JPS5958356A - ガス分析機器の製造方法 - Google Patents
ガス分析機器の製造方法Info
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- JPS5958356A JPS5958356A JP57169275A JP16927582A JPS5958356A JP S5958356 A JPS5958356 A JP S5958356A JP 57169275 A JP57169275 A JP 57169275A JP 16927582 A JP16927582 A JP 16927582A JP S5958356 A JPS5958356 A JP S5958356A
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- Japan
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明ＪＪ、内外表面に１ト極を有する酸素イオン導電
体と外５゛Ｉ′に通じるガス拡散用１）：］口を備えた
隔壁とによ、って空間部を形成し、この空間内の拡散酸
素カスをＣｐ素イオン導′１１７．体を介して汲み１［
１シてガス組成の決定を行うツｊス分析機器」６よびそ
の製造方法Ｚこ関する。
体と外５゛Ｉ′に通じるガス拡散用１）：］口を備えた
隔壁とによ、って空間部を形成し、この空間内の拡散酸
素カスをＣｐ素イオン導′１１７．体を介して汲み１［
１シてガス組成の決定を行うツｊス分析機器」６よびそ
の製造方法Ｚこ関する。
近年、酸欠モニタとして信頓性の高い酸素計が家電、工
業計測等の分野で要求されている。また自動車、ボイラ
ー等においては燃費向−１二の見地から、空燃１１ツを
所定値に制御するためのセンサとして空燃比ｄ１が必要
とされている。
業計測等の分野で要求されている。また自動車、ボイラ
ー等においては燃費向−１二の見地から、空燃１１ツを
所定値に制御するためのセンサとして空燃比ｄ１が必要
とされている。
米国’ｌＪ＋’ Ｗｒ第３，５１４，３７７号明細男に
は、ＩＩ！？素イオシイオン固体１１１１４ｆを使用し
クーロン滴定の原即によりガス組成を分析する方法が開
示さね７、また別の米国／Ｉ？許第３，９０７，６５７
号明細書には上記！１′イ許の改良方法が開示さＪｌ、
ている。
は、ＩＩ！？素イオシイオン固体１１１１４ｆを使用し
クーロン滴定の原即によりガス組成を分析する方法が開
示さね７、また別の米国／Ｉ？許第３，９０７，６５７
号明細書には上記！１′イ許の改良方法が開示さＪｌ、
ている。
本発明は米国特許第３，９０７，６５７ ％” ＩＪＨ
Ｉｌｌ書に開示されたカス分析機器を基本として、こノ
アを上記酸欠モニタ等ｌこ応用する際のガス分析機器の
現実的構造およびその量産方法を提供することを目的と
する。
Ｉｌｌ書に開示されたカス分析機器を基本として、こノ
アを上記酸欠モニタ等ｌこ応用する際のガス分析機器の
現実的構造およびその量産方法を提供することを目的と
する。
このような目的は、本発明にょノ１．ば、冒頭で述べた
種類のガス分析機器において、セラミック基板上１・乙
空間部、内部Ｖｔ金属′１１を極厚膜、緻密質酸素イオ
ン導電固体電解質厚膜、外部貴金属電極厚膜を順次積層
形成することによって達成される。
種類のガス分析機器において、セラミック基板上１・乙
空間部、内部Ｖｔ金属′１１を極厚膜、緻密質酸素イオ
ン導電固体電解質厚膜、外部貴金属電極厚膜を順次積層
形成することによって達成される。
その場合に、本発明の優れた実施例によれば、内部貴金
属電極および外部貴金属電極はそれぞれ白金型（ぺより
成り、緻密質酸素イオン導電固体電解質厚膜はジルコニ
ア固体′ｉｔ解質より成る。
属電極および外部貴金属電極はそれぞれ白金型（ぺより
成り、緻密質酸素イオン導電固体電解質厚膜はジルコニ
ア固体′ｉｔ解質より成る。
し、かして、本発明によるガス分析機器は、セラミック
基板上に可燃性固体厚膜、内部貴金属電極厚膜、緻密質
酸素イオン尋１は固体電解質厚膜、外部貴金属′ｉｌ？
、 ４４Ｆ、厚膜を順次形成し、ついで熱処理により該
可燃性固体厚膜を燃焼揮散させて空間部を形成するこ吉
によって製造される。
基板上に可燃性固体厚膜、内部貴金属電極厚膜、緻密質
酸素イオン尋１は固体電解質厚膜、外部貴金属′ｉｌ？
、 ４４Ｆ、厚膜を順次形成し、ついで熱処理により該
可燃性固体厚膜を燃焼揮散させて空間部を形成するこ吉
によって製造される。
そのＪｚＡ自に、本発明の製造方法による優れた実施態
様によれば、緻密質酸素イオン導電固体電解刊厚膜はジ
ルｒＪニアのプラズマ溶射により形成され、可燃性固体
厚膜はカーホンより形成される。
様によれば、緻密質酸素イオン導電固体電解刊厚膜はジ
ルｒＪニアのプラズマ溶射により形成され、可燃性固体
厚膜はカーホンより形成される。
欠番と、本発明を図面に示した実施例に基づいて詳冊１
に説明する。
に説明する。
まず、本発明の県木となる米国特許第３９０７６５７号
明細書に開示されたカス分析機器について説明 ゛す
る。第１図にはこのガス分析機器が示されている。この
カス分析機器においては酸素濃度測定はサンプリング法
によって行なわＡ７る。まず、測定ガスをガス導入手段
１を介して測定空間２に導く。
明細書に開示されたカス分析機器について説明 ゛す
る。第１図にはこのガス分析機器が示されている。この
カス分析機器においては酸素濃度測定はサンプリング法
によって行なわＡ７る。まず、測定ガスをガス導入手段
１を介して測定空間２に導く。
ガス導入手段１は、ガス拡散に対して高抵抗を示す。例
えばａｔい開口１である。次に１浚素を測定空間２から
汲み出す。汲み出しは測定空間２の壁３の一部をなす酸
素センサ４（酸素イオン導電固体電解質）によって行う
。このとき酸素セン−１）−４に加えられた汲み出しに
必要な電荷惜を求めれば、これが酸素４度の指標を与え
るこ吉になる。電極体５．６．７はそれぞれ温度検出用
、酸素濃度検知用。
えばａｔい開口１である。次に１浚素を測定空間２から
汲み出す。汲み出しは測定空間２の壁３の一部をなす酸
素センサ４（酸素イオン導電固体電解質）によって行う
。このとき酸素セン−１）−４に加えられた汲み出しに
必要な電荷惜を求めれば、これが酸素４度の指標を与え
るこ吉になる。電極体５．６．７はそれぞれ温度検出用
、酸素濃度検知用。
酸累汲み出し用の電極である。１「棒体５１．６／、
７／はぞれぞれ電極体５．Ｊ７の対極である。
７／はぞれぞれ電極体５．Ｊ７の対極である。
次に本発明を実施例に基づいて述べる。本発明は、セラ
ミンク基板上に可燃性固体を用いた厚膜。
ミンク基板上に可燃性固体を用いた厚膜。
内部貴金属軍、極緻密質酸素イオン導電固体？［尤解質
厚膜、外部貴金属電極を順次形成し、ついで該基板を熱
処理して可燃性固体を燃焼揮散せしめてなるガス分析機
器の構造及びその製Ｉ貴方法をその内容としている。第
２図はチップ状ガス分析機器の正面図、第３図はそのＡ
−Ａ′断面図である。アルミナ基板８はチップ加熱用ヒ
ータりを内蔵している。先づアルミナ基板８上にカーボ
ン厚膜１ｏを第２図実太線のパターンでスクリーン印刷
する。次にこれを２００°０で熱処理し、カーボン厚膜
１ｏを乾燥しかつ厚膜内のバインダーを重合固化せしめ
る。
厚膜、外部貴金属電極を順次形成し、ついで該基板を熱
処理して可燃性固体を燃焼揮散せしめてなるガス分析機
器の構造及びその製Ｉ貴方法をその内容としている。第
２図はチップ状ガス分析機器の正面図、第３図はそのＡ
−Ａ′断面図である。アルミナ基板８はチップ加熱用ヒ
ータりを内蔵している。先づアルミナ基板８上にカーボ
ン厚膜１ｏを第２図実太線のパターンでスクリーン印刷
する。次にこれを２００°０で熱処理し、カーボン厚膜
１ｏを乾燥しかつ厚膜内のバインダーを重合固化せしめ
る。
続いて、内部白金・成極１］を第２図点線のパターンで
スパッタ法によりカーボン厚膜１０１およびアルミナ基
板８上に被着する。厚さは約１μである。
スパッタ法によりカーボン厚膜１０１およびアルミナ基
板８上に被着する。厚さは約１μである。
引続いて、ジルコニア固体型ｉｒ＋’（″）ｊｆ ）ｉ
−７膜１２をプラズマ溶射法（・こよりｌ；ｉ”： ２
図一点’Ｊ）ｉ ｒＴ皐のパターンで緻密質に約２００
ｔｔの厚さに形成する。プラズマ溶射はアルゴン／水
先のプラズ−７カスを用い、１０〜４４μ粒径の安定化
ジルコニア原Ａ′目・こより約４Ｑ ｋｗの出力で達成
することができる。その後、外部白金電僚１３を第２図
工点ｑｌｌ線のパターンでスパック法によりジルコニア
固体型）野質厚膜Ｊ２上に１皮着し、さらに端子１７．
１８を金のスパッタによりアルミナ基板８ Ｔｈ［こ被
着する。
−７膜１２をプラズマ溶射法（・こよりｌ；ｉ”： ２
図一点’Ｊ）ｉ ｒＴ皐のパターンで緻密質に約２００
ｔｔの厚さに形成する。プラズマ溶射はアルゴン／水
先のプラズ−７カスを用い、１０〜４４μ粒径の安定化
ジルコニア原Ａ′目・こより約４Ｑ ｋｗの出力で達成
することができる。その後、外部白金電僚１３を第２図
工点ｑｌｌ線のパターンでスパック法によりジルコニア
固体型）野質厚膜Ｊ２上に１皮着し、さらに端子１７．
１８を金のスパッタによりアルミナ基板８ Ｔｈ［こ被
着する。
以上の厚膜形成工程は一枚の大型セラミック基板に複数
個同時形成し、本工程終了後これをチョコレートブレー
クし、各チップに分割する（各チップがガス分析機器を
＋ＰＪ成する）。
個同時形成し、本工程終了後これをチョコレートブレー
クし、各チップに分割する（各チップがガス分析機器を
＋ＰＪ成する）。
チップは次にネール・＼ソドポンタにより金線を４ケ所
ツイヤボンド゛シ、ヒータ用リード線１４１゜１４２お
、１：び信シ）１１１リードにノ：ｉ！ １５１ 、１
５２を形成する。
ツイヤボンド゛シ、ヒータ用リード線１４１゜１４２お
、１：び信シ）１１１リードにノ：ｉ！ １５１ 、１
５２を形成する。
なお、リード線】伺がボンデングされる端子部１８およ
びリード線１４２がポンディングされる端子部１８はそ
れぞ２′ｌ、ヒータ９と導電的に接続される。また、リ
ード線１５１がボンデインクされる端子部１７は内部白
金電極１１と導電接続され、一方リード線１５２がボン
デインクされる端子部】７は外部白金′「１を極１．３
Ｊ導電接続される。
びリード線１４２がポンディングされる端子部１８はそ
れぞ２′ｌ、ヒータ９と導電的に接続される。また、リ
ード線１５１がボンデインクされる端子部１７は内部白
金電極１１と導電接続され、一方リード線１５２がボン
デインクされる端子部】７は外部白金′「１を極１．３
Ｊ導電接続される。
ワイヤポンドに続いて、チップをトンネル炉（６００’
Ｏ）に送りカーボン厚膜１０を燃焼連敗ぜしめ、あきに
空間部を残す（測定空間２に相当）。なお、アルミナ基
板８にはチップ中火部に約５０μの貫通孔１６をあらか
じめ穿設しているので、この貫通孔１Ｇを介してカーボ
ン厚膜の燃焼がイ）わ′Ａ＋、、またガス分析機器とし
て動作するときはこれがノ、９１人手段１（第１図参照
）として機能する。
Ｏ）に送りカーボン厚膜１０を燃焼連敗ぜしめ、あきに
空間部を残す（測定空間２に相当）。なお、アルミナ基
板８にはチップ中火部に約５０μの貫通孔１６をあらか
じめ穿設しているので、この貫通孔１Ｇを介してカーボ
ン厚膜の燃焼がイ）わ′Ａ＋、、またガス分析機器とし
て動作するときはこれがノ、９１人手段１（第１図参照
）として機能する。
本発明においては、電極は１対（汲、＝′声出し電極７
．７′相当）のみとし、他の２対を省略しているが、こ
れはガス分析機器を定電ｆ＼γ１（Ｌ解作動する際は酸
素濃度検知１−ＩＩ Ｔｊ＜極６，６′が不用であり、
さらに、ヒータを定電圧、駆動してその飽和温度におい
て使用するときは温１Ｗ検知用′ｒイ極５，５′も不要
さなるからである。
．７′相当）のみとし、他の２対を省略しているが、こ
れはガス分析機器を定電ｆ＼γ１（Ｌ解作動する際は酸
素濃度検知１−ＩＩ Ｔｊ＜極６，６′が不用であり、
さらに、ヒータを定電圧、駆動してその飽和温度におい
て使用するときは温１Ｗ検知用′ｒイ極５，５′も不要
さなるからである。
上記の実がＩｊ例によ５いては、内部電極１１．外部電
極１３等はスパッタ法を用いているが、仙にイオンプレ
ーテインク、蒸着熔・の方法づ−・ＩＴＩいてもよい。
極１３等はスパッタ法を用いているが、仙にイオンプレ
ーテインク、蒸着熔・の方法づ−・ＩＴＩいてもよい。
才た、シル１− ア固体′１１ｆ、ｆ’＋’ｒｙｒ ＋
１ｆｌｌ・；ｊ ］ ２ ＋−ｘプ゛ラズマ溶射法の他
、スパッタ法に４、って形成してもよい。
１ｆｌｌ・；ｊ ］ ２ ＋−ｘプ゛ラズマ溶射法の他
、スパッタ法に４、って形成してもよい。
さらにま／こＪ’１□山化１６はこれを創Ｖ設″せず、
カーボン厚１１シ）のバノノ・−ン１（まりナヨニｊレ
ートブレークの端面に開［１４設（Ｊで貰１ｒｆｌ Ｔ
Ｌ １６の代Ｊ１１とすることも可ｉｉｉ′″、であ２
・。
カーボン厚１１シ）のバノノ・−ン１（まりナヨニｊレ
ートブレークの端面に開［１４設（Ｊで貰１ｒｆｌ Ｔ
Ｌ １６の代Ｊ１１とすることも可ｉｉｉ′″、であ２
・。
以にのよ・”白ｒ′、、本）；＾明においては、セラミ
ック基板−１−にカーボンの如きｉｉｌ燃性几１１］・
”、＼（カーボン厚膜］０）、内部１１１Ｇ・属電極（
内部白金’７ｊｑ極１１）、緻？ｉ４質酸素イア４ン’
＞ｊＪ、市、固体１よ解質厚１１ｉ′＞ （ジルコニア
固体１（（、解質厚膜１２）、外部Ｙ１金属箱、棒（外
７−］（白金・Ｉｊ 極１３ ）をスクリーン印刷、ヌ
パソク、プラズマ溶射法等を用いて順次形成し、一つい
で該り工燃性厚膜（カーボン厚膜１０）を燃焼（不敗せ
しめて、空間部（測定空間２）を形成することによりガ
ス分析機器を構成したので、本発明は下記のような優れ
た効果を示す。
ック基板−１−にカーボンの如きｉｉｌ燃性几１１］・
”、＼（カーボン厚膜］０）、内部１１１Ｇ・属電極（
内部白金’７ｊｑ極１１）、緻？ｉ４質酸素イア４ン’
＞ｊＪ、市、固体１よ解質厚１１ｉ′＞ （ジルコニア
固体１（（、解質厚膜１２）、外部Ｙ１金属箱、棒（外
７−］（白金・Ｉｊ 極１３ ）をスクリーン印刷、ヌ
パソク、プラズマ溶射法等を用いて順次形成し、一つい
で該り工燃性厚膜（カーボン厚膜１０）を燃焼（不敗せ
しめて、空間部（測定空間２）を形成することによりガ
ス分析機器を構成したので、本発明は下記のような優れ
た効果を示す。
（１）ノＪス分析機器がｋｆｌｆ層により自動的に形成
されていきアセンブルを必要としない−特に空間部（測
定空間２相当）が厚膜法により巧妙に形成されるーから
、チョコレートフレーク１ツクの併Ｌ［」と相俟って−
Ｙ＾産効果が高い。
されていきアセンブルを必要としない−特に空間部（測
定空間２相当）が厚膜法により巧妙に形成されるーから
、チョコレートフレーク１ツクの併Ｌ［」と相俟って−
Ｙ＾産効果が高い。
（２）溶射等の手段でジルコニア固体電解質厚膜を白金
電極を介して直接的にセラミ・ツク堰板に被着形成する
から、’ｒｌｊ、 ｉ’ｙＦ質のシール１長着が非常に
容易である。
電極を介して直接的にセラミ・ツク堰板に被着形成する
から、’ｒｌｊ、 ｉ’ｙＦ質のシール１長着が非常に
容易である。
（３）固体′１ｆｔ、 解質の膜厚を数ｉ″ｒ ７１
、Ｌ−ｔｉ７ ＜できるので、固体電）性質の電気抵抗
を下げるこ吉ができ、ガス分析機器の低温動作に有利で
ある。
、Ｌ−ｔｉ７ ＜できるので、固体電）性質の電気抵抗
を下げるこ吉ができ、ガス分析機器の低温動作に有利で
ある。
本発明にかＸわるガス分析機器は、チップ状の小型形状
で且つ犬ｔｉ）に製造することを可能とするので特に酸
欠モニタとして好、商であり、約ＩＶの定電位電解によ
り酸素の汲み出しを行ってその際のｉ１７解電流により
、酸素濃度をモニタすることができる。チップの温度は
約１２Ｖの定′ｌ［１，圧駆動によって飽第１１の一定
温度に保持して、チップを動作させることができる。
で且つ犬ｔｉ）に製造することを可能とするので特に酸
欠モニタとして好、商であり、約ＩＶの定電位電解によ
り酸素の汲み出しを行ってその際のｉ１７解電流により
、酸素濃度をモニタすることができる。チップの温度は
約１２Ｖの定′ｌ［１，圧駆動によって飽第１１の一定
温度に保持して、チップを動作させることができる。
４、図面の伍ｉ 、ｔ、１４．な説明
第１図は従来のガス分析機’ａ”Ｌ （’、） を１略
＋％’ｉ Ｄ見上１、第２図は本発明の一実砲例（’）
”ｌ’ −ｕ’ｌｌ 図、２ｒ＋： ３１ＶＩ ｉｔ
、 ソ０）Ｎ−Ｎ断面図て、佑る。
＋％’ｉ Ｄ見上１、第２図は本発明の一実砲例（’）
”ｌ’ −ｕ’ｌｌ 図、２ｒ＋： ３１ＶＩ ｉｔ
、 ソ０）Ｎ−Ｎ断面図て、佑る。
８・・アルミナ基板、９・・・ヒル夕、１０・・カー、
」；ン厚ｊ莫、１１・ 内部１（１’ｌ含’ｉｉｊ （
勿、１２・・・ジルコニア１１１４イ本電解質１’？膜
、１３白金’＋ｌｒ、極、１４１ 、 Ｍ２・・ヒータ
用リードζ”ｐ、 １５１．１４５２・・１１１号用
０−すド線、１６・−・ｊ１群ｊ：ｆＬ。
」；ン厚ｊ莫、１１・ 内部１（１’ｌ含’ｉｉｊ （
勿、１２・・・ジルコニア１１１４イ本電解質１’？膜
、１３白金’＋ｌｒ、極、１４１ 、 Ｍ２・・ヒータ
用リードζ”ｐ、 １５１．１４５２・・１１１号用
０−すド線、１６・−・ｊ１群ｊ：ｆＬ。
才］ 区
７３
才２（￥ｌ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 】）内外表面に電極を有する酸素イオン導電体と外界に
通じるガス拡散用開口を備えた隔壁吉によって空間部を
形成し、該空間内の拡散酸素ガスを該酸素イオン導電体
を介して汲み出してガス組成の決定を行うカス分析機器
において、セラミック基板」二に、空間部、内部貴金属
１１１．極厚膜、緻密質酸素イオン導電固体電解質厚膜
、外部貴金属電極厚膜を順次積層形成したことを特徴と
するガス分析機器。 ２）セラミック基板上に可燃性固体厚膜、内部貴金属電
極厚膜、緻密質酸素イオン導′ｉｆ’（、固体ＴＩｔ解
質解質厚膜郊外部貴金属電極厚膜次形成し、ついで熱処
理により該可燃性固体厚膜を燃焼揮散ぜしめて空間部を
形成することを特徴とするカス分析機器の製造方法。 ３）特許請求の範囲第２項記載の製造方法において、緻
密質酸素イオン導電固体↑ＥＣ解り４厚膜はジル′コニ
アのプラズマ溶射により形成されることを％徴とするノ
ｊス分析機器の」！ｆ′↓造方法。 ４）特許請求の範囲第２項または第３項記載の製造方法
において、用燃性固体厚膜はカーボンより形成されるこ
とをｌｆ’！ｒｆａとするガス分析機器の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57169275A JPS5958356A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | ガス分析機器の製造方法 |
| EP83109569A EP0104636A3 (de) | 1982-09-28 | 1983-09-26 | Sauerstoffsensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57169275A JPS5958356A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | ガス分析機器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5958356A true JPS5958356A (ja) | 1984-04-04 |
| JPH0249468B2 JPH0249468B2 (ja) | 1990-10-30 |
Family
ID=15883487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57169275A Granted JPS5958356A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | ガス分析機器の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0104636A3 (ja) |
| JP (1) | JPS5958356A (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0612354B2 (ja) * | 1983-11-28 | 1994-02-16 | 株式会社日立製作所 | 酸素濃度測定装置の製造方法 |
| US4579643A (en) * | 1983-11-18 | 1986-04-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Electrochemical device |
| JPS60135756A (ja) * | 1983-12-24 | 1985-07-19 | Ngk Insulators Ltd | 電気化学的セルの製造方法 |
| JP2502961B2 (ja) * | 1984-04-26 | 1996-05-29 | 日本碍子株式会社 | 電気化学的装置の製造方法 |
| US4571285A (en) * | 1984-05-29 | 1986-02-18 | Fujikura Ltd. | Oxygen sensor for and method of determining concentration of oxygen |
| FR2575551B1 (fr) * | 1984-12-27 | 1987-03-06 | Brunel Gerald | Dispositif de sonde a oxygene et installation de regulation electronique de combustion equipee d'une telle sonde |
| US4724061A (en) * | 1986-08-21 | 1988-02-09 | General Motors Corporation | Automotive, internal reference, solid electrolyte, lean oxygen sensor |
| DE3728289C1 (de) * | 1987-08-25 | 1988-08-04 | Bosch Gmbh Robert | Nach dem polarographischen Messprinzip arbeitende Grenzstromsonde |
| FR2620868B1 (fr) * | 1987-09-22 | 1994-03-25 | Thomson Csf | Procede de realisation de microcavites et application a un capteur electrochimique ainsi qu'a un chomatographe en phase gazeuse |
| DE3834987A1 (de) * | 1988-10-14 | 1990-04-19 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement fuer grenzstromsensoren zur bestimmung des (lambda)-wertes von gasgemischen |
| JPH03264858A (ja) * | 1990-02-13 | 1991-11-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 酸素センサと酸素濃度検出装置 |
| DE50312571D1 (de) * | 2003-11-18 | 2010-05-12 | Spiroplex Gmbh | Auflagerelement |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55166038A (en) * | 1979-06-09 | 1980-12-24 | Bosch Gmbh Robert | Polarograph measuring sensor for oxitygen content of gas |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1071709A (en) * | 1975-12-05 | 1980-02-12 | Arnold O. Isenberg | Gas analysis apparatus |
| FR2442444A1 (fr) * | 1978-11-21 | 1980-06-20 | Thomson Csf | Capteur electrochimique des concentrations relatives d'especes reactives dans un melange fluide, et systeme comportant un tel capteur, notamment pour la regulation |
| DE2938179A1 (de) * | 1979-09-21 | 1981-04-09 | Bosch Gmbh Robert | Polarographischer messfuehler zum messen der sauerstoffkonzentration in gasen, insbesondere in abgasen von brennkraftmaschinen |
-
1982
- 1982-09-28 JP JP57169275A patent/JPS5958356A/ja active Granted
-
1983
- 1983-09-26 EP EP83109569A patent/EP0104636A3/de not_active Withdrawn
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55166038A (en) * | 1979-06-09 | 1980-12-24 | Bosch Gmbh Robert | Polarograph measuring sensor for oxitygen content of gas |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0104636A2 (de) | 1984-04-04 |
| JPH0249468B2 (ja) | 1990-10-30 |
| EP0104636A3 (de) | 1985-04-03 |
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