JPS5960345A - X線欠陥装置 - Google Patents
X線欠陥装置Info
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- JPS5960345A JPS5960345A JP57171383A JP17138382A JPS5960345A JP S5960345 A JPS5960345 A JP S5960345A JP 57171383 A JP57171383 A JP 57171383A JP 17138382 A JP17138382 A JP 17138382A JP S5960345 A JPS5960345 A JP S5960345A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分!I!J〕
本発明d5、連h=シて搬送さノする被検査物にX線を
照射し、士−の透視画像データから欠陥品を検出するX
線欠陥装置に川する。
照射し、士−の透視画像データから欠陥品を検出するX
線欠陥装置に川する。
〔発明の技術的’h’ J紅とその1山題、壱〕従来、
定ノ[′旨イ:りに収納さ)1だ食品屑の抜検査物内の
異l吻検出V士、列えはX線透視ifl+i像の目71
11判定に、1:す?Jなわノ1てい/3−0この場合
、検査粒度は、目視検査J:′Lの仔;査能力に負うと
ころ大であり、検査スピードにも大きく影”l・される
。したがって、検梢ス1!−ドにも、検査精度にも限り
があった。
定ノ[′旨イ:りに収納さ)1だ食品屑の抜検査物内の
異l吻検出V士、列えはX線透視ifl+i像の目71
11判定に、1:す?Jなわノ1てい/3−0この場合
、検査粒度は、目視検査J:′Lの仔;査能力に負うと
ころ大であり、検査スピードにも大きく影”l・される
。したがって、検梢ス1!−ドにも、検査精度にも限り
があった。
また、予め基Her・パターンをメモリしでおき、この
基YQiパターンと順次検査さね、る被検査物の・ぞタ
ーンとを比較する検1〜方θ、もある。この場合、精度
の同上、スピードアップ智マ有効であるが、予め基iQ
・パターンを#yt gy個記t(デするために十分な
容量のメモリを8汐とする、丑だ被検介物の形状等が異
なった場臼の基準・ぐターン選定手段等を必Wトとし、
複雑な構成となっていた。
基YQiパターンと順次検査さね、る被検査物の・ぞタ
ーンとを比較する検1〜方θ、もある。この場合、精度
の同上、スピードアップ智マ有効であるが、予め基iQ
・パターンを#yt gy個記t(デするために十分な
容量のメモリを8汐とする、丑だ被検介物の形状等が異
なった場臼の基準・ぐターン選定手段等を必Wトとし、
複雑な構成となっていた。
〔発Q、+4の目r白〕
本発明は、上記点に鑑み成さilだもので、簡単なオr
り成で、自動判定が用能外X純欠陥装置を提供しようと
するものである。
り成で、自動判定が用能外X純欠陥装置を提供しようと
するものである。
木発明け、順次到来する被検査物1から得らね。
る透視画像データ同志を減初し欠陥を枦出するもので、
一方向のみに広がりを持jハぞの方向と直角な方向に薄
いB4状のX線を放射するX線発生装置ねと、この装置
と対向し七〇ハ゛1状X紳の広がり方向に長い視野を有
するX #i!ラインセンザと、このセンサの視野内に
被核?介物を連射・1;的に通過させる搬送機構と、前
記X糾うインセンザからの辺祝データから被検イ1−物
の始端を検知する検出手段と、この検出手段からの被検
査物始端を基準に異々る被検査物の透視曲目′(データ
を比較する減舞、器と、この減η−器からの差信4″(
を2110化した信号に変換するレベル判定器と、この
判定器l・らのys’i (に号6・受け、−足置以上
の面積を有する4r ”’>のみ11)力する面b′4
測定器と、この測定器からのイト1月及び前記4射出十
段からの被検査物の到来411升とから欠陥品を判定す
る欠陥品判定1ニツトとを其1イ1″iしたことをlt
、′l徴とするX線欠陥装[M+−(゛ある。
一方向のみに広がりを持jハぞの方向と直角な方向に薄
いB4状のX線を放射するX線発生装置ねと、この装置
と対向し七〇ハ゛1状X紳の広がり方向に長い視野を有
するX #i!ラインセンザと、このセンサの視野内に
被核?介物を連射・1;的に通過させる搬送機構と、前
記X糾うインセンザからの辺祝データから被検イ1−物
の始端を検知する検出手段と、この検出手段からの被検
査物始端を基準に異々る被検査物の透視曲目′(データ
を比較する減舞、器と、この減η−器からの差信4″(
を2110化した信号に変換するレベル判定器と、この
判定器l・らのys’i (に号6・受け、−足置以上
の面積を有する4r ”’>のみ11)力する面b′4
測定器と、この測定器からのイト1月及び前記4射出十
段からの被検査物の到来411升とから欠陥品を判定す
る欠陥品判定1ニツトとを其1イ1″iしたことをlt
、′l徴とするX線欠陥装[M+−(゛ある。
以丁、本発明の一ツ″Mli例(rつき、第1図乃至枦
5図を参照して説明する。
5図を参照して説明する。
10はX線発生装置で、X〜管1)とファンビームコリ
メータ12とから杆1成さハ、一方向のみに広がりを持
ち、その方向と直角な方向にj;P、いPJ4状のX線
13を放射するものである。
メータ12とから杆1成さハ、一方向のみに広がりを持
ち、その方向と直角な方向にj;P、いPJ4状のX線
13を放射するものである。
このX線1.7にり、第4図に〉jテすように搬送装置
14上の被検イ1−物15に、その搬送方向に直交する
ように放射されている。16はX糾うイン七ンツで、前
記飴状のX線13を受けるのに十分な広がりをもつ細長
い祝]!tを有してい・る。
14上の被検イ1−物15に、その搬送方向に直交する
ように放射されている。16はX糾うイン七ンツで、前
記飴状のX線13を受けるのに十分な広がりをもつ細長
い祝]!tを有してい・る。
このX糾うインセンザのlLi力V!、り、H:2送装
置i’1. l 4の移!TiJJ :ht k 検出
するエンコーグノアジノ・らの信号が供給される側斜装
(KL i sにより側斜さね、る画像処理装置+□へ
、20に供給さfしている。
置i’1. l 4の移!TiJJ :ht k 検出
するエンコーグノアジノ・らの信号が供給される側斜装
(KL i sにより側斜さね、る画像処理装置+□へ
、20に供給さfしている。
この画像処理装置は、第3図に示すように構riv、さ
れている。
れている。
21ば、前’iH’r、j、 X絹うインセンサl 6
−’(: ’Hf;気信号に変換された被検査物15の
透視画像データをAD変換するADCである。このAD
C21の出カバ、1ノベル判定器22及びビデオS W
23へ(1+、給さえしている。このレベル判定器2
2は、被検査物15の始端を検出し、ビデオ8W23を
閉じるイク・υきをする。すなわち、被+がイ、′l:
g 75がX線視野内に到来すると、X ffdNライ
ン士ンーリ16に入射するX線部:が減少するの1゛、
X走’lI’jf’+減少時点をもって・υ・:ミ検介
物15の到来と判断し2、ビデオS W 2.9を閉じ
被検査物15のぬ祝両像データを後段に送出さぜる。
−’(: ’Hf;気信号に変換された被検査物15の
透視画像データをAD変換するADCである。このAD
C21の出カバ、1ノベル判定器22及びビデオS W
23へ(1+、給さえしている。このレベル判定器2
2は、被検査物15の始端を検出し、ビデオ8W23を
閉じるイク・υきをする。すなわち、被+がイ、′l:
g 75がX線視野内に到来すると、X ffdNライ
ン士ンーリ16に入射するX線部:が減少するの1゛、
X走’lI’jf’+減少時点をもって・υ・:ミ検介
物15の到来と判断し2、ビデオS W 2.9を閉じ
被検査物15のぬ祝両像データを後段に送出さぜる。
このビデオ5W23のu3力Vよ、メモリ25a。
メモIJ 25 b及び減算器26へ供給体i1ている
。
。
この西Jメモリ25a、25bはメモリ1同rIIl’
?’+l124によりft1ll (illされてい
る。このメモリ制御11i1 %u24は、t’jl
+flじレベル判定器227′l・らの被検査物始端イ
ト1号及び1iil at: full側+yJ置1装
を介して供給さハ、る搬送装置i、”i: J 4の移
動h;仁号から、前記両メモリ25 a + 25 b
を側斜するものである。すなわち、(−のメモリ制ω4
HでlX24は、一定容jtJJJ蚤毎に前1(ピxH
″A四うイン七ンザ16の1ライン毎の透視画舊゛う′
−夕を前記メモリ95aもし、くはメモリ25t3への
−1)込みを行なわせるものである。
?’+l124によりft1ll (illされてい
る。このメモリ制御11i1 %u24は、t’jl
+flじレベル判定器227′l・らの被検査物始端イ
ト1号及び1iil at: full側+yJ置1装
を介して供給さハ、る搬送装置i、”i: J 4の移
動h;仁号から、前記両メモリ25 a + 25 b
を側斜するものである。すなわち、(−のメモリ制ω4
HでlX24は、一定容jtJJJ蚤毎に前1(ピxH
″A四うイン七ンザ16の1ライン毎の透視画舊゛う′
−夕を前記メモリ95aもし、くはメモリ25t3への
−1)込みを行なわせるものである。
寸だ、1)il ’!「”、減q器26は、ビデオB
W 2 、qをj10過した透1ふ(画で(データと、
前記メモリ25a。
W 2 、qをj10過した透1ふ(画で(データと、
前記メモリ25a。
25I)にメモりさ力だ前回の?り祝面(像データとを
減算−)るものである。このメモリ25a。
減算−)るものである。このメモリ25a。
251) c7Ji’+’l’、ll−I LIL、
+8tlijf2メモリ匍1 (ql 音[(、? 4
(7)イぎ号にまり行々わhる。この際の読出し開始
は、前記レベル判定(::’+ 2 /!からの禎4英
介物始端イ8号を受け1“」なわJl・OQ また、この減NV?:y 25の差イi4 ”jは、レ
ベル判定器27を介して面積測定器28に供給さfする
。
+8tlijf2メモリ匍1 (ql 音[(、? 4
(7)イぎ号にまり行々わhる。この際の読出し開始
は、前記レベル判定(::’+ 2 /!からの禎4英
介物始端イ8号を受け1“」なわJl・OQ また、この減NV?:y 25の差イi4 ”jは、レ
ベル判定器27を介して面積測定器28に供給さfする
。
この面積測定器28は、小面(カ部を除去し、ある一定
以上の面積をもつデータの秒、欠陥「fRN’l、l定
ユニット29へj玉出するものである。すなゎ′弘この
面Jffl目111]定器281J5、被検イr物1.
5の小さなバラつきや、ライン走査問隔分のずJL’:
ly、のN+’lx分を除去する役目をするものである
。
以上の面積をもつデータの秒、欠陥「fRN’l、l定
ユニット29へj玉出するものである。すなゎ′弘この
面Jffl目111]定器281J5、被検イr物1.
5の小さなバラつきや、ライン走査問隔分のずJL’:
ly、のN+’lx分を除去する役目をするものである
。
寸グζ、前N1シ欠陥品判定ユニッl−29i・;l、
前t1:1/ベル’f’jl ’j(、’二2:÷22
からのイJ・ソ検介物15到来イ+”i号及び面fI′
+1flll定器28からの出力信号で、1表1の乱i
j’l K (、たがい欠1!IrI品の11J定を
行なう。
前t1:1/ベル’f’jl ’j(、’二2:÷22
からのイJ・ソ検介物15到来イ+”i号及び面fI′
+1flll定器28からの出力信号で、1表1の乱i
j’l K (、たがい欠1!IrI品の11J定を
行なう。
表 1
(ただ[2、アルファペラ) kl−紀3図に示す各部
のイへ号を示し、また3?用数字は被検査物の壱号であ
る。) 次に、第4図及び第5図を用いてライングαのX線テ“
−夕及0・各ラインの走査についでの説明をする。
のイへ号を示し、また3?用数字は被検査物の壱号であ
る。) 次に、第4図及び第5図を用いてライングαのX線テ“
−夕及0・各ラインの走査についでの説明をする。
第4 t;z+ )−1xか1,113の名ライン4I
ノの、被検紙物15のmイ兄1i1ii仏データを酪;
l l!1.、iするφ、のフ゛、符長1.2・・・n
+ n −f−1);J’、、Xl、のライン番号を
示し、右列1/、2/・・・n’ r n’ +]は名
ライン角の送過画17、°プ′−〃の波形をカーすもの
であ2.。図中、Aは被測定物15内に混入さ、!1−
た放物で、甘たaはその貨l吻A部分のデーlを示して
いる。
ノの、被検紙物15のmイ兄1i1ii仏データを酪;
l l!1.、iするφ、のフ゛、符長1.2・・・n
+ n −f−1);J’、、Xl、のライン番号を
示し、右列1/、2/・・・n’ r n’ +]は名
ライン角の送過画17、°プ′−〃の波形をカーすもの
であ2.。図中、Aは被測定物15内に混入さ、!1−
た放物で、甘たaはその貨l吻A部分のデーlを示して
いる。
すた、θ支形;(′はネ皮拍清老i1.5のf!7.鼎
11がX線杉己野内に到来したどきの波形−で、Ail
制レベし判冗器22は、この波形3′から被検査’P)
j 15の始端を検出(−、、I?il [i+:ビプ
”オS W 、’ 、?を閑じる。
11がX線杉己野内に到来したどきの波形−で、Ail
制レベし判冗器22は、この波形3′から被検査’P)
j 15の始端を検出(−、、I?il [i+:ビプ
”オS W 、’ 、?を閑じる。
寸だ、波形7′にd、異物Aのデータaが示さ)1てい
る。しだがって、このr財形7′のデータと、前回のこ
の波形7′に相当す4)鶴検イi物データとが前記減算
器26で減算されることにより異物への右在が4灸出さ
れる。
る。しだがって、このr財形7′のデータと、前回のこ
の波形7′に相当す4)鶴検イi物データとが前記減算
器26で減算されることにより異物への右在が4灸出さ
れる。
1だ、第5図は谷ラインのノ[箔について示したもので
、(a) u: Oil i11+エンコーダJ7iJ
−らのノ永送装b−14の移動んに相娼する・ぞルス佃
号を示すものであり、(b)はこのエンコーダ17かも
の(Th号を受け、一定移!17.1.+光毎((前記
割出j装(fi−、Jgから前記X HAラインセンサ
16へ5yS出さノ]、る走査パルスを示すものである
。1だ、(C)はこの走イ1ieルスを受けたX 線ラ
イン七ンザJ6の各ライン毎の透視画像データを示すも
のでス・・る。
、(a) u: Oil i11+エンコーダJ7iJ
−らのノ永送装b−14の移動んに相娼する・ぞルス佃
号を示すものであり、(b)はこのエンコーダ17かも
の(Th号を受け、一定移!17.1.+光毎((前記
割出j装(fi−、Jgから前記X HAラインセンサ
16へ5yS出さノ]、る走査パルスを示すものである
。1だ、(C)はこの走イ1ieルスを受けたX 線ラ
イン七ンザJ6の各ライン毎の透視画像データを示すも
のでス・・る。
また、1つの被検査物に対するライン級は、七の被検査
物の大きさ等により一義的に決定しても良いし、前記レ
ベル判定器22により被検査物8端を検知することによ
り、1つの被検着物15のデータ取込みを終了するよう
にしても良い0 なお、第6図に示すようにX線発牛装h60から2本の
扇状のXIF、!62.63を被検査物15の搬送路に
照射し、四部に2個の被検貞物15.15から透視画像
データ′!L−イ;I、両名を減毅しても前記−実施例
同様の効果を待ることができる。すなわち、夫々のX線
G 2 、6.9に対向し細長い2つのX線うインセン
ーリ64.65を配置し、各X線透過墓を電気4B号に
変換し、■)11記同様レベル判定器22(図示止す)
からの被検査物始端伝号をもとに減1°I器26により
減算することにより欠陥検出を行なうことができる。尚
、66は両センサ64,65の感度を補正するための感
IW抽正回路てあり、七の他は、前記実施ρ1]と同祿
にtf7)成さfするものである。
物の大きさ等により一義的に決定しても良いし、前記レ
ベル判定器22により被検査物8端を検知することによ
り、1つの被検着物15のデータ取込みを終了するよう
にしても良い0 なお、第6図に示すようにX線発牛装h60から2本の
扇状のXIF、!62.63を被検査物15の搬送路に
照射し、四部に2個の被検貞物15.15から透視画像
データ′!L−イ;I、両名を減毅しても前記−実施例
同様の効果を待ることができる。すなわち、夫々のX線
G 2 、6.9に対向し細長い2つのX線うインセン
ーリ64.65を配置し、各X線透過墓を電気4B号に
変換し、■)11記同様レベル判定器22(図示止す)
からの被検査物始端伝号をもとに減1°I器26により
減算することにより欠陥検出を行なうことができる。尚
、66は両センサ64,65の感度を補正するための感
IW抽正回路てあり、七の他は、前記実施ρ1]と同祿
にtf7)成さfするものである。
本発明シ1.このように構成しプこのでり下の如く多大
の効果を奏する。
の効果を奏する。
(1) X線うインセンザを使用し被検査物の進行方
向に対し16角に信号を取り出すようにt1q成したの
で、被検査物の到来を検知し透視画像データの取込みを
割出1することか司能となった。
向に対し16角に信号を取り出すようにt1q成したの
で、被検査物の到来を検知し透視画像データの取込みを
割出1することか司能となった。
(2)面イ/f測定ン(9て小面打1の透視画像テ゛−
タ部分を除去しているため、被検査物イIII+1々の
多少のほらつきやライン走査量〜+’1分のずizによ
る誤動作がなくなり、瀬止に欠陥品の判定ができる。
タ部分を除去しているため、被検査物イIII+1々の
多少のほらつきやライン走査量〜+’1分のずizによ
る誤動作がなくなり、瀬止に欠陥品の判定ができる。
(3)前回う”−夕と次回データとの比較で欠陥判定を
1」ムわぜているため、複ff1i+−な辞11.1パ
ターンの記憶が不要となる。
1」ムわぜているため、複ff1i+−な辞11.1パ
ターンの記憶が不要となる。
(4)回−チャンイ・ル同志で比較判ボを行ブ7う六−
〆)、チャンネル間の感度較正を必91′と12ない。
〆)、チャンネル間の感度較正を必91′と12ない。
(5) 被検′;P′U′物の始端、終端で夙?3□)
両件データの開始、終了を検知することが用能と/I:
るので、メモリ′f11を大幅に少なくTき、かつ、ノ
イズ混人撞率も少なくなる。
両件データの開始、終了を検知することが用能と/I:
るので、メモリ′f11を大幅に少なくTき、かつ、ノ
イズ混人撞率も少なくなる。
第1191乃至第5図(−,1、本発明の一天M1+ト
リを’+(3+’、明するだめのもので、Ml、 1図
は41r+:略(・1”・°1成を示す乎面図、第2図
は同仰1面図、第3図は回路If’;成図、第4図は各
チャンネル毎の透視画像y′−夕を示す説明l!¥1、
第5図はX線うイン十ンザの走イ18周期を説明するだ
めの波形図、第6図は本発明の他の実1fIaレリを示
す概略構成図である。 1 // 、 6 //・・・X線発生装面、J 3.
62 。 63・・・Xf+II!、14・・・搬送装置、15・
・・被検査物、16.64.65・・・X線ライン士ン
ザ、20・・・画像処理装(ζ−122・・・レベル判
定器、24・・・メモリ制斜部、25a、25b・・・
メモリ、26・・・減算器、27 ・レベル判定器、2
8・・・面積測定2x、29・・・欠陥品判カニコ4二
、ツト。
リを’+(3+’、明するだめのもので、Ml、 1図
は41r+:略(・1”・°1成を示す乎面図、第2図
は同仰1面図、第3図は回路If’;成図、第4図は各
チャンネル毎の透視画像y′−夕を示す説明l!¥1、
第5図はX線うイン十ンザの走イ18周期を説明するだ
めの波形図、第6図は本発明の他の実1fIaレリを示
す概略構成図である。 1 // 、 6 //・・・X線発生装面、J 3.
62 。 63・・・Xf+II!、14・・・搬送装置、15・
・・被検査物、16.64.65・・・X線ライン士ン
ザ、20・・・画像処理装(ζ−122・・・レベル判
定器、24・・・メモリ制斜部、25a、25b・・・
メモリ、26・・・減算器、27 ・レベル判定器、2
8・・・面積測定2x、29・・・欠陥品判カニコ4二
、ツト。
Claims (1)
- 一方向のみに広がりを持ち、その方向と直角な方向に薄
い扇状のX線を放射するX線発生装同と、この装置と対
向しその扇状X線の広がり方向に長い視野をイ〕するX
線つイン十ンリ゛と、このセンサの祝町内に被検査物を
連続的に通過させる搬送機+t’tと、耐IG己X線ラ
イン十ン4ノからの透衿、データから被検査物の始端を
4・処知する検出手段と、この検出手段からの被検査物
始り:Mを基準、に軟なる被検査物の透視画イ19.デ
ータを比較するン、詩、器と、この減舞器からの差イ1
=−七′を2 fifi化した信号に変換するレベル判
定器と、この判定器からの差信妥を受け、一定1直以上
のiT+i槓をイ1゛するイ;」号のみ出力する面積測
定器と、この測定器からの信号及び前記検出手段からの
被検査物の到来信号とから欠陥品を判定する欠陥品判定
ユニットとを具備したことを特徴とするX線欠陥装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57171383A JPS5960345A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | X線欠陥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57171383A JPS5960345A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | X線欠陥装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5960345A true JPS5960345A (ja) | 1984-04-06 |
JPH0324604B2 JPH0324604B2 (ja) | 1991-04-03 |
Family
ID=15922155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57171383A Granted JPS5960345A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | X線欠陥装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5960345A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0216705A2 (fr) * | 1985-09-23 | 1987-04-01 | Commissariat A L'energie Atomique | Système de contrôle au défilé, de pièces cylindriques, par un rayonnement pénétrant |
US4980902A (en) * | 1985-12-30 | 1990-12-25 | Measurex Corporation | Aperture measuring system for cord reinforced tire fabric |
JP2009270866A (ja) * | 2008-05-01 | 2009-11-19 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57118146A (en) * | 1980-07-30 | 1982-07-22 | Kuronzu Ag Heruman Kuronsederu | Container inspection method and apparatus |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP57171383A patent/JPS5960345A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57118146A (en) * | 1980-07-30 | 1982-07-22 | Kuronzu Ag Heruman Kuronsederu | Container inspection method and apparatus |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0216705A2 (fr) * | 1985-09-23 | 1987-04-01 | Commissariat A L'energie Atomique | Système de contrôle au défilé, de pièces cylindriques, par un rayonnement pénétrant |
US4980902A (en) * | 1985-12-30 | 1990-12-25 | Measurex Corporation | Aperture measuring system for cord reinforced tire fabric |
JP2009270866A (ja) * | 2008-05-01 | 2009-11-19 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0324604B2 (ja) | 1991-04-03 |
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