JPS59502128A - 多重共振器用の改良されたエネルギ捕捉形共振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 多重共振器用の改良されたエネルギ捕 捉形共振器 発明の背景 １、発明の分野 本発明は、一般的には、圧電クリスタルに使用されるようなエネルギ捕捉形共振 器の分野に関する。エネルギ捕捉形（ｔｒａｐ）共振器は、バルク同で厚さのす べりモードと厚さの捩れモードとが結合されて動作する圧電共振器である。本発 明は、さらに詳しく云えば、同一圧電サブストレート（基板）上に、潜在的に共 振周波数の異なる。複数個の独立な共振器を配置し、しかも、許容される直列抵 抗を維持し、希望しないスプリアスモードの活動を極小にする問題に対応するも のである。

２発明の背景 先行技術において、エネルギ捕捉形共振器におけるスプリアスモードの活動を抑 制する技術はいくつか知られている。パイのスライスと同様の形の外部電極形状 全利用し、かつ、多重共振器設計の共振器の間に障壁を配置することにより、種 々の形のスプリアス応答を改善した共振器が作られたが、その成功の程度は限ら れていた。しかし、これ等の共振器設計は、直列抵抗とか物理的の大きさのよう な他のパラメータの犠牲においてのみ実施された。電気的パラメータの相互関係 によって、本発明によって与えられる付加的の設計自由度を提供することができ る。さらに、これ等設計は、実行するには高価であシ、同一ザブストレートに異 る周波数の複数個の共振器を配置する問題を扱わないのである。屡々、抑圧しよ うとするスプリアス活動は、個々の共振器のスプリアス応答によるものというよ シは、むしろ、共振器間の好ましくない結合によるフィルタ作用のスプリアス応 答に過ぎない。これは本発明の好ましい実施例によって解決される問題の一つで ある。

標準的の先行技術によるエネルギ捕捉形共振器は、第１図に、共振器１０として 示される。この形の共振器においては、上面金属電極１５および底面金属電極２ ０が、この技術においてよく知られている金属沈積法あるいは他の方法で、サブ ストレート２５の相対する表面に設けられる。該サブストレート２５は、電極が 厚さモードで励振するように、例えばこの技術においてよく知られているＡＴカ ットとしてカットされた水晶のような圧電材料で構成される。第１図においては 、一対の電極が示されているのみであるが、以下の討論は、多重共振器設計に対 しても同様に適用されるものである。

発振回路のような外部回路との接続を構成する目的のため、方形の電極１５およ び艶の各々には金属化された細長部間が付加される。第１図に示すような方形電 極については、電極の側面は、この技術において知られているように、普通、サ ブストレート２５の結晶構造の、いわゆるＸ”および′Ｙ”軸に沿って配置され る。

共振器１０においては、共振時における共振器の直列抵抗（Ｒｓ　）は、本質的 に電極の面積によって決定される。

すなわち、 ここに、ＬＸ　＝電極のＸ”方向の長さＬＺ　＝電極の”ｚ”方向の長さ である。

共振器の共振周波数は複雑な方程式で特徴づけられており、これ等方程式は、こ の技術においては、よく文書化されてお夛、Ｈ，Ｆ−Ｔｉｅｒｓｔｅｎによる” Ａｎａｌｙｓｉｓｏｆ　Ｔｒａｐｐｅｄ　Ｅｎｅｒｇｙ　Ｒｅａｏｎａｔｏｒｓ 　Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ　ｉｎ　０ｖｅｒ−ｔｏｎｅｓ　ｏｆ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　 Ｔｈ１ｃｋｎｅｓｓ　５ｈｅａｒ　ａｎｄ　ＴｈｉｃｋｎｅｓｓＴｗｉｓｔ″（ 結合された厚さすペシおよび厚さねじれのオーバートーンで動作するエネルギ捕 捉形共振器の解析）Ｊｏｕｒｎａｌ　ｅｆ　Ａｃｏｕｓｔｉｃ　５ｏｃｉｅｔｙ 　ｏｆ　Ａｍｅｒｉｃａ　Ｖｏｌｕｍｅ　５９゜４４１９７６年４月号所載）の ような科学新聞雑誌の記事において、また”ＡＨＡｎａｌｙｓｉｓ　ｏｆ　０ｖ ｅｒｔｏｎｅ　Ｍｏｄｅ　ｉｎ　Ｍｏ−ｎｏｌｉｔｈｔｃ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｆ ｉｌｔｅｒｓ”（モノリシック゛クリスタル・フィルタにおけるオーバー・トー ン・モードの解析）と題する共同著書のペーパー（Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ　ｏ ｆｔｈｅ　３０ｔｈ　Ａｎｎｕａｌ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ　ｏｎ　Ｆｒｅｑｕｅ ｕｃｙ　Ｃｏｎｔｒｏ１１９７６、１０３頁所載）に見出される。これ等の記事 は参考文献としてここに組み入れられる。しかし、この発明を理解する目的のた めに、共振器の周波数（Ｆ）は次の簡単な式できつちシと近似することができる 。この式はこの技術において知られているものであり、上記の文献から導くこと ができるものである。

Ｈ＝サブストレートの厚さと上面電極の厚さと底面電極の厚さの和 この方程式においては取扱いを便利とするため、種種の物理的の定数を１に等し いと設定されている。故に、方程式（２）は周波数Ｆを精密には記述せず、Ｆを 決定するＨ　、　Ｌｘ　、　Ｌｚの間の関係を正確に示すものである。

共振器１０に示すような、実質的に方形の電極に対しては、個別の共振器の直列 抵抗に対するスプリアスモード応答は、電極の周辺の幾何学的形状が、縦横比１ 、すなわち、ＬＸ　＝　Ｌｚの正方形に近似するとき、最小となり最適となるこ とは知られている。これもまた前記のペーパーの論議から容易に導くことができ る近似法である。周波数（Ｆ）に対する上記の近似、すなわち、方程式（２）は 、数パーセント以内で正しく、また、先行技術および本発明を理解する目的のた めには十分に正確であるので、正方形電極幾何形状は設計の目標であると想定し よう。

方形の電極を有し、共振に最も接近している励振周波数における共振器の直列抵 抗Ｒ８は、代表的には、第２図に示す応答（レスポンス）曲線の一つに従う。第 ２図は、共振器の直列抵抗（あるいは、モーショナルインダクタンス）を、特定 の電極設計における縦横比Ｌｘ／Ｌｚの関数として表わしたものである。曲線あ け、縦横比の増加に従って、直列抵抗Ｒ３の増加することを示し、また、曲線４ ０は縦横比の増加に従って直列抵抗（Ｒｓ）の減少することを示している。しか し、両回線とも縦横比１の近傍で最大となっていることが重要な考慮すべき問題 である。故に、共振器の直列抵抗は、そのスプリアス周波数の最も近くにおいて 、電極の縦横比１の近傍で最大となる。

さて、異る周波数の数個の共振器を単一サブストレート上に、先行技術において 知られている技術のみを使用して配置する問題を考慮することとする。このよう ガ状況は、例えば、高度に小形化されたスーパーヘテロダイン受信器において起 ることであシ、大きさの制限によシ、クリスタル（水晶）・フィルタや発振器の 共振器を同一の水晶サブストレートに配置することが必要になる。実際の製造と コストを考える。之、共通サブストレート上の全共振器のＨは同一にすべきであ る。実際の回路を考慮すると、普通は、Ｒｓの最大値の制限、これは各共振器に 対する最少の面積を意味するものであるが、その制限となってくる。第３の通常 の設計における制約は、スプリアス応答（レスポンス）、特に、共振に最も近い 励起、を邑少にすることである。

このことは、Ｌｘは近似的にＬＺに等しくあるべきことを意味している。

この状況において、要求される共振周波数が高過ぎあるいは要求される直列抵抗 が低過ぎると、この共振器の設計者は、選択がなくなシ、これ等のコールに対し て許容される妥協に成功するために、スプリアス応答を劣化させなければならな い。故に、正しい周波数を得るために、直列抵抗とスプリアス応答とにおいてき びしい設計の妥協が心事となる。

するのに大量の電流を必要としたシ、あるいは、低温度では発振を停止（あるい は発振を開始しない）するような発振器である。これ等の問題は、広い温度範囲 に亘って動作しなければなら麿い電池式のポータブル設備において特に面倒であ る。

スプリアス・モード応答に対する不十分さから生ずる問題は、第３図の観察によ って長く理解されるであろう。第３図は、上記の先行技術の拘束された設計によ って設計され、クリスタル・フィルタと同一のサブストレート上に配置された。

１５０ＭＥ（ｚ第５オーバー・トーン発振器クリスタルの実際の応答曲線５０を 示すへ曲線力は、共振器を（資）オームの電源で駆動し、男オームの負荷で負荷 されたクリスタルの電圧出力を測定することによシ生じたものである。好ましい 応答（レスポンス）は、動作オーバー・トーンにおいて測定した、大体ｉ５０Ｍ Ｈｚにおいてであ’）、ｆｓにおける応答のピークは好ましい応答に最も近い励 起（約５０　ＫＨ７離れている）でおる。この電極構造に対しては、約７００オ ングストロームのアルミニウムを、サブストレートの各側面に１３　Ｘ　６８　 ミルの方形に沈積させた。入手可能なサブストレートの実物（ｒｅａｌ　ｅｓｔ ａｔｅ）の形状係数は、正方形の共振器は不可能であったことを示している。共 振時における直列抵抗は１５０オームであシ、スプリアス共振においては５００ オームである。励起周波数における相対損失は、１５０　ＭＨｚにおける希望さ れる応答よりも約７ｄＢ低いだけである。

この共、振器を発振器設計に使用したとすれば、この発振器がスプリアス周波数 と１５０　ＭＨｚの両方で発振することは、全く可能性がある。また、発振器が 、温度変動の結果として、１５０　ＭＨｚから、この励起周波数にジャンプする ことも全く可能である。このような回路動作は、明らかに、スーパーヘテロダイ ン受信器では、受信器を動作不能とするので、受は容れることはできないことは 明らかである。この問題は、本発明を使用することによシりっばに解決される。

構造的には本発明にやや似ているが、本発明の譲受人にともに譲渡されたＡｒｖ ａｎｉｔｔｓの米国特許第４，３４２，０１４号に示されているような、モノリ シク・クリスタル・フィルタ装置は、本発明とは明白に異なっている。

ＡｒＶ　ａｎ　ｉ　ｔ　ｉ　Ｓの個々の共振器は、フィルタを滑らかな通過帯域 応答のフィルタとして機能させるために、はぼ同一の周波数において音響的に結 合されることにより共動しなければならない。

これに反して、本発明は、種々の実質的に異る周波数の数個の共振器を単一のサ ブストレート上に配置すること、および、これ等と異る急峻な共振ピークをもっ て実質的に異る仕方で動作させること、全指向する。

フィルタとしての動作においては、Ａｒｖａｎｉｔｔｓの装置は、第８図（前記 米国特許参照）に示すように、共振器の高度な相互動作の結果として、広い通過 帯域とシャープな通過特性（フィルタ・スカート）とを示す。

この応答は、フィルタと、しては明らかに優れているが、シャープで異なったピ ークが要求される発振器または他の装置として使用することを実際的でなくして いる。

本発明は、斬新な単一共振器構造の共動から生ずる、シャープな異る応答（レス ポンス）ピークに’ｌＷする共振器を設けることにより、上記の空所を満たそう とするものである。独立の動作を示さなければならない複数個の共振器を有する 多重共振器設計において、新しい設計自由度が希望されるとき、この構造は有用 である０ 新規と信じられる本発明の特長は添付の請求の範囲に詳細に示されている。しか し、本発明自身は、構造、組織、および動作の方法の両方を、本発明のさらに別 の目的、利点とについて、添付図面に関連してなされた下記の説明を参照するこ とにより、よく理解されるであろう。

発明の概要 本発明の目的は、単一サブストレート上の多重共振器を独立に使用するための改 良されたエネルギ捕捉形共振器設計を提供することである０ 本発明の他の目的は、単一サブストレート上の多重共振器を独立に使用するとき 、共振器の電気的のノくラメータの調整において、新らたな目由度全与える改良 されたエネルギ捕捉形共振器設計を提供することである０ 本発明の他の目的は、高安定発振器に使用するための改良されたエネルギ捕捉形 共振器全提供することである。

本発明のさらに異る目的は、直列抵抗を劣化することなく、最適のスプリアス動 作を行ない、しかし、多重共振器サブストレートによシ独立使用に拘束されたと き周波数調整の自由を同時に維持する改良されたエネルギ捕捉形共振器を提供す ることである。

本発明の一実施例においては、エネルギ捕捉形共振器は、２個の相対する主表面 をもつ圧電形サブストレートラ含む。第１の電極は圧電形サブストレートの第１ の主表面上に設けられる。この第１の電極は、さらに、第１の複数個の音響的に 結合されたサブ電極を具える。

第１の複数個のサブ電極は電気的に相互に接続されている。第２の電極は圧電形 サブストレートの第２の表面上に設けられる。第２の電極は、さらに、第２の音 響的に結合された複数個の第２のサブ電極を含む。

第２の複数個のサブ電極は電気的に相互に結合される。

第１の複数個のサブ電極と第２の複数個のサブ電極は十分に音響的に結合され、 第１および第２の電極を単一の共振、＜周波数およびオーバートーンで単一の共 振器として動作することを可能とする。この共振器は、サブストレート上の他の 共振器と音響的および電気的に十分隔離されておシ、実質的に独立に、他の共振 器よシ隔離されて動作することを可能とする。

図面の簡単な説明 第１図は、唯一の電極対を示した先行技術による普通の共振器の斜視図である。

第２図は、先行技術の方形の共振器の、スプリアス・モードの直列抵抗−縦横比 に対する曲線を示す図である。

第３図は、先行技術の、普通の１５０ＭＨｚの第５オーバートーン・クリスタル 共振器における相対損失−周波数のプロット図である。

第４図は、図示された多重共振器設計の唯一の共振器を示した、本発明の共振器 設計の斜視図である。

第５図は、本発明において、２個の小さい電極に分割された正方形電極構成の平 面図である。

第６図は、第３図の設計と同一の制約のもとて本発明の共振器設計における相対 損失−周波数の特性図である。

第７図は、本発明を使用した発振器の接続図である。

好ましい実施例の詳細な説明 さて、第４図において、好ましい実施例の共振器７５が示される。明確にするた めに、ただ１組の電極が示されているが、共振器７５は多重共振器設計の一部分 であって、ここで数個の共振器が単一のサブストレートを共有しながら、実質的 に独立の状態で動作しなければならないことが理解される。水晶のような圧電機 で構成されているサブストレート７８は、サブストレート７８の一つの主表面上 に設けられた上面電極８０を有する。

底面電極間は、サブストレート７８の他の主表面上に設けられる。これ等電極は 、一時に１表面か、あるいは両表面同時にか、のいづれかにおいて、この技術に おいて知られているシャドウ・マスク技術あるい社他の製造技術を用いて、サブ ストレート上に沈積される。

先行技術におけるように、電極の周縁の幾何学的の形状は方形であシ、電極間お よび８５の縁線結晶の′″Ｘ”および２”軸に平行であることが望ましい。金属 化された細長部３０が本装置を、発振回路のような他の回路に接続するための入 力および出力として使用される。本発明の機能を実現するためには、これ等細長 部３０は、装置パッケージの内部でも外部でも直接これに接続してはいけない。

上面電極（資）は２個の小さい電極に分けられておシ、そして混乱を避けるため 、以後これ等小さい電極をサブ電極頒および９５と呼ぶ。この好ましい実施例に おいては、これ等サブ電極頒および％れ実質的に対称でバルク・エバネセント・ モード（ｂｕｌｋ　ｅｖａ−ｎｅｓｃｅｎｔ　ｍｏｄｅ）で高度に音響、的に結 合されるに十分に物理的に近接（普通１インチの数十分の１のオーダー）して位 置され、電気的には狭い相互接続用導体１００にによって接続される。

同様に、底面電極８５は、バルクモード（ｂｕｌｋ　ｍｏｄｅ）で音響的に結合 され、狭い相互接続用導体１１５で相互接続されたサブ電極１０５および１１０ で構成される。相互接続用導体１１５は、ストレイスプリアス応答全刺激するの を防止するため、第４図に示すように、導体１００からできるだけ遠くに位置さ せることが好ましい。好ましい実施例においては、相互接続用導体は、実用的な ほど狭くする。１組の電極のみ、サブストレート上に図示したが、同一サブスト レート上に、他の電極が本発明の共振器との音響結合を無視できる程度に十分離 して配置され、それにより共振器７５ヲ笑質的に独立した共振活動を可能とさせ ることは、画業技術者には明らかである。第４図におけるサブ電極間の空間は、 明確にするため図面においては誇張されている。

本発明の動作をさらに十分に理解するために、第５図を参照し、それぞれ結晶軸 ″′Ｘ”および′２″に沿う寸法ＬｘおよびＬｚの正・方形共振器電極構追１２ ０を考察する。与えられたＨの値に対しては、この共振器は、方程式（２）で近 似される与えられた共振周波数（Ｆ）を肩するであろう。若しも、この電極がＬ ｚ　ｘ　Ｌｘ／　２　（あるいはＬｚｘＬｚ／２）の寸法の２個の小さい電極１ ２５２よび１３０に分割されたとすれば、電極１２５および１３０をもつ小形の 共振器はそれぞれ、方程式（２）によシ定義される、た寸しＬＸ／２がＬｘに対 して置換される、実質的に同一の、共振周波数をもつことになろう。この小形の 各共振器は、もし、それ等を十分に離して相互に著しい音響的結合をしないよう にすれば、元の正方形電極共振器の共振周波数よシも、極めて高い共振周波数を 示すことは、方程式（２）の検討によシ明らかである。

これ等の２つの小さい電極が両者を接近させることによシ、音響結合されるよう になってくると、技術的には周知の如く、誘導的に結合されている１対のＬ−Ｃ 回路の場合と同様に、それ等の個々の共振は２つの異なる共振に分れてくる。そ れ等を物理的に非官に接近させた限界において、下方の共振は単一の大きい共振 器１２０の共振周波数に近づく。もし、これ等の２つの小共振器が導体１００お よび１１５によって電気的に相互接続されれば、高い共振周波数は圧電的に励蚕 されず、故に電気的には見られない。さらに、全体の周ａｔｏ幾何学的形状によ って直列抵抗が決定されるので、　ｉｓ　（直列抵抗）の低い値が維持される。

これ等は、本発明の基礎となる基本的の原理である。

共振器７５の希望する単一の共振周波数は、基本周波数であってもオーバートー ン（倍音）であっても、サブ電接の各々の高い共振周波数と、これ等サブ電極の 谷の面積の和に等しい面積をもつ共振器の低い共振周波数との間のどこにでも画 整することができる。これは、直列抵抗又は励振性能を劣化することなく達成す ることができ、しかも、同一サブストレートを占有している全共振器に対して一 定に保持しなければならないＨと無関係に達成される。従って、本発明の原理を 利用する結果として、Ｈの異る値の電極を沈積させる必要なく、また直列抵抗あ るいはスプリアス性能を劣化することなく、発振器用共振器を著しく異なる周波 数のＩＦクリスタル・フィルタとともに同一のサブストレート上に容易に配置す ることが可能となる。

第６図は、本発明を使用し、しかも、第３図に示す動作の先行技術の共振器に対 して用いたのと同一の制約の下に設計された共振器の励振動作を示すものである 。これは、サブ電極の各は、約１１．２　Ｘ　４４　ｍｉｌ　（１吋の１／１ｏ ｏｏ　）であシサプ電極の分離距離は約８ｍ１ｌの共振器設計よシ生じたもので ある。相互接続用導体の巾は約３ｒｎｉｌである。曲線ωは本共振器よシ生ずる 動作である。破線の曲線刃は本発明の共振器と比較のために先行技術の共振器の 相対的の動作を示すものである。

励振周波数ｆｓ’における直列抵抗は、先行技術の励振周波数ｆｓの直列抵抗の 約２倍であることに注意されたい。

また、励振周波数は所望の応答周波数１５０ＭＨｚに対して少し接近したが、励 振レベルは実効的に約−１３ｄＢにカットされたことに注意されたい。この低レ ベルではスプリアス応答（レスポンス）は、励振周波数における可能性ある発振 のような先行技術による設計に関連したいかなる発振器問題を起すようなことは ない。

当業者は、本発明の主な利点が、本発明によって与えられる新らしい設計自由度 であることを容易に認識するであろう。上記については、この好ましい実施例は 、ただ、サブ電極設計技術全手段とすることによって与えられる改良された動作 を示す１つの起シうるモードについて説明したに過ぎない。すなわち、この好ま しい実施例において、この技術は、方形の共振器に対するスプリアス動作あるい は直列抵抗を劣化させることなく共振器の周波数を変化させるために使用された 。しかし、正方形共振器、方形共振器、あるいは対称形サブ電極対が上記の好ま しい実施例に示されていても、本発明の範囲は、上記に限定されるべきものでは ない。本発明は、特別の電気的のあるいはレイアウト上のパラメータを最適値に 設定するのに付加的の設計自由度が必要なとき、共振器の他の幾何学的形状に対 しても、同様に有効である。同様に、電極をサブ電極２個以上に分割することは 同様の結果をもたらす。

共振器７５は、その最大の有用性を、周波数決定素子として、第７図に示すよう に電子発振器１５０に見出すであろう。この−膜化された共振回路において、増 幅器１６０は１より大きい利得を肩し、入力１６５および出力１７Ｃ１育してい る。帰還回路網１８０が出力１７０と入力１６５との間に動作可能に接続され、 閉ループ・システム１５０ヲ構成し、ここにこのループはループ１９０として定 義される。

発振器技術でよく知られているように、ループ１９０をめぐる移相（ｐｈａｓｅ 　５ｈｉｆｔ）は、総計ｎ　Ｘ　３６０度でなければならない。ここに、発振を 成功させるにはｎ　＝　０　。

１．２・・・・・・である。発振器が一旦発振を開始し、平衡状態に達すると、 このループ利得は１となる。

本発明によれば、帰還回路網１９０は、第４図の共振器７５のような圧電共振器 を含む。この共振器は第１および第２の相対する主表面’ｋＷするサブストレー ト７８を含む。各表面に、電気的に相互接続され、音響的に結合された１対のサ ブ電極が設けられている。

このように、本発明により、上記において述べた目的、目標および利点を全く満 足させる方法と装置とを提供した。本発明は、その特別々実施例に関連して説明 されたが、上記の説明に照らして、当業者には、多くの選択、修正および変形が 明白であることは明らかである。従って、添付請求の範囲の精神と広い範囲とを 包含する上記の選択、修正および変形をすべて含ませることを意図するものであ る。

ｌ＝ブ・７

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．複数個の共振器を有する１個のサブストレート上で独立に使用し、その単一 の共振周波数およびオーバートーンで動作するエネルギ捕捉形圧電共振器におい て、 第１および第２の相対する主表面ヲ有する圧電サブストレートと、 音響的に結合された第１の複数個のサブ電極を含み、上記第１の主表面上に設け られた第１の電極と、上記第１の複数個のサブ電極を電気的に相互に接続する第 １の手段と、 上記の第１の電極に付加された電気回路接続用の第１の導体と、 音響的に結合された第２の複数個のサブ電極を含み、上記第２の主表面上に設け られた第２の電極と、上記第２の複数個のサブ電極を電気的に相互に接続する第 ２の手段と、 上記の第２の電極に付加された電気回路接続用の第２の導体と、を具備し、 上記の第１の複数個のサブ電極は、−緒に音響的に十分に結合され、上記第２の 複数個のサブ電極は一緒に音響的に十分に結合され、上記第１および第２の電極 を、そ、の単一の共振周波数およびオーバートーンで動作するようにし、 上記共振すは、上記サブストレート上の複数個の共振器の他のものと音響的およ び電気的に隔離され、実質的に独立しかつ隔離された動作を可能としたエネルギ 捕捉形共振器。 λ　上記の第１および第２の電極の周縁幾伺形状は、実質的に方形である請求の 範囲第１項記載の共振器。 １　上記の第１および第２の！極の幾何学的の縦横比は、近似的に０．５と２． ０との間である請求の範囲第２項記載の共振器。 本　上記の第１および第２の電極の周縁の幾何学的形状は、近似的に正方形であ る請求の範囲第３項記載の共振器。 ５、　上記の第１の複数個のサブ電極はサブ電極の第１の対であシ、上記の第２ の複数個のサブ電極はサブ電極の第２の対である請求の範囲第１項記載の共振器 。 ６　上記の第１の複数個のサブ電極は実質的に対称的であシ、上記の第２の複数 個のサブ電極は実質的に対称的である請求の範囲第５項記載の共振器。 ７、　上記の第１の相互接続手段は、第１の狭い導体を含み、上記の第２の接続 手段は第２の狭い導体を含む、請求の範囲第６項記載の共振器。 ＆　第１および第２の相対する主表面をもつ圧電サブストレートと、 上記第１の辰面に設け・られ、音響的に結合されたすブ電他の第１の対を含む実 質的に正方形の第１の電極と、 音響的に結合されたサブ電極の上記の第１の対を相互に電気的に接続する第１の 狭い導体と、上記の第２の表面に設けられ、上記第１の電極に音響的に結合され 、音響的に結合されたサブ電極の第２の対を含む実質的に正方形の第２の電極と 、音響的に結合されたサブ電極の上記の第２の対を相互に電気的に接続する第２ の狭い導体と、を含むエネルギ捕捉形圧電共振器。 ９．１よシ大きい利得ｔ−有し、かつ出力および入力金石する増幅器と、 上記増幅器出力から上記増幅器入力へ動作可能に接続されて、閉ループ・システ ムを構成し、下記の構成から成る圧電共振器を具える帰還回路とを具え、前記圧 電共振器は、 ａ）第１および第２の相対する主表面をもつ圧電サブストレートと、 ｂ）上記第１の表面上に設けられ、電気的および音響的に結合されたサブ電極の 第１の対全含む第１の電極と、 Ｃ）上記第２の表面上に設けられ、電気的および音響的に結合されたサブ電極の 第２の対を含む第２の電極と、全具備し、 上記閉ループ・システムは、平衡状態において、ループ・ゲイン１と、ループの まわ９で全位相シフトｎ×３６０度ただしｎ＝ｏ、１．２・・・・・・を有する こと、を特徴とするクリスタル発振器。