JPS595973A - テストヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は半導体のテスト装置に用いるゲストヘッドに
関するものである。

従来、この種のゲストヘッドとして第１図、第２図に示
すものが知られている。これらの図において、（１）は
電子１１°測回銘（図示せず）が組み込まれたテストヘ
ッド本体であり、このテストヘッド本体（１）の中央部
にけ」１下に貫通した観測孔（２）が設けられている。

（３）は上記観測孔（２）の周囲にりング伏に配置され
、テストヘッド本体（１）の下方に突出した多数本の接
触端子である。

（４）はテストヘッド本体（１）の下部に配置されたバ
ーフオマンスポードであり、このボート（４）の表面に
形成された各程良！（図示せず）には上記ギれぞれの接
触端子（３）がｖ！を気的に接続されている。バー７オ
マンスポード（４）の中央には透孔（図示せず）が設け
られるとともに、との透孔内においで、上記バーフオマ
ンスポード（４）の各種配線に接続された多数本の接触
ビン（第２図）（６）の先端部がバー７オマンスポード
（４）の下方へ突出している。（６）は被測定素子（半
導体水子）である。

上記構成中、テストヘッド本体（１）内の電子計測回路
はテスト装置本体（図示せず）にケーブルで接続されて
いる。テストヘッド本体（１）そのものは被測定素子（
６）に信号を供給したり、被測定素子（６）からの信号
を受は取って良否の判定を行うもので、被測定素子（６
）にできるだけ近づけて配置するととが理想とされてい
る。また、接触端子（３）つ゛まりこれに接続された接
触ピン（６）は被測定素子（６）の測定。

に必要な数だけ用意されていて、各接触ピン（５）の下
端部に被測定素子（６）の所定の電極面が押し付けられ
る。

この場合の被測定素子（６）はウェハの状態にあるが、
被測定素子（６）が最終製品として端子ピン（図示せず
）を有した場合には、その端子ビンはソケット（図示せ
ず）を介して上記バーフオマンスポード（４）の接触ピ
ン（５）に接続される。

また、観測孔（２）にはバー７オマンスポード（４）の
上述した中央透孔（図示せず）を通して、接触ピン（５
）と被測定素子（６）との接続状態をチェックするだめ
の顕微鏡が挿入されたシ、・テスト後の不良品に対する
マーク付けのための装置が取り付けられる。

従来のテストヘッドは上記のように構成されているので
、！極数あるいはピン数がバー７オマンスポード（４）
の接触ピン（５）の数の半分を越えない上限範囲にある
被測定素子（６）を２個同時に測定しようとするならば
、バー７オマンスポード（４）のＭ触ピン（５）をそれ
に応じた２個測定構造とする必要がある。これに苅し、
被測定素子（６）の電極数あるいはピン数がさらに少な
い場合には、上記のような配慮を必要とすることなく、
３個、４個の同時テストが可能である。

しかし、実際には３個、４個の被測定素子（６）をテス
トヘッド本体（１）の近くに均等に配置することは難か
しく、被測定素子（６）とテストヘッド本体（１）間の
長さが長くなる。これに対し、テストヘッドを複数に分
けて作れば、」−記問題は起こらないが、反面、電極ｌ
＆あるいはピン数の多い被測定素子（６）を測定する場
合、第３図のように、複数（との場合は２つ）のテスト
ヘッド本体（１）を１つのバー７オマンスポード（４）
上にまとめて並設しなければならないため、被測定素子
（６）とテストヘッド本俸（１）間の信号線長さが長く
なる。

上記のように被測定素子（６）のヘッド本体（１）に対
する信号線長さが長くなると、つぎに述べる不都合が生
じる。

すなわち、周波数と配線容量との関係においで、周波数
を速くしようとすれば、−配線容量を少なくしなければ
ならない。

したがって、上記のように信号線長さが長くなると、配
線容量が周波数に対して増えるので、テス敗精度が低下
する。

また、第３図のようにテストヘッド本体（１）を並Ｗｆ
ると、バーフオマンスボ・−ド（４）が大きくなシ、自
動機の種類によっては接続不可能な場合がある。

この発明は上記のような従来の欠点を除去、するため、
になされたもので、測定電極数あるいはピン数の少ない
被測定木１子を複数テスＦする場合や多電極数あるいは
多ビンの被測定素子を１つだけテストする場合でも、テ
ストヘッド本体と被測定素子間の信号線長さを長くする
ことなく精度の高いテストを行い、まえ自動機との接続
も賽易にできるテストヘッドを提供することを目−的と
している。

以下、と（ＤＪ明の実施例を図面にもとづいて説明する
。

第４図はこの発明の一実施例にかかるテストヘッドの一
部切欠側面図である。この図において、（１）はテスト
ヘッド本体、（２）は観測孔、（３）は接触端子、（４
）はパーフオマンスポード、（６）は接触ピン、（６）
は被測定素子てあシ、これらは従来例で述べた通シのも
のであシ、したがってその説明は省略”する。

上記テストヘッド本体（１）の観測孔（２）の内側には
゛所定数の延長接触端子（１）が配置され、各延長接触
端子（７）の下端部は上記バーフオマンスポード（４）
の表面に形成された配線（図示せず）を介して所定の接
触ピン（６）Ｋ電気的に接続されてい゛る。また、上記
テストヘッド本体（１）の上にはこれと同一構成の第２
のテストヘッド本体０４が重合配置され、とのテストヘ
ッド本体α１の下方に突出した各接触端子に）は上記所
定の延長接触端子（７）の上端部（７ａ）に押し付けら
れて電気的に接続されている。

第４図の説明から解るように、第１のテストヘラ下本体
（１）に第２のテストヘッド本体ＯＱを重合して□、第
２のテス）ヘッド本体Ｑｌ）内の電子計測回路（図示せ
ず）の接触端子に）を延長接触端子（７）、バー７・オ
マンヌボード（４）の配線（図示せず）を介して所定の
接触ピン（５）に導・通させると、この接触ピン（５）
に電極を当接あるいは端子ピンをソケット（図示せず）
を介して接続して行う被測定素子（６）の測定を２つの
テストヘッド本体（１）　、　００によシ行うことがで
きる。すなわち、多Ｗ極数あるいは多ピン数の被測定素
子（６）の測定が可能である。

この場合、各延長接触端子（７）はできるかぎシ短かく
作る必要があるが、第３図の方法に比べれば、各延長接
触端子（７）の被測定素子（６）までの信号線長さを均
等にでき、かつ信号線長さも１つのテストヘッド本体（
１）の厚み分の長さで済むことになる。

一方、ｗｔ、極あるいはビン数の少ない被測定素子（６
）をｖＩ数テストする場合は、各テストヘッド本体（１
）、Ｏノをそれぞれ分離して単独で使用することにより
、被測定素子（６）ｔでの信号線長さを長くすることな
く、複数個の被測定素子（６）の同時テストが回置すと
なる。

第４図では、テストヘッド本体（１）上に１つのテスト
ヘッド本体部を重合した場合について説明したが、それ
以上に重合する構造とすることもてきる。第５図はその
一例として、第４図に示された第２のテストヘッド本体
Ｑｌ−ににさらにｊｇ３のテストヘッド本体（１００）
を重合して、この第３のテ；′−トヘッド本体（１００
）め゛接触端子（３００）を新たな延長接触端子１７呻
によシ、第２のゲストヘッド本体α呻のそれと同様にバ
ー７オマンスポード（４）の図示しない配線を介して所
定の接触ピン（５）に接続したものを示す。第４図、第
５図において、（ホ）、　（Ｚｏｏ）は観測孔である。

また、第６図の他の実施例で示すように、第２のテスト
ヘッド禾体α呻を第１のテストヘッド本体（１）に嵌合
式に重合配置すれば、第２のテストヘッド本体０りの接
触端子に）をパー７オマンスポード（４）の図示しない
配線に直接接触させ、第４図に示Ｌ７た延長接触端子（
７）を廃止させることができる。

以上のように、この発明によれば、テストヘッド本体を
重合構造とすることによシ、複数個の被測定素子を゛テ
ストする場合、そのテスト・＼ラド本体を分離して使用
できるため、被測定素子までの信号線長さを長゛＜゛す
ることなく、精度の高いテストを行うことができ、かつ
少電極数あるいは少ピン数の被測定素子から多′ｆ／Ｌ
極数あるいは多ビン数の被測定素子に適用できるので、
コストパー７オマンスが高く、′またテストヘッド本体
の重合構造によって、パー７オマンスポードが大きくな
らず、したがって自動機との接続も容易に行われるテス
トヘッドが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のテストヘッドの斜視図、第２図は第１図
の一部切欠側面図、第３図は従来のテストヘッド本体を
２台並べて１つの被測定素子をテストするための配置図
、第４図はこの発明の一実施例にかかるテストヘッドの
一部切欠側面図、第５図および第６図はこの発明の他の
実施例を示す一部切欠側面図である。 （１）　、α０　、　（１００）・・・テストヘッド本
体、（４）・・・ハーフオマンスポード、（６）・・・
接触ビン、（６）・・・被測定素子。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人　葛野信−（外１名） 第１図　　。 ３′・　６ １″・　　　２　゛・″、　　゛ 第４図 ２、 特許庁長官殿 ■、事件の表示　　　　特願昭　６７−１１６９８７号
２、発明の名称 テストヘッド ３、補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 住　所　　　　　東京都千代田区丸の内二丁目２番３跨
名　称（６０１）　　　三菱電機株式会社代表者片１１
１仁八部 ４、代理人 住　所　　　　　東京都千代１１１区丸の内二丁１”１
２番３号（５）、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄。 （６）、補正の内容 Ａ、明細Ｖ７Ｉ： （１）、第４頁第８行目〜同頁第４行目；「上記のよう
な・・・・・・ことなく」とあるのを「さらＫ」と補正
します。 （２）、第６頁第４行目〜同頁第６行目；「配線容量が
・・・・・・低下する。」とあるのを「高周波での精度
が低下する。」と補正します。 （３）、第７頁第２行目； 「当接」とあるのを「直接」と訂正します。 以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子計測回路が組み込′まれたテス１−・ラド本
   体と、被測定素子を上記電子計測回路に接続させる複数
   の接触ビンを設シタだバーフオマンスボー　ドと、上記
   テストヘッド本体に重合して、内部の電子計測回路を上
   記パー７オマンスポードを介して上記接触ビンに電気的
   に接続させる少なくとも第２のテストヘッド本体とを備
   えたことを特徴とするテストヘッド。