JPH09145760A - 静電容量計測装置 - Google Patents
静電容量計測装置Info
- Publication number
- JPH09145760A JPH09145760A JP7304280A JP30428095A JPH09145760A JP H09145760 A JPH09145760 A JP H09145760A JP 7304280 A JP7304280 A JP 7304280A JP 30428095 A JP30428095 A JP 30428095A JP H09145760 A JPH09145760 A JP H09145760A
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- Japan
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- capacitance
- voltage
- cable
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- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定ケーブルに起因する誤差を補正して高精
度化を図る。 【解決手段】 測定信号発生器２の出力を抵抗器２１を
介して、遠端に被測定静電容量４の一端が接続されたケ
ーブル３の近端に供給し、遠端に該容量４の他端が接続
されたケーブル５の近端の信号を容量／電圧変換回路１
２に入力して試料の容量値Ｃｘに対応した電圧に変換
し、容量演算手段１３に入力して測定容量の概略値Ｃ
ｘ′を算出する。差電圧測定回路２２で抵抗器２１の端
子間電圧Ｖｒ＝ｒＩo を測定し、ケーブル長演算手段２
３に入力して、ケーブル長Ｌを演算する。補正量演算手
段２４ではケーブル長Ｌと概略測定値Ｃｘ′とから補正
量ΔＣを演算し、補正手段２５で補正演算（Ｃｘ≒Ｃ
ｘ′＋ΔＣ）を行う。
度化を図る。 【解決手段】 測定信号発生器２の出力を抵抗器２１を
介して、遠端に被測定静電容量４の一端が接続されたケ
ーブル３の近端に供給し、遠端に該容量４の他端が接続
されたケーブル５の近端の信号を容量／電圧変換回路１
２に入力して試料の容量値Ｃｘに対応した電圧に変換
し、容量演算手段１３に入力して測定容量の概略値Ｃ
ｘ′を算出する。差電圧測定回路２２で抵抗器２１の端
子間電圧Ｖｒ＝ｒＩo を測定し、ケーブル長演算手段２
３に入力して、ケーブル長Ｌを演算する。補正量演算手
段２４ではケーブル長Ｌと概略測定値Ｃｘ′とから補正
量ΔＣを演算し、補正手段２５で補正演算（Ｃｘ≒Ｃ
ｘ′＋ΔＣ）を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、静電容量式液面
計などに使用される静電容量計測装置に関し、特に測定
ケーブルに起因する計測誤差の補正技術に関する。
計などに使用される静電容量計測装置に関し、特に測定
ケーブルに起因する計測誤差の補正技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の静電容量計測装置１を図
４を参照して説明する。測定信号発生器２より例えば１
ＫHz,3. ６Ｖ程度の正弦波電圧Ｖ1 が出力端子Ａ，Ａ′
より第１ケーブル３の近端に供給される。第１ケーブル
３の遠端の芯線に被測定静電容量４の一端が接続され、
その他端に第２ケーブル５の遠端の芯線が接続される。
第２ケーブル５の近端は測定端子Ｂ，Ｂ′に接続され
る。第１，第２ケーブル３，５は例えば数１００ｍ程度
のほぼ同じ長さで、同一規格のケーブルである。被測定
静電容量４は例えば液面センサの液位に応じて変化する
静電容量である。
４を参照して説明する。測定信号発生器２より例えば１
ＫHz,3. ６Ｖ程度の正弦波電圧Ｖ1 が出力端子Ａ，Ａ′
より第１ケーブル３の近端に供給される。第１ケーブル
３の遠端の芯線に被測定静電容量４の一端が接続され、
その他端に第２ケーブル５の遠端の芯線が接続される。
第２ケーブル５の近端は測定端子Ｂ，Ｂ′に接続され
る。第１，第２ケーブル３，５は例えば数１００ｍ程度
のほぼ同じ長さで、同一規格のケーブルである。被測定
静電容量４は例えば液面センサの液位に応じて変化する
静電容量である。
【０００３】測定端子Ｂは抵抗器（抵抗値をＲとする）
６を介して演算増幅器７の反転入力端子に接続される。
演算増幅器７の反転入力端子と出力端子との間に並列帰
還用コンデンサ（容量値をＣf とする）８が接続され
る。演算増幅器７の交流出力は整流・平滑回路９で直流
電圧に変換され、更にＡ／Ｄ変換手段でディジタルデー
タに変換され、容量値算出手段１１に入力されて、被測
定静電容量４の容量値Ｃｘが演算される。
６を介して演算増幅器７の反転入力端子に接続される。
演算増幅器７の反転入力端子と出力端子との間に並列帰
還用コンデンサ（容量値をＣf とする）８が接続され
る。演算増幅器７の交流出力は整流・平滑回路９で直流
電圧に変換され、更にＡ／Ｄ変換手段でディジタルデー
タに変換され、容量値算出手段１１に入力されて、被測
定静電容量４の容量値Ｃｘが演算される。
【０００４】抵抗器６，演算増幅器７，コンデンサ８に
より容量／電圧変換回路１２が構成され、また整流・平
滑回路９，Ａ／Ｄ変換手段１０及び容量値算出手段１１
により容量演算部１３が構成される。測定信号発生器２
の出力電圧をＶ1 ，測定端子Ｂの電圧をＶ2 ，演算増幅
器７の出力電圧をＶ3 とする。演算増幅器の性質から、
よく知られているように、 Ｖ3 ／Ｖ2 ＝−Ｚｃ／Ｒ ………… （１） Ｚｃ＝１／ｊωＣf ………… （２） ∴Ｖ3 ／Ｖ2 ＝−１／ｊωＣf Ｒ ………… （３） が成り立つ。ここで、ωは測定信号の角周波数であり、
Ｚｃは並列帰還用コンデンサのインピーダンスである。
より容量／電圧変換回路１２が構成され、また整流・平
滑回路９，Ａ／Ｄ変換手段１０及び容量値算出手段１１
により容量演算部１３が構成される。測定信号発生器２
の出力電圧をＶ1 ，測定端子Ｂの電圧をＶ2 ，演算増幅
器７の出力電圧をＶ3 とする。演算増幅器の性質から、
よく知られているように、 Ｖ3 ／Ｖ2 ＝−Ｚｃ／Ｒ ………… （１） Ｚｃ＝１／ｊωＣf ………… （２） ∴Ｖ3 ／Ｖ2 ＝−１／ｊωＣf Ｒ ………… （３） が成り立つ。ここで、ωは測定信号の角周波数であり、
Ｚｃは並列帰還用コンデンサのインピーダンスである。
【０００５】演算増幅器７自身の利得は極めて大きく、
その入力電圧は微少でほゞゼロであるので、反転入力端
子は仮想接地点となり、Ｐ点の電位はゼロ（共通電位）
と見なすことができるので、電圧Ｖ1 によって、容量
４，抵抗器６を通ってＰ点へ流れる電流Ｉは、 Ｉ＝Ｖ1 ／｛Ｒ＋１／ｊωＣf ｝ ………… （４） となる。ここで抵抗器６は Ｒ＜＜１／ωＣｘ ………… （５） が成り立つように設定されているので、 Ｉ≒ｊωＣｘＶ1 ………… （６） ∴Ｖ2 ＝ＲＩ＝ｊωＣｘＶ1 Ｒ ………… （７） （７）式を（３）式に代入すると、 Ｖ3 ／ｊωＣｘＶ1 Ｒ＝−１／ｊωＣf Ｒ Ｖ3 ＝−ＣｘＶ1 ／Ｃf ………… （８） 被測定容量Ｃｘが容量／電圧変換回路１２により電圧Ｖ
3 に変換されたと見なすことができる。（８）式よりＣ
ｘは Ｃｘ＝−Ｃf Ｖ3 ／Ｖ1 ………… （９） と求められる。
その入力電圧は微少でほゞゼロであるので、反転入力端
子は仮想接地点となり、Ｐ点の電位はゼロ（共通電位）
と見なすことができるので、電圧Ｖ1 によって、容量
４，抵抗器６を通ってＰ点へ流れる電流Ｉは、 Ｉ＝Ｖ1 ／｛Ｒ＋１／ｊωＣf ｝ ………… （４） となる。ここで抵抗器６は Ｒ＜＜１／ωＣｘ ………… （５） が成り立つように設定されているので、 Ｉ≒ｊωＣｘＶ1 ………… （６） ∴Ｖ2 ＝ＲＩ＝ｊωＣｘＶ1 Ｒ ………… （７） （７）式を（３）式に代入すると、 Ｖ3 ／ｊωＣｘＶ1 Ｒ＝−１／ｊωＣf Ｒ Ｖ3 ＝−ＣｘＶ1 ／Ｃf ………… （８） 被測定容量Ｃｘが容量／電圧変換回路１２により電圧Ｖ
3 に変換されたと見なすことができる。（８）式よりＣ
ｘは Ｃｘ＝−Ｃf Ｖ3 ／Ｖ1 ………… （９） と求められる。
【０００６】上記は（１）式、つまり（３）式の関係を
用いて（９）式を求めたが、他の方法でも次のように求
められる。演算増幅器の入力インピーダンスは極めて高
く、入力端子を流れる電流は無視できるので、抵抗器６
からＰ点に流入した電流Ｉはコンデンサ８を流れる。従
って、増幅器７の出力電圧Ｖ3 はコンデンサ８の端子電
圧に等しく、 Ｖ3 ＝（−Ｉ）／ｊωＣf ∴Ｉ＝−ｊωＣf Ｖ3 ………… （10） （６），（１０）式より ｊωＣｘＶ1 ＝−ｊωＣf Ｖ3 Ｖ3 ＝−ＣｘＶ1 ／Ｃf ∴Ｃｘ＝−Ｃf Ｖ3 ／Ｖ1 となり（９）式と同じ式が得られる。
用いて（９）式を求めたが、他の方法でも次のように求
められる。演算増幅器の入力インピーダンスは極めて高
く、入力端子を流れる電流は無視できるので、抵抗器６
からＰ点に流入した電流Ｉはコンデンサ８を流れる。従
って、増幅器７の出力電圧Ｖ3 はコンデンサ８の端子電
圧に等しく、 Ｖ3 ＝（−Ｉ）／ｊωＣf ∴Ｉ＝−ｊωＣf Ｖ3 ………… （10） （６），（１０）式より ｊωＣｘＶ1 ＝−ｊωＣf Ｖ3 Ｖ3 ＝−ＣｘＶ1 ／Ｃf ∴Ｃｘ＝−Ｃf Ｖ3 ／Ｖ1 となり（９）式と同じ式が得られる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の計測装置の測定
誤差について実験、検討したところ、例えば図５に示す
ようにケーブル長Ｌに応じて、増大することが分かっ
た。図の誤差εは ε＝（真値−計測値）／真値 ………… （11） として定義される。
誤差について実験、検討したところ、例えば図５に示す
ようにケーブル長Ｌに応じて、増大することが分かっ
た。図の誤差εは ε＝（真値−計測値）／真値 ………… （11） として定義される。
【０００８】この発明は、測定用ケーブルに起因する測
定誤差を補正した、高精度の計測装置を提供することを
目的とする。
定誤差を補正した、高精度の計測装置を提供することを
目的とする。
【０００９】
（１）請求項１の発明では、ほぼ同じ長さを有する第
１，第２ケーブルの各遠端の芯線間に接続された被測定
静電容量を、それらケーブルの近端側より測定する静電
容量計測装置において、測定信号発生器と、その測定信
号発生器の出力端と前記第１ケーブルの近端の芯線との
間に接続された抵抗器と、第２ケーブルの近端に縦続接
続され、被測定静電容量値を電圧に変換する容量／電圧
変換回路と、その容量／電圧変換回路の出力から、被測
定静電容量の概略値を演算する容量演算手段と、抵抗器
の端子間電圧を測定する手段と、その測定された端子間
電圧より、第１，第２ケーブルの長さを演算する手段
と、その演算されたケーブル長と、静電容量概略値とか
ら、補正容量値を演算する手段と、その演算された補正
容量値を用いて静電容量概略値を補正・演算して、測定
値を得る補正手段とが設けられる。
１，第２ケーブルの各遠端の芯線間に接続された被測定
静電容量を、それらケーブルの近端側より測定する静電
容量計測装置において、測定信号発生器と、その測定信
号発生器の出力端と前記第１ケーブルの近端の芯線との
間に接続された抵抗器と、第２ケーブルの近端に縦続接
続され、被測定静電容量値を電圧に変換する容量／電圧
変換回路と、その容量／電圧変換回路の出力から、被測
定静電容量の概略値を演算する容量演算手段と、抵抗器
の端子間電圧を測定する手段と、その測定された端子間
電圧より、第１，第２ケーブルの長さを演算する手段
と、その演算されたケーブル長と、静電容量概略値とか
ら、補正容量値を演算する手段と、その演算された補正
容量値を用いて静電容量概略値を補正・演算して、測定
値を得る補正手段とが設けられる。
【００１０】（２）請求項２の発明は、前記（１）にお
いて、ケーブル長演算手段が、第１，第２ケーブルの長
さと抵抗器の端子間電圧との対応テーブルを格納したメ
モリを有するものである。 （３）請求項３の発明は、前記（１）において、補正量
演算手段が、補正量とケーブル長との対応テーブルを格
納したメモリを有するものである。
いて、ケーブル長演算手段が、第１，第２ケーブルの長
さと抵抗器の端子間電圧との対応テーブルを格納したメ
モリを有するものである。 （３）請求項３の発明は、前記（１）において、補正量
演算手段が、補正量とケーブル長との対応テーブルを格
納したメモリを有するものである。
【００１１】（４）請求項４の発明は、前記（１）にお
いて、容量／電圧変換回路が演算増幅器と、その演算増
幅器の逆相入力端子に接続された入力抵抗器と、該演算
増幅器の逆相入力端子と出力端子との間に接続されたコ
ンデンサとを具備するものである。 （５）請求項５の発明は、前記（４）において、容量演
算手段が、容量／電圧変換手段の出力を整流・平滑する
回路と、その回路の出力をＡ／Ｄ変換する手段と、その
変換されたディジタルデータより被測定静電容量の概略
値を算出する容量値算出手段とより成るものである。
いて、容量／電圧変換回路が演算増幅器と、その演算増
幅器の逆相入力端子に接続された入力抵抗器と、該演算
増幅器の逆相入力端子と出力端子との間に接続されたコ
ンデンサとを具備するものである。 （５）請求項５の発明は、前記（４）において、容量演
算手段が、容量／電圧変換手段の出力を整流・平滑する
回路と、その回路の出力をＡ／Ｄ変換する手段と、その
変換されたディジタルデータより被測定静電容量の概略
値を算出する容量値算出手段とより成るものである。
【００１２】（６）請求項６の発明は、前記（４）及び
（５）において、容量値算出手段が、Ａ／Ｄ変換手段の
出力データと、抵抗器の出力端の電圧（Ｖ1 ）情報と、
容量／電圧変換回路のコンデンサの容量とから被測定静
電容量の概略値を演算するものである。
（５）において、容量値算出手段が、Ａ／Ｄ変換手段の
出力データと、抵抗器の出力端の電圧（Ｖ1 ）情報と、
容量／電圧変換回路のコンデンサの容量とから被測定静
電容量の概略値を演算するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１の実施例を参照して発明の実
施の形態を説明する。図１には図４と対応する部分に同
じ符号を付けて示し、重複説明を省略する。種々の実
験、検討を重ねた結果、ケーブルの芯線と外部導体との
間の分布容量は同軸ケーブルの場合、例えば４４０００
ｐＦ／Kmであり、被測定容量値Ｃｘのオーダ（２０００
ｐＦ程度以下）に比べて極めて大きく、端子Ａから芯線
へ流れる電流Ｉ0 のほとんどは芯線から分布容量を通っ
て外部導体（アース）に流れるので、被測定容量値Ｃｘ
によらず、第１ケーブル３の長さに応じて増加し、長さ
によって決定されることが分かった。
施の形態を説明する。図１には図４と対応する部分に同
じ符号を付けて示し、重複説明を省略する。種々の実
験、検討を重ねた結果、ケーブルの芯線と外部導体との
間の分布容量は同軸ケーブルの場合、例えば４４０００
ｐＦ／Kmであり、被測定容量値Ｃｘのオーダ（２０００
ｐＦ程度以下）に比べて極めて大きく、端子Ａから芯線
へ流れる電流Ｉ0 のほとんどは芯線から分布容量を通っ
て外部導体（アース）に流れるので、被測定容量値Ｃｘ
によらず、第１ケーブル３の長さに応じて増加し、長さ
によって決定されることが分かった。
【００１４】この発明では、第１ケーブル３の近端の芯
線に送出する電流Ｉ0 に比例した電圧Ｖｒを測定するた
めに、測定信号発生器２の出力側に直列に抵抗器２１が
接続される。抵抗器２１の出力端の電圧Ｖ1 はＡ／Ｄ変
換器２６でディジタルデータに変換されて容量値算出手
段１１に与えられる。容量値算出手段１１は従来と同様
にして被測定静電容量４の概略値Ｃｘ′を算出する。
線に送出する電流Ｉ0 に比例した電圧Ｖｒを測定するた
めに、測定信号発生器２の出力側に直列に抵抗器２１が
接続される。抵抗器２１の出力端の電圧Ｖ1 はＡ／Ｄ変
換器２６でディジタルデータに変換されて容量値算出手
段１１に与えられる。容量値算出手段１１は従来と同様
にして被測定静電容量４の概略値Ｃｘ′を算出する。
【００１５】抵抗器２１の端子間電圧Ｖｒは差電圧測定
回路２２で測定され、ケーブル長演算手段２３に入力さ
れる。ケーブル長演算手段２３では、図２に示すように
予め実験により得られたケーブル長Ｌ対電圧Ｖｒ特性Ｌ
＝ｆ（Ｖｒ）よりケーブル長Ｌを推定する。Ｌ対Ｖｒの
テーブルは内蔵のメモリに格納されている。補正量演算
手段２４では、従来（図４）と同様の容量演算手段１３
で求めた被測定静電容量４の概略値Ｃｘ′と、ケーブル
長演算手段２３で推定したケーブル長Ｌとから、図３に
示すように、予め実験的に求めた、概略値Ｃｘ′の代表
値、例えば２０００，１５００，１０００，５００，１
００ｐＦをパラメータとした補正量ΔＣ対ケーブル長Ｌ
特性ΔＣ＝Ｇｉ（Ｌ）より求める。概略値Ｃｘ′が、例
えば２０００ｐＦと１５００ｐＦの間にある場合は、補
間演算して補正量ΔＣを求める。補正量ΔＣ対ケーブル
長Ｌのテーブルは補正量演算手段２４内のメモリに格納
されている。
回路２２で測定され、ケーブル長演算手段２３に入力さ
れる。ケーブル長演算手段２３では、図２に示すように
予め実験により得られたケーブル長Ｌ対電圧Ｖｒ特性Ｌ
＝ｆ（Ｖｒ）よりケーブル長Ｌを推定する。Ｌ対Ｖｒの
テーブルは内蔵のメモリに格納されている。補正量演算
手段２４では、従来（図４）と同様の容量演算手段１３
で求めた被測定静電容量４の概略値Ｃｘ′と、ケーブル
長演算手段２３で推定したケーブル長Ｌとから、図３に
示すように、予め実験的に求めた、概略値Ｃｘ′の代表
値、例えば２０００，１５００，１０００，５００，１
００ｐＦをパラメータとした補正量ΔＣ対ケーブル長Ｌ
特性ΔＣ＝Ｇｉ（Ｌ）より求める。概略値Ｃｘ′が、例
えば２０００ｐＦと１５００ｐＦの間にある場合は、補
間演算して補正量ΔＣを求める。補正量ΔＣ対ケーブル
長Ｌのテーブルは補正量演算手段２４内のメモリに格納
されている。
【００１６】補正手段２５では、概略値Ｃｘ′に補正量
ΔＣを加算して、補正された容量値Ｃｘ＝Ｃｘ′＋ΔＣ
を最終測定データとして得る。以上の説明では、抵抗器
２１の出力端の電圧Ｖ1 のデータをＡ／Ｄ変換手段２６
を介して容量値算出手段１１に与えるものとしたが、初
期セッティングにおいて、出力電圧Ｖ1 を所定値に設定
するようにして、Ｖ1 を既知データとし、Ａ／Ｄ変換手
段２６を省略してもよい。
ΔＣを加算して、補正された容量値Ｃｘ＝Ｃｘ′＋ΔＣ
を最終測定データとして得る。以上の説明では、抵抗器
２１の出力端の電圧Ｖ1 のデータをＡ／Ｄ変換手段２６
を介して容量値算出手段１１に与えるものとしたが、初
期セッティングにおいて、出力電圧Ｖ1 を所定値に設定
するようにして、Ｖ1 を既知データとし、Ａ／Ｄ変換手
段２６を省略してもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
送出電流Ｉ0 に対応した電圧Ｖｒからケーブル長Ｌを推
定し、そのケーブル長Ｌと、従来と同様にして測定した
被測定静電容量の概略値Ｃｘ′とから補正量ΔＣを求め
て補正するようにしたので、測定ケーブルに起因する誤
差のほとんどない、高精度の計測装置が得られる。
送出電流Ｉ0 に対応した電圧Ｖｒからケーブル長Ｌを推
定し、そのケーブル長Ｌと、従来と同様にして測定した
被測定静電容量の概略値Ｃｘ′とから補正量ΔＣを求め
て補正するようにしたので、測定ケーブルに起因する誤
差のほとんどない、高精度の計測装置が得られる。
【図１】この発明の実施例を示すブロック図。
【図２】図１の測定用ケーブル３（４）の長さＬと抵抗
器２１の端子間電圧Ｖｒとの関係を示すグラフ。
器２１の端子間電圧Ｖｒとの関係を示すグラフ。
【図３】図１の測定用ケーブル３（４）の長さＬと補正
量ΔＣとの関係を示すグラフ。
量ΔＣとの関係を示すグラフ。
【図４】従来の静電容量計測装置のブロック図。
【図５】図４の装置の測定誤差とケーブル長Ｌとの関係
を示すグラフ。
を示すグラフ。
Claims (6)
- 【請求項１】 ほぼ同じ長さを有する第１，第２ケーブ
ルの各遠端の芯線間に接続された被測定静電容量を、そ
れらケーブルの近端側より測定する静電容量計測装置に
おいて、 測定信号発生器と、その測定信号発生器の出力端と前記
第１ケーブルの近端の芯線との間に接続された抵抗器
と、 前記第２ケーブルの近端に縦続接続され、被測定静電容
量値を電圧に変換する容量／電圧変換回路と、 その容量／電圧変換回路の出力から、被測定静電容量の
概略値を演算する容量演算手段と、 前記抵抗器の端子間電圧を測定する手段と、 その測定された端子間電圧より、前記第１，第２ケーブ
ルの長さを演算する手段と、 その演算されたケーブル長と、前記静電容量概略値とか
ら、補正容量値を演算する手段と、 その演算された補正容量値を用いて前記静電容量概略値
を補正・演算して、測定値を得る補正手段と、 を具備することを特徴とする静電容量計測装置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記ケーブル長演算
手段が、前記第１，第２ケーブルの長さと前記抵抗器の
端子間電圧との対応テーブルを格納したメモリを有する
ことを特徴とする静電容量計測装置。 - 【請求項３】 請求項１において、前記補正量演算手段
が、補正量とケーブル長との対応テーブルを格納したメ
モリを有することを特徴とする静電容量計測装置。 - 【請求項４】 請求項１において、前記容量／電圧変換
回路が、演算増幅器と、その演算増幅器の逆相入力端子
に接続された入力抵抗器と、該演算増幅器の逆相入力端
子と出力端子との間に接続されたコンデンサとを具備す
ることを特徴とする静電容量計測装置。 - 【請求項５】 請求項４において、前記容量演算手段
が、前記容量／電圧変換手段の出力を整流・平滑する回
路と、その回路の出力をＡ／Ｄ変換する手段と、その変
換されたディジタルデータより被測定静電容量の概略値
を算出する容量値算出手段とより成ることを特徴とする
静電容量計測装置。 - 【請求項６】 請求項４及び５において、前記容量値算
出手段が、前記Ａ／Ｄ変換手段の出力データと、前記抵
抗器の出力端の電圧（Ｖ1 ）情報と、前記容量／電圧変
換回路のコンデンサの容量とから被測定静電容量の概略
値を演算することを特徴とする静電容量計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7304280A JP3025837B2 (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 静電容量計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7304280A JP3025837B2 (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 静電容量計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09145760A true JPH09145760A (ja) | 1997-06-06 |
| JP3025837B2 JP3025837B2 (ja) | 2000-03-27 |
Family
ID=17931141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7304280A Expired - Fee Related JP3025837B2 (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 静電容量計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3025837B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012002538A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Tohoku Electric Power Co Inc | 電力系統における対地静電容量の測定装置 |
| US9109876B2 (en) | 2008-11-03 | 2015-08-18 | Koninklijke Philips N.V. | Device for measuring a fluid meniscus |
| CN106093642A (zh) * | 2016-06-08 | 2016-11-09 | 福州大学 | 一种任意交流载波下的电容特性测量电路及其方法 |
| WO2019216274A1 (ja) * | 2018-05-08 | 2019-11-14 | 株式会社エヌエフ回路設計ブロック | 静電容量測定回路及び静電容量変位計 |
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| JP3025837B2 (ja) | 2000-03-27 |
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