JPS59613A - 二線式変位変換装置 - Google Patents

二線式変位変換装置

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JPS59613A
JPS59613A JP57111243A JP11124382A JPS59613A JP S59613 A JPS59613 A JP S59613A JP 57111243 A JP57111243 A JP 57111243A JP 11124382 A JP11124382 A JP 11124382A JP S59613 A JPS59613 A JP S59613A
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differential amplifier
resistor
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Keiichiro Tago
多胡 敬一郎
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ーダンス(たとえば静電容量)の変化として検出し、こ
れf:電気信号に変換して受信計器に伝送する変位変換
装置に関する。
従来、この種の変位変換装置としては、2つの圧力の差
を検出するために,2つの固定電極の間に可動′1極を
配置し、この可動電極をその圧力差に応じて変位させる
ことにより、両固定電極と可動電極間の一対の靜電容t
Cl,CIが差動的に変化し、その変化の割合(Ct 
 Ct )/ (C+ギCt )が機械的変化の割合Δ
d/dに比例するように構成したものが知られている。
この従来の変位変換装置の一例を第1図に示す。
この変位変換装置においては、負荷IK接続さ扛た外部
電源2から伝送線を介して給電されている。
外部電源2には電界効果トランジスタ(FET)3。
抵抗4およびツェナーダイオード5が直列に接続されて
おり,FET3によってツェナーダイオード5に一定電
流が流れるようにされている。FET3のゲートにはト
ランジスタ6のペースが接続され、このトランジスタ6
を介して発振器7%差差動幅器8.9等に駆動電流が供
給される。発振器7はトランジスタ71に直列接続され
た1次巻線72を有しており,そのほかにフィードバッ
ク巻線73、抵抗74.75およびコンデンサ76.7
7を具備している。発振器7の1次巻線によって2次巻
線10,11.12に交流電圧が誘起さ扛,そしてダイ
オード13,14,15.16によってそれらの交流電
圧のうち正の半波のパルス期間においては2次巻線10
.11にのみ電流が流扛、また負の半波のパルス期間に
おいては2次巻線12にのみ電流が流れるようにされて
いる。すなわち、正の半波のパルス期間において、2次
巻線1oに流れる′妊流11は、抵抗17−抵抗19−
接地用コンデンサ20−コンデンサCI−ダイオード1
3−2次巻線10から成る閉回路を流れ、また2次巻線
11に流れる電流■!は、抵抗18−抵抗19−接地用
コンデンサ20−コンデンサC鵞−ダイオード14−2
次巻線11から成る閉回路を流れる。さらに。
負の半波のパルス期間において、2次巻線12に流れる
電流Fi。
接地用コンデンサ20−2次巻線12から成る閉回路を
流れる。
コンデンサC+ 、C21d機械的変位に応じて差動的
に静電容量が変化する。しかして、正の半波において、
2次巻線10に流れる電流工、はコンデンサC3の静電
容量に依存して抵抗17.19に流れ、ま′fc、2次
巻線11に流れる電流■2はコンデンサC7の静電容量
に依存して抵抗18.19に流扛る。この結果、コンデ
ンサC,,C,の和の容量に対応する電圧Eoが抵抗1
9の電圧降下として得ら扛る。
Eo =Ro (L +I* )          
(1)ここで、視は抵抗】9の抵抗値である。この電圧
Eoは、差動増幅器8において、抵抗21.22から成
る分圧器の分圧抵抗22の電圧降下(基準電圧)と比較
さ扛る。差動増幅器8の出力は発振器7の発撮電圧の振
幅を制御する。分圧器を構成する抵抗21.22の両端
電圧はツェナーダイオード5によって一定値に保持さ扛
ているので、コンデンサC,,C2の和容量に対応した
電圧E。は一定の基準電圧に等しくなるように制御され
る。
一方、コンデンサC,,C,の差容t (C+  Ct
 )に対応する電圧E3は抵抗17.18の電圧降下に
よって得らnる。すなわち、コンデンサC8の容量に対
応する電圧E1が抵抗17の電圧降下として得らn、ま
たコンデンサC3の容量に対応する電圧E2が抵抗18
の電圧降下として得られる。ここで、抵抗17,18の
抵抗値を夫々R,,R,とする。
El ==R,I、 + EO(2) E、 =Ft、 I、 十E。          (
3)これらの電圧E、、E、は抵抗23.2−4e介し
て差動増幅器9によりその差電圧Esが検出される。
E3=E、 −E、 =R(I、 −I、 )    
  (4)イ旦し、R,=R宜−Rとする。
この差動増幅器9によって出力トランジスタ25が制御
さ扛る。
ここで、発振器7の2次巻線の交流電圧の振幅’zv、
その周波数をfとすると、次式が得られる。
I、=f−v−C,(51 12= f*v@c2            (61
E、−R(I、−I2)−R−f*v・(C,−C,)
   (71E、=RofI、+42 )=Ro*fa
y・(C,十C,)    (8)第(8)式より次式
が得られる。
第(9)式を第(7)式に代入する。
ここで、コンデンサC,,C,は電極面積をA、il極
間距距離−d、その電極間距離の機械的変位による変化
分を△d1誘電率をεとすると、コンデンサC,,C1
の容量は次式で表わされる。
従って、第a力式を第01式に代入すると、次式が得ら
扛る。
しかして、差電圧E、は機械的変位△dに比例すること
になり、この差電圧E1に応じて出力トランジスタ25
に流れる出力電流■が制御される。よって、この出力電
流■も機械的変位△dに比例する。
出力電流■はフィードバック抵抗28に流扛る抵抗28
の電圧降下は抵抗26を介して差動増幅器9の一方の入
力側にフィードバックされる。差動増幅器9の他方の入
力側には抵抗27が接続されている。
ところで、第1図に示した従来の変位変換装置において
は、差動増幅器8によって電圧E0と基準電圧(抵抗2
2の電圧降下)とを比較し、その差電圧に基づいて発振
器7の発振電圧を制御してその電圧Eoが基準電圧と等
しくなるように、すなわち一定値となるように制御して
いる。従って、この電圧E0が変動すると、第θ騰式で
示されるように差電圧E、が変動し、その結果出力電流
Iが変動して、誤差を含む原因とする。そのために、抵
抗22に基準電圧を発生させるために素子、つま、9 
PET3、ツェナーダイオード5およびトランジスタ6
等および差動増幅器8は特性が非常に安定している素子
を多く用いる必要があった。しかも、このように特性の
女性している素子および差動増幅器は価格が高くなると
いう欠点もある。
サラに、コンデンサC,,C,には一般的に浮遊容量な
いし寄生容量がそれぞれ並列接続された形で付随してお
り、これらの浮遊容量ないし寄生容量が出力電流Iに与
える影響も無視できない。
本発明は、このような点に鑑みてなさ扛、特に特性安定
性の優れた素子を必要とせず、また差動増幅器の個数を
減らして部品点数を軽減でき、しかも浮遊容量もしくは
寄生容量の影響を除去できるような変位変換装置を提供
することを目的とする。
このような目的は、本発明によれば、微小な機械的変位
を直流電流信号に変換する二線式変位変換回路装置にお
いて、交流励振さ扛る第1および第2の一対のりアクタ
ンス性インピーダンス素子であって、それらのインピー
ダンス素子の少なくとも一方が機械的変位に応じて変化
するインピーダンス値を持つような一対のりアクタンス
性インピーダンス素子と、前記第1および第2のインピ
ーダンス素子の各々のインピーダンス値に比例した第1
および第2の直流電流信号を供給する手段と、前記第1
および第2の電流信号の差に相当し前記機械的変位の童
を表わす出力電流信号を供給する第1の手段と、固定の
インピーダンス値を持つ第3のりアクタンス性インピー
ダンス素子と、この第3のインピーダンス素子のインピ
ーダンス値に比例した第3の電流信号を供給する第2の
手段とを備え、前記第3の電辱信号と前記第1および第
2の電流信号の少な/とも一方との和を電流調整器によ
って予め定められ次一定値に保持するようにすることに
よって達成さlれる。
本発明による実施態様は次のとおりである。
(1)第1および第2のインピーダンス素子はお互いに
差動的に変化するインピーダンス値を持ち、第1および
第2の直流信号と第3の電流信号との和は電流調整器に
よって予め定めらnた一定値に保持さ扛る。
(2)第1および第2のインピーダンス素子は各々固定
および可変のインピーダンス値を持ち、第2および第3
の電流信号の和は電流調節器によって予め定めら扛た一
定値に保持され、°−一方記第1の電流信号は調整さn
ない。
(3)第1および第2のインピーダンス素子は交流励振
の1つの半波で一方の極性に同時に励振され。
一方そnらのインピーダンス素子は前記交流励振の引続
いて起る他の半波で同時に他方の極性に励振さnる。
(4)第1の手段は、各々が第1および第2′rlL流
信号に応動する一対の入力部および2つの入力電流信号
の間の差に応動する出力部を有する差動増幅器と1機械
豹変位の童を表わす出力1!流信号を供給するために差
動増幅器の出力に応動する出力トランジスタと、前記出
力電流の全部を実質的に受け、フィードバック信号を与
えるために前記差動増幅器の1つの入力につながれたフ
ィードバック抵抗と、ml記差動増幅器の2つの入力の
間に接続さnた2つの末端の端子、および前記差動増幅
器の1つの入力に前記フィードバンク信号を供給するた
めに前記フィードバック抵抗とその1つの入力とにつな
か′nだフィードバック回路につながれた中間の可調整
端子を備えた零調整抵抗と、を含む。
(5)第1の手段は、各々が第1および第2の電流信号
の各々に応答する一対の入力部および入力電流信号の差
に応動する出力部を持つ差動増幅器と、機械的変位の量
を表わす出力電流を供給するために前記差動増幅器の出
力に応動する出力トランジスタと、前記差動増幅器の入
力につながれたダンピング回路とを含み、前記ダンピン
グ回路はダンピングコンデンサとスイッチング手段と電
圧分割手段とを有し、前記電圧分割手段は、ダンピング
動作を必要とするときは前記ダンピングコンデンサと前
記差動増幅器の一方の入力部とを接続し、ダンピング動
作を必要としないときは予め定めら扛た電圧値に前記ダ
ンピングコンデンサを充電しておくために前記ダンピン
グコンデンサと前記電圧分割手段とを接続し得るように
なされている。
(6)電流調整器は電流調整トランジスタとこの電流調
整iランジスタの制御のための直列抵抗との直列接続か
ら成シ、第2の手段は前記第3のインピーダンス素子を
流nる交流電流を一方および他方の極性に転換整流する
ための一対の整流器と前記電流調整トランジスタの両端
電圧を検出する検出手段とを含み、前記一方の極性の前
記整流電流は前記直列抵抗に供給され、前記他方の極性
の整流電流は前記検出手段へ供給される。
次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
第2図は本発明の一実施例の回路図である。この実施例
においても、負荷1に接続さnた外部電源2から伝送線
を介して給電され、外部電源2には電界効果トランジス
タ(PET)31. 抵抗32およびツェナーダイオー
ド33が直列接続されておfi、 FB’f’31によ
って一定電流がツェナーダイオード33に流される。同
様に、FET31のゲートにはトランジスタ34のベー
スが接続され、このトランジスタ34を介して発振器(
交流励振手段)7および差動増幅器9等に駆動電流が供
給される。
発振器7の1次巻線72によって2次巻線10゜11.
12に交流電圧が誘起され、そしてダイオード13,1
4,15.16  によってそ扛らの交流電圧のうち正
の半波のパルス期間においては2次巻線10.11にの
み電流が流n、また負の半波のパルス期間においては2
次巻線12にのみ電流が流れる。ここで、コンデンサC
,,C!には浮遊容量cs、 、Csl  がそれぞれ
並列接続された形で存在している。従って、コンデンサ
C,,C,に流れる電流成分をそれぞれI、、I、とし
、浮遊容量Cs、 。
C5,に流れる電流成分をそれぞれIs、、Isl  
とすると、正の半波において、2次巻線10に流れる電
流(11−1−Is、 )は、抵抗35−接地用コンデ
ンサ20−コンデンサCIおよび浮遊容量Cs、−ダイ
オード13−2次巻線10から成る閉回路を流れ、また
2次巻線11に流れる電流(■、+ Is、 )  は
、抵抗36−抵抗37−抵抗38−接地用コンデンサ2
0−コンデンサC7および浮遊容量Cs1−ダイオード
14−2次巻線11から成る閉回路を流れる。このとき
、各電流■I + ”1 e ISlおよびIs2は次
式で示さnる。
1、−f (v−V)C,Q4) It = f (V V) Cs          
  Q!19Is、 = f (v−V)Cs、   
        Qf9Is2 = f (v−V)C
s2           (1ηここで、浮遊容量C
sI、Csl  はコンデンサCI。
C雪の設計により通常等しくなるようにさ扛る。
Cs、 =O8! =C8(IgI また。後述する電界効果トランジスタ(FET)39の
ドレイン・ソース間電圧をVD、、FET39のソース
抵抗40の電圧降下を■。5、および抵抗35の電圧降
下を■、とすると、第α荀式ないし第(17)式におけ
る電圧■は次式で表わされる。
V=V、+V、5+vGS         (1!J
さらに、抵抗35の抵抗値をR8゜、抵抗36,37゜
38の抵抗値をR11,R,、、R,3とすると、それ
らの関係は次のように設定されている。
&o =)to +Rtt  十R+1       
      w次に、負の半波のパルス期間において、
2次巻線12に流れる電流((L −1−Isl ) 
+ (It +Is2 ) )は。
接地用コンデンサ20−を界効果トランジスタ39−抵
抗40−2次巻線12がら成る閉回路を流れる。
ここで、FET39のドL/(7電流(CI、 +IS
1 )+(I、 +Is、 ) )  はFET39の
ゲート・ソース間電圧■。5によって決まり、その電圧
■。、は抵抗4゜とこの抵抗40に流れる電流IOとの
積で表わされる。この電流■。はFET39の自己バイ
アス作用により一定値に制御される。
一方、本発明においては、浮遊容量cs、 、Cslの
影響を補償するための補償コンデンサ41と、この補償
コンデンサ41の負および正の充電々流をそ扛ぞ扛形成
する整流用ダイオード42.43と、電界効果トランジ
スタ39のドレイン電圧を検出する差動増幅器44とを
設け、2次巻線12によって補償コンデンサ41に交流
電圧を印加し、こノ補償コンデンサ41に流れる正の充
電々流をダイオード43を介してFET39のソース抵
抗40に流すと共に、負の充電々流をダイオード42を
介して差動増幅器44に流すようにしている。従って、
2次巻線12の負の半波における補償コンデンサ41の
充電々流は、2次巻線12−補償コンデンサ41−ダイ
オード42−差動増幅器44−2次巻線12から成る閉
回路を流れ、また正の半波における補償コンデンサ41
の充電々流は、2次巻線12−抵抗40−ダイオード4
3−補償コンデンサ41−2次巻線12から成る閉回路
を流れる。従って、補償、コンデンサ41の充電々流I
c ij次式で表わさn゛る。
Ic = f (v−V’ )Cc         
  (21)ここに、 Cc は補償コンデンサ41の
容量、 VI=■。、十v。5である。それゆえ、抵抗
40に流れる電流I0は次式で示される。
Io =((L +Is+ >+(It +IS2 )
 )−Ic=(L +I宜)+(Is、 +Is、 )
−Ic=f (V  V) (C+ +Ct )+2f
 (v−V)Cs −f(v−V’)Cc      
     (22)ここで1次式のように補償コンデン
サ41の容量Cc  を定めると、第(2り式は第(2
)式のように変形されて、浮遊容量Cs の影響を除く
ことができる。
2f (v−V)Cs=f (v−V’ )Cc   
    (13I6  =f  (v−V)  (C,
+c、  )=Const            (
31)なお、ダイオード45およびコンデンサ46は、
2次巻線12の交流電圧によって差動増幅器44を駆動
するための整流用ダイオード平滑用コンデンサである。
次に、第2図の実施例においては、出力電流■は次のよ
うにして求められる。つまりパ、抵抗35の電圧降下と
抵抗36,37.38の電圧降下とがそれぞれ演算増幅
器9に導かれ、両電圧降下の差が検出さnる。この差は
出力トランジスタ25によって出力電流Iに変換さnる
。この出力電流■は出力トランジスタ25の負荷抵抗4
7および演算増幅器9の抵抗48を介して直流電流I、
が流れる抵抗37.38に帰還される。その結果、演算
増幅器9の一対の入力端子に生ずる電圧差は零となり、
第(251式が成立する。但し、抵抗37.38に流れ
る帰還電流全■fとする。
几、。 (1+  +Is、  )=(ルr  +fL
11+”Im  )  (Il  +Is宜 )+(R
1! +RIIl ) IfC’Jしかして、1A(I
I’i式および第(21式の関係全考慮して、第(ハ)
式から帰還電流I、を求める。
一方、抵抗37.38.47.48  から成る帰還回
路にキルヒホッフの法則全適用する。ここで1機械豹変
位△dが零のとき、つまりコンデンサC,。
偽が等しいときに、出力トランジスタ25に流扛る′電
流を■8とする。この電流■、は出力′電流Iに対して
基礎電流とする。これはたとえば信号電流4〜20mA
の4mAVC相当する。従って、機械的変位Δdが存在
する測定状態においては、出力トランジスタ25には、
この基礎電流■8と機械的変位△dに関係する出力電流
■との和の電流(I、+I)とが流れる。しかして、抵
抗37,38.47.48から収る閉回路において、負
荷抵抗47には電流(I8+I−I、  )が流れ、抵
抗48には帰還電流Ifが流t、低抵抗7.38には電
流(Iv +I S2 +If)が流れるので、次式が
得られる。但し、抵抗47の抵抗値を鳥。、抵抗48の
抵抗値ヲ馬とする。
ル。(I、+I−If)=l(、I、+(1尤12 +
RIIl ) (’2 +i S、 +10  C2η
ここで、第(ハ)式において1機械豹変位Δdに関係す
る成分のみについて着目すると、次式カニ得ら扛る。
へ。(I −If) =R(If+(’FLrt+馬、
 ) (It +If)    (ハ)しかして、第(
ハ)式から出力電流■を求め、帰還電流If  に第(
ハ)式を代入する。
=に+  (L   It  )十KtIt     
          @つぎに、第0式に第04)式、
第αり式を代入するOここで、第19式から次の関係力
;明らめ1である。
従って、第t3υ式は次のように変形される。
G! =  (Kl −−Kl ) I6 = Con
5tしかして、第Gり式において、右辺第1項G、は定
数であり、第2項のG、も定数であるカーら、出力電流
Iは機械的変位Δdに比例することになる。このように
して、出力電流■からは浮遊容量C51,Cs1の影響
を除くことができる。
ところで、この種の2IiI式変位変換装置は圧力等の
工業用プロセス量をたとえば4〜20mAの範囲の直流
電流Iに変換し7て伝送するものでおり。
伝送スべきプロセス量に多くの脈動成分力;含″11r
Lでいても、そのプロセス量を変換して伝送する直流電
流Iからは脈動成分を除去すること力X要求さf′L1
 このために抵抗とコンデンサと力1ら構成さ扛た脈動
成分除去用ダンピング回路力;設けらする。
第2図の実施例においてもこの種のダンピング回路が設
けられているが、このダンピング鼎路においては、動作
中にダンピングを施こしても、出力電流に過渡変動が発
生しないように工夫しである。。
すなわち、ダンピング回路は、ダンピングコンデンサ4
9および抵抗36,37.38から成る遅れ回路と、抵
抗50と、2つの抵抗51.52から成る分圧回路と、
スイッチ53とから構成されている。
ダンピングを施こさないときにIfi、スイッチ53は
接点す側に接続されている。このとき、抵抗51と抵抗
52との接続点の電位は差動増幅器9の反転入力端子に
おける電位つまシ抵抗36と2次巻線11との接続点の
電位にほぼ等しく設定しておく。すなわち、抵抗36と
2次巻線11との接続点電位は電流工、つまり機械的変
位Δdによって変化する。そこで、その機械的変位△d
が0〜100チ変化するときに、その接続点電位がたと
えば2.5vから3.Ovに変化するように設定した場
合には、抵抗51.52の抵抗値の選定により、その抵
抗51.52の接続点電位が約2,5■になるように設
定する。それにより、コンデンサ49はダンピングを施
こさないときには約2.5vに充電さnている。従って
、ダンピングを施こすために、スイッチ53を接点a側
に切換えて、コンデンサ49を差動増幅器90入力側に
接続したとしても、その接続による過渡変動はあまり生
じない。
ところが、抵抗51.52によるダンピングコンデンサ
49の事前光1!ヲ施こしておかない場合には、差動増
幅器9へのコンデンサ49の接続投入により、その差動
増幅器9の入力側では約2.5〜3、 OVの電圧変動
が生じ、従ってコンデンサ49の接続による大幅な過渡
変動が生じることになる。
なお、第2図において、ダンピング回路そのものの機能
についてはよく知られていることなので、ここではその
説明を省略する。
次に、第2図に示した実施例においては、零点調整回路
が設けられている。この零点調整回路は。
差動増幅器9の一対の入力端子間に接続された可変抵抗
54と、この可変抵抗54の可変タップに接続された抵
抗55とから王として構成されておリ、抵抗55の他端
は抵抗37.38の接続点に接続されている。この場合
に1本発明においては、抵抗35における電圧降下の変
化と抵抗38における電圧降下の変化とが等しくなるよ
うに設定されている。(このために、抵抗37と抵抗3
8とを等しく設定しておく。)それによシ、抵抗55の
両端電圧は常に一定となる。従って、抵抗55に流れる
電流は常に一定となる。しかして、一対のコンデンサC
1,CIの静電容量が等しく C+ = CIのときに
はI、 =J、となって差動増幅器90入力電圧差は零
となるべきであるが、何らかの原因により零にならない
ときには、可変抵抗54の可変タップの位置を変えて、
2次巻線10側からこの可変抵抗54に流nる電流1m
と2次巻線111111から可変抵抗54に流れる電流
iとの割合を調整し。
差動増幅器90入力電圧差が零になるように調整する。
なお、この電流111!は共に抵抗55を介して流扛る
が、抵抗55の両端電圧は常に一定に保持さ扛るので、
和電流(il+it)は常に一定となる。この和電流(
il +i* )は抵抗38に流入するが、非常に小さ
く、しかも一定値であるので、上述した式の展開におい
ては無視して説明した。
次に、第3図は本発明の他の実施例の回路図である。こ
の実施例においては、コンデンサC1は不変であり、コ
ンデンサC8のみが機械的変位△dに応じて変えら扛る
。回路構成は基本的には第2図の実施例と同じであるが
、ダイオード15.16にそれぞれ2次巻線57.58
が接続される点で異なっている。
このような回路構成により、第3図の実施例においては
−(C+  CI )10t  なる演算が行なわ扛る
。動作は第2図の実施例とほとんど同じであるので、そ
の説明は省略する。但し、この回路では。
FET39  によって電流((I、 +Ist )−
IC)が一定制御される。
以上に説明したように1本発明においては。
FET39の作用により、コンデンサC,,C!に流れ
る電流11.I、の少なくとも一方(つまり和電流I、
+I、あるいは電流■、)と補償コンデンサ41に流れ
る電流ICとの合成電流を一定値に保持するようにした
。その結果、FET31.ツェナーダイオード33およ
びトランジスタ34は、主として発振器7および差動増
幅器9の駆動電圧供給用に使用され、第1図の従来回路
の如く差動増幅器8のための基準電圧素子として使用さ
れるのではないので、特性安定性がそれ程厳しくなくて
もよい。それゆえ、このようなFET31.ツェナーダ
イオード33およびトランジスタ34の入手は非常に容
易となり、しかも価格も非常に安価となる。
さらに、浮遊容量Cs、 、Cs2  の影響を補償す
るための補償コンデンサ41を設け、この補償コンデン
サ41に流れる電流Ic  と電流((I++IJ)+
(1,十IS2 ) lまたは電流(■宜+Isりとの
合成電流をFET によって一定値制御するので、構造
簡単にして、浮遊容量の影響を補償することができる。
さらに、差動増幅器44は浮遊容量Cs を補償すとが
できることになり1部品点数を軽減させることができる
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の変位変換装置の回路図、第2図および第
3図は本発明のそれぞれ異なる実施例の回路図である。 CI、C,・・・測定コンデンサ、cs、 、Csl・
・・浮遊容量、7・・・発振器、9・・・差動増幅器、
10,11゜12.57.58・・・2次巻線、13.
14,15.16・・・ダイオード、25・・・出力ト
ランジスタ、31.39・・・電界効果トランジスタ、
35,36,37,38゜40.48,50.51,5
2,54.55・・・抵抗、41・・・補償コンデンサ
、42.43・・・ダイオード、44・・・差動増幅器
、49・・・ダンピングコア f 7 t 。 53・・・スイッチ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)微小な機械的変位を直流電流信号に変換する二線式
    変位変換回路装置において、交流励振される第1および
    第2の一対のリアクタンス性インピーダンス素子であっ
    て、それらのインピーダンス素子の少なくとも一方が機
    械的変位に応じて変化するインピーダンス値を持つよう
    な一対のりアクタンス性インピーダンス素子と、前記第
    1および第2のインピーダンス素子の各々のインピーダ
    ンス値に比例した第1および第2の直流電流信号を供給
    する手段と、前記第1および第2の電流信号の差に相当
    し前記機械的変位の量を表わす出力電流信号を供給する
    第1の手段と、固定のインピーダンス値を持つ第3のり
    アクタンス性インピーダンス素子と、この第3のインピ
    ーダンス素子のインピーダンス値に比例した第3の電流
    信号を供給する第2の手段とを備え、前記第3の電流信
    号と前記第1および第2の電流信号の少なくとも一方と
    の和を電流調整器によって予め定められた一定値に保持
    することを特徴とする二線式変位変換回路装置。 2、特許請求の範囲第1項記載の変位変換回路装置にお
    いて、前記第1および第2のインピーダンス素子はお互
    いに差動的に変化するインピーダンス値を持ち、前記第
    1および第2の直流信号と第3の電流信号との和は前記
    電流調整器によって予め定められた一定値に保持される
    ことを特徴とする二線式変位変換回路装置。 3)特許請求の範囲第1項記載の変位変換回路装置にお
    いて、前記第1および第2のインピーダンス素子は各々
    固定および可変のインピーダンス値を持ち、前記第2お
    よび第3の電流信号の和は前記電流調節器によって予め
    定められた一定値に保持され、一方前記第1の電流信号
    は調整されないことを特徴とする二線式変位変換回路装
    置。 4)%許請求の範囲第1項記載の変位変換回路装置にお
    いて、前記第1および第2のインピーダンス素子は交流
    励振の1つの半波で一方の極性に同時に励振され、一方
    それらのインピーダンス素子は前記交流励振の引続いて
    起る他の半波で同時に他方の極性に励振されることを特
    徴とする二線式%式% 5)%許請求の範囲第1項記載の変位変換回路装置にお
    いて、前記第1の手段は、各々が前記第1および第2電
    流信号に応動する一対の入力部および前記2つの入力電
    流信号の間の差に応動する出力部を有する差動増幅器と
    、前記機械的変位の量を表わす出力電流信号を供給する
    ために前記差動増幅器の出力に応動する出力トランジス
    タと、前記出力電流の全部を実質的に受け、フィードバ
    ック信号を与えるために前記差動増幅器の1つの入力に
    つなが扛たフィードバック抵抗と、前記差動増幅器の2
    つの入力の間に接続された2つの末端の端子、および前
    記差動増幅器の1つの入力に前記フィードバック信号を
    供給するために前記フィードバック抵抗とその1つの入
    力とにつなが扛たフィードバック回路に間接的につなが
    nた中間の可調整端子を備えた零調整抵抗と、を含′む
    ことを特徴とする二線式変位変換回路装置。 6)特許請求の範囲第1項記載の変位変換回路装置にお
    いて、前記第1の手段は、各々が前記第1および第2の
    電流信号の各々に応答する一対の入力部および前記入力
    電流信号の差に応動する出力部を持つ差動増幅器と、前
    記機械的変位の量を表わす出力電流を供給するために前
    記差動増幅器の出力に応動する出力トランジスタと、前
    記差動増幅器の入力につながれたダンピング回路とを含
    み。 前記ダンピング回路はダンピングコンデンサとスイッチ
    ング手段と電圧分割手段とを有し、前記電圧分割手段は
    、ダンピング動作を必要とするときtd 前記ダンピン
    グコンデンサと前記差動増幅器の一方の入力部とを接続
    し、ダンピング動作を必要としないときは予め定めら′
    t″した電圧値に前記ダンピングコンデンサを充電して
    おくために前記ダンピングコンデンサと前記電圧分割手
    段とを接続し得るようになされていることを特徴とする
    二線式%式% 7)−%許請求の範囲第1項記載の変位変換回路装置に
    おいて、前記電流調整器は電流調整トランジスタとこの
    電流調整トランジスタの制御のための直列抵抗との直列
    接続から成シ、前記第2の手段は前記第3のインピーダ
    ンス素子を流れる交流電流を一方および他方の極性に転
    換整流するための一対の整流器と前記電流調整トランジ
    スタの両端電圧を検出する検出手段とを含み、前記一方
    の極性の前記整流電流は前記直列抵抗に供給され、前記
    他方の極性の整流電流は前記検出手段へ供給さnること
    を特徴とする二線式変位変換回路装置。
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