Limited | フッ素化剤による酸化物ガラスの表面処理方法 |
| WO2008156177A1 (ja) * | 2007-06-20 | 2008-12-24 | Asahi Glass Company, Limited | 酸化物ガラスの表面処理方法 |
| JPWO2008156176A1 (ja) * | 2007-06-20 | 2010-08-26 | 旭硝子株式会社 | フッ素化剤による酸化物ガラスの表面処理方法 |
| JPWO2008156177A1 (ja) * | 2007-06-20 | 2010-08-26 | 旭硝子株式会社 | 酸化物ガラスの表面処理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5673637A (en) | 1981-06-18 |
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