JPS58168948A - 感ガス感湿素子 - Google Patents
感ガス感湿素子Info
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- JPS58168948A JPS58168948A JP57051828A JP5182882A JPS58168948A JP S58168948 A JPS58168948 A JP S58168948A JP 57051828 A JP57051828 A JP 57051828A JP 5182882 A JP5182882 A JP 5182882A JP S58168948 A JPS58168948 A JP S58168948A
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- JP
- Japan
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- gas
- electrode
- sensitive
- electrodes
- element substrate
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はアルコールガス及び湿度を検出する菓子に関
するものである。
するものである。
従来、湿度を検知する素子としては、金属酸化物、無機
および有機電解質、導電物質を分散させた有機物の電気
電導変の相対湿間依存性を利用したものが、その簡便性
、マイクロプロセッサとの結合性などからよく用いられ
て来た。
および有機電解質、導電物質を分散させた有機物の電気
電導変の相対湿間依存性を利用したものが、その簡便性
、マイクロプロセッサとの結合性などからよく用いられ
て来た。
中でも金属酸化物は安定性、耐熱性などが良好なため、
好ましいとされている。
好ましいとされている。
ガスを検知する素子としては、やはり、簡便性、マイク
ロプロセッサとの結合性から、金属酸化物半導体のガス
の化学吸着による電気電導度の変化を利用したものが多
く用いられている。
ロプロセッサとの結合性から、金属酸化物半導体のガス
の化学吸着による電気電導度の変化を利用したものが多
く用いられている。
材料としてけ８ｎＯ２，Ｚｚｌｏなどがあるが、これら
は、可燃性の各種ガスに、同じ程変に感度を有している
ため、アルコールガスの選択的検出が困離であった。
は、可燃性の各種ガスに、同じ程変に感度を有している
ため、アルコールガスの選択的検出が困離であった。
さらに湿度とガスとを１つの一体となった素子で検出し
、しがも安定な感湿特性およびアルコールに対する高感
度、高選択性で応答速度が速い感ガス特性を併せ持つも
のはなかった。
、しがも安定な感湿特性およびアルコールに対する高感
度、高選択性で応答速度が速い感ガス特性を併せ持つも
のはなかった。
この発明は上記の問題を解決するためになされたもので
、１つの一体化した素子でＯ〜１００チの相対湿度およ
びアルコールガスを高感度でで選択的に検出する感ガス
感湿素子を提供することを目的としている。
、１つの一体化した素子でＯ〜１００チの相対湿度およ
びアルコールガスを高感度でで選択的に検出する感ガス
感湿素子を提供することを目的としている。
この発明は、アパタイトセラミックス材で湿度を検出し
、上記アパタイトセラミックス材からなる素子基板に設
けた分離電極間のチタンとニオブの複合酸化物と酸化ル
テニウムとの混合物でアルコールガスを検出するもので
ある。又分離電極は酸化ルテニウムを焼付けて形成して
おり、アルコールガス感度の高感変化を助長している。
、上記アパタイトセラミックス材からなる素子基板に設
けた分離電極間のチタンとニオブの複合酸化物と酸化ル
テニウムとの混合物でアルコールガスを検出するもので
ある。又分離電極は酸化ルテニウムを焼付けて形成して
おり、アルコールガス感度の高感変化を助長している。
この発明の感ガス感湿素子は、その電気抵抗が、相対湿
度０〜１００チ、あるいはアルコールガス濃度０〜３０
００ ｐｐｍで太きく変化するので。
度０〜１００チ、あるいはアルコールガス濃度０〜３０
００ ｐｐｍで太きく変化するので。
電気抵抗値を測定することにより、相対湿度あるいはア
ルコールガスを容易に検出することができる。
ルコールガスを容易に検出することができる。
以下、この発明の詳細を実施例を用いて説明する。
Ｃａの１０チをＮａで置換した水酸アノ（タイト粉末を
４ ｗｘ Ｘ ４１１１１の大きさ、（１８１０１の厚
みに。
４ ｗｘ Ｘ ４１１１１の大きさ、（１８１０１の厚
みに。
ｓｈａｋｇ／ｃｒｌ ｔｖ正圧力成形し１１００’（
１で６時間。
１で６時間。
空気中で焼成する。これを２５０μの厚みに研磨し、第
１図の焼結体（１）のようにＲｕＯ２ペーストよりなる
分離電極（２１、（３） （第１．第３電極）を、また
裏面には、第２図のようにほぼ全面塗りのＲｕＯ２ペー
ストよりなる電極（４）（第２電極）をスクリーン印刷
する。つぎに、２５０μ間隔の分離電極（２１、（３）
を挾んで、酸化ルテニウムＲｕ０ｚを０〜ｓ ｏ ｗｔ
％含むチタンとニオブの複合酸化物ペーストをスクリー
ン印刷する。このペーストは、試薬特級酸化チタンＴｌ
Ｏ２と酸化ニオブ。
１図の焼結体（１）のようにＲｕＯ２ペーストよりなる
分離電極（２１、（３） （第１．第３電極）を、また
裏面には、第２図のようにほぼ全面塗りのＲｕＯ２ペー
ストよりなる電極（４）（第２電極）をスクリーン印刷
する。つぎに、２５０μ間隔の分離電極（２１、（３）
を挾んで、酸化ルテニウムＲｕ０ｚを０〜ｓ ｏ ｗｔ
％含むチタンとニオブの複合酸化物ペーストをスクリー
ン印刷する。このペーストは、試薬特級酸化チタンＴｌ
Ｏ２と酸化ニオブ。
ＮｂｚＯｓを０．５≦軒≦４で、好壕しくは軒＝２のモ
ル比で混合したものｆｔ１３００’ｆｌで２時間。
ル比で混合したものｆｔ１３００’ｆｌで２時間。
大気中で焼成し、粉砕し、４００メツシユの篩い通し後
、ＲｕＯ２を混合し、ブチルカルピトールを加えて作ら
れる。印刷後、リード線＋６＋ 、 （７１。
、ＲｕＯ２を混合し、ブチルカルピトールを加えて作ら
れる。印刷後、リード線＋６＋ 、 （７１。
（８１１に付けて、８００°０で１０分焼付する。以上
で形成される電極は多孔質面電極となり、１１極を
１通して湿度が焼結体に達しやすい状態になっている。
で形成される電極は多孔質面電極となり、１１極を
１通して湿度が焼結体に達しやすい状態になっている。
ｉｌ＋は水酸アノくタイト感湿セラミックスで素子基板
１！７Ｉ：ｌＩ成する。（５）は（複合酸化物干Ｒｕ０
ｚ ）感ガス材である。ガスを検知するときには、素子
を２０００以上に保つ必要がある。そのため、第１．２
図の素子の周囲にカンタル紳コイルヒータを設けるか、
または、第２図のベタｍＲｕＯ２電極にリード線２本を
付け、ヒータと感湿電極を兼ねてもよい。
１！７Ｉ：ｌＩ成する。（５）は（複合酸化物干Ｒｕ０
ｚ ）感ガス材である。ガスを検知するときには、素子
を２０００以上に保つ必要がある。そのため、第１．２
図の素子の周囲にカンタル紳コイルヒータを設けるか、
または、第２図のベタｍＲｕＯ２電極にリード線２本を
付け、ヒータと感湿電極を兼ねてもよい。
上記のようにして製造された感ガス感湿素子を使用して
第３図〜第５図に示す測定を行う。
第３図〜第５図に示す測定を行う。
第３図は、２５’０における感湿特性である。
測定は電極（２＋ 、 （３）を短絡し、これと電極（
４）との間にＩＶ、５０１（ｇの正弦波を印加して行な
った。
４）との間にＩＶ、５０１（ｇの正弦波を印加して行な
った。
電極（２１、（３１を短絡しないで、−万の電極と電極
（４）との間は印加してもよいが、測定抵抗は増大する
。
（４）との間は印加してもよいが、測定抵抗は増大する
。
図のように、相対湿度０〜１００％で電気抵抗は４桁以
上変化し、非常に感度が高い。また実験室中に６ケ月間
、１ｖ通ｍまたは無通電で放置しても特性の変化は測定
誤差以内で、非常に安定であった。これは、他のセラミ
ックス湿度センサにはないｗｅである。また応答も２〜
１５秒と速い。
上変化し、非常に感度が高い。また実験室中に６ケ月間
、１ｖ通ｍまたは無通電で放置しても特性の変化は測定
誤差以内で、非常に安定であった。これは、他のセラミ
ックス湿度センサにはないｗｅである。また応答も２〜
１５秒と速い。
８ｇ４図は素子を４５０°０に保ったときの感エタノー
ル特性とＲｕＯ２含有量との関係である。但しＲｕＯ２
の含有量がＯｗｔチでも、ＲｕＯ２金主成分とする電極
（２１（３）が設けられている。
ル特性とＲｕＯ２含有量との関係である。但しＲｕＯ２
の含有量がＯｗｔチでも、ＲｕＯ２金主成分とする電極
（２１（３）が設けられている。
第１図の電極（２１、（３１間の抵抗を測定する。αυ
は大気中でエタノールＯｐｐｍ、Ｑ３はエタノールｔｏ
ｏｐｐｍ中である。図のように従来のＳｎＯｚ系、ｚｎ
Ｏ系センサのエタノール１１００ｐｐでの感度が２倍程
度であつ几ものに比べ、Ｒｕ０２１０ｗｔ％含むものは
、約８０倍の感度をしめす。
は大気中でエタノールＯｐｐｍ、Ｑ３はエタノールｔｏ
ｏｐｐｍ中である。図のように従来のＳｎＯｚ系、ｚｎ
Ｏ系センサのエタノール１１００ｐｐでの感度が２倍程
度であつ几ものに比べ、Ｒｕ０２１０ｗｔ％含むものは
、約８０倍の感度をしめす。
ＲｕＯ２が４０〜５０ ｗｔ％になると、大気中での抵
抗値が下がり、感度も低下する。ここで述べている感度
とは、大気中での抵抗値Ｒａ とエタノール１００ ｐ
ｐｍ中での抵抗値Ｒｇとの比Ｒａ／Ｒｇのことである。
抗値が下がり、感度も低下する。ここで述べている感度
とは、大気中での抵抗値Ｒａ とエタノール１００ ｐ
ｐｍ中での抵抗値Ｒｇとの比Ｒａ／Ｒｇのことである。
第５図は、プロパン、Ｈ２，Ｃｏ、 エタノール各１０
０ ｐｐｍでの感度８で、素子温度４５０ （１゜Ｒｕ
Ｏ２含有率含有率１優 うに、エタノール以外には、はとんど感度をしめさない
。メタノール、イソプロピルアルコールなどに対しては
、エタノールとほぼ同じ感度を示めす。エタノール０→
１００ ｐｐｍ の応答は１秒と非常に速い。
０ ｐｐｍでの感度８で、素子温度４５０ （１゜Ｒｕ
Ｏ２含有率含有率１優 うに、エタノール以外には、はとんど感度をしめさない
。メタノール、イソプロピルアルコールなどに対しては
、エタノールとほぼ同じ感度を示めす。エタノール０→
１００ ｐｐｍ の応答は１秒と非常に速い。
Ｒｕ０２）ｉ含まない、複合酸化物のみのペーストで９
電極をＲｕＯ２にしたもの（第４図、 Ｒｕ０ｚ：Ｑ
ｖｔチ）は４０倍の感度をしめすが、白金Ｐｔ電極では
、エタノールに、はとんど感じなくなる。したがって、
エタノールに対する選択的感度にはＲｕＯ２が寄与して
いるものと考えられる。
電極をＲｕＯ２にしたもの（第４図、 Ｒｕ０ｚ：Ｑ
ｖｔチ）は４０倍の感度をしめすが、白金Ｐｔ電極では
、エタノールに、はとんど感じなくなる。したがって、
エタノールに対する選択的感度にはＲｕＯ２が寄与して
いるものと考えられる。
さらにアパタイトはアルコール吸着症が高いため、アパ
タイトも、高感変、高選択性に寄与している可能性が太
きい。
タイトも、高感変、高選択性に寄与している可能性が太
きい。
以上の実施例は、アパタイトとして、水酸アパタイトを
用いた例であるが、他のアパタイト。
用いた例であるが、他のアパタイト。
すなわち、水酸基をハロゲンで置きかえたものヤ、カル
シウムをストロンチウム、パリクム。
シウムをストロンチウム、パリクム。
鉛などに置き換えたアパタイトを用いてもよい。
また、第１．２図は板状の感ガス感湿素子であるが、筒
状にして、内表面を全面塗り電極、外表面を分離電極に
して９分離電極の間に、感ガスペーストを塗っても良い
。
状にして、内表面を全面塗り電極、外表面を分離電極に
して９分離電極の間に、感ガスペーストを塗っても良い
。
以上のように、この発明は、アパタイトセラミックスか
らなる票子基板、上記アパタイトセラミックスを介在さ
せて上記素子基板に設けた第１．第２電極、第１電極と
離間し上記素子基板に設けた第３電極、第１電極と第３
電極に接触し第１電極と第２電極間に設置４食チタンと
ニオブの複合酸化物と酸化ルテニウムとの混合物を備え
几感ガス感湿素子であるので、一つの一体化した素子で
、Ｏ〜１００チの相対湿度およびアルコールガスを高感
度で選択的に検出することができる。
らなる票子基板、上記アパタイトセラミックスを介在さ
せて上記素子基板に設けた第１．第２電極、第１電極と
離間し上記素子基板に設けた第３電極、第１電極と第３
電極に接触し第１電極と第２電極間に設置４食チタンと
ニオブの複合酸化物と酸化ルテニウムとの混合物を備え
几感ガス感湿素子であるので、一つの一体化した素子で
、Ｏ〜１００チの相対湿度およびアルコールガスを高感
度で選択的に検出することができる。
第１図、第２図はこの発明の一実施例の構成を示す斜視
図で、第１図はその表面、第２図はその裏面を示す。第
３図はこの発明の感湿特性を示す特性−ｉｒｂ、第４図
はこの発明の一実施例の感ガス特性におけるＲｕＯ２含
有量依存性を示す特性曲線図、第５図はこの発明σ）一
実施例における各種ガスに対する感度を示す特性折線図
である。 図中、（１）は感湿セラミックスである素子基板。 （２１、（３１、（４）′は電極でそれぞれ第１．第３
．第２電極に該当する。（５）は感ガス材、 （６１、
＋７１ 、 （８１はリード線である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 − 手続補正書（−発ン 特＋ｉ’ｌ’ ｌ’ｌ長宮殿 ｌ ・１ト１１の表示 特願昭Ｉ？−１１１２
畠号２ イこ明の名称 感ガス感ＩＩｓ子、３７山
ＩＦをする者 事件との関係 特許出願人 代表者片山仁へ部 １代理人 ｉ 補正の対象 明細書の特許請求の範囲および発明の詳細な説明の欄 １ 補正の内容 （ＩＩ 明細書の特許請求の範囲の欄を別紙のとおり
訂正する。 （２）明細書の第５頁第１２行のｒ５０ＨｇＪンｒｓ（
ＩＨｇＪと訂正する。 （３） 同、第８頁第４行〜第９行の「アパタイトセ
ラミックス〜に設けた」を次のように訂正する。 ［アパタイトセラミックスからなる素子基板、上記アパ
タイトセラミックスを介在させて上記素子基板に設は次
第１．第２電極、第１電極と離間し上記素子基板に設け
た第３電極、及び第１電極と第３電極に接触し第１電極
と第３電極間に設けた」１、添付書類の目録 （１１補正後の特許請求の範囲を記載し九畳面１通 以上 特許請求の範囲 ＋１＋ アパタイトセラミックスからなる素子基板、
上記アパタイトセラミックスを介在させて上記素子基板
に設けた＃！１．第１．極、第１電極と離間し上記素子
基板に設けた第３１１極、及び第１電極と第３電極に接
触し第１電極と第３電極間に設け一友チタンとニオブの
複合酸化物と酸化ルテニウムとの混合物ｌ備え良悪ガス
感湿素子。 （２）第１．第３電極に素子基板に酸化ルテニウムン焼
付は友ものである特許請求の範囲第１項記載の感ガス感
ｇ１素子。 手続補正書（自発） 特許庁長官殿 １、事ｒ′（゛の表示 特願昭襲７−１１１２０
号２ 発明の名称 感ガス感湿素子 ３、補正をする者 代表者 片 山 ｆ二 八 部 ４、代理人 ５ 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄およば図面１ 補正の内
容 （１）明細書の第１頁第１７行の「及び」の次に［メチ
ルメルカプタン（ｃｍ、８Ｈ） 、硫化水素（Ｈ２Ｏ）
などＯ悪臭ガス並びに」を挿入する。 （２）同第２頁第１６行の「アルコール」の次に「ガス
及び悪臭ガス」を挿入する。 （３）同第２頁第２０行および第８頁第１２行〜第１３
行の「相対湿度およびアルコールガスを」を「相対湿度
並びにアルコールガスおよびメチルメルカプタン（ＣＨ
３Ｉ）、硫化水素（Ｈ２Ｏ）などの悪臭ガスを」とそれ
ぞれ訂正する。 （４）同第３頁第１行の「アルコールガス」の次に「お
よび悪臭ガス」を挿入する。 （５） 同第３頁第９行の「アルコールガス」の次に
、「、悪臭ガス」を挿入する。 （６）同第３頁第１２行〜第１３行の「アルコールガス
濃度」の次Ｋ「、悪臭ガス濃度」を挿入する。 （７）同第３頁第１４行〜第１５行の［相対湿度あるい
はアルコールガスを」を「相対湿度又はアルコールガス
あるいは悪臭ガスを」と訂正する。 （８）同第６頁第１８行〜第１９行、第７頁第１行およ
び第１０行の「エタノール」の次Ｋ［。 ＯＨ，８Ｈ，Ｈ２ＳＪ をそれぞれ挿入する。 （９） 同第２頁第２０の「アルコール」の次に「、
悪臭ガス」を挿入する。 α１ 図面の第５図を別紙のとおり訂正する。 Ｔ、添付書類の目録 訂正後の第５図をｄｃ載した図面 １通以上
図で、第１図はその表面、第２図はその裏面を示す。第
３図はこの発明の感湿特性を示す特性−ｉｒｂ、第４図
はこの発明の一実施例の感ガス特性におけるＲｕＯ２含
有量依存性を示す特性曲線図、第５図はこの発明σ）一
実施例における各種ガスに対する感度を示す特性折線図
である。 図中、（１）は感湿セラミックスである素子基板。 （２１、（３１、（４）′は電極でそれぞれ第１．第３
．第２電極に該当する。（５）は感ガス材、 （６１、
＋７１ 、 （８１はリード線である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 − 手続補正書（−発ン 特＋ｉ’ｌ’ ｌ’ｌ長宮殿 ｌ ・１ト１１の表示 特願昭Ｉ？−１１１２
畠号２ イこ明の名称 感ガス感ＩＩｓ子、３７山
ＩＦをする者 事件との関係 特許出願人 代表者片山仁へ部 １代理人 ｉ 補正の対象 明細書の特許請求の範囲および発明の詳細な説明の欄 １ 補正の内容 （ＩＩ 明細書の特許請求の範囲の欄を別紙のとおり
訂正する。 （２）明細書の第５頁第１２行のｒ５０ＨｇＪンｒｓ（
ＩＨｇＪと訂正する。 （３） 同、第８頁第４行〜第９行の「アパタイトセ
ラミックス〜に設けた」を次のように訂正する。 ［アパタイトセラミックスからなる素子基板、上記アパ
タイトセラミックスを介在させて上記素子基板に設は次
第１．第２電極、第１電極と離間し上記素子基板に設け
た第３電極、及び第１電極と第３電極に接触し第１電極
と第３電極間に設けた」１、添付書類の目録 （１１補正後の特許請求の範囲を記載し九畳面１通 以上 特許請求の範囲 ＋１＋ アパタイトセラミックスからなる素子基板、
上記アパタイトセラミックスを介在させて上記素子基板
に設けた＃！１．第１．極、第１電極と離間し上記素子
基板に設けた第３１１極、及び第１電極と第３電極に接
触し第１電極と第３電極間に設け一友チタンとニオブの
複合酸化物と酸化ルテニウムとの混合物ｌ備え良悪ガス
感湿素子。 （２）第１．第３電極に素子基板に酸化ルテニウムン焼
付は友ものである特許請求の範囲第１項記載の感ガス感
ｇ１素子。 手続補正書（自発） 特許庁長官殿 １、事ｒ′（゛の表示 特願昭襲７−１１１２０
号２ 発明の名称 感ガス感湿素子 ３、補正をする者 代表者 片 山 ｆ二 八 部 ４、代理人 ５ 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄およば図面１ 補正の内
容 （１）明細書の第１頁第１７行の「及び」の次に［メチ
ルメルカプタン（ｃｍ、８Ｈ） 、硫化水素（Ｈ２Ｏ）
などＯ悪臭ガス並びに」を挿入する。 （２）同第２頁第１６行の「アルコール」の次に「ガス
及び悪臭ガス」を挿入する。 （３）同第２頁第２０行および第８頁第１２行〜第１３
行の「相対湿度およびアルコールガスを」を「相対湿度
並びにアルコールガスおよびメチルメルカプタン（ＣＨ
３Ｉ）、硫化水素（Ｈ２Ｏ）などの悪臭ガスを」とそれ
ぞれ訂正する。 （４）同第３頁第１行の「アルコールガス」の次に「お
よび悪臭ガス」を挿入する。 （５） 同第３頁第９行の「アルコールガス」の次に
、「、悪臭ガス」を挿入する。 （６）同第３頁第１２行〜第１３行の「アルコールガス
濃度」の次Ｋ「、悪臭ガス濃度」を挿入する。 （７）同第３頁第１４行〜第１５行の［相対湿度あるい
はアルコールガスを」を「相対湿度又はアルコールガス
あるいは悪臭ガスを」と訂正する。 （８）同第６頁第１８行〜第１９行、第７頁第１行およ
び第１０行の「エタノール」の次Ｋ［。 ＯＨ，８Ｈ，Ｈ２ＳＪ をそれぞれ挿入する。 （９） 同第２頁第２０の「アルコール」の次に「、
悪臭ガス」を挿入する。 α１ 図面の第５図を別紙のとおり訂正する。 Ｔ、添付書類の目録 訂正後の第５図をｄｃ載した図面 １通以上
Claims (2)
- （１） アパタイトセラミックスからなる素子基板上
記アパタイトセラミックスを介在させて上記素子基板に
設けた第１．第２電極、第１電極と離間し上記素子基板
に設けた第３電極。 第１電極と第３電極に接触し第１電極と第２電極間に設
けたチタンとニオブの複合酸化物と酸化ルテニウムとの
混合物を備えた感ガス感湿素子。 - （２） 第２．第３電極は素子基板に酸化ルテニウム
を焼付けたものである特許請求の範囲第１項記載の感ガ
ス感湿素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051828A JPS58168948A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 感ガス感湿素子 |
| US06/475,949 US4456902A (en) | 1982-03-30 | 1983-03-16 | Gas and humidity sensing element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57051828A JPS58168948A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 感ガス感湿素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58168948A true JPS58168948A (ja) | 1983-10-05 |
Family
ID=12897734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57051828A Pending JPS58168948A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 感ガス感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58168948A (ja) |
-
1982
- 1982-03-30 JP JP57051828A patent/JPS58168948A/ja active Pending
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