JPH0120647Y2 - - Google Patents
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- JPH0120647Y2 JPH0120647Y2 JP1982147778U JP14777882U JPH0120647Y2 JP H0120647 Y2 JPH0120647 Y2 JP H0120647Y2 JP 1982147778 U JP1982147778 U JP 1982147778U JP 14777882 U JP14777882 U JP 14777882U JP H0120647 Y2 JPH0120647 Y2 JP H0120647Y2
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 15
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 13
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 12
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 12
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 12
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、圧力、差圧等の被測定量に対応して
容量が差動的に変化する一対の可変コンデンサを
センサとして用い、被測定量を電気信号に変換す
る容量式変換装置の改良に関する。
容量が差動的に変化する一対の可変コンデンサを
センサとして用い、被測定量を電気信号に変換す
る容量式変換装置の改良に関する。
従来の容量式変換装置の一例を第１図に示す。
第１図において、被測定量に応じて容量が差動的
に変化するセンサ部１０の一対の可変コンデンサ
C1，C2には１次巻線n1と２次巻線n2，n3を有する
トランスＴを介して発振器２０の発振出力が与え
られているので、それぞれの容量に応じた交流電
流i1，i2が流れる。交流電流i1，i2は整流用ダイオ
ードD1，D2，D3，D4および平滑用コンデンサ
Cf0，Cf1，Cf2によつて整流平滑される。したが
つて、抵抗r0には交流電流i1，i2の差すなわち容
量C1，C2の差に対応した平均値電流I0が流れ、ま
た抵抗r1，r2にはそれぞれ交流電流i1，i2に対応
した平均値電流I1，I2が図示の極性で流れる。さ
らに抵抗r1，r2は抵抗r3，r4とともに直流電源Er
に直列に接続され、基準の直流電流Isが前記平均
値電流I1，I2とは逆方向に供給されている。よつ
て抵抗r1，r2の直列回路の両端には、平均値電流
I1，I2の和電流と基準の直流電流Isの差に対応し
た電圧が生じ、この差電圧が差動増幅器Ａに加え
られる。差動増幅器Ａは前記差電圧が零になるよ
うに発振器２０の電源電圧を制御し、発振出力の
振幅や周波数等の影響を除去して抵抗r0の両端に
次式に示す如き出力電圧V0を得ている。
第１図において、被測定量に応じて容量が差動的
に変化するセンサ部１０の一対の可変コンデンサ
C1，C2には１次巻線n1と２次巻線n2，n3を有する
トランスＴを介して発振器２０の発振出力が与え
られているので、それぞれの容量に応じた交流電
流i1，i2が流れる。交流電流i1，i2は整流用ダイオ
ードD1，D2，D3，D4および平滑用コンデンサ
Cf0，Cf1，Cf2によつて整流平滑される。したが
つて、抵抗r0には交流電流i1，i2の差すなわち容
量C1，C2の差に対応した平均値電流I0が流れ、ま
た抵抗r1，r2にはそれぞれ交流電流i1，i2に対応
した平均値電流I1，I2が図示の極性で流れる。さ
らに抵抗r1，r2は抵抗r3，r4とともに直流電源Er
に直列に接続され、基準の直流電流Isが前記平均
値電流I1，I2とは逆方向に供給されている。よつ
て抵抗r1，r2の直列回路の両端には、平均値電流
I1，I2の和電流と基準の直流電流Isの差に対応し
た電圧が生じ、この差電圧が差動増幅器Ａに加え
られる。差動増幅器Ａは前記差電圧が零になるよ
うに発振器２０の電源電圧を制御し、発振出力の
振幅や周波数等の影響を除去して抵抗r0の両端に
次式に示す如き出力電圧V0を得ている。
V0＝C1−C2／C1＋C2Isr0 ……(1)
一方、センサ部１０の可変コンデンサC1，C2
は、被測定量に応じて変位する可動電極１１と、
この可動電極１１に対向配置された２個の固定電
極１２，１３とで形成されており、これら電極は
ケース１４に収納されている。そして可動電極１
１と固定電極１２間の容量および可動電極１１と
固定電極１３間の容量は、可動電極１１の変位量
ｘに対し、ｘ＝０のときの初期容量をC0、可動
電極１１と固定電極１２，１３間の基準間隔をｄ
とすると、C0ｄ／ｄ−ｘおよびC0ｄ／ｄ＋ｘで表わさ れる。ところで、可動電極１１とケース１４が接
地されているため、固定電極１２とケース１４間
および固定電極１３とケース１４間にそれぞれ固
定容量Csがある。したがつて、一対の可変コンデ
ンサC1，C2の容量はそれぞれ次式で与えられる。
は、被測定量に応じて変位する可動電極１１と、
この可動電極１１に対向配置された２個の固定電
極１２，１３とで形成されており、これら電極は
ケース１４に収納されている。そして可動電極１
１と固定電極１２間の容量および可動電極１１と
固定電極１３間の容量は、可動電極１１の変位量
ｘに対し、ｘ＝０のときの初期容量をC0、可動
電極１１と固定電極１２，１３間の基準間隔をｄ
とすると、C0ｄ／ｄ−ｘおよびC0ｄ／ｄ＋ｘで表わさ れる。ところで、可動電極１１とケース１４が接
地されているため、固定電極１２とケース１４間
および固定電極１３とケース１４間にそれぞれ固
定容量Csがある。したがつて、一対の可変コンデ
ンサC1，C2の容量はそれぞれ次式で与えられる。
C1＝C0ｄ／ｄ−ｘ＋Cs ……(2)
C2＝C0ｄ／ｄ＋ｘ＋Cs ……(3)
よつて、出力電圧V0は、
V0＝ｘ／ｄ・１／１＋Cs／Cp・d2−x2／d2・Isr0……
(4) となり、固定容量CSによる影響を受け、直線性が
悪かつた。
(4) となり、固定容量CSによる影響を受け、直線性が
悪かつた。
そこで、補償用コンデンサを設け、この補償用
コンデンサにも発振器出力を与え、その容量に応
じた交流電流を整流平滑して補償電流を得、この
補償電流を基準電流に加えることによつて、固定
容量Csの影響を除去するようにしたものもある
が、この場合も補償用コンデンサとして固定容量
と温度係数の同じものを用いないと誤差になる欠
点があつた。
コンデンサにも発振器出力を与え、その容量に応
じた交流電流を整流平滑して補償電流を得、この
補償電流を基準電流に加えることによつて、固定
容量Csの影響を除去するようにしたものもある
が、この場合も補償用コンデンサとして固定容量
と温度係数の同じものを用いないと誤差になる欠
点があつた。
本考案は、被測定量に応じて変位する可動電極
とこの可動電極に対向配置された第１、第２の固
定電極とで一対の可変コンデンサを形成し、これ
ら一対の可変コンデンサを収納するケースと前記
可動電極とが接地されているセンサ部を用いたも
のにおいて、前記第１、第２の固定電極をそれぞ
れトランスの第１、第２の２次巻線を介して第
１、第２の反転形増幅整流回路を形成する第１、
第２の演算増幅器の反転入力端子に接続するとと
もに、前記センサ部のケースと第１、第２の固定
電極との間に第１、第２のシールドを設け、これ
ら第１、第２のシールドをそれぞれ前記第１、第
２の演算増幅器の反転入力端子に接続することに
よつて、センサ部の固定容量の影響を有効に除去
できる容量式変換装置を実現したものである。
とこの可動電極に対向配置された第１、第２の固
定電極とで一対の可変コンデンサを形成し、これ
ら一対の可変コンデンサを収納するケースと前記
可動電極とが接地されているセンサ部を用いたも
のにおいて、前記第１、第２の固定電極をそれぞ
れトランスの第１、第２の２次巻線を介して第
１、第２の反転形増幅整流回路を形成する第１、
第２の演算増幅器の反転入力端子に接続するとと
もに、前記センサ部のケースと第１、第２の固定
電極との間に第１、第２のシールドを設け、これ
ら第１、第２のシールドをそれぞれ前記第１、第
２の演算増幅器の反転入力端子に接続することに
よつて、センサ部の固定容量の影響を有効に除去
できる容量式変換装置を実現したものである。
第２図は本考案装置の一実施例を示す接続図で
ある。第２図において、１０はセンサ部、２０は
発振器、３０，４０はそれぞれ反転形増幅整流回
路、５０は積分器、６０は電流電圧変換回路であ
る。
ある。第２図において、１０はセンサ部、２０は
発振器、３０，４０はそれぞれ反転形増幅整流回
路、５０は積分器、６０は電流電圧変換回路であ
る。
センサ部１０には、固定電極１２とケース１４
との間にシールド１５が、固定電極１３とケース
１４との間にシールド１６がそれぞれ設けられて
いる。センサ部１０の固定電極１２はトランスＴ
の２次巻線n2を介して反転形増幅整流回路３０を
形成する演算増幅器P1の反転入力端子（−）
に、また固定電極１３はトランスＴの２次巻線n3
を介して反転形増幅整流回路４０を形成する演算
増幅器P2の反転入力端子（−）にそれぞれ接
続されている。またシールド１５，１６も演算増
幅器P1，P2の反転入力端子（−）に接続さ
れている。センサ部１０の可動電極１１はコンデ
ンサC0を介して回路コモンに接続されている。
反転形増幅整流回路３０は、P1の出力をP1
の反転入力端子（−）に帰環するためのダイオー
ドD1と抵抗R1の直列回路およびD1とは逆極性に
接続されたダイオードD2と抵抗R2の直列回路と
を有しており、入力された交流電流を整流し、互
いに逆方向の整流電流Ia1，Ia2を抵抗R5，R6に流
す。反転形増幅整流回路４０は、P2の出力を
ＯP2の反転入力端子（−）に帰還するためのダ
イオードD3と抵抗R3の直列回路およびD3とは逆
極性に接続されたダイオードD4と抵抗R4の直列
回路とを有しており、入力された交流電流を整流
し、同方向の整流電流Ib1，Ib2を抵抗R7，R8に流
す。またP1，P2の非反転入力端子（＋）は
共に回路コモンに接続されている。したがつて、
ＯP1，P2は反転入力端子（−）を常に回路コ
モンの電位に保つている。反転形増幅整流回路３
０の抵抗R5を流れる整流電流Ia1が積分器５０に、
R6を流れる整流電流Ia2が電流電圧変換回路６０
にそれぞれ与えられる。反転形増幅整流回路４０
の抵抗R7を流れる整流電流Ib1が積分器５０に前
記電流Ia1と同方向に与えられ、R8を流れる整流
電流Ib2が電流電圧変換回路６０に前記電流Ia2と
は逆方向に与えられる。積分器５０は演算増幅器
ＯP3とその帰還回路に接続された積分コンデン
サCIとからなり、その入力端子（−）に与えられ
る整流電流Ia1とIb1の和と、これら電流とは逆方
向に基準電圧源Erから抵抗R9を介して与えられ
る基準電流Irとを加算積分し、その出力で発振器
２０を制御する。電流電圧変換回路６０は演算増
幅器P4とその帰還回路に接続された抵抗R0と
からなり、その入力端子（−）に与えられる整流
電流Ia2とIb2との差を出力電圧E0に変換する。
との間にシールド１５が、固定電極１３とケース
１４との間にシールド１６がそれぞれ設けられて
いる。センサ部１０の固定電極１２はトランスＴ
の２次巻線n2を介して反転形増幅整流回路３０を
形成する演算増幅器P1の反転入力端子（−）
に、また固定電極１３はトランスＴの２次巻線n3
を介して反転形増幅整流回路４０を形成する演算
増幅器P2の反転入力端子（−）にそれぞれ接
続されている。またシールド１５，１６も演算増
幅器P1，P2の反転入力端子（−）に接続さ
れている。センサ部１０の可動電極１１はコンデ
ンサC0を介して回路コモンに接続されている。
反転形増幅整流回路３０は、P1の出力をP1
の反転入力端子（−）に帰環するためのダイオー
ドD1と抵抗R1の直列回路およびD1とは逆極性に
接続されたダイオードD2と抵抗R2の直列回路と
を有しており、入力された交流電流を整流し、互
いに逆方向の整流電流Ia1，Ia2を抵抗R5，R6に流
す。反転形増幅整流回路４０は、P2の出力を
ＯP2の反転入力端子（−）に帰還するためのダ
イオードD3と抵抗R3の直列回路およびD3とは逆
極性に接続されたダイオードD4と抵抗R4の直列
回路とを有しており、入力された交流電流を整流
し、同方向の整流電流Ib1，Ib2を抵抗R7，R8に流
す。またP1，P2の非反転入力端子（＋）は
共に回路コモンに接続されている。したがつて、
ＯP1，P2は反転入力端子（−）を常に回路コ
モンの電位に保つている。反転形増幅整流回路３
０の抵抗R5を流れる整流電流Ia1が積分器５０に、
R6を流れる整流電流Ia2が電流電圧変換回路６０
にそれぞれ与えられる。反転形増幅整流回路４０
の抵抗R7を流れる整流電流Ib1が積分器５０に前
記電流Ia1と同方向に与えられ、R8を流れる整流
電流Ib2が電流電圧変換回路６０に前記電流Ia2と
は逆方向に与えられる。積分器５０は演算増幅器
ＯP3とその帰還回路に接続された積分コンデン
サCIとからなり、その入力端子（−）に与えられ
る整流電流Ia1とIb1の和と、これら電流とは逆方
向に基準電圧源Erから抵抗R9を介して与えられ
る基準電流Irとを加算積分し、その出力で発振器
２０を制御する。電流電圧変換回路６０は演算増
幅器P4とその帰還回路に接続された抵抗R0と
からなり、その入力端子（−）に与えられる整流
電流Ia2とIb2との差を出力電圧E0に変換する。
このように構成した本考案において、発振器２
０の発振出力がトランスＴの１次巻線n1に与えら
れると、２次巻線n2，n3に誘起する電圧が可動電
極１１と固定電極１２間の容量（C0ｄ／ｄ−ｘ）お よび可動電極１１と固定電極１３間の容量（C0
ｄ／ｄ＋ｘ）に印加されるとともに、固定電極１２ とシールド１５間の容量Cg1および固定電極１３
とシールド１６間の容量Cg2にも印加されるが、
シールド１５，１６がそれぞれP1，P2の反
転入力端子（−）に接続されているので、Cg1を
流れる電流i′1はn2−固定電極１２−シールド１５
−n2の経路をとり、Cg2を流れる電流i′2はn3−固
定電極１３−シールド１６−n3の経路をとり、そ
れぞれ反転形増幅整流回路３０，４０には流れな
い。したがつて反転形増幅整流回路３０は可動電
極１１と固定電極１２間の容量（C0ｄ／ｄ−ｘ）の みに関連した交流電流i1を増幅整流して、抵抗
R5，R6にそれぞれ整流電流Ia1，Ia2を流す。また
反転形増幅整流回路４０は可動電極１１と固定電
極１３間の容量（C0ｄ／ｄ＋ｘ）のみに関連した交 流電流i2を増幅整流して、抵抗R7，R8にそれぞれ
整流電流Ib1，Ib2を流す。ここで、トランスＴの
２次巻線n2，n3間に発生する交流電圧の波高値を
EB、周期をＴとし、かつC0≫C1，C2，R1＝R5，
R2＝R6，R3＝R7，R4＝R8，n2＝n3とすると、整
流されて得られる電流の平均値Ia1，Ia2，Ib1，
Ib2はそれぞれ次式で与えられる。
０の発振出力がトランスＴの１次巻線n1に与えら
れると、２次巻線n2，n3に誘起する電圧が可動電
極１１と固定電極１２間の容量（C0ｄ／ｄ−ｘ）お よび可動電極１１と固定電極１３間の容量（C0
ｄ／ｄ＋ｘ）に印加されるとともに、固定電極１２ とシールド１５間の容量Cg1および固定電極１３
とシールド１６間の容量Cg2にも印加されるが、
シールド１５，１６がそれぞれP1，P2の反
転入力端子（−）に接続されているので、Cg1を
流れる電流i′1はn2−固定電極１２−シールド１５
−n2の経路をとり、Cg2を流れる電流i′2はn3−固
定電極１３−シールド１６−n3の経路をとり、そ
れぞれ反転形増幅整流回路３０，４０には流れな
い。したがつて反転形増幅整流回路３０は可動電
極１１と固定電極１２間の容量（C0ｄ／ｄ−ｘ）の みに関連した交流電流i1を増幅整流して、抵抗
R5，R6にそれぞれ整流電流Ia1，Ia2を流す。また
反転形増幅整流回路４０は可動電極１１と固定電
極１３間の容量（C0ｄ／ｄ＋ｘ）のみに関連した交 流電流i2を増幅整流して、抵抗R7，R8にそれぞれ
整流電流Ib1，Ib2を流す。ここで、トランスＴの
２次巻線n2，n3間に発生する交流電圧の波高値を
EB、周期をＴとし、かつC0≫C1，C2，R1＝R5，
R2＝R6，R3＝R7，R4＝R8，n2＝n3とすると、整
流されて得られる電流の平均値Ia1，Ia2，Ib1，
Ib2はそれぞれ次式で与えられる。
Ia＝Ia1＝Ia2＝１／Ｔ・2EB・C0ｄ／ｄ−ｘ(5)
Ib＝Ib1＝Ib2＝１／Ｔ・2EB・C0ｄ／ｄ＋ｘ(6)
そして積分器５０はその入力電流が零になるよ
うに発振器２０の発振出力を制御するので、 １／Ｔ・2EBC0d（１／ｄ−ｘ＋１／ｄ＋ｘ）＝Ir (7) が成立する。よつて、Ia，Ibは次式の如く表わす
ことができる。
うに発振器２０の発振出力を制御するので、 １／Ｔ・2EBC0d（１／ｄ−ｘ＋１／ｄ＋ｘ）＝Ir (7) が成立する。よつて、Ia，Ibは次式の如く表わす
ことができる。
Ia＝ｄ＋ｘ／2d・Ir ……(8)
Ib＝ｄ−ｘ／2d・Ir ……(9)
IaとIbの差を電圧に変換する電流電圧変換回路
６０の出力電圧E0は、 E0＝R0（Ia−Ib）＝ｘ／ｄ・R0・Ir となり、可動電極１１の変位量ｘすなわち被測定
量に正確に対応したものとなる。
６０の出力電圧E0は、 E0＝R0（Ia−Ib）＝ｘ／ｄ・R0・Ir となり、可動電極１１の変位量ｘすなわち被測定
量に正確に対応したものとなる。
なお、図示の如くトランスＴの２次巻線n2，n3
が接続される点Ａ，ＢにシールドS1，S2と設け、
このシールドS1，S2もP1，P2の反転入力端
子（−）に接続すれば、Ａ点と回路コモン間のス
トレイ容量およびＢ点と回路コモン間のストレイ
容量の影響も有効に除去できる。
が接続される点Ａ，ＢにシールドS1，S2と設け、
このシールドS1，S2もP1，P2の反転入力端
子（−）に接続すれば、Ａ点と回路コモン間のス
トレイ容量およびＢ点と回路コモン間のストレイ
容量の影響も有効に除去できる。
以上説明したように本考案では、被測定量に応
じて変位する可動電極とこの可動電極に対向配置
された第１、第２の固定電極とで一対の可変コン
デンサを形成し、これら一対の可変コンデンサを
収納するケースと前記可動電極とが接地されてい
るセンサ部を用いたものにおいて、前記第１、第
２の固定電極をそれぞれトランスの第１、第２の
２次巻線を介して第１、第２の反転形増幅整流回
路を形成する第１、第２の演算増幅器の反転入力
端子に接続するとともに、前記センサ部のケース
と第１、第２の固定電極との間に第１、第２のシ
ールドを設け、これら第１、第２のシールドもそ
れぞれ前記第１、第２の演算増幅器の反転入力端
子に接続しているので、センサ部の固定容量の影
響を有効に除去できる容量式変換装置が得られ
る。
じて変位する可動電極とこの可動電極に対向配置
された第１、第２の固定電極とで一対の可変コン
デンサを形成し、これら一対の可変コンデンサを
収納するケースと前記可動電極とが接地されてい
るセンサ部を用いたものにおいて、前記第１、第
２の固定電極をそれぞれトランスの第１、第２の
２次巻線を介して第１、第２の反転形増幅整流回
路を形成する第１、第２の演算増幅器の反転入力
端子に接続するとともに、前記センサ部のケース
と第１、第２の固定電極との間に第１、第２のシ
ールドを設け、これら第１、第２のシールドもそ
れぞれ前記第１、第２の演算増幅器の反転入力端
子に接続しているので、センサ部の固定容量の影
響を有効に除去できる容量式変換装置が得られ
る。
第１図は従来装置の一例を示す接続図、第２図
は本考案装置の一実施例を示す接続図である。 １０……センサ部、２０……発振器、３０，４
０……反転形増幅整流回路、５０……積分器、６
０……電流電圧変換回路、Ｔ……トランス、１１
……可動電極、１２，１３……固定電極、１４…
…ケース、１５，１６……シールド。
は本考案装置の一実施例を示す接続図である。 １０……センサ部、２０……発振器、３０，４
０……反転形増幅整流回路、５０……積分器、６
０……電流電圧変換回路、Ｔ……トランス、１１
……可動電極、１２，１３……固定電極、１４…
…ケース、１５，１６……シールド。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被測定量に応じて変位する可動電極とこの可動
電極に対向配置された第１、第２の固定電極とで
一対の可変コンデンサを形成し、これら一対の可
変コンデンサを収納するケースと前記可動電極と
が接地されているセンサ部と、前記第１の固定電
極をトランスの第１の２次巻線を介して第１の反
転形増幅整流回路を形成する第１の演算増幅器の
反転入力端子に接続する手段と、前記第２の固定
電極をトランスの第２の２次巻線を介して第２の
反転形増幅整流回路を形成する第２の演算増幅器
の反転入力端子に接続する手段と、前記第１、第
２の演算増幅器の非反転入力端子を基準点に接続
する手段と、前記トランスの１次巻線に発振出力
を印加する発振器と、前記第１、第２の反転形増
幅整流回路の出力電流の和と基準電流との差を積
分し、その積分結果で前記発振器を制御する積分
器と、前記第１、第２の反転形増幅整流回路の出
力電流の差を出力電圧に変換する電流電圧変換回
路とを有する容量式変換装置であつて、 前記センサ部のケースと第１、第２の固定電極
との間に第１、第２のシールドを設け、これら第
１、第２のシールドをそれぞれ前記第１、第２の
演算増幅器の反転入力端子に接続したことを特徴
とする容量式変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14777882U JPS5952408U (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 容量式変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14777882U JPS5952408U (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 容量式変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5952408U JPS5952408U (ja) | 1984-04-06 |
| JPH0120647Y2 true JPH0120647Y2 (ja) | 1989-06-21 |
Family
ID=30328529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14777882U Granted JPS5952408U (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 容量式変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5952408U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5331441B2 (ja) * | 1974-05-08 | 1978-09-02 | ||
| JPS5733316A (en) * | 1980-08-08 | 1982-02-23 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Differential electrostatic capacity type sensor |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5647529Y2 (ja) * | 1976-08-24 | 1981-11-06 | ||
| JPS5692967U (ja) * | 1979-12-18 | 1981-07-24 |
-
1982
- 1982-09-29 JP JP14777882U patent/JPS5952408U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5331441B2 (ja) * | 1974-05-08 | 1978-09-02 | ||
| JPS5733316A (en) * | 1980-08-08 | 1982-02-23 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Differential electrostatic capacity type sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5952408U (ja) | 1984-04-06 |
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