JPH06314948A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JPH06314948A JPH06314948A JP12548593A JP12548593A JPH06314948A JP H06314948 A JPH06314948 A JP H06314948A JP 12548593 A JP12548593 A JP 12548593A JP 12548593 A JP12548593 A JP 12548593A JP H06314948 A JPH06314948 A JP H06314948A
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- piezoelectric vibrator
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 支持が容易で、振動漏れが少なく、しかも外
部からの影響を受けにくい圧電振動子を得る。 【構成】 圧電振動子１０は、矩形板状の振動体１２を
含む。振動体１２の両面に、圧電素子１４ａ，１４ｂ，
１４ｃ，１４ｄを形成する。圧電素子１４ａ，１４ｂ
は、たとえば外側から振動体１２側に向かって分極させ
る。また、圧電素子１４ｃ，１４ｄは、振動体１２側か
ら外側に向かって分極させる。そして、圧電素子１４ａ
〜１４ｄに同位相の駆動信号を印加することによって、
振動体１２の中央部の両側で、伸びと縮みとが逆となる
ように振動させる。
部からの影響を受けにくい圧電振動子を得る。 【構成】 圧電振動子１０は、矩形板状の振動体１２を
含む。振動体１２の両面に、圧電素子１４ａ，１４ｂ，
１４ｃ，１４ｄを形成する。圧電素子１４ａ，１４ｂ
は、たとえば外側から振動体１２側に向かって分極させ
る。また、圧電素子１４ｃ，１４ｄは、振動体１２側か
ら外側に向かって分極させる。そして、圧電素子１４ａ
〜１４ｄに同位相の駆動信号を印加することによって、
振動体１２の中央部の両側で、伸びと縮みとが逆となる
ように振動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は圧電振動子に関し、特
にたとえば、発振子，フィルタ，センサなどに利用され
る圧電振動子に関する。
にたとえば、発振子，フィルタ，センサなどに利用され
る圧電振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電効果を利用した圧電振動子として
は、たとえば恒弾性金属材料で形成された振動体の表面
に圧電素子を形成したものがある。このような圧電振動
子の振動モードとしては、たとえば屈曲振動，厚み振
動，ねじれ振動，長さ振動などの振動モードが代表的で
ある。このような圧電振動子は、たとえば発振子，フィ
ルタ，各種センサなどに使用される。
は、たとえば恒弾性金属材料で形成された振動体の表面
に圧電素子を形成したものがある。このような圧電振動
子の振動モードとしては、たとえば屈曲振動，厚み振
動，ねじれ振動，長さ振動などの振動モードが代表的で
ある。このような圧電振動子は、たとえば発振子，フィ
ルタ，各種センサなどに使用される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧電振動子では、小型化するにしたがって、支持方法が
難しくなる。また、圧電振動子の支持部から振動が漏れ
やすく、このような振動漏れにより振動子の特性が劣化
してしまう。さらに、外部からの力により圧電振動子の
支持部に何らかの変位または変形がおこると、振動子の
特性が大きく変化してしまう。
圧電振動子では、小型化するにしたがって、支持方法が
難しくなる。また、圧電振動子の支持部から振動が漏れ
やすく、このような振動漏れにより振動子の特性が劣化
してしまう。さらに、外部からの力により圧電振動子の
支持部に何らかの変位または変形がおこると、振動子の
特性が大きく変化してしまう。
【０００４】それゆえに、この発明の主たる目的は、支
持が容易で、振動漏れが少なく、しかも外部からの影響
を受けにくい圧電振動子を提供することである。
持が容易で、振動漏れが少なく、しかも外部からの影響
を受けにくい圧電振動子を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、振動体と、
振動体上に形成される圧電素子とを含み、圧電素子の圧
電効果を利用して振動体を振動させる圧電振動子におい
て、振動体はその振動体内で部分的に伸びと縮みとが同
時に発生するような振動をすることを特徴とする、圧電
振動子である。また、この発明は、圧電体で形成された
振動体と、振動体上に形成される電極とを含み、振動体
の圧電効果を利用して振動体を振動させる圧電振動子に
おいて、振動体はその振動体内で部分的に伸びと縮みと
が同時に発生するような振動をすることを特徴とする、
圧電振動子である。上述の圧電振動子において、振動体
の振動方向における全長が変化しないことが望ましい。
振動体上に形成される圧電素子とを含み、圧電素子の圧
電効果を利用して振動体を振動させる圧電振動子におい
て、振動体はその振動体内で部分的に伸びと縮みとが同
時に発生するような振動をすることを特徴とする、圧電
振動子である。また、この発明は、圧電体で形成された
振動体と、振動体上に形成される電極とを含み、振動体
の圧電効果を利用して振動体を振動させる圧電振動子に
おいて、振動体はその振動体内で部分的に伸びと縮みと
が同時に発生するような振動をすることを特徴とする、
圧電振動子である。上述の圧電振動子において、振動体
の振動方向における全長が変化しないことが望ましい。
【０００６】
【作用】振動体は部分的に伸びと縮みとが同時に発生す
るような振動をすることによって、振動体は振動してい
るにもかかわらず、全体のサイズは変化しない圧電振動
子が得られる。
るような振動をすることによって、振動体は振動してい
るにもかかわらず、全体のサイズは変化しない圧電振動
子が得られる。
【０００７】
【発明の効果】この発明によれば、振動体の振動を利用
して、この圧電振動子を従来の振動子と同様の使用法で
使用することができる。しかも、振動体の全体のサイズ
は変化しないため、この振動による変位のない部分で支
持が容易であり、振動漏れも大幅に減少させることがで
きる。さらに、振動体の変位のない部分で支持すれば、
外部からの力などによる振動への影響が少なく、安定し
た特性を有する圧電振動子を得ることができる。
して、この圧電振動子を従来の振動子と同様の使用法で
使用することができる。しかも、振動体の全体のサイズ
は変化しないため、この振動による変位のない部分で支
持が容易であり、振動漏れも大幅に減少させることがで
きる。さらに、振動体の変位のない部分で支持すれば、
外部からの力などによる振動への影響が少なく、安定し
た特性を有する圧電振動子を得ることができる。
【０００８】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【０００９】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
り、図２はその断面図である。圧電振動子１０は、たと
えば平板状の振動体１２を含む。振動体１２は、たとえ
ばエリンバ，鉄−ニッケル合金，石英，ガラス，水晶，
セラミックなど、一般的に機械的な振動を生じる材料で
形成される。そして、たとえば振動体１２の両端部が支
持される。
り、図２はその断面図である。圧電振動子１０は、たと
えば平板状の振動体１２を含む。振動体１２は、たとえ
ばエリンバ，鉄−ニッケル合金，石英，ガラス，水晶，
セラミックなど、一般的に機械的な振動を生じる材料で
形成される。そして、たとえば振動体１２の両端部が支
持される。
【００１０】振動体１２の対向する面には、圧電素子１
４ａ，１４ｂ，１４ｃおよび１４ｄが形成される。圧電
素子１４ａ，１４ｂは、振動体１２の長さ方向の中央部
の一方側において、互いに対向するように形成される。
また、圧電素子１４ｃ，１４ｄは、振動体１２の長さ方
向の中央部の他方側において、互いに対向するように形
成される。圧電素子１４ａは、たとえば圧電セラミック
などで形成された圧電板１６ａを含む。この圧電板１６
ａの両面に、電極１８ａ，２０ａが形成される。そし
て、一方の電極２０ａが、振動体１２に接着される。同
様に、圧電素子１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、それぞれ圧
電板１６ｂ，１６ｃ，１６ｄを含む。これらの圧電板１
６ｂ，１６ｃ，１６ｄの両面には、電極１８ｂ，２０
ｂ、電極１８ｃ，２０ｃおよび電極１８ｄ，２０ｄが形
成される。そして、これらの圧電素子１４ｂ，１４ｃ，
１４ｄの一方の電極２０ｂ，２０ｃ，２０ｄが、振動体
１２に接着される。この実施例では、圧電板１６ａ，１
６ｂは外側から振動体１２側に向かって分極させられ、
圧電板１６ｃ，１６ｄは振動体１２側から外側に向かっ
て分極させられる。
４ａ，１４ｂ，１４ｃおよび１４ｄが形成される。圧電
素子１４ａ，１４ｂは、振動体１２の長さ方向の中央部
の一方側において、互いに対向するように形成される。
また、圧電素子１４ｃ，１４ｄは、振動体１２の長さ方
向の中央部の他方側において、互いに対向するように形
成される。圧電素子１４ａは、たとえば圧電セラミック
などで形成された圧電板１６ａを含む。この圧電板１６
ａの両面に、電極１８ａ，２０ａが形成される。そし
て、一方の電極２０ａが、振動体１２に接着される。同
様に、圧電素子１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、それぞれ圧
電板１６ｂ，１６ｃ，１６ｄを含む。これらの圧電板１
６ｂ，１６ｃ，１６ｄの両面には、電極１８ｂ，２０
ｂ、電極１８ｃ，２０ｃおよび電極１８ｄ，２０ｄが形
成される。そして、これらの圧電素子１４ｂ，１４ｃ，
１４ｄの一方の電極２０ｂ，２０ｃ，２０ｄが、振動体
１２に接着される。この実施例では、圧電板１６ａ，１
６ｂは外側から振動体１２側に向かって分極させられ、
圧電板１６ｃ，１６ｄは振動体１２側から外側に向かっ
て分極させられる。
【００１１】この圧電振動子１０を振動させるには、図
３に示すように、圧電素子１４ａ〜１４ｄに発振回路２
２が接続される。この発振回路２２から、圧電素子１４
ａ〜１４ｄに同位相の駆動信号が印加される。圧電素子
１４ａ，１４ｂは振動体１２を挟んで対向するように形
成され、また圧電素子１４ｃ，１４ｄも振動体１２を挟
んで対向するように形成されている。したがって、圧電
素子１４ａ〜１４ｄに駆動信号を印加することによっ
て、振動体１２は長さ方向に振動する。また、圧電素子
１４ａ，１４ｂと圧電素子１４ｃ，１４ｄとは逆方向に
分極しているため、図４（Ａ）〜図４（Ｅ）に示すよう
に、振動体１２の中央部の一方側が伸びるとき、他方側
は収縮する。また、振動体１２の中央部の一方側が収縮
するとき、他方側は伸びる。したがって、振動体１２が
振動しているときも、その両端部は変位しない。そし
て、振動体１２の長さをＬ，密度をρ，ヤング率をＥと
すると、共振周波数ｆは次式で表される。
３に示すように、圧電素子１４ａ〜１４ｄに発振回路２
２が接続される。この発振回路２２から、圧電素子１４
ａ〜１４ｄに同位相の駆動信号が印加される。圧電素子
１４ａ，１４ｂは振動体１２を挟んで対向するように形
成され、また圧電素子１４ｃ，１４ｄも振動体１２を挟
んで対向するように形成されている。したがって、圧電
素子１４ａ〜１４ｄに駆動信号を印加することによっ
て、振動体１２は長さ方向に振動する。また、圧電素子
１４ａ，１４ｂと圧電素子１４ｃ，１４ｄとは逆方向に
分極しているため、図４（Ａ）〜図４（Ｅ）に示すよう
に、振動体１２の中央部の一方側が伸びるとき、他方側
は収縮する。また、振動体１２の中央部の一方側が収縮
するとき、他方側は伸びる。したがって、振動体１２が
振動しているときも、その両端部は変位しない。そし
て、振動体１２の長さをＬ，密度をρ，ヤング率をＥと
すると、共振周波数ｆは次式で表される。
【００１２】
【数１】
【００１３】この圧電振動子１０の位相およびインピー
ダンスの周波数特性が、図５に示される。図５からわか
るように、この圧電振動子１０はきれいな共振特性を示
しており、共振子として十分使用することができる。ま
た、振動体１２が振動しているときも、伸びる部分と収
縮する部分とが存在するため、両端部の変位が吸収され
る。そのため、振動体１２の全長は変化せず、振動体１
２の両端で支持すれば、振動体１２の支持部からの振動
漏れが少なくなる。さらに、外部からの力が支持部に加
わっても、支持部は変位していないため、振動体１２の
振動に影響を及ぼしにくくなる。
ダンスの周波数特性が、図５に示される。図５からわか
るように、この圧電振動子１０はきれいな共振特性を示
しており、共振子として十分使用することができる。ま
た、振動体１２が振動しているときも、伸びる部分と収
縮する部分とが存在するため、両端部の変位が吸収され
る。そのため、振動体１２の全長は変化せず、振動体１
２の両端で支持すれば、振動体１２の支持部からの振動
漏れが少なくなる。さらに、外部からの力が支持部に加
わっても、支持部は変位していないため、振動体１２の
振動に影響を及ぼしにくくなる。
【００１４】この圧電振動子１０では、数１に示す式か
らわかるように、振動体１２の全長を調整することによ
って、共振周波数を調整することができる。たとえば、
振動体１２の両端を削って、振動体１２の全長を短くす
れば、共振周波数を高くすることができる。また、図６
に示すように、振動体１２の中央部などに幅方向に延び
る溝３０を形成すれば、振動体１２の表面長さを長くす
ることができ、共振周波数を低くすることができる。
らわかるように、振動体１２の全長を調整することによ
って、共振周波数を調整することができる。たとえば、
振動体１２の両端を削って、振動体１２の全長を短くす
れば、共振周波数を高くすることができる。また、図６
に示すように、振動体１２の中央部などに幅方向に延び
る溝３０を形成すれば、振動体１２の表面長さを長くす
ることができ、共振周波数を低くすることができる。
【００１５】上述の実施例では、圧電素子１４ａ，１４
ｂと圧電素子１４ｃ，１４ｄとを逆方向に分極したが、
全ての圧電素子１４ａ〜１４ｄを同じ方向に分極しても
よい。つまり、圧電素子１４ａ〜１４ｄを外側から振動
体１２側に向かって分極してもよいし、振動体１２側か
ら外側に向かって分極してもよい。この場合、圧電素子
１４ａ，１４ｂと圧電素子１４ｃ，１４ｄに逆位相の駆
動信号を印加すれば、振動体１２の中央部の両側で、延
びと縮みとが逆になるような振動をさせることができ
る。
ｂと圧電素子１４ｃ，１４ｄとを逆方向に分極したが、
全ての圧電素子１４ａ〜１４ｄを同じ方向に分極しても
よい。つまり、圧電素子１４ａ〜１４ｄを外側から振動
体１２側に向かって分極してもよいし、振動体１２側か
ら外側に向かって分極してもよい。この場合、圧電素子
１４ａ，１４ｂと圧電素子１４ｃ，１４ｄに逆位相の駆
動信号を印加すれば、振動体１２の中央部の両側で、延
びと縮みとが逆になるような振動をさせることができ
る。
【００１６】また、図７に示すように、振動体１２の両
面に２つの圧電素子３２，３４を形成してもよい。圧電
素子３２は１枚の圧電板３６を含む。そして、圧電板３
６の一方面に２つの電極３８ａ，３８ｂが形成され、他
方面の全面に電極４０が形成される。そして、電極４０
が、振動体１２に接着される。同様に、圧電素子３４は
１枚の圧電板４２を含み、その両面に電極４４ａ，４４
ｂおよび電極４６が形成される。そして、電極４６が、
振動体１２に接着される。これらの圧電素子３２，３４
では、圧電板３６，４２は、たとえば外側から振動体１
２側に向かって分極されられる。そして、図７に示すよ
うな回路で駆動信号を極性反転し、電極３８ａ，４４ａ
に印加される駆動信号と電極３８ｂ，４４ｂに印加され
る駆動信号とを逆位相にすればよい。もちろん、このよ
うな回路を用いる場合、圧電板３６，４２は、振動体１
２側から外側に向かって分極させてもよい。なお、上述
の各実施例に示す圧電振動子１０では、必ずしも振動体
１２の両端で支持する必要はなく、たとえば振動体１２
の両端から約１／４の部分で支持してもよい。この部分
も変位がほとんどなく、支持部からの振動漏れを防ぐこ
とができる。
面に２つの圧電素子３２，３４を形成してもよい。圧電
素子３２は１枚の圧電板３６を含む。そして、圧電板３
６の一方面に２つの電極３８ａ，３８ｂが形成され、他
方面の全面に電極４０が形成される。そして、電極４０
が、振動体１２に接着される。同様に、圧電素子３４は
１枚の圧電板４２を含み、その両面に電極４４ａ，４４
ｂおよび電極４６が形成される。そして、電極４６が、
振動体１２に接着される。これらの圧電素子３２，３４
では、圧電板３６，４２は、たとえば外側から振動体１
２側に向かって分極されられる。そして、図７に示すよ
うな回路で駆動信号を極性反転し、電極３８ａ，４４ａ
に印加される駆動信号と電極３８ｂ，４４ｂに印加され
る駆動信号とを逆位相にすればよい。もちろん、このよ
うな回路を用いる場合、圧電板３６，４２は、振動体１
２側から外側に向かって分極させてもよい。なお、上述
の各実施例に示す圧電振動子１０では、必ずしも振動体
１２の両端で支持する必要はなく、たとえば振動体１２
の両端から約１／４の部分で支持してもよい。この部分
も変位がほとんどなく、支持部からの振動漏れを防ぐこ
とができる。
【００１７】また、圧電素子の数は４つに限らず、たと
えば図８に示すように、６つの圧電素子５０ａ，５０
ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅ，５０ｆを形成してもよ
い。ここで、圧電素子５０ｃ，５０ｄは振動体１２の中
央部で対向するように形成され、圧電素子５０ａ，５０
ｂおよび圧電素子５０ｅ，５０ｆは圧電素子５０ｃ，５
０ｄの両側で対向するように形成される。そして、圧電
素子５０ｃ，５０ｄの振動方向の長さは、圧電素子５０
ａ，５０ｂ，５０ｅ，５０ｆの振動方向の長さの約２倍
となるように形成される。この圧電振動子１０では、た
とえば圧電素子５０ａ，５０ｂ，５０ｅ，５０ｆは外側
から振動体１２側に向かって分極させられ、圧電素子５
０ｃ，５０ｄは振動体１２側から外側に向かって分極さ
せられる。もちろん、各圧電素子５０ａ〜５０ｆの分極
方向は、逆であってもよい。
えば図８に示すように、６つの圧電素子５０ａ，５０
ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅ，５０ｆを形成してもよ
い。ここで、圧電素子５０ｃ，５０ｄは振動体１２の中
央部で対向するように形成され、圧電素子５０ａ，５０
ｂおよび圧電素子５０ｅ，５０ｆは圧電素子５０ｃ，５
０ｄの両側で対向するように形成される。そして、圧電
素子５０ｃ，５０ｄの振動方向の長さは、圧電素子５０
ａ，５０ｂ，５０ｅ，５０ｆの振動方向の長さの約２倍
となるように形成される。この圧電振動子１０では、た
とえば圧電素子５０ａ，５０ｂ，５０ｅ，５０ｆは外側
から振動体１２側に向かって分極させられ、圧電素子５
０ｃ，５０ｄは振動体１２側から外側に向かって分極さ
せられる。もちろん、各圧電素子５０ａ〜５０ｆの分極
方向は、逆であってもよい。
【００１８】これらの圧電素子５０ａ〜５０ｆに同位相
の駆動信号を印加すると、図８の矢印に示すように、振
動体１２の両端から約１／４の部分の両側で、延びと縮
みとが逆となるように振動する。このような圧電振動子
１０でも、振動体１２の両端または中央部の位置で支持
することができ、しかも振動漏れを防止することができ
る。この圧電振動子１０では、図１に示す圧電振動子に
比べて、重心の移動に伴う反動を打ち消すことができ
る。もちろん、全ての圧電素子５０ａ〜５０ｆを同じ方
向に分極し、圧電素子５０ａ，５０ｂ，５０ｅ，５０ｆ
に印加する駆動信号と圧電素子５０ｃ，５０ｄに印加す
る駆動信号とを逆位相にしてもよい。
の駆動信号を印加すると、図８の矢印に示すように、振
動体１２の両端から約１／４の部分の両側で、延びと縮
みとが逆となるように振動する。このような圧電振動子
１０でも、振動体１２の両端または中央部の位置で支持
することができ、しかも振動漏れを防止することができ
る。この圧電振動子１０では、図１に示す圧電振動子に
比べて、重心の移動に伴う反動を打ち消すことができ
る。もちろん、全ての圧電素子５０ａ〜５０ｆを同じ方
向に分極し、圧電素子５０ａ，５０ｂ，５０ｅ，５０ｆ
に印加する駆動信号と圧電素子５０ｃ，５０ｄに印加す
る駆動信号とを逆位相にしてもよい。
【００１９】なお、上述の各実施例では、矩形板状の振
動体１２を使用したが、多角柱状または円柱状などの振
動体を使用し、その側面に対向するように圧電素子を形
成してもよい。また、図９に示すように、円板状の振動
体１２を使用することもできる。この場合、圧電素子１
４ａ〜１４ｄは、同心円状に形成される。そして、圧電
素子１４ａ，１４ｂは振動体１２を挟んで対向するよう
に形成され、圧電素子１４ｃ，１４ｄも振動体１２を挟
んで対向するように形成される。この圧電振動子１０で
は、図１０に示すように、径方向に振動する。そして、
振動体１２の径方向の中間部の両側で、延びと縮みとが
逆になるように振動する。したがって、振動体１２の外
周部は変位せず、振動体１２の外周部で支持することが
できる。このように、振動体１２の形状としては、板状
や柱状など、さまざまな形状のものを使用することがで
きる。
動体１２を使用したが、多角柱状または円柱状などの振
動体を使用し、その側面に対向するように圧電素子を形
成してもよい。また、図９に示すように、円板状の振動
体１２を使用することもできる。この場合、圧電素子１
４ａ〜１４ｄは、同心円状に形成される。そして、圧電
素子１４ａ，１４ｂは振動体１２を挟んで対向するよう
に形成され、圧電素子１４ｃ，１４ｄも振動体１２を挟
んで対向するように形成される。この圧電振動子１０で
は、図１０に示すように、径方向に振動する。そして、
振動体１２の径方向の中間部の両側で、延びと縮みとが
逆になるように振動する。したがって、振動体１２の外
周部は変位せず、振動体１２の外周部で支持することが
できる。このように、振動体１２の形状としては、板状
や柱状など、さまざまな形状のものを使用することがで
きる。
【００２０】また、上述の各実施例において、振動体１
２を圧電セラミックで形成してもよい。この場合、上述
の各実施例と同様の位置に、電極が形成される。そし
て、これらの電極に駆動信号を印加することによって、
伸びと縮みとが同時に発生するように振動体１２を振動
させることができる。
２を圧電セラミックで形成してもよい。この場合、上述
の各実施例と同様の位置に、電極が形成される。そし
て、これらの電極に駆動信号を印加することによって、
伸びと縮みとが同時に発生するように振動体１２を振動
させることができる。
【００２１】この発明の圧電振動子では、振動体１２を
マイクロマシニング，エッチング，プレス成形などで製
造することができ、生産性の良好な圧電振動子を得るこ
とができる。
マイクロマシニング，エッチング，プレス成形などで製
造することができ、生産性の良好な圧電振動子を得るこ
とができる。
【図１】この発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す圧電振動子の断面図である。
【図３】図１に示す圧電振動子を駆動するための回路図
である。
である。
【図４】（Ａ）〜（Ｅ）は図１に示す圧電振動子の振動
状態を示す図解図である。
状態を示す図解図である。
【図５】図１に示す圧電振動子の共振特性を示すグラフ
である。
である。
【図６】図１に示す圧電振動子の共振周波数を調整した
ときの状態を示す斜視図である。
ときの状態を示す斜視図である。
【図７】図１に示す圧電振動子の変形例とそれを駆動す
るための回路とを示す図解図である。
るための回路とを示す図解図である。
【図８】この発明の他の実施例を示す図解図である。
【図９】この発明のさらに他の実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図１０】図９に示す圧電振動子の振動状態を示す図解
図である。
図である。
１０ 圧電振動子 １２ 振動体 １４ａ〜１４ｄ 圧電素子 ２２ 発振回路 ３０ 溝 ３２ 圧電素子 ３４ 圧電素子 ５０ａ〜５０ｆ 圧電素子
Claims (3)
- 【請求項１】 振動体と、前記振動体上に形成される圧
電素子とを含み、前記圧電素子の圧電効果を利用して前
記振動体を振動させる圧電振動子において、 前記振動体はその振動体内で部分的に伸びと縮みとが同
時に発生するような振動をすることを特徴とする、圧電
振動子。 - 【請求項２】 圧電体で形成された振動体と、前記振動
体上に形成される電極とを含み、前記振動体の圧電効果
を利用して前記振動体を振動させる圧電振動子におい
て、 前記振動体はその振動体内で部分的に伸びと縮みとが同
時に発生するような振動をすることを特徴とする、圧電
振動子。 - 【請求項３】 前記振動体の振動方向における全長が変
化しないことを特徴とする、請求項１または請求項２の
圧電振動子。
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12548593A JPH06314948A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 圧電振動子 |
| EP94102967A EP0614087B1 (en) | 1993-03-01 | 1994-02-28 | Piezoelectric vibrator and acceleration sensor using the same |
| DE69423667T DE69423667T2 (de) | 1993-03-01 | 1994-02-28 | Piezoelektrischer Vibrator und diesen verwendenden Beschleunigungssensor |
| US08/521,426 US5652385A (en) | 1993-03-01 | 1995-08-30 | Piezoelectric vibrator and acceleration sensor using the same |
| US08/521,421 US5629483A (en) | 1993-03-01 | 1995-08-30 | Piezoelectric vibrator and acceleration sensor using the same |
| US08/521,444 US5679896A (en) | 1993-03-01 | 1995-08-30 | Piezoelectric vibrator and acceleration sensor using the same |
| US08/521,443 US5681994A (en) | 1993-03-01 | 1995-08-30 | Piezoelectric vibrator and acceleration sensor using the same |
| US08/747,247 US5824903A (en) | 1993-03-01 | 1996-11-18 | Piezoelectric vibrator and acceleration sensor using the same |
| US08/796,496 US5773916A (en) | 1993-03-01 | 1997-02-06 | Piezoelectric vibrator and acceleration sensor using the same |
| US08/833,088 US5770799A (en) | 1993-03-01 | 1997-04-04 | Piezoelectric vibrator and acceleration sensor using the same |
| US09/041,178 US5900551A (en) | 1993-03-01 | 1998-03-12 | Piezoelectric acceleration sensor having a weighted plate-shaped vibrating body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12548593A JPH06314948A (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06314948A true JPH06314948A (ja) | 1994-11-08 |
Family
ID=14911261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12548593A Pending JPH06314948A (ja) | 1993-03-01 | 1993-04-28 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06314948A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0764850A1 (en) * | 1995-09-11 | 1997-03-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acceleration sensor |
| US10312427B2 (en) | 2013-12-06 | 2019-06-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric device |
-
1993
- 1993-04-28 JP JP12548593A patent/JPH06314948A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0764850A1 (en) * | 1995-09-11 | 1997-03-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acceleration sensor |
| US5792953A (en) * | 1995-09-11 | 1998-08-11 | Murata Manufcacturing Co., Ltd. | Acceleration sensor having a vibrator with an attached weight |
| US10312427B2 (en) | 2013-12-06 | 2019-06-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric device |
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