JPS5941914A - Ｇｔカツト水晶振動子 - Google Patents
Ｇｔカツト水晶振動子Info
- Publication number
- JPS5941914A JPS5941914A JP15214182A JP15214182A JPS5941914A JP S5941914 A JPS5941914 A JP S5941914A JP 15214182 A JP15214182 A JP 15214182A JP 15214182 A JP15214182 A JP 15214182A JP S5941914 A JPS5941914 A JP S5941914A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pedestal
- parts
- supporting
- support
- cut quartz
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0514—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＧＴカット水晶掘切子の形状に関する。
従来ＧＴカット水晶振動子は、温度範囲１００℃に対し
、周波数変化１〜２ ＰＰＭ と最も慶れた温度特性
を有する振動子として知られている。
、周波数変化１〜２ ＰＰＭ と最も慶れた温度特性
を有する振動子として知られている。
第１図にＧＴカント水晶振動子を示す。振動部１と撮動
を支持部４まで伝えない為の撮動減衰部５、支持部４を
ブリッジ２ケ介して一体形成されているＧＴカント水晶
珈動子Ｒｉ表わしＣいる。
を支持部４まで伝えない為の撮動減衰部５、支持部４を
ブリッジ２ケ介して一体形成されているＧＴカント水晶
珈動子Ｒｉ表わしＣいる。
同、斜線部は励振用電極を表わしている。この様なＧＴ
カント水晶幾動子は、振動部１の短辺寸法をＷ、長辺を
Ｌとすると、／Ｉ、が、温度＃性に依存する。
カント水晶幾動子は、振動部１の短辺寸法をＷ、長辺を
Ｌとすると、／Ｉ、が、温度＃性に依存する。
ところで、通常、この振動子は、ブリッジ部２が非常に
細くなっている為に、支持用台座に固定されて使用され
ている。第２図は、支持用台座５にＧＴカント水晶幾動
子Ｒが半田等の接着材感に工り固定されている状態’に
＆わしている。更に支持用台座を説明する。支持用台座
は概略凹型をしており、凹型の左右の凸部７．８に、振
動＋Ｈの支持部４が固定されている。凹部には、振動周
波数調整用の貫通人（図には省略しである。）が設けら
れており、蒸着法などにＬシ振動子におもシを付着し周
波数調整が可能なようになっている。
細くなっている為に、支持用台座に固定されて使用され
ている。第２図は、支持用台座５にＧＴカント水晶幾動
子Ｒが半田等の接着材感に工り固定されている状態’に
＆わしている。更に支持用台座を説明する。支持用台座
は概略凹型をしており、凹型の左右の凸部７．８に、振
動＋Ｈの支持部４が固定されている。凹部には、振動周
波数調整用の貫通人（図には省略しである。）が設けら
れており、蒸着法などにＬシ振動子におもシを付着し周
波数調整が可能なようになっている。
また、衝罐に対し強くなぐてはならない為と加工性の点
からセラミック材がその主流となっている。
からセラミック材がその主流となっている。
ところで、これらＧＴカット水晶振動子の大きさは、２
ＭＨ２帯の場合振動部短辺寸法Ｗは約２鋼で、４ Ｍ
Ｈｚ帯では約１咽という具合に、周波数が高くなると、
寸法は小δ〈ｌる。故に、支持固定する支持用台座にお
いても撮動子の周波数が変化するのに対応して小さくな
っていく。しかし、振動子は、フォトエツチング加工で
ある為、数ミリ単位のものは問題なく製造可能であるが
、振動千金支持する支持用台座ｔこ於いては、その加工
法が機械加工である為非常にむずかしいものとなってい
る。特に、第２図で示した支持用台座５の凹部を加工す
る工程が小さくなるにつれて非常にむずかしいのが現状
であり、故ｅ（コスト而でも非常に高価なものに’／ｚ
つている。
ＭＨ２帯の場合振動部短辺寸法Ｗは約２鋼で、４ Ｍ
Ｈｚ帯では約１咽という具合に、周波数が高くなると、
寸法は小δ〈ｌる。故に、支持固定する支持用台座にお
いても撮動子の周波数が変化するのに対応して小さくな
っていく。しかし、振動子は、フォトエツチング加工で
ある為、数ミリ単位のものは問題なく製造可能であるが
、振動千金支持する支持用台座ｔこ於いては、その加工
法が機械加工である為非常にむずかしいものとなってい
る。特に、第２図で示した支持用台座５の凹部を加工す
る工程が小さくなるにつれて非常にむずかしいのが現状
であり、故ｅ（コスト而でも非常に高価なものに’／ｚ
つている。
また、更に第２図台ｆ竪の凹部分の長さｔは、振動子の
大きさく周波数）に合わせて、いろいろと異なる為、ｆ
！動子の周波数の種類と合わせて、支持台座も増えてし
まう。また、第２図に於いて、このＬ５なセラミックで
支持用台座全加工する場合、四部を作る為に、一枚の平
板をフレスして加工する。その為、同図台座の四部と凸
部の境界部に厚味の薄い部分を全得てしまう。この部分
は、衝撃性に対し非常に弱く、折れを生ずる不具合点が
たびたび生じていた。
大きさく周波数）に合わせて、いろいろと異なる為、ｆ
！動子の周波数の種類と合わせて、支持台座も増えてし
まう。また、第２図に於いて、このＬ５なセラミックで
支持用台座全加工する場合、四部を作る為に、一枚の平
板をフレスして加工する。その為、同図台座の四部と凸
部の境界部に厚味の薄い部分を全得てしまう。この部分
は、衝撃性に対し非常に弱く、折れを生ずる不具合点が
たびたび生じていた。
本発明は、以上のかかわる不具合点を解決する為に凹型
加工の必要としない支持用台座に支持固定可能ｆｉＧＴ
カント水晶振動子を提供することにある。
加工の必要としない支持用台座に支持固定可能ｆｉＧＴ
カント水晶振動子を提供することにある。
第６図は本発明ＧＴカット水晶振動子である。
珈動部１１と撮動全支持部１４まで伝えない為の振動減
衰部１３、支持部１４をブリッジ１２を介し７て一体形
成されているＧＴカント水晶振動子を表わしている。更
にくわしく説明すると、支持部１４ｒ／ｉ全体に撮動子
の厚味方向に突起部が設けられている。この突起部は、
エツチング技術や印刷技術をもって簡単に加工すること
が可能である。
衰部１３、支持部１４をブリッジ１２を介し７て一体形
成されているＧＴカント水晶振動子を表わしている。更
にくわしく説明すると、支持部１４ｒ／ｉ全体に撮動子
の厚味方向に突起部が設けられている。この突起部は、
エツチング技術や印刷技術をもって簡単に加工すること
が可能である。
このようにして形成された支持部を有するＧＴカット水
晶振動子を支持用台座に支持固定する実施例を第４図に
示す。同図に於いて、支持用台座１５は、従来のセラミ
ック材の支持用台１＄のように、凹部、凸部全役ける必
要がなく、平面のみの板で１い。それは、振動千支、持
部１４に設けた本発明突起部が、平面板の支持用台座１
５に固定されることで、振動部１１は、平面板と接触し
ない。
晶振動子を支持用台座に支持固定する実施例を第４図に
示す。同図に於いて、支持用台座１５は、従来のセラミ
ック材の支持用台１＄のように、凹部、凸部全役ける必
要がなく、平面のみの板で１い。それは、振動千支、持
部１４に設けた本発明突起部が、平面板の支持用台座１
５に固定されることで、振動部１１は、平面板と接触し
ない。
故に、本発明突起部が従来の支持用台座の凸部の働きを
する為である。尚、同図は、第３図に示した図の表・裏
面を逆になるように支持固定している図である。
する為である。尚、同図は、第３図に示した図の表・裏
面を逆になるように支持固定している図である。
また、第５図に、他の例を示す。同図は、本発明突起部
が、振動子厚味方向の両方向に設けられた図である。第
６図が、第５図撮動子音、２つの支持用台座１５．１６
ではさみ込む工うに支持固定した場合の図である。特に
、超小型のＧＴカント水晶振動子には、この、Ｌ９に複
数の台座ではさみ込んで支持する場合が多い。それは、
支持用台座が、撮動子が小型ＶＣなるにつれ、製造がむ
ずかしくｌシ、特に、周波数調整や、温度特性調整用の
複数の貞通人を設ける事の不可能な場合、一方の台座は
周波数調整用、他方の台座は、温度特性調整用の貫通人
を設けて用いるからである。
が、振動子厚味方向の両方向に設けられた図である。第
６図が、第５図撮動子音、２つの支持用台座１５．１６
ではさみ込む工うに支持固定した場合の図である。特に
、超小型のＧＴカント水晶振動子には、この、Ｌ９に複
数の台座ではさみ込んで支持する場合が多い。それは、
支持用台座が、撮動子が小型ＶＣなるにつれ、製造がむ
ずかしくｌシ、特に、周波数調整や、温度特性調整用の
複数の貞通人を設ける事の不可能な場合、一方の台座は
周波数調整用、他方の台座は、温度特性調整用の貫通人
を設けて用いるからである。
以上の＠に本発明にする如で、以下の効果がある。
支持用台座に凹部、凸部を設ける心安がないことから、
台座加工が簡単になり、歩留り同上につ；２がる。また
、振動子の大きさが異なっても、台座は寸法を変えなく
ても利用できる。故に、ひとつの支持用台座が兼用でき
る範囲が広い。第７図に示す支持用台座１５は、第７図
に示す支持用台座１７とは外形形状は同じであるが、壺
動子の大きさは異なる。故に、一枚の台座で数種類の大
きさの撮動子を支持することができるという訳である。
台座加工が簡単になり、歩留り同上につ；２がる。また
、振動子の大きさが異なっても、台座は寸法を変えなく
ても利用できる。故に、ひとつの支持用台座が兼用でき
る範囲が広い。第７図に示す支持用台座１５は、第７図
に示す支持用台座１７とは外形形状は同じであるが、壺
動子の大きさは異なる。故に、一枚の台座で数種類の大
きさの撮動子を支持することができるという訳である。
第１図、ＧＴカット水晶振動子従来例斜視図。
第２図、Ｇｒカント水晶振動子を台座に支持固定した従
来レリ斜視図。 第３図、本発明ＧＴカット水晶撮動子斜視図。 第４図、本発明実施例斜視図。 第５図、本発明の他の実施例を示す斜視図。 第６図、本発明の他の実施例を示す斜視図。 第７図、本発明の他の実施例を示す斜視図。 １．１１・・・振動部、 ２，１２・・・ブリッジ
部、５，１５・・・振動減衰部、４，１４・・・支持音
μ、Ｗ・・・短辺寸法、 Ｌ・・・長辺寸法、５
、１５・・・支持用台座、６・・・接着材、７．８・・
・支持用台座凸部、 ｔ・・・支持用台座凹部長さ、 ｔ・・・支持用台座最細部、 １６・・・支持用台座、 １７・・・支持用台座。 以 上 出願人 株式会社 第二精工台 第１０ 第２図 ６７− 第４図
来レリ斜視図。 第３図、本発明ＧＴカット水晶撮動子斜視図。 第４図、本発明実施例斜視図。 第５図、本発明の他の実施例を示す斜視図。 第６図、本発明の他の実施例を示す斜視図。 第７図、本発明の他の実施例を示す斜視図。 １．１１・・・振動部、 ２，１２・・・ブリッジ
部、５，１５・・・振動減衰部、４，１４・・・支持音
μ、Ｗ・・・短辺寸法、 Ｌ・・・長辺寸法、５
、１５・・・支持用台座、６・・・接着材、７．８・・
・支持用台座凸部、 ｔ・・・支持用台座凹部長さ、 ｔ・・・支持用台座最細部、 １６・・・支持用台座、 １７・・・支持用台座。 以 上 出願人 株式会社 第二精工台 第１０ 第２図 ６７− 第４図
Claims (1)
- り 振動部、撮動を支持部まで伝えない為の振動減衰部
と支持部をブリッジを介して一体形成されているＧＴカ
ット水晶伽動子に於いて、該支持部全体、または一部の
厚味方向に突起部を設けたことを特徴とするＧＴカット
水晶儂動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15214182A JPS5941914A (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | Ｇｔカツト水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15214182A JPS5941914A (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | Ｇｔカツト水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5941914A true JPS5941914A (ja) | 1984-03-08 |
Family
ID=15533929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15214182A Pending JPS5941914A (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | Ｇｔカツト水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5941914A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2577362A1 (fr) * | 1985-02-13 | 1986-08-14 | Ebauchesfabrik Eta Ag | Procede de fabrication de resonateurs a quartz a haute frequence |
| CN107834991A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-03-23 | 中电科技集团重庆声光电有限公司 | 一种石英谐振敏感芯片 |
-
1982
- 1982-09-01 JP JP15214182A patent/JPS5941914A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2577362A1 (fr) * | 1985-02-13 | 1986-08-14 | Ebauchesfabrik Eta Ag | Procede de fabrication de resonateurs a quartz a haute frequence |
| CN107834991A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-03-23 | 中电科技集团重庆声光电有限公司 | 一种石英谐振敏感芯片 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4124809A (en) | Quartz crystal resonator | |
| JP2004200917A (ja) | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 | |
| GB2141231A (en) | Force sensors | |
| US4443728A (en) | GT-Cut quartz resonator | |
| JPS5937722A (ja) | 縦振動型圧電振動子 | |
| JPH0232807B2 (ja) | ||
| EP0309567A1 (en) | Force sensing vibrating beam resonator | |
| US3760482A (en) | Method of adjusting frequency of tuning fork type vibrator | |
| JPS5941914A (ja) | Ｇｔカツト水晶振動子 | |
| US4926086A (en) | Piezoelectric resonator | |
| JPS6070810A (ja) | 縦振動型圧電振動子 | |
| US4583017A (en) | Piezoelectric vibrator on mirror polished substrate | |
| US3781577A (en) | Piezoelectric resonator | |
| JPH04127709A (ja) | Ａｔカット水晶振動子 | |
| JPH05136647A (ja) | 厚みすべり振動子 | |
| JPH0414882B2 (ja) | ||
| JPH01227515A (ja) | 圧電振動子 | |
| US5196758A (en) | High frequency piezoelectric resonator | |
| JPS5852366B2 (ja) | ハバスベリアツデンシンドウシ | |
| JPH0522071A (ja) | 非接触電極型水晶振動子 | |
| JPS62239707A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH06314948A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH0124367B2 (ja) | ||
| CH625388B (fr) | Vibreur piezo-electrique a cristal travaillant en cisaillement d'epaisseur, procede de fabrication de ce vibreur. | |
| JPS6294008A (ja) | 圧電薄膜共振子 |