JPS5950970B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

感光性樹脂組成物

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JPS5950970B2
JPS5950970B2 JP772777A JP772777A JPS5950970B2 JP S5950970 B2 JPS5950970 B2 JP S5950970B2 JP 772777 A JP772777 A JP 772777A JP 772777 A JP772777 A JP 772777A JP S5950970 B2 JPS5950970 B2 JP S5950970B2
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JP
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polybutadiene
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resin composition
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和男 名手
時男 磯貝
敏男 小林
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • G03F7/033Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers

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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Graft Or Block Polymers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂組成物に係り、特にプリント基板を
含む広義の混成集積回路を被覆するための感光性樹脂組
成物に関する。
プリント基板を含む混成集積回路等において導体、抵抗
、コンデンサなどの各素子を湿気や塵埃などの外的雰囲
気から保護するために樹脂で被覆することが年々増加し
ている。
樹脂の塗布方法としては他の部品と同様にスクリーン印
刷する方法や混成集積回路全体を浸漬したりあるいはは
け塗りやスプレー塗布したりする方法がとられている。
従来、この種類の目的に使用する樹脂としてはシリコン
樹脂、エポキシ樹脂、ポリブタジエン樹脂、ウレタン樹
脂あるいはポリイミド樹脂等の熱硬化型の樹脂が良く使
用されていた。ところが、これらの樹脂を加熱硬化する
際に加熱により内部素子の特性が変動したり、硬化温度
の分布のばらつきにより樹脂の硬化不良が発生したり、
また硬化時間が長いなどの欠点を有し、生産性の点で劣
ることが多かつた。そこで、これらの要求に対処するた
めに近年紫外線硬化型樹脂や電子硬化型樹脂が検討され
ており、とくに生産の合理化や設備投資費が安いなどの
点で紫外線硬化型樹脂が盛んに研究されている。
紫外線硬化型樹脂のベースレジンはエポキシアクリレー
ト、ポリエステルアタリレート、ウレタンアクリレート
などが主流であるが、これらの紫外線硬化型樹脂の硬化
物の電気特性はきわめて悪く混成集積回路の絶縁被覆用
としては全く使用できないのが現状であり、わずかにシ
ンボルマーク用などに使用されている程度である。本発
明の目的は前記した従米技術の欠点をなくし、樹脂硬化
物の電気特性とくに誘電率、誘電正接の周波数特性およ
び温度特性のきわめて優れた感光性樹脂組成物を提供す
るにある。
上記目的を達成するために発明者は樹脂組成物を種々検
討した結果、末端にアクリル基あるいはメタタリル基を
持つ平均分子量500〜4000のポリブタジエンのう
ちから少なくとも一種と、少なくともCH2:C基1個
を有しかつ常圧における沸点が100℃以上であるよう
な付加重合性単量体と光増感剤とからなるものが良いこ
とを見い出した。
すなわち本発明の感光性樹脂組成物は、無極性反応性低
重合体である末端にアクリル基を有する平均分子量50
0〜4000の1,2−ポリブタジエンと末端にメタク
リル基を有する平均分子量500〜4000の1,2−
ポリブタジエンのうちから少なくとも一種を100重量
部と、少なくとも1個のCH2=C基を有しかつ常圧に
おける沸点が100℃以上であるような付加重合体単量
体5〜70重量部と、光増感剤0.05〜3重量部とか
らなり、要すればこれに充填剤、揺変剤、顔料、酸化防
止剤、表面硬化促進剤などを混合したものであり、これ
によつて得られた樹脂硬化物は電気特性とくに誘電率お
よび誘電正接の周波数特性、温度特性がきわめて優れて
いるうえに耐湿性が良いためにプリント基板を含む広義
の混成集積回路の被覆に好都合となる。次に本発明で使
用する材料について説明する。
無極性反応性低重合体としては分子量500〜4000
の末端にアクリル基もしくはメタクリル基を有する1,
2−ポリブタジエンが望ましい。分子量が500より小
さいと樹脂硬化物の機械的特性が劣り、又分子量が40
00より大きいと感光性樹脂組成物が高粘度の粘稠な液
体となりすぎるために作業性が悪く実用に共し得なくな
る。なお、印刷用樹脂などには分子量1000〜250
0のものが良い。続いて、末端にアクリル基もしくはメ
タクリル基を有する1,2−ポリブタジエンの製造方法
について述べる。先ず、末端にアクリル基を有する1,
2−ポリブタジエンは、以下のようにして製造した。
すなわち、(1)式で示されるα,ω−1,2−ポリブ
タジエングリコール1モルと、(2)式で示されるトリ
レンジイソシアネート2モルとを反応させて、(3)式
で示される両末端にイソシアネート基を有すまた、末端
にメタクリル基を有する1,2−ポリブタジは、以下の
ようにして製造した。すなわち、前記(1)式で示され
るα,ω−1,2−ポリブタジエングリコール1モルと
、前記(2)式で示され.るトリレンジイソシアネート
2モルとを反応させて、前記(3)式で示される両末端
にイソシアネート基を有する1,2−ポリブタジエンを
得た。その後、前記(3)式のポリマー1モルと、(6
)式でる1,2−ポリブタジエンを得た。その後上記(
3)式のポリマー1モルと、(4)式で示される2−ヒ
ドロキシエチルアクリレート2モルとを反応させ、(5
)式で示される末端にアクリル基を有する1,2−ポリ
ブタジエンを得た。
付加重合性単量体としては少なくとも1個のCH2=C
基を有しかつ常圧における沸点が100℃,以上である
ものが望ましく、100℃より低い沸点の付加重合性単
量体では作業時に樹脂の粘度が上昇したり、光硬化する
際に揮発することがあり、安全性の点でも好ましくない
この付加重合性単量体としては、たとえばスチレン、ビ
ニルトルエニンなどのスチレン誘導体、アクリル酸、ア
クリル酸ブチルなどのアクリル酸系化合物、メタクリル
酸、メタクリル酸エチルなどのメタクリル酸系化合物、
1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチ
ルグリコールジアクリレート、ト2リメチロールプロパ
ントリアクリレートなどの2個以上の不飽和基を有する
多官能アクリル酸エステル系化合物、その他ジビニルベ
ンゼン、ジアリルフタレートなどの多官能ビニル単重体
などがあげられ、これらの単量体の一種または二種以上
の,混合物が用いられる。これらの単量体は1,2一ポ
リブタジエン樹脂100重量部に対して5〜70重量部
の範囲で使用されることが効果的である。5重量部より
少ない場合には硬化塗膜の機械的強度が小さく実用上好
ましくなく、又光硬化反応の速.度が不都合である。
又、70重量部より多い場合には硬化塗膜の電気的性質
および機械的性質が低下するために好ましくなくいずれ
も実用に供し難い光増感剤としては、ベンゾインとその
誘導体、ベンゾインメチルエーテルなどのベンゾインエ
ーテル類、ベンジンとその誘導体、アリールジアゾニウ
ム塩、アントラキノンとその誘導体、アセトフエノンと
その誘導体、ジフエニルジスルフイドなどのイオウ化合
物、ベンゾフエノンとその誘導体などが挙げられ、これ
らの光増感剤の一種又は二種以上の混合物が用いられる
これらの光増感剤は1,2−ポリブタジエン樹脂100
重量部に対して0.05〜3重量部の範囲で使用される
ことが効果的である。0.05重量部より少ない場合に
は感光性樹脂組成物の光硬化速度が遅いうえに、樹脂硬
化物の電気的性質や機械的性質の優れた硬化塗膜が得ら
れず実用上好ましくなく、3重量部より多い場合にはか
えつて高分子量の樹脂硬化物が得られないうえに電気的
性質が著しく低下し好ましくなく、いずれの場合も実用
に供し難い。
なお光増感剤の添加量はとくに0.5〜15重量部が効
果的である。充填剤としては酸化アルミニウム、二酸化
ケイ素、炭酸カルシウム、二酸化チタンなどが使用可能
であり、揺変剤としては比表面積100〜450m2/
gなる二酸化ケイ素微粉末などが良い。
又、顔料としてはフタロシアニンブルー、フタロシアニ
ングリーンをはじめ通常の顔料および染料が使用可能で
ある。酸化防止剤としてはハイドロキノン、カテコール
、2,6−ジーオーブチル一4−メチルフエノールなど
の通常の熱重合禁止剤が有効であり、表面硬化促進剤と
してはナフテン酸コバルト、オクチル酸マンガンなどの
有機酸金属塩などが良い。
以下、本発明を具体的実施例をもつて説明する。実施例 末端にアクリル基を持つ分子量が2000の1,2−ポ
リブタジエン樹脂100重量部、1,6−ヘキサンジオ
ールアクリレート10重量部、ベンゾインイソプロピル
エーテルl重量部、表面積380m・/gの二酸化ケイ
素微粉末3重量部を攪拌して均一に混合して樹脂組成物
とし、これを高圧水銀灯(1kW)を20cm離れた所
から約30秒間照射して約1mm厚の硬化塗膜を得た。
この硬化塗膜のの誘電特性を第1図3,4および第2図
13,14に示す。第1図3,4および第2図13,1
4より誘電率および誘電正接は120f1z.〜IM上
の周波数変化および20−150℃の温度変化によつて
ほとんど変化せず、それぞれ2.5〜2.8および0.
005〜0.01であることがわかる。又、この樹脂組
成物を通常のスクリーン印刷機でアルミナ基板上に50
μm厚に印刷し上記照射条件下で光硬化させ平滑な硬化
塗膜を得た。
この硬化塗膜はピンホールがないうえにアルミナ基板と
の接着性、温度サイクル(+100℃〜 − 30℃)
における耐湿性なども良好であつた。比較例 エポキシアクリレートをベースレジンとして付加重合性
単量体、光増感剤などから成る市販の感光性樹脂を実施
例と同様な条件で光硬化させて約1mm厚の硬化塗膜を
作成した。
この硬化塗膜の誘電特性を第1図1,2および第2図1
1,12に示す。第1図1,2および第2図11,12
より誘電率および誘電正接は120Ik〜IM比の周波
数変化および20〜150℃の温度変化によつて著しく
変動し、実施例の本発明の樹脂組成物で作成した硬化塗
膜より極めて劣つており、実用に供し難いことがわかつ
た。以上述べたごとく本発明による樹脂組成物は常温で
短時間に硬化するうえに誘電率、誘電正接が周波数およ
び温度により変動せず、しかも硬化塗膜にピンホールが
ないので耐湿性が良いため混成集積回路の被履に好都合
となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による樹脂組成物と従来の樹脂組成物に
より作成した硬化塗膜の誘電率と誘電正接の周波数特性
、第2図は本発明による樹脂組成物と従来の樹脂組成物
により作成した硬化塗膜の誘電率と誘電正接の温度特性
を示すものである。 1 ・・・従来の樹脂組成物により作成した硬化塗膜の
周波数による誘電率変化、2・・・従来の樹脂組成物に
より作成した硬化塗膜の周波数による誘電正接変化、3
・・・本発明の樹脂組成物により作成した硬化塗膜の
周波数による誘電率変化、4・・・本発明の樹脂組成物
により作成した硬化塗膜の周波数による誘電正接変化、
11・・・従来の樹脂組成物により作成した硬化塗膜の
温度による誘電率変化、12・・・従来の樹脂組成物に
より作成した硬化塗膜の温度による誘電正接変化、13
・・・本発明の樹脂組成物により作成した硬化塗膜の温
度による誘電率変化、14・・・本発明の樹脂組成物に
より作成した硬化塗膜の温度による誘電正接変化。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 末端にアクリル基を持つ平均分子量500〜400
    0の1,2−ポリブタジエン、末端にメタクリル基を持
    つ平均分子量500〜4000の1,2=ポリブタジエ
    ンのうちから少なくとも一種を100重量部と、少なく
    とも1個のCH_2=C基を有しかつ常圧における沸点
    が100℃以上であるような付加重合性単量体5〜70
    重量部と、光増感剤0.05〜3重量部とからなること
    を特徴とする感光性樹脂組成物。 2 末端にアクリル基を持つ平均分子量500〜400
    0の1,2−ポリブタジエン、末端にメタクリル基を持
    つ平均分子量500〜4000の1,2−ポリブタジエ
    ンのうちから少なくとも一種を100重量部と、少なく
    とも1個のCH_2=C基を有しかつ常圧における沸点
    が100℃以上であるような付加重合性単量体5〜70
    重量部と、光増感剤0.05〜3重量部と、充填剤と、
    揺変剤とからなり常温における粘度が5000〜250
    000センチポイズであることを特徴とする感光性樹脂
    組成物。 3 末端にアクリル基を持つ平均分子量500〜400
    0の1,2−ポリブタジエンと、末端にメタクリル基を
    持つ平均分子量500〜4000の1,2−ポリブタジ
    エンのうちから少なくとも一種を100重量部と、少な
    くとも1個のCH_2=C基を有しかつ常圧における沸
    点が100℃以上であるような付加重合性単量体5〜7
    0重量部と、光増感剤0.05〜3重量部と、充填剤と
    、揺変剤と、顔料とからなり常温における粘度が500
    0〜250000センチポイズであることを特徴とする
    感光性樹脂組成物。 4 末端にアクリル基を持つ平均分子量500〜400
    0の1,2−ポリブタジェエと、末端にメタクリル基を
    持つ平均分子量500〜4000の1,2−ポリブタジ
    エンのうちから少なくとも一種を100重量部と、少な
    くとも1個のCH_2=C基を有しかつ常圧における沸
    点が100℃以上であるような付加重合性単量体5〜7
    0重量部と、充填剤と、顔料と、揺変剤と、酸化防止剤
    とからなり常温における粘度が5000〜250000
    センチポイズであることを特徴とする感光性樹脂組成物
    。 5 末端にアクリル基を持つ平均分子量500〜400
    0の1,2−ポリブタジエンと、末端にメタクリル基を
    持つ平均分子量500〜4000の1,2−ポリブタジ
    エンのうちから少なくとも一種を100重量部と、少な
    くとも1個のCH_2=C基を有し、かつ常圧における
    沸点が100℃以上であるような付加重合性単量体5〜
    70重量部と、光増感剤0.05〜3重量部と、充填剤
    と、揺変剤と、顔料と、酸化防止剤と、表面硬化促進剤
    とからなり常温における粘度が5000〜250000
    センチポイズであることを特徴とする感光性樹脂組成物
JP772777A 1977-01-28 1977-01-28 感光性樹脂組成物 Expired JPS5950970B2 (ja)

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JPS5393819A JPS5393819A (en) 1978-08-17
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JPS5842241A (ja) * 1981-09-07 1983-03-11 Hitachi Chem Co Ltd 防湿絶縁処理されたハイブリツドicの製造方法
JPS5843529A (ja) * 1981-09-08 1983-03-14 Hitachi Chem Co Ltd 防湿絶縁処理されたハイブリツドicの製造法
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