JPH0348714Y2 - - Google Patents

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JPH0348714Y2
JPH0348714Y2 JP13281284U JP13281284U JPH0348714Y2 JP H0348714 Y2 JPH0348714 Y2 JP H0348714Y2 JP 13281284 U JP13281284 U JP 13281284U JP 13281284 U JP13281284 U JP 13281284U JP H0348714 Y2 JPH0348714 Y2 JP H0348714Y2
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Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の属する技術分野〕 本考案は、たとえば流体の圧力にもとづいて対
向電極中の可動電極が変位して両電極間の静電容
量が変化するというような、測定対象の状態に応
じて変化する静電容量の値を検出し、これを電圧
信号に変換して受信計器に伝送する変位変換装
置、特に出力信号の自由度が高くかつ誤差が少な
く、その上変位変換装置と前記受信計器とを設置
する際三線配線を施すことができる構成に関す
る。
〔従来技術とその問題点〕
従来圧力を測定する場合、該圧力によつて固定
電極に対向する可動電極を変位させ、両電極間の
静電容量変化を検出して圧力を測定することが行
われることがある。第2図はこのようにして圧力
測定を行う場合の、静電容量を電圧信号に変換し
て出力するようにした本件出願人により提案(実
開昭60−148697)された変位変換装置の構成図で
ある。図において3a,3bはそれぞれ外部直流
電源2の正極及び負極が接続された変位変換装置
1の電源端子で、端子3bはこの場合変位変換装
置1における基準電位部5に接続されている。4
は直流電源2によつて駆動され、基準電位部5を
低電位側とする定電圧E0を発生する定電圧回路
で、4aはその高電位側出力端子である。6は定
電圧回路4の出力電圧E0が抵抗器7を介して印
加されて駆動され、交流電圧を結合コイルの一次
コイル8に出力する発振回路で、抵抗器7はこの
抵抗値を変えることによつて前記交流電圧の振幅
を調整する発振振幅調整用の抵抗器である。9は
対向電極の対向面積がAで対向距離がdである第
1容量素子、10は、圧力を検出するために、こ
の圧力によつて図示していない機構を介して対向
電極の対向距離が変化するように構成した第2容
量素子で、この素子10の対向電極の対向面積も
Aになるように形成され、この対向電極の対向距
離は圧力が加わらない場合にはdになるように形
成されている。すなわち第1容量素子9は圧力に
よつては変化しない基準の静電容量を有する容量
素子であり、また第2容量素子10はその静電容
量が圧力に応じて変化する容量素子である。11
は後に説明するようにして静電容量を設定した第
3容量素子である。37は第1および第2入力端
子37a,37bを有し、かつ電源端子の一方が
定電圧回路4の高電位側出力端子4aに接続され
電源端子の他方が基準電位部5に接続された差動
形演算増幅器で、53は定電圧回路4の出力電圧
E0を第6固定抵抗器51と第7固定抵抗器52
とで分圧して得られた設定電位点、V1は設定電
位点53と基準電位部5との間の電位差、V0
演算増幅器37の出力端子37cと基準電位部5
との間の電位差、V2は出力端子37cと設定電
位点53との間の電位差である。
第2図の変位変換装置においては演算増幅器3
7の出力端子37cには、後述するようにして、
圧力によつて発生した第2容量素子10の静電容
量変化に応じた電圧が現れ、この電圧は普通V2
またはV0として受信計器に伝送されるのが通例
で受信計器でこれらの電圧を測定することによつ
て圧力測定が行われる。トランスミツタ回路1に
おける上記以外の各部の構成ならびに作用は本考
案の本旨に直接関係するものでなく、またこれら
の構成ならびに作用は、後述する、本考案の実施
例として示した第1図において(第1図には第2
図におけるものと同一の部分には同一の符号が付
してある。)詳細に説明するのでここでは説明を
省略する。さて変位変換装置1では上述のように
して第2容量素子10の静電容量に応じた電圧信
号が出力されるが、この場合圧力を電圧V2に変
換する方法は、設定電位点53における電位を抵
抗器51と52との各抵抗値を選定することによ
つて基準電位部5の電位に対して大きさE0の範
囲内で任意に測定できる結果、測定圧力の始点に
対応する電圧V2の値を負の値から正の値に至る
広い範囲にわたつて設定することが可能となる。
この結果測定範囲の始点に対応する電圧が負電圧
であつたり零ボルトであつたりするような測定信
号体系にこの変位変換装置を直ちに組みこむこと
ができるという利点、換言すれば、出力信号を自
由度の高いものとすることができるという利点を
有する。しかしながら、その反面、定電圧回路4
の出力電圧E0が変動したり抵抗器51,52の
抵抗値が変化して設定電位点53の電位が変動す
ると、点53の電位変動がそのまま出力電圧V2
中に誤差となつて含まれるという問題があり、ま
たこのような変位変換装置では直流電源2から電
源を供給するための電線2本と、出力電圧V2
送用の電線2本との都合4本の電線を必要として
経済的でないという問題がある。第2容量素子1
0で検出した圧力を電圧V0に変換する方法は、
出力電圧V0の基準電位を基準電位部5の電位と
しているのでこの電位の変動によつて出力電圧
V0に誤差を生じることはなく、また出力電圧V0
伝送用の電線の中の1本は基準電位部5に接続さ
れることになる結果、直流電源2から変位変換装
置1への給電電流および給電線抵抗がいずれも小
さい場合、電源用電線の1本と信号用電線の1本
とを共用させる三線式接続が可能となつて経済的
な配線を行うことができる反面、測定圧力の始点
に対応する電圧V0を零ボルトまたはその近傍の
値にするこができず、たとえば定電圧回路4の出
力電圧E0が10ボルトである場合1ボルト以上
にせざるを得ないなど、出力電圧V0の自由度が
低下するという問題がある。
〔考案の目的〕
本考案は、上述したような、測定対象の状態に
応じた静電容量の値を電圧信号に変換する従来の
トランスミツタ回路における問題を解消して、高
い自由度と少ない誤差とを有する変換信号を得る
ことができ、かつ三線式配線を可能とする、静電
容量値を電圧信号に変換するトランスミツタ回路
を提供することを目的とする。
〔考案の要点〕
本考案は上述の目的を達成するために、交流電
圧を発生する発振回路と、基準の静電容量を有す
る第1容量素子を含み、前記発振回路の出力交流
電圧によつて駆動されて前記第1容量素子の静電
容量に比例した第1直流電流を発生する第1電流
回路と、機械的変位に応じて静電容量が変化する
第2容量素子を含み、。前記発振回路の出力交流
電圧によつて駆動されて前記第2容量素子の静電
容量に比例した第2直流電流を発生する第2電流
回路と、前記第1電流回路の第1直流電流と前記
第2電流回路の第2直流電流との差電流に応じた
電圧を出力する増幅器とを備え、この増幅器の出
力端子と基準電位部との間から前記機械的変位に
応じた出力電圧を取出す変位変換装置において、
前記増幅器の負側電源端子を、前記出力電圧を取
出すための基準電位部よりも低い電位点に接続し
たので、演算増幅器の出力端子と基準電位部との
間に生じる、第2容量素子の静電容量に応じた電
圧が、自由度が高くかつ誤差の少ないものとな
り、そのうえ変位変換装置について三線式配線が
可能となるようにしたものである。
〔考案の実施例〕
次に本考案を図面を参照して説明する。第1図
は本考案の一実施例の構成図で、本図の第2図と
異なる主な点は第5抵抗器54の存在と演算増幅
器37の負側電源の接続状態との2点である。第
1図において12,13,14および15はいず
れも一次コイル8に結合され、等しい振幅の交流
電圧を発生する別々の二次コイル、16は二次コ
イル12と基準電位部5との間に接続された第1
抵抗器、17は第2抵抗器18と第3抵抗器19
とからなる直列回路で、直列回路17は二次コイ
ル13と基準電位部5との間に第3抵抗器19を
基準電位部5側にして接続され、二次コイル12
と第2容量素子9とは二次コイル12側がカソー
ド側になるようにしてダイオード20を介して接
続され、二次コイル13と第2容量素子10とは
二次コイル13側がカソード側になるようにして
ダイオード21を介して接続されている。容量素
子9,10のダイオード20,21に接続されな
い側の電極はいずれも結合コンデンサ22を介し
て基準電位部5に接続されている。23,24は
それぞれ第1抵抗器16、直列回路17に並列に
接続された平滑用コンデンサである。
54は、一端が基準電位部5に接続された第5
抵抗器、25はドレンDが第5抵抗器54の他端
に接続されソースSが電流調整器としての可変抵
抗器26に接続された電界効果トランジスタで、
このトランジスタ25のゲートGは可変抵抗器2
6を介してソースSに接続されると共に二次コイ
ル15に接続され、二次コイル15の他端はダイ
オード29を介してダイオード21のアノードに
接続され、ダイオード21と29との接続は順接
続となつている。二次コイル14の一端はソース
Sに接続され、該コイルの他端はダイオード28
のアノードに接続され、ダイオード28はダイオ
ード20に順接続されている。30、31は平滑
用コンデンサである。32はアノードはトランジ
スタ25のソースSに接続されたダイオードで、
第3容量素子11はダイオード32のカソードと
ダイオード29のアノードとの間に接続されてい
る。33は二次コイル15に発生する交流電圧を
ダイオード34と平滑用コンデンサ35とで整流
して得られる直流電圧で駆動するようにした緩衝
増幅器で、この増幅器33に二個の入力端子の中
の一方は第1抵抗器16と二次コイル12との接
続点に接続され、入力端子の他方はこの増幅器の
出力端子に接続され、さらにこの増幅器33に出
力端子はダイオード32のカソードに順接続され
たダイオード36のカソードに接続されている。
本図においては演算増幅器37の正側電源端子
は定電圧回路の出力端子4aに接続されているが
負側電源端子は第5抵抗器54とトランジスタ2
5との接続点に接続され、増幅器37の第1入力
端子37aは第1抵抗器16と二次コイル12と
の接続点に接続され、また第2入力端子37bは
第2抵抗器18と二次コイル13との接続点に接
続されている。38は可調整端子38aを有し、
両端の各一方がそれぞれ第1入力端子37a、第
2入力端子37bに接続され、かつ可調整端子3
8aが抵抗器39を介して基準電位部5に接続さ
れた可変抵抗器である。40は演算増幅器の出力
端子37cに一端が接続され、他端が第2抵抗器
18と第3抵抗器19との接続点に接続された第
4抵抗器で、55は第1図において直流電源2を
除く各部で構成された変位変換装置である。変位
変換装置55においては演算増幅器の出力端子3
7cと基準電位部5との間に現れる電圧V0が出
力電圧として外部に伝送される。
変位変換装置55は上述のように構成されてい
るので直流電源2を接続すると二次コイル12,
13,14,15の各々には複振幅Eの交流電圧
が誘起され、第1図においてはこれらの誘起電圧
の極性は同時には同一方向を向くように二次コイ
ル12,13,14,15が構成されている。し
たがつて二次コイル12に誘起される電圧が下向
きとなる正の半波の期間おいては、この電圧によ
る電流が二次コイル12、第1抵抗器16とコン
デンサ23とからなる並列回路、結合コンデンサ
22、第1容量素子9、ダイオード20を順次通
つて流れ、同じ正の半波の期間において二次コイ
ル13に誘起される電圧による電流が二次コイル
13、直流回路17とコンデンサ24とからなる
並列回路、結合コンデンサ22、第2容量素子1
0、ダイオード21を順次通つて流れる。上記の
正の半波に引き続く次の半波の期間、すなわち二
次コイル14に誘起される電圧が上向きとなる負
の半波の期間においては、この電圧による電流は
二次コイル14、ダイオード28、第1容量素子
9、結合コンデンサ22、第5抵抗器54とトラ
ンジスタ25とコンデンサ30からなる直並列回
路を順次通つて二次コイル14に戻り、同じ負の
半波の期間において二次コイル15に誘起される
電圧による電流が二次コイル15、ダイオード2
9、第2容量素子10、結合コンデンサ22、第
5抵抗器54とトランジスタ25とコンデンサ3
0とからなる直並列回路、可変抵抗器26とコン
デンサ31とからなる並列回路を順次流れる。二
次コイル1に誘起される電圧が下向きとなつた時
にこの電圧によつて第1容量素子9を流れる電流
は第1抵抗器16においては平滑用コンデンサ2
3のために直流となるので、抵抗器16の両端に
はこの直流電流による電圧降下Vaが生じ、この
時二次コイル13に誘起される電圧によつて第2
容量素子10を流れる電流は直列回路17におい
ては平滑用コンデンサ24のために直流となるの
で、直流回路17の両端にはこの直流電流による
電圧降下が生じ、また二次コイル14および15
に誘起される電圧が上向きとなつた時にこれらの
電圧によつて第1および第2容量素子9,10を
流れる電流は平滑用コンデンサ30,31の存在
によつて基準電位部5とトランジスタ25のゲー
トGとの間に電位差Vbを発生させる。
上述の説明においては二次コイル15に誘起さ
れる電圧によつて第3容量素子11に流れる電流
について言及していないが、この電流の態様は次
の通りである。すなわち、二次コイル15に誘起
された電圧が下向きである場合、この電圧による
電流は該コイル15、可変抵抗器26とコンデン
サ31とからなる並列回路、ダイオード32、第
3容量素子11を順次通り、二次コイル15の誘
起電圧が上向きである場合、この電圧による電流
は該コイル15、第3容量素子11、ダイオード
36、緩衝増幅器33、可変抵抗器26とトラン
ジスタ25のゲートGとの接続点を順次通る。し
たがつて可変抵抗器26には、二次コイル15に
よつて第2容量素子10を流れる電流が下向きに
流れ、二次コイル15によつて第3容量素子11
を流れる電流が上向きに流れ、結局、可変抵抗器
26においてはこの抵抗器とトランジスタ25と
が上述のように接続されているのでトランジスタ
25によつて上記の下向き電流と上向き電流との
合成電流が一定値になるように自動的に制御され
る。27はこのような動作を行う、トランジスタ
25と可変抵抗器26とからなる制御回路であ
る。制御回路27は上記のように構成されている
ので可変抵抗器26の抵抗値を変えてここを流れ
る合成電流の大きさを変化させることができ、し
たがつて可変抵抗器26の抵抗値を適宜設定する
ことによつて、本変位変換装置の全消費電流をほ
ぼ決定することができる。
演算増幅器37においては、その入出力端子が
上述の各部に接続されているので、第1入力端子
37aと第2入力端子37bとの各々に入力され
る電圧に差があると出力端子37cから帰還電流
Ifが第4抵抗器40、第3抵抗器19を順次経由
して基準電位部5に流れ、この結果入力端子37
aに入力される電圧と入力端子37bに入力され
る電圧とが等しくなると出力端子37cに現れ
る、基準電位部5に対する電圧V0が平衡状態と
なる。
次にこの出力電圧の大きさV0について説明す
る。すなわち、変位変換装置55は上述のように
構成したので、二次コイル12〜15に誘起され
る複振幅Eの交流電圧の一周期の期間を通じて第
1容量素子9および第2容量素子10には交流電
圧が印加され、これらの印加交流電圧の複振幅の
大きさは結合コンデンサ22におけ電圧降下を無
視すると、第1容量素子9においてはE−(Va
Vr+Vds)となり第2容量素子10においてはE
−(Va+Vb)となる。ここにVrは第5抵抗器5
4の両端電圧、Vdsはトランジスタ25のドレ
ン、ソース間の電圧で、このトランジスタのソー
ス、ゲート間の電圧をVsgとするとVb=Vr+Vds
+Vsgである。第1図においてはVsgはVr+Vds
比べて小さくなるように設定されこの結果Vb
Vr+Vdsとなつているので、結局第1容量素子9
に印加される交流電圧の複振幅の大きさは第2容
量素子10における同様にE−(Va+Vb)に等し
いと考えることができる。第3容量素子11にも
上述のようにして二次コイル15に誘起される複
振幅Eの交流電圧によつて交流電圧が印加され、
この場合印加交流電圧の複振幅の大きさはE−
(Va+Vb−Vsg)=E−(Va+Vr+Vds)となるの
で、容量素子11における印加交流電圧の複振幅
の大きさもE−(Va+Vb)に等しいと考えること
ができ、したがつて二次コイル12および13に
よつて第1抵抗器16および直列回路17を流れ
る直流電流の大きさをそれぞれI1,I2とし,二次
コイル15によつて可変抵抗器26を上向きに流
れる直流電流の大きさをI3とし、さらに二次コイ
ル12〜15に誘起される電圧の周波数をf、第
1ないし第3容量素子9〜11の各静電容量を
C1,C2,C3とすると、電流I1,I2,I3はそれぞれ
(1)式のように表される。
I1=f・{E−(Va+Vb)}・C1 I2=f・{E−(Va+Vb)}・C2 I3=f・{E−(Va+Vb)}・C3 ……(1) すなわち、第1抵抗器16を流れる直流電流は
第1容量素子9の静電容量C1に比例した大きさI1
を有する第1直流電流であり、直列回路17を流
れる直流電流は第2容量素子10の静電容量C2
に比例した大きさI2を有する第2直流電流であつ
て、41,42は二次コイル12,13,14,
15に誘起される交流電圧によつて駆動され、上
述のようにしてそれぞれ第1および第2直流電流
を発生する第1および第2電流回路であり、また
可変抵抗器26を上向きに流れる直流電流は第3
容量素子11の静電容量C3に比例した大きさI3
有する第3直流電流で、43は二次コイル15に
誘起される交流電圧によつて駆動され上述のよう
にして第3直流電流を発生する第3電流回路であ
る。
二次コイル14および15によつてトランジス
タ25を流れる電流は、電流I1とI2とによつて充
電された第1および第2容量素子9,10の放電
電流であるからI1+I2に等しく、この合成電流中
のI1相当分はトランジスタ25から二次コイル1
4へ流れるがI2相当分が可変抵抗器26を介して
二次コイル15へ流れ、可変抵抗器26において
は電流I3が上向きに流れるので、結局抵抗器26
を流れる電流の大きさはI2−I3となる。制御回路
27は上述したようにI2−I3を一定値Ikに制御す
るから(2)式が成立し、(1)式と(2)式とから(3)式が得
られる。
I2−I3=Ik …(2) I1=Ik・{C1/(C2−C3) I2=Ik・{C2/(C2−C3) …(3) 前述したように演算増幅器37においては正側
電源が定電圧回路の出力端子4aから供給され、
負側電源は第5定54とトランジスタ25との接
続点から供給されている。したがつてこの場合の
正側電源の基準電位部5に対する電位はほぼ安定
化されているが、負側電源の基準電位部5に対す
る電位は第5抵抗器54における通電電流に依存
して変動する。しかしながらこの場合、増幅器3
7の動作が前述したような負側電源の電位変動に
よつても左右されることのないように、抵抗器5
4の抵抗値、抵抗器54を流れる電流の値、増幅
器37の仕様等が選定されている。したがつて第
1図においては、上述のようにして増幅器37の
出力電圧V0が平衡状態になるので(4)式および(5)
式が成立する。ここにR1、R2,R3,R4はぞれぞ
れ第1抵抗器16、第2抵抗器18、第3抵抗器
19、第4抵抗器40の各抵抗値である。
V0=I2・R3+If・(R3+R4) …(4) I1・R1=I2・(R2+R3)+If・R3 …(5) 第1図においてはR1=R2+R3=Rであるよう
に形成されているので(4)式と(5)式とから(6)式が得
られ、(6)式と(3)式とから(7)式が得られる。
V0=I2・R3+(R3+R4) ・(R/R3)・(I1−I2) …(6) V0=I2・R3+(R3+R4)・(R/R3) ・Ik・C1−C2/C2−C3 …(7) 前述したように容量素子9,10においては対
向電極の対向面積がAで対向距離がdであり、容
量素子10は圧力によつてこの対向距離が変化す
るのでこの変化量を△dとすると、静電容量C1
およびC2は(8)式で表される。ここにεは対向電
極間にある媒質の誘電率で、CS1,CS2はそれぞれ
容量素子9,10に随伴する漂遊容量である。
C1={(ε・A)/d}+Cs1 C2={(ε・A)/(d+△d)}+CS2 …(8) 第1図においてはCS1=CS2=CSであるように形
成され、またC3=CSであるように第3容量素子
11の静電容量が設定されているので、(7)式と(8)
式とから(9)式が得られる。
V0=I2・R3+(R3+R4)・(R/R3) ・Ik(△d/d) …(9) C3=CSであつてかつCSは漂遊容量であるから
C2に比べて非常に小さい。したがつて(1)式およ
び(2)式かI2≒Ikとなるので(9)式は(10)式のように書
き換えられる。
V0≒Ik・R3+(R3+R4)・(R/R3) ・Ik・(△d/d) …(10) (10)式から明らかなように演算増幅器37の出力
電圧V0は容量素子10における機械的変位(△
d/d)に比例した値となる。すなわち変位変換
装置55では、容量素子9,10に随伴する漂遊
容量CSの影響を殆ど受けることなく機械的変位
(△d/d)が電圧V0に変換されるので、この電
圧V0を測定することによつて△dを発生させた
圧力を測定することができる。
前述したように、第1図においては第5抵抗器
54を和電流I1+I2が下向きに流れ、演算増幅器
37の消費電流をICCとするとこの電流は抵抗器
54を上向きに流れるが、この場合(I1+I2)>
ICCのように設定されているので第5抵抗器54
とトランジスタ25との接続点の電位は基準電位
部5の電位よりも低くなつており、したがつてこ
のような負電位点から負電源を供給されている演
算増幅器37から出力される電圧V0は、変位変
換装置55による圧力変換の始点に対応する電圧
V0の値を基準電位部5に対して負から正の広い
範囲にわたつて適宜設定することが可能となり、
したがつてこのような変位変換装置55の出力電
圧V0は自由度の高い出力信号となる。またこの
場合の出力電圧V0は、この電圧を定義する基準
電位部が基準電位部5の電位であるから変換誤差
の少ない電圧である。さらにまた出力電圧V0は、
前述したように基準電位部5の電位を基準にして
いるので、このような変位変換装置55では、直
流電流2から該変位変換装置55へ給電する電流
や給電線の電気抵抗が小さい場合三線式配線を行
うことができて、設置工事を簡単かつ経済的に行
うことができる利点がある。
上述の実施例においては基準電位部5とトラン
ジスタ25との間に第5抵抗器54を設け、この
抵抗器とトランジスタ25との接続点から負電源
や演算増幅器37に供給するようにしたが、第5
抵抗器54の代りに定電圧ダイオードを用いるよ
うにしてもよいことは説明するまでもなく明らか
である。また上記の説明は圧力を電圧信号に変換
する変位変換装置に関するものであつたが、本考
案は、第2容量素子10の静電容量を変化させう
る任意の他の物理量を電圧信号に変換する変位変
換装置にも適用しういるものである。
〔考案の効果〕
上述したように、本考案においては、交流電圧
を発生する発振回路と、基準の静電容量を有する
第1容量素子を含み、前記発振回路の出力交流電
圧によつて駆動されて前記第1容量素子の静電容
量に比例した第1直流電流を発生する第1電流回
路と、機械的変位に応じて静電容量が変化する第
2容量素子を含み、前記発振回路の出力交流電圧
によつて駆動されて前記第2容量素子の静電容量
に比例した第2直流電流を発生する第2電流回路
と、前記第1電流回路の第1直流電流と前記第2
電流回路の第2直流電流との差電流に応じた電圧
を出力する増幅器とを備え、この増幅器の出力端
子と基準電位部との間から前記機械的変位に応じ
た出力電圧を取出す変位変換装置において、前記
増幅器の負側電源端子を、前記出力電圧を取出す
ための基準電位部よりも低い電位点に接続したの
で、演算増幅器の出力端子と基準電位部との間に
生じる、第2容量素子の静電容量に応じた電圧
が、自由度が高くかつ誤差の少ないものとなる効
果があり、そのうえこのトランスミツタ回路に三
線式配線を施すことが可能となつてトランスミツ
タ回路の設置を簡単かつ経済的に行える効果もあ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例の構成図、第2図は
従来のトランスミツタ回路の構成図である。 1,55…変位変換装置、2…直流電源、4…
定電圧回路、5…基準電位部、6…発振回路、
9,10,11…第1、第2、第3容量素子、1
6…第1抵抗器、17…直列回路、18,19…
第2、第3抵抗器、26…電流調整器としての可
変抵抗器、27…制御回路、37…演算増幅器、
37a…第1入力端子、37b…第2入力端子、
37c…出力端子、40…第4抵抗器、41,4
2,13…第1、第2、第3電流回路、54…イ
ンピーダンス部材としての第5抵抗器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 交流電圧を発生する発振回路と、基準の静電容
    量を有する第1容量素子を含み、前記発振回路の
    出力交流電圧によつて駆動されて前記第1容量素
    子の静電容量に比例した第1直流電流を発生する
    第1電流回路と、機械的変位に応じて静電容量が
    変化する第2容量素子を含み、前記発振回路の出
    力交流電圧によつて駆動されて前記第2容量素子
    の静電容量に比例した第2直流電流を発生する第
    2電流回路と、前記第1電流回路の第1直流電流
    と前記第2電流回路の第2直流電流との差電流に
    応じた電圧を出力する増幅器とを備え、この増幅
    器の出力端子と基準電位部との間から前記機械的
    変位に応じた出力電圧を取出す変位変換装置にお
    いて、前記増幅器の負側電源端子を、前記出力電
    圧を取出すための基準電位部よりも低い電位点に
    接続したことを特徴とする変位変換装置。
JP13281284U 1984-08-31 1984-08-31 変位変換装置 Granted JPS6146697U (ja)

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JP13281284U JPS6146697U (ja) 1984-08-31 1984-08-31 変位変換装置

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