JPH0580021A - 炭酸ガス検知センサ - Google Patents
炭酸ガス検知センサInfo
- Publication number
- JPH0580021A JPH0580021A JP3035082A JP3508291A JPH0580021A JP H0580021 A JPH0580021 A JP H0580021A JP 3035082 A JP3035082 A JP 3035082A JP 3508291 A JP3508291 A JP 3508291A JP H0580021 A JPH0580021 A JP H0580021A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon dioxide
- carbonate
- solid solution
- detection sensor
- dioxide gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、固体電解質型炭酸ガスセンサに関
し、その湿度特性を改良して高精度で炭酸ガス濃度の測
定ができる炭酸ガス検知センサを提供することを目的と
する。 【構成】イオン伝導体を挟んで検知電極と基準電極とを
対設してなる炭酸ガスセンサにおいて、検知電極の検知
材料としてアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸
塩との固溶体であってアルカリ金属炭酸塩の結晶を含ま
ないものを用いる。これにより被検ガス中の炭酸ガスの
濃度を湿度の影響を受けることなく正確に検出すること
ができる。
し、その湿度特性を改良して高精度で炭酸ガス濃度の測
定ができる炭酸ガス検知センサを提供することを目的と
する。 【構成】イオン伝導体を挟んで検知電極と基準電極とを
対設してなる炭酸ガスセンサにおいて、検知電極の検知
材料としてアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸
塩との固溶体であってアルカリ金属炭酸塩の結晶を含ま
ないものを用いる。これにより被検ガス中の炭酸ガスの
濃度を湿度の影響を受けることなく正確に検出すること
ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体電解質炭酸ガスセ
ンサに関し、特に、検知電極の耐湿度特性の向上に関す
るものである。
ンサに関し、特に、検知電極の耐湿度特性の向上に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】現在開発されている固体電解質センサ
は、イオン伝導体である固体電解質の両側に検知電極と
基準電極とを設けて構成されるのが普通である。一般に
固体電解質センサを用いて雰囲気中に存在するガス成分
を検出する場合には、固体電解質として用いる特定のイ
オン導電体と組合せて、その特定のイオンと目的のガス
成分とを含む化合物をたとえば白金等の電極に対する被
覆材料として用いるようにしている。
は、イオン伝導体である固体電解質の両側に検知電極と
基準電極とを設けて構成されるのが普通である。一般に
固体電解質センサを用いて雰囲気中に存在するガス成分
を検出する場合には、固体電解質として用いる特定のイ
オン導電体と組合せて、その特定のイオンと目的のガス
成分とを含む化合物をたとえば白金等の電極に対する被
覆材料として用いるようにしている。
【０００３】このような原理に基づく炭酸ガスセンサと
しては、ナトリウムイオン導電体、たとえばβアルミナ
（一般式Na2 O ・nAl 2O 3 ，ｎ＝５〜１１）やNASICON
(一般式Na1-x Zr2 P 3-x Six O 12) 等を用いた例があ
り、この場合、検知電極には金と炭酸ナトリウムとを組
み合わせたものが用いられている。また基準電極として
は、金や白金を単独であるいはこれに炭酸ナトリウム等
を被覆したうえ、これを空気または炭酸ガスの中に密封
したものが標準的である。従って、被測定ガスとしての
炭酸ガスは上記の検知電極には接触できるが、反対側の
基準電極には接触できない状態に置かれることになる。
しては、ナトリウムイオン導電体、たとえばβアルミナ
（一般式Na2 O ・nAl 2O 3 ，ｎ＝５〜１１）やNASICON
(一般式Na1-x Zr2 P 3-x Six O 12) 等を用いた例があ
り、この場合、検知電極には金と炭酸ナトリウムとを組
み合わせたものが用いられている。また基準電極として
は、金や白金を単独であるいはこれに炭酸ナトリウム等
を被覆したうえ、これを空気または炭酸ガスの中に密封
したものが標準的である。従って、被測定ガスとしての
炭酸ガスは上記の検知電極には接触できるが、反対側の
基準電極には接触できない状態に置かれることになる。
【０００４】このセンサ部は、作動時には通常400 ℃〜
600 ℃程度の一定温度に加熱されていて、検知電極と接
触する被検ガス中の炭酸ガスの分圧に対応して検知電極
にナトリウムイオンの起電力が生じ、両電極間の起電力
の差に比例したナトリウムイオンがイオン導電体中を伝
導するから、この起電力を測定することによって炭酸ガ
ス濃度が検出できるものである。
600 ℃程度の一定温度に加熱されていて、検知電極と接
触する被検ガス中の炭酸ガスの分圧に対応して検知電極
にナトリウムイオンの起電力が生じ、両電極間の起電力
の差に比例したナトリウムイオンがイオン導電体中を伝
導するから、この起電力を測定することによって炭酸ガ
ス濃度が検出できるものである。
【０００５】ところが、上記のように検知電極には炭酸
ナトリウムを被覆し、イオン伝導体にはNASICON を使用
した従来例の炭酸ガスセンサの場合には、その起電力特
性は被検ガス中の水分によって大きく影響を受けるもの
であった。すなわち、素子温度を550 ℃としたときの、
湿度２０％、湿度７５％及び乾燥したそれぞれの空気中
における炭酸ガスの濃度変化に対する起電力特性は、図
３に示すように、２０％でも湿度があれば炭酸ガスの濃
度変化に対する起電力が小さくなって十分な検知ができ
ないばかりでなく、炭酸ガスの濃度変化であるか湿度の
変化であるかの区別が困難であるという問題点があっ
た。
ナトリウムを被覆し、イオン伝導体にはNASICON を使用
した従来例の炭酸ガスセンサの場合には、その起電力特
性は被検ガス中の水分によって大きく影響を受けるもの
であった。すなわち、素子温度を550 ℃としたときの、
湿度２０％、湿度７５％及び乾燥したそれぞれの空気中
における炭酸ガスの濃度変化に対する起電力特性は、図
３に示すように、２０％でも湿度があれば炭酸ガスの濃
度変化に対する起電力が小さくなって十分な検知ができ
ないばかりでなく、炭酸ガスの濃度変化であるか湿度の
変化であるかの区別が困難であるという問題点があっ
た。
【０００６】そこで検知電極部を、炭酸ガスは透過する
が水分は透過しないようなガス透過膜で覆う等の改良方
法が提案されているが、この公知技術においては透過膜
の作成方法が非常に面倒であって、実用化することは難
しいものであった。
が水分は透過しないようなガス透過膜で覆う等の改良方
法が提案されているが、この公知技術においては透過膜
の作成方法が非常に面倒であって、実用化することは難
しいものであった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の従来
技術における問題点の解消を図ったもので、固体電解質
を用いた炭酸ガス検知センサの湿度特性を改良して高精
度で炭酸ガス濃度の測定ができる炭酸ガス検知センサを
提供することを目的としている。
技術における問題点の解消を図ったもので、固体電解質
を用いた炭酸ガス検知センサの湿度特性を改良して高精
度で炭酸ガス濃度の測定ができる炭酸ガス検知センサを
提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の炭酸ガス検知センサは、イオン伝導体を
挟んで検知電極と基準電極とを対設してなる炭酸ガスセ
ンサにおいて、検知電極の被覆材料としてアルカリ土類
金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩との固溶体であってア
ルカリ金属炭酸塩の結晶を含まないものを用いた。
めに、本発明の炭酸ガス検知センサは、イオン伝導体を
挟んで検知電極と基準電極とを対設してなる炭酸ガスセ
ンサにおいて、検知電極の被覆材料としてアルカリ土類
金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩との固溶体であってア
ルカリ金属炭酸塩の結晶を含まないものを用いた。
【０００９】すなわち本発明の炭酸ガス検知センサにお
いては、検知電極としてたとえば白金黒を付着した白金
網等で形成したものが用いられ、その上にアルカリ土類
金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩との固溶体であってア
ルカリ金属炭酸塩の結晶を含まないもので被覆されてい
る。かかる固溶体を構成するアルカリ土類金属炭酸塩と
しては、炭酸カルシウム、炭酸ストロンチウム及び炭酸
バリウムなどが好ましく用いられ、これらは一種のみな
らず二種以上を用いてもよい。そして更に、固溶体を構
成するアルカリ金属炭酸塩としては、炭酸リチウム、炭
酸ナトリウム及び炭酸カリウムが好ましく用いられ、こ
れらは一種のみならず二種以上を用いてもよい。
いては、検知電極としてたとえば白金黒を付着した白金
網等で形成したものが用いられ、その上にアルカリ土類
金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩との固溶体であってア
ルカリ金属炭酸塩の結晶を含まないもので被覆されてい
る。かかる固溶体を構成するアルカリ土類金属炭酸塩と
しては、炭酸カルシウム、炭酸ストロンチウム及び炭酸
バリウムなどが好ましく用いられ、これらは一種のみな
らず二種以上を用いてもよい。そして更に、固溶体を構
成するアルカリ金属炭酸塩としては、炭酸リチウム、炭
酸ナトリウム及び炭酸カリウムが好ましく用いられ、こ
れらは一種のみならず二種以上を用いてもよい。
【００１０】前記のアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ
金属炭酸塩との固溶体は、その中にアルカリ金属炭酸塩
の結晶を含まないものである。すなわち、固溶体中のア
ルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩との配合比
が小さいものであるときはアルカリ金属炭酸塩の単独の
結晶が生じやすいので、アルカリ金属炭酸塩の配合量が
多いことは望ましくない。逆にアルカリ金属炭酸塩の配
合量が少ないときはアルカリ金属炭酸塩の単独の結晶が
生じ難いので好ましいが、固溶体の融点が高くなり検知
電極を形成するに際しての作業条件が厳しくなるという
不利がある。
金属炭酸塩との固溶体は、その中にアルカリ金属炭酸塩
の結晶を含まないものである。すなわち、固溶体中のア
ルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩との配合比
が小さいものであるときはアルカリ金属炭酸塩の単独の
結晶が生じやすいので、アルカリ金属炭酸塩の配合量が
多いことは望ましくない。逆にアルカリ金属炭酸塩の配
合量が少ないときはアルカリ金属炭酸塩の単独の結晶が
生じ難いので好ましいが、固溶体の融点が高くなり検知
電極を形成するに際しての作業条件が厳しくなるという
不利がある。
【００１１】このようなアルカリ土類金属炭酸塩とアル
カリ金属炭酸塩との配合比は、それぞれ組み合わせるア
ルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩との種類に
よって異なるが、一般には多量のアルカリ土類金属炭酸
塩と少量のアルカリ金属炭酸塩とを組み合わせて用いる
のが好ましい。
カリ金属炭酸塩との配合比は、それぞれ組み合わせるア
ルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩との種類に
よって異なるが、一般には多量のアルカリ土類金属炭酸
塩と少量のアルカリ金属炭酸塩とを組み合わせて用いる
のが好ましい。
【００１２】固体電解質としては、たとえばβアルミ
ナ、NASICON の焼結体等の他、適宜のナトリウムイオン
伝導体を用いることができる。また基準電極には、たと
えば白金黒を付着した白金網等で形成したものが用いら
れ、場合によっては検知電極と同様にアルカリ土類金属
炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩との固溶体で被覆されてい
てもよい。このような基準電極は、カバーで覆って被検
ガス中の炭酸ガスの濃度の影響を受けないようにするこ
とが好ましい。
ナ、NASICON の焼結体等の他、適宜のナトリウムイオン
伝導体を用いることができる。また基準電極には、たと
えば白金黒を付着した白金網等で形成したものが用いら
れ、場合によっては検知電極と同様にアルカリ土類金属
炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩との固溶体で被覆されてい
てもよい。このような基準電極は、カバーで覆って被検
ガス中の炭酸ガスの濃度の影響を受けないようにするこ
とが好ましい。
【００１３】
【作用】以上のように構成された炭酸ガス検知センサ
は、４００℃から６００℃に加温され、検知電極と接触
する被検ガス中の炭酸ガスの分圧に対応して検知電極と
基準電極との間に発生する起電力を測定することによ
り、被検ガス中の炭酸ガスの濃度を湿度の影響を受ける
ことなく正確に検出することができる。
は、４００℃から６００℃に加温され、検知電極と接触
する被検ガス中の炭酸ガスの分圧に対応して検知電極と
基準電極との間に発生する起電力を測定することによ
り、被検ガス中の炭酸ガスの濃度を湿度の影響を受ける
ことなく正確に検出することができる。
【００１４】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１に本発明の炭酸ガス検知センサの構造を示
す。同図において、１は炭酸ガス検知センサ、２は検知
電極である。この検知電極２は、例えば白金黒を付着し
た白金網上にアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭
酸塩との固溶体の検知材料層３を被覆したものである。
４はナトリウムイオン伝導体であり、また５は基準電極
であって例えば白金黒を付着した白金網で形成され、被
検ガスから遮蔽するためにガラス等からなるカバー８で
覆って封止してある。なお、６はセラミック基板であ
り、７は基板の裏面に設けられた白金膜からなるヒータ
である。
する。図１に本発明の炭酸ガス検知センサの構造を示
す。同図において、１は炭酸ガス検知センサ、２は検知
電極である。この検知電極２は、例えば白金黒を付着し
た白金網上にアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭
酸塩との固溶体の検知材料層３を被覆したものである。
４はナトリウムイオン伝導体であり、また５は基準電極
であって例えば白金黒を付着した白金網で形成され、被
検ガスから遮蔽するためにガラス等からなるカバー８で
覆って封止してある。なお、６はセラミック基板であ
り、７は基板の裏面に設けられた白金膜からなるヒータ
である。
【００１５】炭酸ガス検知センサ１は、図２の測定装置
のチャンバ１０の中に設置し、ヒータ７によって加熱す
る。空気、酸素及び炭酸ガスを流量計１１、１２及び１
３を通して所定の濃度となるよう混合してチャンバ１０
に供給し、検知電極２と基準電極５との間の起電力を電
圧計９で測定する。なお、１４は被検ガスに水分を付加
するための水槽で、１６は逆流防止用のトラップ、１５
は排気口である。
のチャンバ１０の中に設置し、ヒータ７によって加熱す
る。空気、酸素及び炭酸ガスを流量計１１、１２及び１
３を通して所定の濃度となるよう混合してチャンバ１０
に供給し、検知電極２と基準電極５との間の起電力を電
圧計９で測定する。なお、１４は被検ガスに水分を付加
するための水槽で、１６は逆流防止用のトラップ、１５
は排気口である。
【００１６】（第１実施例）この実施例においては、ナ
トリウムイオン伝導体４としてNASICON を用い、また白
金黒を付着した白金網で形成された検知電極２を被覆す
る検知材料層３のアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金
属炭酸塩との固溶体として、炭酸バリウムと炭酸ナトリ
ウムをモル比で１．７：１となるよう固溶したものを用
いており、その他は前述のように構成されている。
トリウムイオン伝導体４としてNASICON を用い、また白
金黒を付着した白金網で形成された検知電極２を被覆す
る検知材料層３のアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金
属炭酸塩との固溶体として、炭酸バリウムと炭酸ナトリ
ウムをモル比で１．７：１となるよう固溶したものを用
いており、その他は前述のように構成されている。
【００１７】この本発明の第１実施例の炭酸ガス検知セ
ンサＡを、図２の測定装置により素子温度550 ℃となる
ようヒータ７で加熱し、100 〜2000ppm の濃度の炭酸ガ
スに対する起電力特性を湿り空気中および乾燥空気中で
測定した。その結果を図４に示すが、湿度２０％および
湿度７５％の湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ同
一の特性を示していることがわかる。
ンサＡを、図２の測定装置により素子温度550 ℃となる
ようヒータ７で加熱し、100 〜2000ppm の濃度の炭酸ガ
スに対する起電力特性を湿り空気中および乾燥空気中で
測定した。その結果を図４に示すが、湿度２０％および
湿度７５％の湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ同
一の特性を示していることがわかる。
【００１８】（第１比較例）炭酸バリウムと炭酸ナトリ
ウムをモル比で１．７：１とする代わりに、１：１とし
た固溶体を用いて検知電極を被覆した他は第１実施例と
全く同様に構成した炭酸ガス検知センサａについて、第
１実施例と同様にして炭酸ガスに対する起電力特性を湿
度５０％の湿り空気中および乾燥空気中で測定した。そ
の結果を図５に示すが、第１比較例の炭酸ガス検知セン
サａは、被検ガス中の水分により出力が大幅に変化する
ことがわかる。
ウムをモル比で１．７：１とする代わりに、１：１とし
た固溶体を用いて検知電極を被覆した他は第１実施例と
全く同様に構成した炭酸ガス検知センサａについて、第
１実施例と同様にして炭酸ガスに対する起電力特性を湿
度５０％の湿り空気中および乾燥空気中で測定した。そ
の結果を図５に示すが、第１比較例の炭酸ガス検知セン
サａは、被検ガス中の水分により出力が大幅に変化する
ことがわかる。
【００１９】（第１参考例）第１実施例で用いた炭酸バ
リウムと炭酸ナトリウムとのモル比が１．７：１の固溶
体と、第１比較例で用いた同じくモル比が１：１の固溶
体とをＸ線回折によって結晶構造の分析を行った。図１
４及び図１５にそのチャートを示すが、参考のための図
２４の炭酸バリウムのチャート並びに図２７の炭酸ナト
リウムのチャートと対比すると、モル比が１：１の固溶
体には炭酸ナトリウムの結晶に特有のピークが見られる
のに対し、モル比が１．７：１の固溶体にはこれが無
く、炭酸ナトリウムの結晶が含まれていないことがわか
る。
リウムと炭酸ナトリウムとのモル比が１．７：１の固溶
体と、第１比較例で用いた同じくモル比が１：１の固溶
体とをＸ線回折によって結晶構造の分析を行った。図１
４及び図１５にそのチャートを示すが、参考のための図
２４の炭酸バリウムのチャート並びに図２７の炭酸ナト
リウムのチャートと対比すると、モル比が１：１の固溶
体には炭酸ナトリウムの結晶に特有のピークが見られる
のに対し、モル比が１．７：１の固溶体にはこれが無
く、炭酸ナトリウムの結晶が含まれていないことがわか
る。
【００２０】（第２実施例）この実施例は、炭酸バリウ
ムと炭酸ナトリウムのモル比が１．７：１である固溶体
を用いる代わりに、炭酸バリウムと炭酸リチウムのモル
比が２．５：１である固溶体を用いて検知電極を被覆し
た他は、第１実施例と全く同様に構成された炭酸ガス検
知センサである。
ムと炭酸ナトリウムのモル比が１．７：１である固溶体
を用いる代わりに、炭酸バリウムと炭酸リチウムのモル
比が２．５：１である固溶体を用いて検知電極を被覆し
た他は、第１実施例と全く同様に構成された炭酸ガス検
知センサである。
【００２１】この本発明の第２実施例の炭酸ガス検知セ
ンサＢを、第１実施例と同様に素子温度550 ℃となるよ
う加熱して、炭酸ガスに対する起電力特性を湿度５０％
の湿り空気中および乾燥空気中で測定した。その結果を
図６に示すが、湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ
同一の特性を示していることがわかる。
ンサＢを、第１実施例と同様に素子温度550 ℃となるよ
う加熱して、炭酸ガスに対する起電力特性を湿度５０％
の湿り空気中および乾燥空気中で測定した。その結果を
図６に示すが、湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ
同一の特性を示していることがわかる。
【００２２】（第２比較例）炭酸バリウムと炭酸リチウ
ムのモル比を２．５：１とする代わりに、２：１とした
固溶体を用いて検知電極を被覆した他は第２実施例と全
く同様に構成した炭酸ガス検知センサｂについて、第２
実施例と同様にして炭酸ガスに対する起電力特性を湿り
空気中および乾燥空気中で測定した。その結果を図７に
示すが、第２比較例の炭酸ガス検知センサｂは、被検ガ
ス中の水分により出力が変化することがわかる。
ムのモル比を２．５：１とする代わりに、２：１とした
固溶体を用いて検知電極を被覆した他は第２実施例と全
く同様に構成した炭酸ガス検知センサｂについて、第２
実施例と同様にして炭酸ガスに対する起電力特性を湿り
空気中および乾燥空気中で測定した。その結果を図７に
示すが、第２比較例の炭酸ガス検知センサｂは、被検ガ
ス中の水分により出力が変化することがわかる。
【００２３】（第２参考例）第２実施例で用いた炭酸バ
リウムと炭酸リチウムとのモル比が２．５：１の固溶体
と、第２比較例で用いた同じくモル比が２：１の固溶体
とをＸ線回折によって結晶構造の分析を行った。図１６
及び図１７にそのチャートを示すが、参考のための図２
４の炭酸バリウムのチャート並びに図２８の炭酸リチウ
ムのチャートと対比すると、モル比が２：１の固溶体に
は炭酸リチウムの結晶に特有のピークが見られるのに対
し、モル比が２．５：１の固溶体にはこれが無く、炭酸
リチウムの結晶が含まれていないことがわかる。
リウムと炭酸リチウムとのモル比が２．５：１の固溶体
と、第２比較例で用いた同じくモル比が２：１の固溶体
とをＸ線回折によって結晶構造の分析を行った。図１６
及び図１７にそのチャートを示すが、参考のための図２
４の炭酸バリウムのチャート並びに図２８の炭酸リチウ
ムのチャートと対比すると、モル比が２：１の固溶体に
は炭酸リチウムの結晶に特有のピークが見られるのに対
し、モル比が２．５：１の固溶体にはこれが無く、炭酸
リチウムの結晶が含まれていないことがわかる。
【００２４】（第３実施例）この実施例は、炭酸バリウ
ムと炭酸ナトリウムのモル比が１．７：１である固溶体
を用いる代わりに、炭酸バリウムと炭酸カリウムのモル
比が３：１である固溶体を用いて検知電極を被覆した他
は、第１実施例と全く同様に構成された炭酸ガス検知セ
ンサである。
ムと炭酸ナトリウムのモル比が１．７：１である固溶体
を用いる代わりに、炭酸バリウムと炭酸カリウムのモル
比が３：１である固溶体を用いて検知電極を被覆した他
は、第１実施例と全く同様に構成された炭酸ガス検知セ
ンサである。
【００２５】この本発明の第３実施例の炭酸ガス検知セ
ンサＣを、第２実施例と同様に素子温度550 ℃となるよ
う加熱して、炭酸ガスに対する起電力特性を湿り空気中
および乾燥空気中で測定した。その結果を図８に示す
が、湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ同一の特性
を示していることがわかる。
ンサＣを、第２実施例と同様に素子温度550 ℃となるよ
う加熱して、炭酸ガスに対する起電力特性を湿り空気中
および乾燥空気中で測定した。その結果を図８に示す
が、湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ同一の特性
を示していることがわかる。
【００２６】（第３比較例）炭酸バリウムと炭酸カリウ
ムのモル比を３：１とする代わりに、１：１とした固溶
体を用いて検知電極を被覆した他は第３実施例と全く同
様に構成した炭酸ガス検知センサｃについて、第２実施
例と同様にして炭酸ガスに対する起電力特性を湿り空気
中および乾燥空気中で測定した。その結果を図９に示す
が、第３比較例の炭酸ガス検知センサｃは、被検ガス中
の水分により出力が変化することがわかる。
ムのモル比を３：１とする代わりに、１：１とした固溶
体を用いて検知電極を被覆した他は第３実施例と全く同
様に構成した炭酸ガス検知センサｃについて、第２実施
例と同様にして炭酸ガスに対する起電力特性を湿り空気
中および乾燥空気中で測定した。その結果を図９に示す
が、第３比較例の炭酸ガス検知センサｃは、被検ガス中
の水分により出力が変化することがわかる。
【００２７】（第３参考例）第３実施例で用いた炭酸バ
リウムと炭酸カリウムとのモル比が３：１の固溶体と、
第３比較例で用いた同じくモル比が１：１の固溶体とを
Ｘ線回折によって結晶構造の分析を行った。図１８及び
図１９にそのチャートを示すが、参考のための図２４の
炭酸バリウムのチャート並びに図２９の炭酸カリウムの
チャートと対比すると、モル比が１：１の固溶体には炭
酸カリウムの結晶に特有のピークが見られるのに対し、
モル比が３：１の固溶体にはこれが無く、炭酸カリウム
の結晶が含まれていないことがわかる。
リウムと炭酸カリウムとのモル比が３：１の固溶体と、
第３比較例で用いた同じくモル比が１：１の固溶体とを
Ｘ線回折によって結晶構造の分析を行った。図１８及び
図１９にそのチャートを示すが、参考のための図２４の
炭酸バリウムのチャート並びに図２９の炭酸カリウムの
チャートと対比すると、モル比が１：１の固溶体には炭
酸カリウムの結晶に特有のピークが見られるのに対し、
モル比が３：１の固溶体にはこれが無く、炭酸カリウム
の結晶が含まれていないことがわかる。
【００２８】（第４実施例）この実施例は、炭酸バリウ
ムと炭酸ナトリウムのモル比が１．７：１である固溶体
を用いる代わりに、炭酸ストロンチウムと炭酸ナトリウ
ムのモル比が２．０：１である固溶体を用いて検知電極
を被覆した他は、第１実施例と全く同様に構成された炭
酸ガス検知センサである。
ムと炭酸ナトリウムのモル比が１．７：１である固溶体
を用いる代わりに、炭酸ストロンチウムと炭酸ナトリウ
ムのモル比が２．０：１である固溶体を用いて検知電極
を被覆した他は、第１実施例と全く同様に構成された炭
酸ガス検知センサである。
【００２９】この本発明の第４実施例の炭酸ガス検知セ
ンサＤを、第２実施例と同様に素子温度550 ℃となるよ
う加熱して、炭酸ガスに対する起電力特性を湿り空気中
および乾燥空気中で測定した。その結果を図１０に示す
が、湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ同一の特性
を示していることがわかる。
ンサＤを、第２実施例と同様に素子温度550 ℃となるよ
う加熱して、炭酸ガスに対する起電力特性を湿り空気中
および乾燥空気中で測定した。その結果を図１０に示す
が、湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ同一の特性
を示していることがわかる。
【００３０】（第４比較例）炭酸ストロンチウムと炭酸
ナトリウムのモル比を２：１とする代わりに、１．５：
１とした固溶体を用いて検知電極を被覆した他は第４実
施例と全く同様に構成した炭酸ガス検知センサｄについ
て、第２実施例と同様にして炭酸ガスに対する起電力特
性を湿り空気中および乾燥空気中で測定した。その結果
を図１１に示すが、第４比較例の炭酸ガス検知センサｄ
は、被検ガス中の水分により出力が変化することがわか
る。
ナトリウムのモル比を２：１とする代わりに、１．５：
１とした固溶体を用いて検知電極を被覆した他は第４実
施例と全く同様に構成した炭酸ガス検知センサｄについ
て、第２実施例と同様にして炭酸ガスに対する起電力特
性を湿り空気中および乾燥空気中で測定した。その結果
を図１１に示すが、第４比較例の炭酸ガス検知センサｄ
は、被検ガス中の水分により出力が変化することがわか
る。
【００３１】（第４参考例）第４実施例で用いた炭酸ス
トロンチウムと炭酸ナトリウムとのモル比が２：１の固
溶体と、第４比較例で用いた同じくモル比が１．５：１
の固溶体とをＸ線回折によって結晶構造の分析を行っ
た。図２０及び図２１にそのチャートを示すが、参考の
ための図２５の炭酸ストロンチウムのチャート並びに図
２７の炭酸ナトリウムのチャートと対比すると、モル比
が１．５：１の固溶体には炭酸ナトリウムの結晶に特有
のピークが見られるのに対し、モル比が２：１の固溶体
にはこれが無く、炭酸ナトリウムの結晶が含まれていな
いことがわかる。
トロンチウムと炭酸ナトリウムとのモル比が２：１の固
溶体と、第４比較例で用いた同じくモル比が１．５：１
の固溶体とをＸ線回折によって結晶構造の分析を行っ
た。図２０及び図２１にそのチャートを示すが、参考の
ための図２５の炭酸ストロンチウムのチャート並びに図
２７の炭酸ナトリウムのチャートと対比すると、モル比
が１．５：１の固溶体には炭酸ナトリウムの結晶に特有
のピークが見られるのに対し、モル比が２：１の固溶体
にはこれが無く、炭酸ナトリウムの結晶が含まれていな
いことがわかる。
【００３２】（第５実施例）この実施例は、炭酸バリウ
ムと炭酸ナトリウムのモル比が１．７：１である固溶体
を用いる代わりに、炭酸カルシウムと炭酸リチウムのモ
ル比が３：１である固溶体を用いて検知電極を被覆した
他は、第１実施例と全く同様に構成された炭酸ガス検知
センサである。
ムと炭酸ナトリウムのモル比が１．７：１である固溶体
を用いる代わりに、炭酸カルシウムと炭酸リチウムのモ
ル比が３：１である固溶体を用いて検知電極を被覆した
他は、第１実施例と全く同様に構成された炭酸ガス検知
センサである。
【００３３】この本発明の第５実施例の炭酸ガス検知セ
ンサＥを、第２実施例と同様に素子温度550 ℃となるよ
う加熱して、炭酸ガスに対する起電力特性を湿り空気中
および乾燥空気中で測定した。その結果を図１２に示す
が、湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ同一の特性
を示していることがわかる。
ンサＥを、第２実施例と同様に素子温度550 ℃となるよ
う加熱して、炭酸ガスに対する起電力特性を湿り空気中
および乾燥空気中で測定した。その結果を図１２に示す
が、湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ同一の特性
を示していることがわかる。
【００３４】（第５比較例）炭酸カルシウムと炭酸リチ
ウムのモル比を３：１とする代わりに、２：１とした固
溶体を用いて検知電極を被覆した他は第５実施例と全く
同様に構成した炭酸ガス検知センサｅについて、第２実
施例と同様にして炭酸ガスに対する起電力特性を湿り空
気中および乾燥空気中で測定した。その結果を図１３に
示すが、第５比較例の炭酸ガス検知センサｅは、被検ガ
ス中の水分により出力が変化することがわかる。
ウムのモル比を３：１とする代わりに、２：１とした固
溶体を用いて検知電極を被覆した他は第５実施例と全く
同様に構成した炭酸ガス検知センサｅについて、第２実
施例と同様にして炭酸ガスに対する起電力特性を湿り空
気中および乾燥空気中で測定した。その結果を図１３に
示すが、第５比較例の炭酸ガス検知センサｅは、被検ガ
ス中の水分により出力が変化することがわかる。
【００３５】（第５参考例）第５実施例で用いた炭酸カ
ルシウムと炭酸リチウムとのモル比が３：１の固溶体
と、第５比較例で用いた同じくモル比が２：１の固溶体
とをＸ線回折によって結晶構造の分析を行った。図２２
及び図２３にそのチャートを示すが、参考のための図２
６の炭酸カルシウムのチャート並びに図２８の炭酸リチ
ウムのチャートと対比すると、モル比が２：１の固溶体
には炭酸リチウムの結晶に特有のピークが見られるのに
対し、モル比が３：１の固溶体にはこれが無く、炭酸リ
チウムの結晶が含まれていないことがわかる。
ルシウムと炭酸リチウムとのモル比が３：１の固溶体
と、第５比較例で用いた同じくモル比が２：１の固溶体
とをＸ線回折によって結晶構造の分析を行った。図２２
及び図２３にそのチャートを示すが、参考のための図２
６の炭酸カルシウムのチャート並びに図２８の炭酸リチ
ウムのチャートと対比すると、モル比が２：１の固溶体
には炭酸リチウムの結晶に特有のピークが見られるのに
対し、モル比が３：１の固溶体にはこれが無く、炭酸リ
チウムの結晶が含まれていないことがわかる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、検
知電極をアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩
との固溶体、特にアルカリ金属炭酸塩の結晶を含まない
固溶体で被覆したから、炭酸ガスに対する起電力特性が
被検ガス中の水分の影響を受けにくく、しかも高い感度
を持つ炭酸ガス検知センサが得られたものである。
知電極をアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭酸塩
との固溶体、特にアルカリ金属炭酸塩の結晶を含まない
固溶体で被覆したから、炭酸ガスに対する起電力特性が
被検ガス中の水分の影響を受けにくく、しかも高い感度
を持つ炭酸ガス検知センサが得られたものである。
【図１】本発明の炭酸ガス検知センサの構成図である。
【図２】炭酸ガス検知センサの炭酸ガスに対する起電力
特性を測定する装置の構成図である。
特性を測定する装置の構成図である。
【図３】従来例の炭酸ガス検知センサの、湿り空気中お
よび乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図である。
よび乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図である。
【図４】本発明の第１実施例の炭酸ガス検知センサＡ
の、湿り空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性
図である。
の、湿り空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性
図である。
【図５】第１比較例の炭酸ガス検知センサａの、湿り空
気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図である。
気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図である。
【図６】本発明の第２実施例の炭酸ガス検知センサＢ
の、湿り空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性
図である。
の、湿り空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性
図である。
【図７】第２比較例の炭酸ガス検知センサｂの、湿り空
気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図である。
気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図である。
【図８】本発明の第３実施例の炭酸ガス検知センサＣ
の、湿り空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性
図である。
の、湿り空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性
図である。
【図９】第３比較例の炭酸ガス検知センサｃの、湿り空
気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図である。
気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図である。
【図１０】本発明の第４実施例の炭酸ガス検知センサＤ
の、湿り空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性
図である。
の、湿り空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性
図である。
【図１１】第４比較例の炭酸ガス検知センサｄの、湿り
空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図であ
る。
空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図であ
る。
【図１２】本発明の第５実施例の炭酸ガス検知センサＥ
の、湿り空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性
図である。
の、湿り空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性
図である。
【図１３】第５比較例の炭酸ガス検知センサｅの、湿り
空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図であ
る。
空気中および乾燥空気中の炭酸ガスの検出特性図であ
る。
【図１４】炭酸バリウムと炭酸ナトリウムとのモル比が
１．７：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
１．７：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
【図１５】炭酸バリウムと炭酸ナトリウムとのモル比が
１：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
１：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
【図１６】炭酸バリウムと炭酸リチウムとのモル比が
２．５：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
２．５：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
【図１７】炭酸バリウムと炭酸リチウムとのモル比が
２：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
２：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
【図１８】炭酸バリウムと炭酸カリウムとのモル比が
３：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
３：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
【図１９】炭酸バリウムと炭酸カリウムとのモル比が
１：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
１：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
【図２０】炭酸ストロンチウムと炭酸ナトリウムとのモ
ル比が２：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
ル比が２：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
【図２１】炭酸ストロンチウムと炭酸ナトリウムとのモ
ル比が１：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
ル比が１：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
【図２２】炭酸カルシウムと炭酸リチウムとのモル比が
３：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
３：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
【図２３】炭酸カルシウムと炭酸リチウムとのモル比が
２：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
２：１の固溶体のＸ線回折チャートである。
【図２４】炭酸バリウムのＸ線回折チャートである。
【図２５】炭酸ストロンチウムのＸ線回折チャートであ
る。
る。
【図２６】炭酸カルシウムのＸ線回折チャートである。
【図２７】炭酸ナトリウムのＸ線回折チャートである。
【図２８】炭酸リチウムのＸ線回折チャートである。
【図２９】炭酸カリウムのＸ線回折チャートである。
１ 炭酸ガス検知センサ ２ 検知電極 ３ 検知材料層 ４ ナトリウムイオン伝導体 ５ 基準電極 ６ セラミック基板 ７ ヒータ ８ カバー ９ 電圧計 １０ チャンバ １１ 流量計 １２ 流量計 １３ 流量計 １４ 水槽 １５ 排気口 １６ トラップ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年３月２７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１に本発明の炭酸ガス検知センサの構造を示
す。同図において、１は炭酸ガス検知センサ、２は検知
電極である。この検知電極２は、例えば白金黒を付着し
た白金網２ａ上にアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金
属炭酸塩との固溶体の検知材料層３を被覆したものであ
る。４はナトリウムイオン伝導体であり、また５は基準
電極であって例えば白金黒を付着した白金網で形成さ
れ、被検ガスから遮蔽するためにガラス等からなるカバ
ー６で覆って封止してある。なお、７はセラミック基板
であり、８は基板の裏面に設けられた白金膜からなるヒ
ータである。
する。図１に本発明の炭酸ガス検知センサの構造を示
す。同図において、１は炭酸ガス検知センサ、２は検知
電極である。この検知電極２は、例えば白金黒を付着し
た白金網２ａ上にアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金
属炭酸塩との固溶体の検知材料層３を被覆したものであ
る。４はナトリウムイオン伝導体であり、また５は基準
電極であって例えば白金黒を付着した白金網で形成さ
れ、被検ガスから遮蔽するためにガラス等からなるカバ
ー６で覆って封止してある。なお、７はセラミック基板
であり、８は基板の裏面に設けられた白金膜からなるヒ
ータである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】炭酸ガス検知センサ１は、図２の測定装置
のチャンバ１０の中に設置し、ヒータ８によって加熱す
る。空気、酸素及び炭酸ガスを流量計１１、１２及び１
３を通して所定の濃度となるよう混合してチャンバ１０
に供給し、検知電極２と基準電極５との間の起電力を電
圧計９で測定する。なお、１４は被検ガスに水分を付加
するための水槽で、１６は逆流防止用のトラップ、１５
は排気口である。
のチャンバ１０の中に設置し、ヒータ８によって加熱す
る。空気、酸素及び炭酸ガスを流量計１１、１２及び１
３を通して所定の濃度となるよう混合してチャンバ１０
に供給し、検知電極２と基準電極５との間の起電力を電
圧計９で測定する。なお、１４は被検ガスに水分を付加
するための水槽で、１６は逆流防止用のトラップ、１５
は排気口である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】この本発明の第１実施例の炭酸ガス検知セ
ンサＡを、図２の測定装置により素子温度550 ℃となる
ようヒータ８で加熱し、100 〜2000ppm の濃度の炭酸ガ
スに対する起電力特性を湿り空気中および乾燥空気中で
測定した。その結果を図４に示すが、湿度２０％および
湿度７５％の湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ同
一の特性を示していることがわかる。
ンサＡを、図２の測定装置により素子温度550 ℃となる
ようヒータ８で加熱し、100 〜2000ppm の濃度の炭酸ガ
スに対する起電力特性を湿り空気中および乾燥空気中で
測定した。その結果を図４に示すが、湿度２０％および
湿度７５％の湿り空気中においても乾燥空気中とほぼ同
一の特性を示していることがわかる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【符号の説明】 １ 炭酸ガス検知センサ ２ 検知電極 ２ａ 白金網 ３ 検知材料層 ４ ナトリウムイオン伝導体 ５ 基準電極 ６ カバー ７ セラミック基板 ８ ヒータ ９ 電圧計 １０ チャンバ １１ 流量計 １２ 流量計 １３ 流量計 １４水槽 １５ 排気口 １６ トラップ ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年３月２７日
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、検
知材料としてアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭
酸塩との固溶体、特にアルカリ金属炭酸塩の結晶を含ま
ない固溶体を用いたから、炭酸ガスに対する起電力特性
が被検ガス中の水分の影響を受けにくく、しかも高い感
度を持つ炭酸ガス検知センサが得られたものである。
知材料としてアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金属炭
酸塩との固溶体、特にアルカリ金属炭酸塩の結晶を含ま
ない固溶体を用いたから、炭酸ガスに対する起電力特性
が被検ガス中の水分の影響を受けにくく、しかも高い感
度を持つ炭酸ガス検知センサが得られたものである。
フロントページの続き (72)発明者 山添 ▲のぼる▼ 福岡県春日市松ケ丘４−32 (72)発明者 三浦 則雄 福岡県福岡市中央区平尾３−17−５−301
Claims (3)
- 【請求項１】 イオン伝導体を挟んで検知電極と基準電
極とを対設してなる炭酸ガスセンサにおいて、検知電極
の被覆材料としてアルカリ土類金属炭酸塩とアルカリ金
属炭酸塩との固溶体であってアルカリ金属炭酸塩の結晶
を含まないものを用いたことを特徴とする炭酸ガス検知
センサ。 - 【請求項２】 アルカリ土類金属炭酸塩がカルシウム、
ストロンチウム又はバリウムのいずれか一つ以上の炭酸
塩であることを特徴とする請求項１記載の炭酸ガス検知
センサ。 - 【請求項３】 アルカリ金属炭酸塩がリチウム、ナトリ
ウム又はカリウムのいずれか一つ以上の炭酸塩であるこ
とを特徴とする請求項１または２記載の炭酸ガス検知セ
ンサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3035082A JP2598172B2 (ja) | 1990-08-09 | 1991-02-06 | 炭酸ガス検知センサ |
| CA002048812A CA2048812C (en) | 1990-08-09 | 1991-08-08 | Gaseous carbon dioxide detection sensor |
| US07/741,907 US5194134A (en) | 1990-08-09 | 1991-08-08 | Gaseous carbon dioxide detection sensor |
| DE69114941T DE69114941T2 (de) | 1990-08-09 | 1991-08-08 | Sensor zum Nachweis von gasförmigem Kohlendioxid. |
| EP91113350A EP0470625B1 (en) | 1990-08-09 | 1991-08-08 | Gaseous carbon dioxide detection sensor |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20922090 | 1990-08-09 | ||
| JP40532490 | 1990-12-06 | ||
| JP2-209220 | 1990-12-06 | ||
| JP2-405324 | 1990-12-06 | ||
| JP3035082A JP2598172B2 (ja) | 1990-08-09 | 1991-02-06 | 炭酸ガス検知センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0580021A true JPH0580021A (ja) | 1993-03-30 |
| JP2598172B2 JP2598172B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=27288641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3035082A Expired - Fee Related JP2598172B2 (ja) | 1990-08-09 | 1991-02-06 | 炭酸ガス検知センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2598172B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06288966A (ja) * | 1991-03-28 | 1994-10-18 | Yazaki Corp | 炭酸ガス検知センサ |
| DE4412540A1 (de) * | 1994-03-02 | 1995-09-07 | Max Planck Gesellschaft | Referenzelektrode für galvanische Zellen mit einem kationenleitenden Festelektrolyten |
| US6241873B1 (en) | 1997-02-20 | 2001-06-05 | Tdk Corporation | Sold electrolytes, carbon dioxide sensors and method for correcting the output of sensors |
| US6325905B1 (en) | 1997-12-12 | 2001-12-04 | Tokuyama Corporation | Solid electrolyte type carbon dioxide gas sensor element |
| WO2009048290A1 (en) * | 2007-10-11 | 2009-04-16 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology | Electrochemical sensor for detecting carbon dioxide having reduced initial operating time |
| WO2023090283A1 (ja) * | 2021-11-22 | 2023-05-25 | 三井金属鉱業株式会社 | 硫化リチウムの製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7006926B2 (en) | 2003-02-07 | 2006-02-28 | Tdk Corporation | Carbon dioxide sensor |
-
1991
- 1991-02-06 JP JP3035082A patent/JP2598172B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06288966A (ja) * | 1991-03-28 | 1994-10-18 | Yazaki Corp | 炭酸ガス検知センサ |
| DE4412540A1 (de) * | 1994-03-02 | 1995-09-07 | Max Planck Gesellschaft | Referenzelektrode für galvanische Zellen mit einem kationenleitenden Festelektrolyten |
| US6241873B1 (en) | 1997-02-20 | 2001-06-05 | Tdk Corporation | Sold electrolytes, carbon dioxide sensors and method for correcting the output of sensors |
| US6325905B1 (en) | 1997-12-12 | 2001-12-04 | Tokuyama Corporation | Solid electrolyte type carbon dioxide gas sensor element |
| WO2009048290A1 (en) * | 2007-10-11 | 2009-04-16 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology | Electrochemical sensor for detecting carbon dioxide having reduced initial operating time |
| KR100949468B1 (ko) * | 2007-10-11 | 2010-03-29 | 한국과학기술원 | 초기 동작 시간이 단축된 전기화학식 이산화탄소 감지센서 |
| WO2023090283A1 (ja) * | 2021-11-22 | 2023-05-25 | 三井金属鉱業株式会社 | 硫化リチウムの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2598172B2 (ja) | 1997-04-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5194134A (en) | Gaseous carbon dioxide detection sensor | |
| Koncki et al. | Screen-printed ruthenium dioxide electrodes for pH measurements | |
| US4613422A (en) | Ambient sensing devices | |
| US4400260A (en) | Shielded, heated electrochemical gas sensor | |
| JPH0580021A (ja) | 炭酸ガス検知センサ | |
| US5635627A (en) | Carbon monoxide sensor having mercury doped electrodes | |
| US4118194A (en) | Sensor for fluid components | |
| US6193865B1 (en) | Analytic cell | |
| EP1039292B1 (en) | Method of detecting the concentration of carbon dioxide in a gas mixture | |
| US20030121309A1 (en) | Device and method for measuring alcohol vapour concentration | |
| JPH11160266A (ja) | ガスセンサ | |
| WO1999001758A1 (en) | Electrochemical sensor for the detection of hydrogen chloride and method of use thereof | |
| USRE38344E1 (en) | Hydrogen sensor using a solid hydrogen ion conducting electrolyte | |
| US3522732A (en) | Sensing element for hygrometers | |
| Barsan et al. | Calibration procedure for SnO2-based gas sensors | |
| Yalcinkaya et al. | Ag/AgCl/Cl− coated silver-stripe reference electrode | |
| JP2634498B2 (ja) | 炭酸ガス検知センサ | |
| JP2974088B2 (ja) | 炭酸ガス検知センサ | |
| CA1316715C (en) | Thin film moisture sensing elements and process for the manufacture thereof | |
| KR100949468B1 (ko) | 초기 동작 시간이 단축된 전기화학식 이산화탄소 감지센서 | |
| JP3489658B2 (ja) | 固体電解質型二酸化炭素ガス・酸素ガスセンサ | |
| JPH0225452B2 (ja) | ||
| JP2974090B2 (ja) | 炭酸ガス検知センサ | |
| JP2678045B2 (ja) | 炭酸ガスセンサ | |
| JP2813424B2 (ja) | 電気化学式ガスセンサ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19960409 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19961112 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 14 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |