JPS5960349A - 感ガス素子 - Google Patents
感ガス素子Info
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- JPS5960349A JPS5960349A JP17148082A JP17148082A JPS5960349A JP S5960349 A JPS5960349 A JP S5960349A JP 17148082 A JP17148082 A JP 17148082A JP 17148082 A JP17148082 A JP 17148082A JP S5960349 A JPS5960349 A JP S5960349A
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- Japan
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- gas
- oxide
- sensitivity
- sensitive element
- niobium
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はメチルメルカプタン（ａＨ６ｓｎ ） 、硫
化水素（Ｈ２Ｓ ）など悪臭ガスおよびアルコールを検
出する感ガス素子に関するものである。
化水素（Ｈ２Ｓ ）など悪臭ガスおよびアルコールを検
出する感ガス素子に関するものである。
し尿処理場、ゴミ処理場などで発生する悪臭の主成分で
あるメチルメルカプタン、硫化水素などの濃度測定は一
部、電気化学的な手法で行なわれているが、ガスのツン
グリンブが必要であり測定も煩雑である。ｄ、た従来の
半導体ガスセンザでは感度的に不充分で使用されるに至
っていない。
あるメチルメルカプタン、硫化水素などの濃度測定は一
部、電気化学的な手法で行なわれているが、ガスのツン
グリンブが必要であり測定も煩雑である。ｄ、た従来の
半導体ガスセンザでは感度的に不充分で使用されるに至
っていない。
一方、可燃性ガスであるガスを検出する素子すなわち感
ガス素子としては、（イ）、ガスの化学吸着による月別
の電気型導度の変化を利用したもの。
ガス素子としては、（イ）、ガスの化学吸着による月別
の電気型導度の変化を利用したもの。
（ロ）、可燃性ガスとの接触によシガスが燃焼し、その
結果素子温度が上昇するので、この温度を検知するもの
、（ハ）、固体電解質の起電力のガス濃度依存性を利用
［７たもの、に）、赤外線吸収強度のガス濃度依存性を
利用したもの、などがあった。これらのうち、ガスを連
続的に開側−または制御する目的には、その簡便性、安
定性、耐熱性々どの面から金属酸化物−１−ラミックス
半導体のガスの化学吸着による電気電導塵の変化を利用
【−／こタイプ（イ）が主に利用されて来た。金属酸化
物としてｉ、ｊ、 ＢｏＯ２゜ｚｎＯなどを主成分とし
だものが多い１、これらのものはメタン、プロパン、水
素、−酸化炭素２ アルコールなどの可燃性ガスに感度
を有しているが。
結果素子温度が上昇するので、この温度を検知するもの
、（ハ）、固体電解質の起電力のガス濃度依存性を利用
［７たもの、に）、赤外線吸収強度のガス濃度依存性を
利用したもの、などがあった。これらのうち、ガスを連
続的に開側−または制御する目的には、その簡便性、安
定性、耐熱性々どの面から金属酸化物−１−ラミックス
半導体のガスの化学吸着による電気電導塵の変化を利用
【−／こタイプ（イ）が主に利用されて来た。金属酸化
物としてｉ、ｊ、 ＢｏＯ２゜ｚｎＯなどを主成分とし
だものが多い１、これらのものはメタン、プロパン、水
素、−酸化炭素２ アルコールなどの可燃性ガスに感度
を有しているが。
アルコールに対する選択性に乏しいという欠点があった
。具体的には、ガス洩れ警報器が、酒の燗で生ずるアル
コールガスにより警報を発してし４つなどの問題があつ
プこ。
。具体的には、ガス洩れ警報器が、酒の燗で生ずるアル
コールガスにより警報を発してし４つなどの問題があつ
プこ。
この発明は、上記のような欠点を除去するためになされ
たもので、メチルメルカフリン（ａｎ、Ｓｎ）。
たもので、メチルメルカフリン（ａｎ、Ｓｎ）。
硫化水素 （ｎ、ｓ）などの悪臭ガス、アルコールガス
に選択的にしかも高い感度を有する感ガス素子を提供す
ることを目的にしている。
に選択的にしかも高い感度を有する感ガス素子を提供す
ることを目的にしている。
この発明の第１は、チタンとニオブの複合酸化物と酸化
ルテニウムを主成分とする材料を感ガス材とする感ガス
素子であることを特徴としている。
ルテニウムを主成分とする材料を感ガス材とする感ガス
素子であることを特徴としている。
この発明の第２は、チタンとニオブの複合酸化物を主成
分とする素子基板に、酸化ルテニウムを主成分とする電
極を焼付けた感ガス素子であることを特徴としている。
分とする素子基板に、酸化ルテニウムを主成分とする電
極を焼付けた感ガス素子であることを特徴としている。
この発明の感ガス素子は、その電気抵抗値が悪臭ガス濃
度０〜１０００ｐ己アルコールガス濃度０〜３０００１
１ｐｍで大きく変化するので、電気抵抗値を測定するこ
ノ・により、これらのガスを容易に検知することができ
る。
度０〜１０００ｐ己アルコールガス濃度０〜３０００１
１ｐｍで大きく変化するので、電気抵抗値を測定するこ
ノ・により、これらのガスを容易に検知することができ
る。
メタン、コータン、プロパ７、 Ｎ２． ００などの
可燃性ガスに対してｔまほとんど感じないため、悪臭ガ
ス、アルコールに対する選択性が著しく向」二する。
可燃性ガスに対してｔまほとんど感じないため、悪臭ガ
ス、アルコールに対する選択性が著しく向」二する。
以下、この発明の詳細を、実施例を用いて説明する。
実施例１
出発材料として試薬特級の酸化チタンＴ□０２および酸
化ニオブＮｔ＋２ＮＳをＴ□：Ｎｂ＝ ６ ： １．４
：Ｌ２：１．１ ：ｌ、 １ ：２．１ ：４．１
：６の７種の比で混合し＋ ６ｍｍ×６ｙｚの大きさ
で１羽の厚みに加圧成形する。これらを１０００〜１４
００°Ｃの温度で２時間焼成する。これらをＸ線回折に
より同定をしたところ２次表のような結果になった。
化ニオブＮｔ＋２ＮＳをＴ□：Ｎｂ＝ ６ ： １．４
：Ｌ２：１．１ ：ｌ、 １ ：２．１ ：４．１
：６の７種の比で混合し＋ ６ｍｍ×６ｙｚの大きさ
で１羽の厚みに加圧成形する。これらを１０００〜１４
００°Ｃの温度で２時間焼成する。これらをＸ線回折に
より同定をしたところ２次表のような結果になった。
上記同定はＡ、Ｓ、Ｔ、Ｍで調べだ結果である。
ＡＳＴＭで同定できなかったものを９新物質１としだ。
しかしこの新物質は１／２≦Ｎｂ／Ｔ□≦４／１の範囲
で認められるチタンニオブ複合酸化物である。これらの
焼結物を厚さ３００μに研磨したところ、 Ｔ、 ：
Ｎ、＝＝６ ：１． ４ ：１． １ ：４． １ ：
６では、 １０００℃焼成のものは破損ｉ〜’ Ｔｉ
’ Ｎ１）＝２：１．Ｉ：ｌ、１：２のものは１００
０℃、 １２００°Ｃ焼成のものが破損した。
で認められるチタンニオブ複合酸化物である。これらの
焼結物を厚さ３００μに研磨したところ、 Ｔ、 ：
Ｎ、＝＝６ ：１． ４ ：１． １ ：４． １ ：
６では、 １０００℃焼成のものは破損ｉ〜’ Ｔｉ
’ Ｎ１）＝２：１．Ｉ：ｌ、１：２のものは１００
０℃、 １２００°Ｃ焼成のものが破損した。
そこで残ったものについて、第１図のように焼結体（＋
）の片面に（２１，（３１のＲｕＯ２分離電極、 （４
）、 ｆ５１のリード線を付けて感ガス素子を作成し、
感ガス特性をしらべた。ｆ＋）はチタン、ニオブ複合酸
化物である。ガスを検知するときは、素子を３００℃以
上に保つ必要がある。そのため、第１図の素子のまわり
にカンタル線コイルヒータを設けるか、第１図の焼結体
（１）の分離電極と反対側に面ヒータを設は焼結体（１
１を加熱する。
）の片面に（２１，（３１のＲｕＯ２分離電極、 （４
）、 ｆ５１のリード線を付けて感ガス素子を作成し、
感ガス特性をしらべた。ｆ＋）はチタン、ニオブ複合酸
化物である。ガスを検知するときは、素子を３００℃以
上に保つ必要がある。そのため、第１図の素子のまわり
にカンタル線コイルヒータを設けるか、第１図の焼結体
（１）の分離電極と反対側に面ヒータを設は焼結体（１
１を加熱する。
第２図ｔｉｔ素子温度４５０℃における。メチルメルカ
グタンガス濃度１００ｐ−での感ガス特性を、１ｑ１．
／Ｔ□電気抵抗値（Ω）との関係でしめしている。図中
。
グタンガス濃度１００ｐ−での感ガス特性を、１ｑ１．
／Ｔ□電気抵抗値（Ω）との関係でしめしている。図中
。
大気中とはメチルメルカプタンを含んでいない。
通常の空気中での抵抗値である。
図では焼成温度の低いものをしめし−こいる。焼成温度
が高くなると、温度は低下する。０５＜−Ｎｂ／Ｔｉ≦
４でメチルメルカプタンに対する感度が大きくなり。
が高くなると、温度は低下する。０５＜−Ｎｂ／Ｔｉ≦
４でメチルメルカプタンに対する感度が大きくなり。
かつ大気中での抵抗が下がる。この範囲は”新物質１の
存在範囲と一致しており、これが高感度に寄与しでいる
ものと考えられる。最も好址しいのはＮ１−１／Ｔ１−
２／１で、このときには、Ｘ線回折でも、 ＴｊＯ）
、 Ｎｔ）２０５． Ｔｉ２１すｂ＋００２９はＭ個）
ｔつれない。
存在範囲と一致しており、これが高感度に寄与しでいる
ものと考えられる。最も好址しいのはＮ１−１／Ｔ１−
２／１で、このときには、Ｘ線回折でも、 ＴｊＯ）
、 Ｎｔ）２０５． Ｔｉ２１すｂ＋００２９はＭ個）
ｔつれない。
大気中の抵抗値Ｒ８と１００Ｍガス中での抵抗値Ｒｇの
比Ｒａ／Ｒ，，を感度Ｓとすれば、Ｎ１、／ｉ’、 ＝
＝２／１ではＳは５００倍に達する。第３図は、ｕ、、
、Ｍ・、＝２／１゜動作温度４５０℃での悪臭ガス、可
燃性ガスそれぞれ＋ｏｏｐｒｎでの感度である。
比Ｒａ／Ｒ，，を感度Ｓとすれば、Ｎ１、／ｉ’、 ＝
＝２／１ではＳは５００倍に達する。第３図は、ｕ、、
、Ｍ・、＝２／１゜動作温度４５０℃での悪臭ガス、可
燃性ガスそれぞれ＋ｏｏｐｒｎでの感度である。
第３図かられかるように、プロパン、 Ｈ，、ＧＯに対
しては、はとんど感じない。メタノール、イソプロピル
アルコールなどに対しては、エタノール実施例２ 出発材料として、試薬特級の酸化チタンＴｌＯ２および
酸化ニオブＮ１，２０５をＮｂ／”ｒ、 ＝２の割合で
混合し、 １２００°Ｃで１時間空気中で焼成する。こ
れを粉砕し１００メツシユの篩を通しだ後この粉末と酸
化ルテニウム■でｕＯ２粉末とを、Ｒ１□０２の含有量
を０〜５０Ｗｔ’％の範囲で変えた混合粉末に、ポリビ
ニルアルコフールを加え造粒する。これを６ｐｍ×６ｍ
ｍＸ １７ｇ７ｚに加１巳成形し、 １３００℃で２時
間空気中で焼成する。、 イりられ／こ焼結体を、３０
０μに研磨し。
しては、はとんど感じない。メタノール、イソプロピル
アルコールなどに対しては、エタノール実施例２ 出発材料として、試薬特級の酸化チタンＴｌＯ２および
酸化ニオブＮ１，２０５をＮｂ／”ｒ、 ＝２の割合で
混合し、 １２００°Ｃで１時間空気中で焼成する。こ
れを粉砕し１００メツシユの篩を通しだ後この粉末と酸
化ルテニウム■でｕＯ２粉末とを、Ｒ１□０２の含有量
を０〜５０Ｗｔ’％の範囲で変えた混合粉末に、ポリビ
ニルアルコフールを加え造粒する。これを６ｐｍ×６ｍ
ｍＸ １７ｇ７ｚに加１巳成形し、 １３００℃で２時
間空気中で焼成する。、 イりられ／こ焼結体を、３０
０μに研磨し。
第１図の、Ｌうに−１−記焼結体（１）にＲｕＯ２ペー
ストによりなる分離１１１：極（２１，（３１を５００
μの間隔でスクリーン印刷し１回時に白金リード線（４
） 、 （５）をＲｕＯ２べ・−ストで’ｒｈ： ４／
ｎにつけ８００°Ｃで１０分焼付ける。
ストによりなる分離１１１：極（２１，（３１を５００
μの間隔でスクリーン印刷し１回時に白金リード線（４
） 、 （５）をＲｕＯ２べ・−ストで’ｒｈ： ４／
ｎにつけ８００°Ｃで１０分焼付ける。
焼結体（１）はＴ１とＮｂの複合酸化物とＲｕＯ２から
なる感ガス旧である磁器組成物である。なお。
なる感ガス旧である磁器組成物である。なお。
ＲｕＯ２の含有量が０ｗｔ％でもＴ１とＮｂの複合酸化
物である感ガスイ１すなわち素子基板にＲ１□０２を主
成分とするＲｕＯ２ペーストを電極とし２て焼付けてい
る８ 第４図はＲｕＯ２含有量と電気抵抗値との関係である。
物である感ガスイ１すなわち素子基板にＲ１□０２を主
成分とするＲｕＯ２ペーストを電極とし２て焼付けてい
る８ 第４図はＲｕＯ２含有量と電気抵抗値との関係である。
第４図に示すように、 ＲｕＯ２の含有量がＯｗｔ％
でもＲｕＯ２を主成分とした電極を焼付けたもの。
でもＲｕＯ２を主成分とした電極を焼付けたもの。
さらにＲｕＯ２を感ガス材に加えたものは、メチルメル
カプタン１００ ｐ−での抵抗値変化は大きくなる。
カプタン１００ ｐ−での抵抗値変化は大きくなる。
０ｗｔ％でも電極としてＲｕＯ２を主成分とした電極を
焼付けたもの、さらにＲｕＯ２を感ガス材に０〜４０ｗ
ｔ％含有させたものは、抵抗値変化が大きく実用的であ
り、特にＲｕＯ２を主成分とする電極を焼伺け、感ガス
材にＲｕＯ２を５〜２５ｗし係含有させたものの抵抗値
変化が極めて大きい。しかしＲ１１０２の含有量が４０
〜５０ｗｔ係になるど空気中での抵抗値が大きく低下し
、抵抗値変化も少なく感度もＦる。
焼付けたもの、さらにＲｕＯ２を感ガス材に０〜４０ｗ
ｔ％含有させたものは、抵抗値変化が大きく実用的であ
り、特にＲｕＯ２を主成分とする電極を焼伺け、感ガス
材にＲｕＯ２を５〜２５ｗし係含有させたものの抵抗値
変化が極めて大きい。しかしＲ１１０２の含有量が４０
〜５０ｗｔ係になるど空気中での抵抗値が大きく低下し
、抵抗値変化も少なく感度もＦる。
第５図は、Ｔ□とＮｂの複合化合物（Ｎｂ ／ Ｔ１
＝ ２ ）にＲｕ−０２を１０ｗｔチ含有させた感ガス
材を使用し。
＝ ２ ）にＲｕ−０２を１０ｗｔチ含有させた感ガス
材を使用し。
ＲｕＯ２を主成分とした電極を焼付けたものの２悪臭ガ
ス、可燃性ガス１ｏｏＩＩＩｍでの感度Ｓである。
ス、可燃性ガス１ｏｏＩＩＩｍでの感度Ｓである。
第５図から判るようにプロパン、Ｒ２，ＣＯニ対しては
、極めて感度が小さいが悪臭ガス、エタノールに対して
は著しい感度をしめす。
、極めて感度が小さいが悪臭ガス、エタノールに対して
は著しい感度をしめす。
なお第１図における抵抗値測定（ハ、電極＋２１． （
３１間の極めて狭い間隔（この実施例では５００μ）の
抵抗値を測定するものであるので、感ガス材中のＲｕＯ
２の含崩量を問題にするときは、上記の狭い間隔中ある
いはその周辺を含むわずかな部分の感ガス材を問題にす
る必槻がある。
３１間の極めて狭い間隔（この実施例では５００μ）の
抵抗値を測定するものであるので、感ガス材中のＲｕＯ
２の含崩量を問題にするときは、上記の狭い間隔中ある
いはその周辺を含むわずかな部分の感ガス材を問題にす
る必槻がある。
ＲｕＯ２を主成分とした電極を焼付け、感ガス材（Ｔ１
とＮｂの複合酸化物）と強固に結合させたものは、上記
の狭い間隔あるいけその周辺部分に対して影響が大きい
ので、単にＲｕＯ２を主成分とした電極を焼付けたもの
でも、この発明の効果が期待されるものと思われる。
とＮｂの複合酸化物）と強固に結合させたものは、上記
の狭い間隔あるいけその周辺部分に対して影響が大きい
ので、単にＲｕＯ２を主成分とした電極を焼付けたもの
でも、この発明の効果が期待されるものと思われる。
又第１図は、板状の感ガス素子に関するものでちるが、
サーミスタと同様のビーズ状のもの１円筒状のもの、さ
らにｔｉｔアルミナベースに′ｒ１とＮ１）の複合酸化
物と酸化ルテニウムを主成分とする拐料を厚膜に印刷し
たもの、スパッター、電子ビー六などにより薄膜にした
ものでも同様の機能を有する。
サーミスタと同様のビーズ状のもの１円筒状のもの、さ
らにｔｉｔアルミナベースに′ｒ１とＮ１）の複合酸化
物と酸化ルテニウムを主成分とする拐料を厚膜に印刷し
たもの、スパッター、電子ビー六などにより薄膜にした
ものでも同様の機能を有する。
以上のように、この発明の感ガス素子は、メチルメルカ
プタン（ＣＨ３ＳＨ） ｒ硫化水素（ｕ、ｒ彊）などの
悪臭ガス、アルコールに対して、仙σ月り゛燃性ガスと
異なる感度を有し、しかもその感＋１３−が著しく高い
ため、悪臭ガスあるいはアルコ−刀の選択的検出が可能
である。さらに安定性が高い素子である。従来′アルコ
ールに対して２選択性のない５ｎ０２ 、 ＺｎＯのア
ルコールＴＯＯｆＩ＋顎での感度に１１人気に対して２
〜３倍であることからこの発明の感度の著しいことが判
る。
プタン（ＣＨ３ＳＨ） ｒ硫化水素（ｕ、ｒ彊）などの
悪臭ガス、アルコールに対して、仙σ月り゛燃性ガスと
異なる感度を有し、しかもその感＋１３−が著しく高い
ため、悪臭ガスあるいはアルコ−刀の選択的検出が可能
である。さらに安定性が高い素子である。従来′アルコ
ールに対して２選択性のない５ｎ０２ 、 ＺｎＯのア
ルコールＴＯＯｆＩ＋顎での感度に１１人気に対して２
〜３倍であることからこの発明の感度の著しいことが判
る。
第１図は、この発明にかかる一実施例の構成を示す斜親
図、第２図はこの発明にかかわ７・感ガス特性の組成依
存性を示す特性折線図、第３図はこの発明にかかわる各
種ガスに対する感度を示す特性折線図である。 第４図はこの発明にかかわる感ガス特性の組成依存性を
示す特性曲線図、第５図は、この発明にかかわり各種ガ
スに対する感ガス特性を示す特性折線図である。 図中、 （ＩＩ）ユ感ガス材すなわち素子基板、 （２
１，（３１は電接、（４）、（５）はリード線である。 代理人 葛野信− ５（，１図 第 ２ 間第
４図 Ｒａ０ｚ含有奮（ｗｔ ％） １１召羽１ 年 月 １１す１．、’ｌ’
＋ｉ長’ｌ’、’ Ｉ弓１・ｊＧｆ’ｌのし＋’：
ｌｉ、ｊ’ｈｌ（ｉ昭５７−１７１４８０号２ 瘉
四の′／、 （Ｍ： ／盛ガニ素子：３ ン
ｄｉ＋ｌｉを ４−る青 代表古 片 １１ １： 八 部 ４、代理人 ｂ イ由此の刈家 明細用の発ｊ（ＩＪの、：γ細な説明のｉｌ’）Ｊ 。 ６、 ｔ＋ｒノ止のＶ′３谷 明細書をつぎのとおり：ｒｌ’ｉＴ−する。
図、第２図はこの発明にかかわ７・感ガス特性の組成依
存性を示す特性折線図、第３図はこの発明にかかわる各
種ガスに対する感度を示す特性折線図である。 第４図はこの発明にかかわる感ガス特性の組成依存性を
示す特性曲線図、第５図は、この発明にかかわり各種ガ
スに対する感ガス特性を示す特性折線図である。 図中、 （ＩＩ）ユ感ガス材すなわち素子基板、 （２
１，（３１は電接、（４）、（５）はリード線である。 代理人 葛野信− ５（，１図 第 ２ 間第
４図 Ｒａ０ｚ含有奮（ｗｔ ％） １１召羽１ 年 月 １１す１．、’ｌ’
＋ｉ長’ｌ’、’ Ｉ弓１・ｊＧｆ’ｌのし＋’：
ｌｉ、ｊ’ｈｌ（ｉ昭５７−１７１４８０号２ 瘉
四の′／、 （Ｍ： ／盛ガニ素子：３ ン
ｄｉ＋ｌｉを ４−る青 代表古 片 １１ １： 八 部 ４、代理人 ｂ イ由此の刈家 明細用の発ｊ（ＩＪの、：γ細な説明のｉｌ’）Ｊ 。 ６、 ｔ＋ｒノ止のＶ′３谷 明細書をつぎのとおり：ｒｌ’ｉＴ−する。
Claims (5)
- （１） チタンとニオブの複合酸化物と酸化ルテニウ
ムを主成分とする材料を感ガス月とする感ガス素子。 - （２） チタンとニオブの複合酸化物は、その割合が
０．５≦Ｎ、、 ／ １゛、≦４である特許請求の範囲
第１項記載の感ガス素子。 - （３） チタンとニオブの複合酸化物を主成分とする
素子基板に、酸化ルテニウムを主成分とする電極をφ付
けた感ガス素子。 - （４）素子基板は、０６５≦Ｎ、、／Ｔ１≦４の範１ノ
１１のチタンとニオブの複合酸化物である特許請求の範
囲第３項記載の感ガス素子。 - （５） 素子基板は２チタンとニオブの複合酸化物と
酸化ルテニウムを主成分とする材料から成る特許請求の
範囲第３項記載の感ガス素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17148082A JPS5960349A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 感ガス素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17148082A JPS5960349A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 感ガス素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5960349A true JPS5960349A (ja) | 1984-04-06 |
| JPH0225453B2 JPH0225453B2 (ja) | 1990-06-04 |
Family
ID=15923882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17148082A Granted JPS5960349A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 感ガス素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5960349A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6166956A (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-05 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 水素検出素子 |
| JPH02115757A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-27 | Kurita Water Ind Ltd | 臭気ガス計測装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5551764A (en) * | 1978-10-05 | 1980-04-15 | Kyoto Ceramic | Titania oxygen detector element |
| JPS5613901A (en) * | 1979-07-16 | 1981-02-10 | Toho Gomu Kogyo Kk | Production of foamed shoe outer bottom |
| JPS5651655A (en) * | 1979-10-04 | 1981-05-09 | Asahi Glass Co Ltd | Gas-sensitive material for reducing gas |
| JPS5655847A (en) * | 1979-10-12 | 1981-05-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Humidity-sensitive element |
| JPS5712357A (en) * | 1980-06-25 | 1982-01-22 | Hitachi Ltd | Sensitive element of humidity |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP17148082A patent/JPS5960349A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5551764A (en) * | 1978-10-05 | 1980-04-15 | Kyoto Ceramic | Titania oxygen detector element |
| JPS5613901A (en) * | 1979-07-16 | 1981-02-10 | Toho Gomu Kogyo Kk | Production of foamed shoe outer bottom |
| JPS5651655A (en) * | 1979-10-04 | 1981-05-09 | Asahi Glass Co Ltd | Gas-sensitive material for reducing gas |
| JPS5655847A (en) * | 1979-10-12 | 1981-05-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Humidity-sensitive element |
| JPS5712357A (en) * | 1980-06-25 | 1982-01-22 | Hitachi Ltd | Sensitive element of humidity |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6166956A (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-05 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 水素検出素子 |
| JPH0434101B2 (ja) * | 1984-09-10 | 1992-06-04 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | |
| JPH02115757A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-27 | Kurita Water Ind Ltd | 臭気ガス計測装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0225453B2 (ja) | 1990-06-04 |
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