JPS58168950A - 感ガス感湿素子 - Google Patents
感ガス感湿素子Info
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- JPS58168950A JPS58168950A JP57051851A JP5185182A JPS58168950A JP S58168950 A JPS58168950 A JP S58168950A JP 57051851 A JP57051851 A JP 57051851A JP 5185182 A JP5185182 A JP 5185182A JP S58168950 A JPS58168950 A JP S58168950A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、ガスおよび湿度に感度を有する感ガス感湿
素子に関し９％にアルコールガスに特異な感度を有する
ものである。
素子に関し９％にアルコールガスに特異な感度を有する
ものである。
従来、湿度を検出する素子としては、金属酸化物、無機
および有機電解質、導電物質を分散させた有機物におけ
る電気電導度の相対湿度値有性を利用したものが、その
簡便性、マイクロプロセッサとの結合性などからよく用
いられてきた。中でも金属酸化物は安定性、耐熱性など
が良好な友め、好ましいとされている。
および有機電解質、導電物質を分散させた有機物におけ
る電気電導度の相対湿度値有性を利用したものが、その
簡便性、マイクロプロセッサとの結合性などからよく用
いられてきた。中でも金属酸化物は安定性、耐熱性など
が良好な友め、好ましいとされている。
ガスを検出する素子としては、やはり、簡便性、マイク
ロプロセッサとの結合性から、金属酸化物半導体のガス
の化学吸着による電気電導度の変化を利用したものが多
く用いられている。
ロプロセッサとの結合性から、金属酸化物半導体のガス
の化学吸着による電気電導度の変化を利用したものが多
く用いられている。
材料としては５ｎ０２．ＺｎＯなどがあるが、これらは
、各種ガスに、同じ程度に感層を有している次め、アル
コールガスの選択的検出が困難であった。
、各種ガスに、同じ程度に感層を有している次め、アル
コールガスの選択的検出が困難であった。
この発明は上記の問題を解決するためになされたもので
、１つの素子で０〜１００チの相対湿度およびアルコー
ルガスを選択的に検出する新しい感ガス感湿素子を提供
することを目的としている。
、１つの素子で０〜１００チの相対湿度およびアルコー
ルガスを選択的に検出する新しい感ガス感湿素子を提供
することを目的としている。
この発明の第一はマグネシウムフェライトおよび酸化ル
テニウムを主成分とする材料を感ガス感湿材とする素子
であることを特徴としている。
テニウムを主成分とする材料を感ガス感湿材とする素子
であることを特徴としている。
この発明の第二は、マグネシウムフェライトを主成分と
する素子基板に、酸化ルテニウムを主成分とする電極を
焼付けた素子であることを特徴としている。
する素子基板に、酸化ルテニウムを主成分とする電極を
焼付けた素子であることを特徴としている。
この発明の素子は、その電気抵抗値が、相対湿度Ｏ〜１
００チ、あるいはアルコールガスａ度０〜ａｏｏｏｐｐ
ｍ で大きく変化するので、［気抵抗値を測定すること
により、相対湿度あるいはアルコールガスを容易に検出
することができる。
００チ、あるいはアルコールガスａ度０〜ａｏｏｏｐｐ
ｍ で大きく変化するので、［気抵抗値を測定すること
により、相対湿度あるいはアルコールガスを容易に検出
することができる。
以下、この発明の詳細を実施例を用いて説明する。まず
マグネシウムフェライトの合成について述べる。
マグネシウムフェライトの合成について述べる。
試薬％級Ｍ ｇ ０１２ ＠ ５ Ｈ２０、Ｆ ｅ ０
１２１１４ Ｈ２０およびＡＩ（，１ｓ＊６ＨｚＯをＭ
ｇ：Ｆｅ：Ａ１＝１：１．５：０．５ になるように混
合し、シュウ酸で共沈させる。これを６００°０で１時
間、空気中で仮焼する。ここでＦｅの１部をＡ１にした
のは、ガスに対する感度を上げるためである。
１２１１４ Ｈ２０およびＡＩ（，１ｓ＊６ＨｚＯをＭ
ｇ：Ｆｅ：Ａ１＝１：１．５：０．５ になるように混
合し、シュウ酸で共沈させる。これを６００°０で１時
間、空気中で仮焼する。ここでＦｅの１部をＡ１にした
のは、ガスに対する感度を上げるためである。
このようにして得られたマグネシウムフェライトＭ ｇ
（ＩＦ ｅ 、 Ａ １） ２０ Ａに酸化ルテニウ
ムＲｕＯ２粉末をＯ〜５０ ｗｔ９Ｊの範囲で混合し、
ポリビニールアルコールテ造粒した後、 ６龍Ｘ ＄
ｍｉ＋Ｘ ＩＵ［加圧、成形し、１００ＱＣで２時間空
気中で焼成する。得られた焼結体を３００μに研磨し。
（ＩＦ ｅ 、 Ａ １） ２０ Ａに酸化ルテニウ
ムＲｕＯ２粉末をＯ〜５０ ｗｔ９Ｊの範囲で混合し、
ポリビニールアルコールテ造粒した後、 ６龍Ｘ ＄
ｍｉ＋Ｘ ＩＵ［加圧、成形し、１００ＱＣで２時間空
気中で焼成する。得られた焼結体を３００μに研磨し。
第１図のように上記焼結体（１）にＲｕＯ２ペーストに
よりなる分離電極（２１，（３）を５００μの間隔でス
クリーン印則し、同時に、リード線＋４１ 、 （５）
をＲｕＯ２ペーストで電極に付け、７００’（１で１０
分焼付ける。焼結体（１）はＭｇ（Ｆｅ、Ａ４）２０ａ
とＲｕＯ２を主成分とする感ガス感湿材である磁器組成
物である。なおＲｕＯ２の含有量がＱ ｗｔ％でもＭｇ
（Ｆｅ、Ａｌ）２０ａを主成分とする感ガス感湿材すな
わち素子基板にＲｕＯ２金主成分とするＲｕＯ２ペース
トを電極として焼付けている。ガスを検出するときは、
素子を２０００以上に保つ必要がある。そのｆＰ：、め
第１図の素子のまわりにカンタル線コイルヒータを設け
るが、または第１図の焼結体（１）の分離電極と反対側
の面に面ヒータを設け、焼結体（１１を加熱する。
よりなる分離電極（２１，（３）を５００μの間隔でス
クリーン印則し、同時に、リード線＋４１ 、 （５）
をＲｕＯ２ペーストで電極に付け、７００’（１で１０
分焼付ける。焼結体（１）はＭｇ（Ｆｅ、Ａ４）２０ａ
とＲｕＯ２を主成分とする感ガス感湿材である磁器組成
物である。なおＲｕＯ２の含有量がＱ ｗｔ％でもＭｇ
（Ｆｅ、Ａｌ）２０ａを主成分とする感ガス感湿材すな
わち素子基板にＲｕＯ２金主成分とするＲｕＯ２ペース
トを電極として焼付けている。ガスを検出するときは、
素子を２０００以上に保つ必要がある。そのｆＰ：、め
第１図の素子のまわりにカンタル線コイルヒータを設け
るが、または第１図の焼結体（１）の分離電極と反対側
の面に面ヒータを設け、焼結体（１１を加熱する。
第２図は、上記した方法で製造された素子を使用し、２
５°０における感湿特性のＲｕ０ｚ含有量依存性である
。測定は素子に１ ｖ 、 Ｉ Ｋ Ｈｇの正弦波を印
加して行なった。フェライトの組成はＭｇＦｅ ＋、５
Ａ１（１，５０ａである。Ｍ ｇ Ｆ ｅ ２０４でも
感湿特性はそれ程度らない。
５°０における感湿特性のＲｕ０ｚ含有量依存性である
。測定は素子に１ ｖ 、 Ｉ Ｋ Ｈｇの正弦波を印
加して行なった。フェライトの組成はＭｇＦｅ ＋、５
Ａ１（１，５０ａである。Ｍ ｇ Ｆ ｅ ２０４でも
感湿特性はそれ程度らない。
第２図の各曲線はマグネシウムフェライト中のＲｕ０ｚ
の含有量がそれぞれ、０，２０，５０ｗｔ％に対応する
。なおＲｕＯ２の含有量がＯｗｔ％でもＲｕＯ２を電極
として焼付けたものである。
の含有量がそれぞれ、０，２０，５０ｗｔ％に対応する
。なおＲｕＯ２の含有量がＯｗｔ％でもＲｕＯ２を電極
として焼付けたものである。
ＲｕＯ２含有量が０〜２０ ｗｔ％までは、それ程大き
な感湿特性の変化はない。Ｒｕ０２５０ｗｔチでは、か
なり感湿特性が低下する。
な感湿特性の変化はない。Ｒｕ０２５０ｗｔチでは、か
なり感湿特性が低下する。
第３図は素子を３５ Ｏ’０に保ったとき、感エタノー
ル特性をＲｕＯ２含有量（ｗｔチ）と電気抵抗値（Ω）
との関係で示す。エタノール濃度１１０００ｐｐと大気
中との特性を比較している。
ル特性をＲｕＯ２含有量（ｗｔチ）と電気抵抗値（Ω）
との関係で示す。エタノール濃度１１０００ｐｐと大気
中との特性を比較している。
Ｍｇ（７８，ＡＩ）ｚｏａで示す値は、金属酸化物Ｍｇ
（Ｆｅ、ＡＩ）２０ａに白金電極を用いた従来素子の測
？値である。
（Ｆｅ、ＡＩ）２０ａに白金電極を用いた従来素子の測
？値である。
第３図に示すように、ＲｕＯ２の含有量がＯｖｔ％でも
Ｒｕ０ｚを主成分とした電極を焼付けたもの、さらにＲ
ｕ０２’に感ガス感湿材に加えたものは、エタノール１
１０００ｐｐでの抵抗値変化は大きくなる。Ｄ ｗｔチ
でも電極としてＲｕＯ２を主成分とした電極を焼付けた
もの、さらにＲｕＯＺを感ガス感湿材にθ〜３ Ｑ ｗ
ｔ％含有させたものは、抵抗値変化が大きく実用的であ
り、特にＲｕＯ２を主成分とする電極を焼付け、感ガス
感湿材にＲｕＯ２を５〜２０ ｗｔ％含有させたものの
抵抗値変化が極めて大きい。しかしＲｕＯ２の含有量が
４０〜ｓ ｏ ｗｔｑ６になると空気中での抵抗値が大
きく低下し、抵抗値変化も少なく感度も下る。
Ｒｕ０ｚを主成分とした電極を焼付けたもの、さらにＲ
ｕ０２’に感ガス感湿材に加えたものは、エタノール１
１０００ｐｐでの抵抗値変化は大きくなる。Ｄ ｗｔチ
でも電極としてＲｕＯ２を主成分とした電極を焼付けた
もの、さらにＲｕＯＺを感ガス感湿材にθ〜３ Ｑ ｗ
ｔ％含有させたものは、抵抗値変化が大きく実用的であ
り、特にＲｕＯ２を主成分とする電極を焼付け、感ガス
感湿材にＲｕＯ２を５〜２０ ｗｔ％含有させたものの
抵抗値変化が極めて大きい。しかしＲｕＯ２の含有量が
４０〜ｓ ｏ ｗｔｑ６になると空気中での抵抗値が大
きく低下し、抵抗値変化も少なく感度も下る。
第４図は、Ｍｇ（Ｆｅ、Ａｌ）ｚｏｎにＲｕＯ２を１Ｑ
ｖｔチ含有させた感ガス感湿材を使用しＲｕＯ２金主
成分とし皮電極を焼付けたものの。
ｖｔチ含有させた感ガス感湿材を使用しＲｕＯ２金主
成分とし皮電極を焼付けたものの。
プロパン、Ｈ２，Ｃｏ、エタノール各１１０００ＰＰで
の感度Ｓで、大気中の抵抗値Ｒ，と１１０００ｐｐガス
中の抵抗値Ｒｇとの比Ｒｇ／Ｒａを示す。
の感度Ｓで、大気中の抵抗値Ｒ，と１１０００ｐｐガス
中の抵抗値Ｒｇとの比Ｒｇ／Ｒａを示す。
第４図から判るようにプロパン、 Ｈ２、Ｃ０に対し
ては、従来素子のときの感度と変化がなく感度が小さい
が、エタノールに対しては著しい感度を示す。なおエタ
ノールを代表に示したが、メタノール、イソプロピルア
ルコールなどの他のアルコールに対してもほぼ同じ感度
を示した。
ては、従来素子のときの感度と変化がなく感度が小さい
が、エタノールに対しては著しい感度を示す。なおエタ
ノールを代表に示したが、メタノール、イソプロピルア
ルコールなどの他のアルコールに対してもほぼ同じ感度
を示した。
この第４図の結果は、ＲｕＯ２の含有量がＯａｔチでも
ＲｕＯ２を主成分とした電極を焼付けたもの。
ＲｕＯ２を主成分とした電極を焼付けたもの。
さらにＲｕＯｚｋ感ガス感湿材に０〜３０ ｗｔチ加え
たものについてもエタノールに対して感度がよく９選択
性があることは同様であった。そしてこの結果は、第３
図でエタノールに対する感度が、従来素子より上昇した
結果と一致した。
たものについてもエタノールに対して感度がよく９選択
性があることは同様であった。そしてこの結果は、第３
図でエタノールに対する感度が、従来素子より上昇した
結果と一致した。
なお第１図における抵抗値測定は、電極（２）。
（３）間の極めて挾い間隔（この実施例では５００μ）
の抵抗値を測定するものであるので、感ガス感湿材中の
ＲｕＯ２の含有量を問題にするときけ。
の抵抗値を測定するものであるので、感ガス感湿材中の
ＲｕＯ２の含有量を問題にするときけ。
かな部分の感ガス感湿材を問題にする必要がある。
ＲｕＯ２を主成分とした電極を焼付け、感ガス感湿材と
強固に結合させたものは、上記の狭い間隔あるいはその
周辺部分に対して影響が大きいので、単にＲｕ０ｚを主
成分とした電極を焼付けたものでも、この発明の効果が
期待されるものと思われる。
強固に結合させたものは、上記の狭い間隔あるいはその
周辺部分に対して影響が大きいので、単にＲｕ０ｚを主
成分とした電極を焼付けたものでも、この発明の効果が
期待されるものと思われる。
第１図では、Ｍｇ（Ｆｅ、ＡＩ）ｚｏａとＲｕＯ２の感
ガス感湿材の片面に分離電極を設けたものであるが、第
５図のように１両面に多孔質電極を設けてもよい。また
サーミスタと同様のビーズ状のもの９円筒状のもの、更
にはアルミナベースにマグネシウムフェライトをＲｕＯ
２の感ガス感湿材の厚膜に印刷したものでも同様の機能
を有する。
ガス感湿材の片面に分離電極を設けたものであるが、第
５図のように１両面に多孔質電極を設けてもよい。また
サーミスタと同様のビーズ状のもの９円筒状のもの、更
にはアルミナベースにマグネシウムフェライトをＲｕＯ
２の感ガス感湿材の厚膜に印刷したものでも同様の機能
を有する。
以上のように、この発明によれば、１つの素子で、０〜
１００％の相対湿度を検出すると共にアルコールガスを
選択的に検出することができ。
１００％の相対湿度を検出すると共にアルコールガスを
選択的に検出することができ。
しかも安定性が高い感ガス感湿素子を提供することがで
きる。
きる。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す斜視図、第２
図はこの発明の感湿特性におけるＲｕＯ２の含有量依存
性を示す曲線図、第３図はこの発明の感ガス特性におけ
るＲｕＯ２の含有量依存性を示す曲線図、第４囚はこの
発明の各種ガスに対する感度を示す折線図、第５図はこ
の発明の他の実施例の構成を示す斜視図である。 図中＋ｔｔｉ感ガス感湿材すなわち素子基板、 ｔ２＋
。 （３）は電極＋４１ 、 （５）はリード線である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 − 昭和 年 月 日 實 １￥許１）長官殿 １ ・ドロのに示 特願昭 ＠１−１１１１１
号２、発明の名称 感メス感温素子 、３ ？甫ｉＦ−をする者 補正の対象 細書の発明の詳細な説明の欄 １ 補正の内容 （１） 明細書の第５頁、第４行のｒ Ｉ ＫＨ９Ｊ
をｒ ｌ ＫＨＭ Ｊと訂正する。 （２）同、第５頁第２０行〜第６頁第１行の「従来素子
の測定値である。」を「従来素子のエタノール濃度１ｇ
１００ｐｐｍ中での測定値で・ある。大気中での抵抗値
はＲｕｂ２電極の場合と同じである。」Ｋ訂正する。 （３）同、第８頁第１５行の「マグネシウムフェトを」
を「マグネシウムフェトイトと」と訂る。 図面の第２図、第３図を別紙のとおり訂正添付書類の目
録 面（第２図、第３図） 各１通 以上 第２図 第３図 ＆の輔量（ｗｔ幻 ２、定明の名称 感ｊス感温素子 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代［１置火の向風丁目２番３
号名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表者片由
仁八部 ４ 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄および図面６、補正の内
容 （１） 明細書の第１頁第１６行、第２頁第１５行お
よび第８頁第２０行の「アルコールガス」の次Ｋ「およ
びメテルメルカグタン（ＯＨ，８Ｈ） 、硫化水素（Ｈ
２８）などの悪臭ガス」をそれぞれ挿入する。 （２１１ｉＱ２頁第１１行の「アルコールガス」の次Ｋ
「および悪臭ガス」を挿入する。 （３）同第３頁第Ｔ行の「あるいは」の次に「悪臭ガス
濃度、」を挿入する。 （４）同第３頁第１ａ行の「アルコールガス」の次Ｋ「
、悪臭ガス」を挿入する。 （５）同第６頁第１９行、第Ｔ頁第５行および第１３行
の「エタノール」の次に「、 ＯＨＳＨ，Ｈ２ＳＪをそ
れぞれ挿入する。 （６）図面の第４図を別紙のとおり訂正する。 １、添付書類の目録 訂正後の第４図を記載し光図面 １通以上 第４図
図はこの発明の感湿特性におけるＲｕＯ２の含有量依存
性を示す曲線図、第３図はこの発明の感ガス特性におけ
るＲｕＯ２の含有量依存性を示す曲線図、第４囚はこの
発明の各種ガスに対する感度を示す折線図、第５図はこ
の発明の他の実施例の構成を示す斜視図である。 図中＋ｔｔｉ感ガス感湿材すなわち素子基板、 ｔ２＋
。 （３）は電極＋４１ 、 （５）はリード線である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 − 昭和 年 月 日 實 １￥許１）長官殿 １ ・ドロのに示 特願昭 ＠１−１１１１１
号２、発明の名称 感メス感温素子 、３ ？甫ｉＦ−をする者 補正の対象 細書の発明の詳細な説明の欄 １ 補正の内容 （１） 明細書の第５頁、第４行のｒ Ｉ ＫＨ９Ｊ
をｒ ｌ ＫＨＭ Ｊと訂正する。 （２）同、第５頁第２０行〜第６頁第１行の「従来素子
の測定値である。」を「従来素子のエタノール濃度１ｇ
１００ｐｐｍ中での測定値で・ある。大気中での抵抗値
はＲｕｂ２電極の場合と同じである。」Ｋ訂正する。 （３）同、第８頁第１５行の「マグネシウムフェトを」
を「マグネシウムフェトイトと」と訂る。 図面の第２図、第３図を別紙のとおり訂正添付書類の目
録 面（第２図、第３図） 各１通 以上 第２図 第３図 ＆の輔量（ｗｔ幻 ２、定明の名称 感ｊス感温素子 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代［１置火の向風丁目２番３
号名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表者片由
仁八部 ４ 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄および図面６、補正の内
容 （１） 明細書の第１頁第１６行、第２頁第１５行お
よび第８頁第２０行の「アルコールガス」の次Ｋ「およ
びメテルメルカグタン（ＯＨ，８Ｈ） 、硫化水素（Ｈ
２８）などの悪臭ガス」をそれぞれ挿入する。 （２１１ｉＱ２頁第１１行の「アルコールガス」の次Ｋ
「および悪臭ガス」を挿入する。 （３）同第３頁第Ｔ行の「あるいは」の次に「悪臭ガス
濃度、」を挿入する。 （４）同第３頁第１ａ行の「アルコールガス」の次Ｋ「
、悪臭ガス」を挿入する。 （５）同第６頁第１９行、第Ｔ頁第５行および第１３行
の「エタノール」の次に「、 ＯＨＳＨ，Ｈ２ＳＪをそ
れぞれ挿入する。 （６）図面の第４図を別紙のとおり訂正する。 １、添付書類の目録 訂正後の第４図を記載し光図面 １通以上 第４図
Claims (3)
- （１） マグネシウムフェライトおよび酸化ルテニウ
ムを主成分とする材料を感ガス感湿材とする感ガス感湿
素子。 - （２） マグネシウムフェライトを主成分とする素子
基板に、酸化ルテニウムを主成分とする電極を焼付は食
感ガス感湿素子。 - （３） 素子基板は、マグネシウムフェライトと酸化
ルテニウムを主成分とする材料である特許請求の範囲第
２項記載の感ガス感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051851A JPS58168950A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 感ガス感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051851A JPS58168950A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 感ガス感湿素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58168950A true JPS58168950A (ja) | 1983-10-05 |
Family
ID=12898354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57051851A Pending JPS58168950A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 感ガス感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58168950A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03210468A (ja) * | 1990-01-16 | 1991-09-13 | Kyoshiro Seki | 厚膜磁性半導体及びその製造方法 |
| JPH0496303A (ja) * | 1990-08-13 | 1992-03-27 | Kyoshiro Seki | 光センサ及び照度変化検出方法 |
| US20150061706A1 (en) * | 2013-08-27 | 2015-03-05 | Council Of Scientific & Industrial Research | Resistive type humidity sensor based on porous magnesium ferrite pellet |
-
1982
- 1982-03-30 JP JP57051851A patent/JPS58168950A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03210468A (ja) * | 1990-01-16 | 1991-09-13 | Kyoshiro Seki | 厚膜磁性半導体及びその製造方法 |
| JPH0496303A (ja) * | 1990-08-13 | 1992-03-27 | Kyoshiro Seki | 光センサ及び照度変化検出方法 |
| US20150061706A1 (en) * | 2013-08-27 | 2015-03-05 | Council Of Scientific & Industrial Research | Resistive type humidity sensor based on porous magnesium ferrite pellet |
| US9671359B2 (en) * | 2013-08-27 | 2017-06-06 | Council Of Scientific & Industrial Research | Resistive type humidity sensor based on porous magnesium ferrite pellet |
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