JPH05251977A - 圧電デバイス - Google Patents
圧電デバイスInfo
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- JPH05251977A JPH05251977A JP4045765A JP4576592A JPH05251977A JP H05251977 A JPH05251977 A JP H05251977A JP 4045765 A JP4045765 A JP 4045765A JP 4576592 A JP4576592 A JP 4576592A JP H05251977 A JPH05251977 A JP H05251977A
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- piezoelectric element
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は圧電デバイスに関し、周波数特性を効
果的に可変し得るデバイスの提供を目的とする。 【構成】圧電基板８及びこの基板８上に形成された電極
１０からなる圧電素子１２を、圧電アクチュエータ１４
Ａ及び１４Ｂにより支持基板１６に支持し、圧電アクチ
ュエータ１４Ａ及び１４Ｂの一方は伸び他方は縮むよう
にこれらに駆動電圧を与え、この駆動電圧を変化させる
ことにより圧電素子１２の周波数特性を変化させるよう
にして構成する。
果的に可変し得るデバイスの提供を目的とする。 【構成】圧電基板８及びこの基板８上に形成された電極
１０からなる圧電素子１２を、圧電アクチュエータ１４
Ａ及び１４Ｂにより支持基板１６に支持し、圧電アクチ
ュエータ１４Ａ及び１４Ｂの一方は伸び他方は縮むよう
にこれらに駆動電圧を与え、この駆動電圧を変化させる
ことにより圧電素子１２の周波数特性を変化させるよう
にして構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電デバイスに関する。
電子機器の分野においては、一定周波数の信号を得る場
合等に、圧電材料からなる基板上に電極を形成して基板
の機械的振動により所定の電気的特性を得るようにした
圧電デバイスが使用されることがある。この種の圧電デ
バイスは、基板表層を伝搬する弾性表面波を用いたもの
と、基板内部における厚み滑り振動を用いたものとに大
別され、用途に応じて使い分けられている。圧電デバイ
スの電気的特性のうち周波数特性を可変し得るとすれば
周波数可変型の発振器等を構成する上で極めて有用であ
る。
電子機器の分野においては、一定周波数の信号を得る場
合等に、圧電材料からなる基板上に電極を形成して基板
の機械的振動により所定の電気的特性を得るようにした
圧電デバイスが使用されることがある。この種の圧電デ
バイスは、基板表層を伝搬する弾性表面波を用いたもの
と、基板内部における厚み滑り振動を用いたものとに大
別され、用途に応じて使い分けられている。圧電デバイ
スの電気的特性のうち周波数特性を可変し得るとすれば
周波数可変型の発振器等を構成する上で極めて有用であ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、厚み滑り振動を利用した圧電デバ
イスとしては、水晶やＬｉＴａＯ3 等の圧電材料からな
る基板の表面及び裏面に電極を設けてなる厚み滑り振動
子やモノリシッククリスタルフィルタ（ＭＣＦ）が知ら
れている。
イスとしては、水晶やＬｉＴａＯ3 等の圧電材料からな
る基板の表面及び裏面に電極を設けてなる厚み滑り振動
子やモノリシッククリスタルフィルタ（ＭＣＦ）が知ら
れている。
【０００３】また、弾性表面波を利用した圧電デバイス
としては、圧電材料からなる基板の表面に櫛歯状電極を
設けてなる弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタが知
られている。
としては、圧電材料からなる基板の表面に櫛歯状電極を
設けてなる弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタが知
られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、圧電デバイスの
周波数特性は可変し得なかったので、例えば周波数可変
型の電圧制御発振器（ＶＣＯ）を構成する場合には、電
気的に発振周波数を可変するための可変容量素子等が必
要となっており、装置が複雑になるという問題があっ
た。
周波数特性は可変し得なかったので、例えば周波数可変
型の電圧制御発振器（ＶＣＯ）を構成する場合には、電
気的に発振周波数を可変するための可変容量素子等が必
要となっており、装置が複雑になるという問題があっ
た。
【０００５】このような点に鑑み、我々は先に、図８に
示すような圧電デバイスを提案した（特願平３−２２４
０１８号）。この圧電デバイスは、圧電材料からなる基
板１上に電極２を形成し、基板１の機械的振動により所
定の電気的特性を得るようにした圧電デバイスにおい
て、印加電圧に応じてその少なくとも一方向の長さが変
化するような圧電アクチュエータ３により基板１に歪み
を与え、印加電圧に応じて周波数特性を可変し得るよう
にしたものである。
示すような圧電デバイスを提案した（特願平３−２２４
０１８号）。この圧電デバイスは、圧電材料からなる基
板１上に電極２を形成し、基板１の機械的振動により所
定の電気的特性を得るようにした圧電デバイスにおい
て、印加電圧に応じてその少なくとも一方向の長さが変
化するような圧電アクチュエータ３により基板１に歪み
を与え、印加電圧に応じて周波数特性を可変し得るよう
にしたものである。
【０００６】しかし、この圧電デバイスにおいては、圧
電アクチュエータ３の寸法変化を効果的に基板１に伝え
ることができず、印加電圧の単位変化に対する周波数特
性の変化量が必ずしも大きくないという問題があった。
電アクチュエータ３の寸法変化を効果的に基板１に伝え
ることができず、印加電圧の単位変化に対する周波数特
性の変化量が必ずしも大きくないという問題があった。
【０００７】本発明の目的は、周波数特性を効果的に可
変し得る圧電デバイスの提供を目的としている。
変し得る圧電デバイスの提供を目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の圧電デバイスの
第１の構成は、圧電基板及び該基板上に形成された電極
からなる圧電素子を、その表面及び裏面のうちの一方の
面の両端部にて第１及び第２の圧電アクチュエータによ
り支持基板に支持し、該第１及び第２の圧電アクチュエ
ータの一方は伸び他方は縮むように該第１及び第２のア
クチュエータに駆動電圧を与え、該駆動電圧を変化させ
ることにより上記圧電素子の周波数特性を変化させるよ
うにしたものである。
第１の構成は、圧電基板及び該基板上に形成された電極
からなる圧電素子を、その表面及び裏面のうちの一方の
面の両端部にて第１及び第２の圧電アクチュエータによ
り支持基板に支持し、該第１及び第２の圧電アクチュエ
ータの一方は伸び他方は縮むように該第１及び第２のア
クチュエータに駆動電圧を与え、該駆動電圧を変化させ
ることにより上記圧電素子の周波数特性を変化させるよ
うにしたものである。
【０００９】本発明の圧電デバイスの第２の構成は、圧
電基板及び該基板上に形成された電極からなる圧電素子
を、その表面及び裏面のうちの一方の面の中央部にて圧
電アクチュエータにより、上記一方の面の両端部にて第
１及び第２のブロックにより支持基板に支持し、上記圧
電アクチュエータに与える駆動電圧を変化させることに
より上記圧電素子の周波数特性を変化させるようにした
ものである。
電基板及び該基板上に形成された電極からなる圧電素子
を、その表面及び裏面のうちの一方の面の中央部にて圧
電アクチュエータにより、上記一方の面の両端部にて第
１及び第２のブロックにより支持基板に支持し、上記圧
電アクチュエータに与える駆動電圧を変化させることに
より上記圧電素子の周波数特性を変化させるようにした
ものである。
【００１０】本発明の圧電デバイスの第３の構成は、圧
電基板及び該基板上に形成された電極からなる圧電素子
を、その表面の端部にて第１の圧電アクチュエータによ
り、その裏面の上記端部と反対側の端部にて第２の圧電
アクチュエータにより、互いに平行な上部内壁及び下部
内壁を有する筐体の該上部及び下部内壁に支持し、上記
第１及び第２の圧電アクチュエータが同方向に伸縮する
ように該第１及び第２の圧電アクチュエータに駆動電圧
を与え、該駆動電圧を変化させることにより上記圧電素
子の周波数特性を変化させるようにしたものである。
電基板及び該基板上に形成された電極からなる圧電素子
を、その表面の端部にて第１の圧電アクチュエータによ
り、その裏面の上記端部と反対側の端部にて第２の圧電
アクチュエータにより、互いに平行な上部内壁及び下部
内壁を有する筐体の該上部及び下部内壁に支持し、上記
第１及び第２の圧電アクチュエータが同方向に伸縮する
ように該第１及び第２の圧電アクチュエータに駆動電圧
を与え、該駆動電圧を変化させることにより上記圧電素
子の周波数特性を変化させるようにしたものである。
【００１１】本発明の圧電デバイスの第４の構成は、圧
電基板及び該基板上に形成された電極からなる圧電素子
を、その表面及び裏面のうちの一方の面の両端部にて第
１及び第２の圧電アクチュエータにより、該一方の面の
中央部にてブロックにより支持基板に支持し、上記第１
及び第２の圧電アクチュエータが同方向に伸縮するよう
に該第１及び第２の圧電アクチュエータに駆動電圧を与
え、該駆動電圧を変化させることにより上記圧電素子の
周波数特性を変化させるようにしたものである。
電基板及び該基板上に形成された電極からなる圧電素子
を、その表面及び裏面のうちの一方の面の両端部にて第
１及び第２の圧電アクチュエータにより、該一方の面の
中央部にてブロックにより支持基板に支持し、上記第１
及び第２の圧電アクチュエータが同方向に伸縮するよう
に該第１及び第２の圧電アクチュエータに駆動電圧を与
え、該駆動電圧を変化させることにより上記圧電素子の
周波数特性を変化させるようにしたものである。
【００１２】本発明の圧電デバイスの第５の構成は、圧
電基板及び該基板上に形成された電極からなる圧電素子
を、その表面の両端部にて第１及び第２の圧電アクチュ
エータにより、その裏面の中央部にて第３の圧電アクチ
ュエータにより、互いに平行な上部内壁及び下部内壁を
有する筐体の該上部及び下部内壁に支持し、該第１、第
２及び第３の圧電アクチュエータが同方向に伸縮するよ
うに該第１、第２及び第３のアクチュエータに駆動電圧
を与え、該駆動電圧を変化させることにより上記圧電素
子の周波数特性を変化させるようにしたものである。
電基板及び該基板上に形成された電極からなる圧電素子
を、その表面の両端部にて第１及び第２の圧電アクチュ
エータにより、その裏面の中央部にて第３の圧電アクチ
ュエータにより、互いに平行な上部内壁及び下部内壁を
有する筐体の該上部及び下部内壁に支持し、該第１、第
２及び第３の圧電アクチュエータが同方向に伸縮するよ
うに該第１、第２及び第３のアクチュエータに駆動電圧
を与え、該駆動電圧を変化させることにより上記圧電素
子の周波数特性を変化させるようにしたものである。
【００１３】
【作用】本発明によると、支持基板や筐体を用いて圧電
基板と圧電アクチュエータを特定の形態に配置している
ので、圧電アクチュエータの寸法変化を効果的に圧電基
板に伝えることができるようになり、印加電圧の単位変
化に対する周波数特性の可変量が増大する。
基板と圧電アクチュエータを特定の形態に配置している
ので、圧電アクチュエータの寸法変化を効果的に圧電基
板に伝えることができるようになり、印加電圧の単位変
化に対する周波数特性の可変量が増大する。
【００１４】
【実施例】以下本発明の実施例を説明する。図７は本発
明の実施に使用することができる圧電アクチュエータの
構成例を示す図である。この圧電アクチュエータは、圧
電薄膜２を多数積層し、これらの間に第１電極４及び第
２電極６を交互に介在させて構成される。各圧電薄膜２
は、単位印加電圧当りの変形量が最も大きくなる方向が
積層方向と一致するようにされている。
明の実施に使用することができる圧電アクチュエータの
構成例を示す図である。この圧電アクチュエータは、圧
電薄膜２を多数積層し、これらの間に第１電極４及び第
２電極６を交互に介在させて構成される。各圧電薄膜２
は、単位印加電圧当りの変形量が最も大きくなる方向が
積層方向と一致するようにされている。
【００１５】この構成によると、第１電極４と第２電極
６の間に適当な駆動電圧を印加し、この駆動電圧を変化
させることにより、その変化量に応じて圧電薄膜積層方
向（図中の矢印方向）の長さを効果的に変化させること
ができる。
６の間に適当な駆動電圧を印加し、この駆動電圧を変化
させることにより、その変化量に応じて圧電薄膜積層方
向（図中の矢印方向）の長さを効果的に変化させること
ができる。
【００１６】図１（Ａ）は本発明の第１の構成の実施例
を示す圧電デバイスの側面図である。水晶、ＬｉＴａＯ
3 等からなる圧電基板８の表面には櫛歯状の電極１０が
形成されており、これにより弾性表面波共振子として機
能する圧電素子１２が構成されている。
を示す圧電デバイスの側面図である。水晶、ＬｉＴａＯ
3 等からなる圧電基板８の表面には櫛歯状の電極１０が
形成されており、これにより弾性表面波共振子として機
能する圧電素子１２が構成されている。
【００１７】圧電素子１２は、電極が形成されていない
側の両端に固着された圧電アクチュエータ１４Ａ及び１
４Ｂを介して支持基板１６上に支持されている。圧電ア
クチュエータ１４Ａ及び１４Ｂにおける圧電薄膜の積層
方向は、圧電基板８の厚み方向（図１（Ａ）における上
下方向）に設定されている。
側の両端に固着された圧電アクチュエータ１４Ａ及び１
４Ｂを介して支持基板１６上に支持されている。圧電ア
クチュエータ１４Ａ及び１４Ｂにおける圧電薄膜の積層
方向は、圧電基板８の厚み方向（図１（Ａ）における上
下方向）に設定されている。
【００１８】圧電アクチュエータ１４Ａ及び１４Ｂにお
いては、第１電極４と第２電極６（図７参照）の間に与
える駆動電圧の正負に応じて圧電アクチュエータが伸び
るか或いは縮むかが決定される。
いては、第１電極４と第２電極６（図７参照）の間に与
える駆動電圧の正負に応じて圧電アクチュエータが伸び
るか或いは縮むかが決定される。
【００１９】本実施例においては、図１（Ｂ）に示すよ
うに、２つの圧電アクチュエータの一方は伸び他方は縮
むように駆動電圧を与え、この駆動電圧の変化に応じて
圧電素子１２の周波数特性を変化させるようにしてい
る。こうすると、圧電アクチュエータへの駆動電圧の単
位変化に対する圧電素子１２の撓み量が従来のほぼ２倍
になるので、効果的に周波数特性を変化させることがで
きる。
うに、２つの圧電アクチュエータの一方は伸び他方は縮
むように駆動電圧を与え、この駆動電圧の変化に応じて
圧電素子１２の周波数特性を変化させるようにしてい
る。こうすると、圧電アクチュエータへの駆動電圧の単
位変化に対する圧電素子１２の撓み量が従来のほぼ２倍
になるので、効果的に周波数特性を変化させることがで
きる。
【００２０】図２（Ａ）は本発明の第２の構成の第１実
施例を示す圧電デバイスの側面図である。図１乃至図７
において実質的に同一の機能をなす部材については同一
の部材番号を付し、当該部材が複数ありそれらの機能を
区別する必要がある場合には当該番号の後に別々のアル
ファベット記号を与える。
施例を示す圧電デバイスの側面図である。図１乃至図７
において実質的に同一の機能をなす部材については同一
の部材番号を付し、当該部材が複数ありそれらの機能を
区別する必要がある場合には当該番号の後に別々のアル
ファベット記号を与える。
【００２１】この実施例では、圧電素子１２は、電極が
形成されていない側の両端部に固着されたブロック１８
Ａ及び１８Ｂと同じく電極が形成されていない側の中央
部に固着された圧電アクチュエータ１４を介して支持基
板１６上に支持されている。ブロック１８Ａ及び１８Ｂ
は圧電アクチュエータ１４と同等の形状を有する。ま
た、圧電アクチュエータ１４における圧電薄膜の積層方
向は、圧電基板８の厚み方向（図２（Ａ）における上下
方向）に設定されている。
形成されていない側の両端部に固着されたブロック１８
Ａ及び１８Ｂと同じく電極が形成されていない側の中央
部に固着された圧電アクチュエータ１４を介して支持基
板１６上に支持されている。ブロック１８Ａ及び１８Ｂ
は圧電アクチュエータ１４と同等の形状を有する。ま
た、圧電アクチュエータ１４における圧電薄膜の積層方
向は、圧電基板８の厚み方向（図２（Ａ）における上下
方向）に設定されている。
【００２２】この構成によっても、図２（Ｂ）に示すよ
うに、圧電アクチュエータ１４に与える駆動電圧を変化
させることにより圧電素子１２を変形させて、その周波
数特性を変化させることができ、その場合における駆動
電圧の単位変化に対する周波数特性の変化量は従来に比
べてほぼ２倍になる。
うに、圧電アクチュエータ１４に与える駆動電圧を変化
させることにより圧電素子１２を変形させて、その周波
数特性を変化させることができ、その場合における駆動
電圧の単位変化に対する周波数特性の変化量は従来に比
べてほぼ２倍になる。
【００２３】図３（Ａ）は本発明の第２の構成の第２実
施例を示す圧電デバイスの側面図である。この実施例で
は、圧電素子１２は、電極が形成されていない側の中央
部に固着された圧電アクチュエータ１４Ａと、同じく電
極が形成されていない側の両端部に固着された圧電アク
チュエータ１４Ｂ及び１４Ｃを介して支持基板１６上に
支持されている。即ち、圧電アクチュエータ１４Ｂ及び
１４Ｃが図２の第１実施例におけるブロック１８Ａ及び
１８Ｂと同じく圧電素子１２を支持するのである。
施例を示す圧電デバイスの側面図である。この実施例で
は、圧電素子１２は、電極が形成されていない側の中央
部に固着された圧電アクチュエータ１４Ａと、同じく電
極が形成されていない側の両端部に固着された圧電アク
チュエータ１４Ｂ及び１４Ｃを介して支持基板１６上に
支持されている。即ち、圧電アクチュエータ１４Ｂ及び
１４Ｃが図２の第１実施例におけるブロック１８Ａ及び
１８Ｂと同じく圧電素子１２を支持するのである。
【００２４】そして、図３（Ｂ）に示すように、圧電ア
クチュエータ１４Ａが伸びたときには圧電アクチュエー
タ１４Ｂ及び１４Ｃが縮み、また、図３（Ｃ）に示すよ
うに、圧電アクチュエータ１４Ａが縮むときには圧電ア
クチュエータ１４Ｂ及び１４Ｃが伸びるように、圧電ア
クチュエータ１４Ａ，１４Ｂ及び１４Ｃに駆動電圧が与
えられる。
クチュエータ１４Ａが伸びたときには圧電アクチュエー
タ１４Ｂ及び１４Ｃが縮み、また、図３（Ｃ）に示すよ
うに、圧電アクチュエータ１４Ａが縮むときには圧電ア
クチュエータ１４Ｂ及び１４Ｃが伸びるように、圧電ア
クチュエータ１４Ａ，１４Ｂ及び１４Ｃに駆動電圧が与
えられる。
【００２５】この実施例によると、圧電素子１２の中央
部と両端部が互いに異なる方向に変移するので、駆動電
圧の単位変化に対する周波数特性の変化量を従来と比べ
てほぼ４倍にすることができる。
部と両端部が互いに異なる方向に変移するので、駆動電
圧の単位変化に対する周波数特性の変化量を従来と比べ
てほぼ４倍にすることができる。
【００２６】図４（Ａ）は本発明の第３の構成の実施例
を示す圧電デバイスの側面図である。この実施例では、
圧電素子１２を支持するものとして、これまでの実施例
における支持基板に代えて、互いに平行な上部内壁及び
下部内壁を有する筐体２０を用いている。
を示す圧電デバイスの側面図である。この実施例では、
圧電素子１２を支持するものとして、これまでの実施例
における支持基板に代えて、互いに平行な上部内壁及び
下部内壁を有する筐体２０を用いている。
【００２７】圧電素子１２の一方の端部は、電極が形成
されている側に固着された圧電アクチュエータ１４Ａを
介して筐体２０の上部内壁に支持され、圧電素子１２の
他方の端部は、電極が形成されていない側に固着された
圧電アクチュエータ１４Ｂを介して筐体２０の下部内壁
に支持されている。
されている側に固着された圧電アクチュエータ１４Ａを
介して筐体２０の上部内壁に支持され、圧電素子１２の
他方の端部は、電極が形成されていない側に固着された
圧電アクチュエータ１４Ｂを介して筐体２０の下部内壁
に支持されている。
【００２８】この構成によると、図４（Ｂ）に示すよう
に、圧電アクチュエータ１４Ａ及び１４Ｂが同方向に伸
縮するようにこれらに駆動電圧を与えることによって、
圧電素子１２の周波数特性を変化させることができる。
この場合、駆動電圧の単位変化に対する周波数特性の変
化量は従来と比べてほぼ２倍になる。
に、圧電アクチュエータ１４Ａ及び１４Ｂが同方向に伸
縮するようにこれらに駆動電圧を与えることによって、
圧電素子１２の周波数特性を変化させることができる。
この場合、駆動電圧の単位変化に対する周波数特性の変
化量は従来と比べてほぼ２倍になる。
【００２９】図５（Ａ）は本発明の第４の構成の実施例
を示す圧電デバイスの側面図である。この実施例では、
圧電素子１２は、電極が形成されていない側の両端に固
着された圧電アクチュエータ１４Ａ及び１４Ｂと、同じ
く電極が形成されていない側の中央部に固着されたブロ
ック１８を介して支持基板１６上に支持されている。
を示す圧電デバイスの側面図である。この実施例では、
圧電素子１２は、電極が形成されていない側の両端に固
着された圧電アクチュエータ１４Ａ及び１４Ｂと、同じ
く電極が形成されていない側の中央部に固着されたブロ
ック１８を介して支持基板１６上に支持されている。
【００３０】この構成においては、図５（Ｂ）に示すよ
うに、圧電アクチュエータ１４Ａ及び１４Ｂが同方向に
伸縮するようにこれらに駆動電圧を与えることによっ
て、圧電素子１２の周波数特性を変化させることができ
る。本実施例における駆動電圧の単位変化に対する周波
数特性の変化量は従来と比べてほぼ２倍になる。
うに、圧電アクチュエータ１４Ａ及び１４Ｂが同方向に
伸縮するようにこれらに駆動電圧を与えることによっ
て、圧電素子１２の周波数特性を変化させることができ
る。本実施例における駆動電圧の単位変化に対する周波
数特性の変化量は従来と比べてほぼ２倍になる。
【００３１】図６（Ａ）は本発明の第５の実施例を示す
圧電デバイスの側面図である。この実施例においても図
４の実施例におけるのと同じような筐体が用いられてい
る。圧電素子１２の中央部は、電極が形成されていない
側に固着された圧電アクチュエータ１４Ａを介して筐体
２０の下部内壁に支持され、圧電素子１２の両端部は、
電極が形成されている側に固着された圧電アクチュエー
タ１４Ｂ及び１４Ｃを介して筐体２０の上部内壁に支持
されている。
圧電デバイスの側面図である。この実施例においても図
４の実施例におけるのと同じような筐体が用いられてい
る。圧電素子１２の中央部は、電極が形成されていない
側に固着された圧電アクチュエータ１４Ａを介して筐体
２０の下部内壁に支持され、圧電素子１２の両端部は、
電極が形成されている側に固着された圧電アクチュエー
タ１４Ｂ及び１４Ｃを介して筐体２０の上部内壁に支持
されている。
【００３２】この構成においては、圧電アクチュエータ
１４Ａ，１４Ｂ及び１４Ｃが同方向に伸縮するようにこ
れらに駆動電圧を与えることによって、図６（Ｂ）に示
すように、圧電素子１２を撓ませることができ、周波数
特性が変化する。この場合における駆動電圧の単位変化
に対する周波数特性の変化量は従来と比べてほぼ４倍に
なる。
１４Ａ，１４Ｂ及び１４Ｃが同方向に伸縮するようにこ
れらに駆動電圧を与えることによって、図６（Ｂ）に示
すように、圧電素子１２を撓ませることができ、周波数
特性が変化する。この場合における駆動電圧の単位変化
に対する周波数特性の変化量は従来と比べてほぼ４倍に
なる。
【００３３】以上説明した実施例では、櫛歯状の電極を
一組設けて弾性表面波共振子を構成しているが、同じよ
うな櫛歯状電極を二組以上設けてこれらが相互に干渉す
るようにし、弾性表面波フィルタを構成してもよい。
一組設けて弾性表面波共振子を構成しているが、同じよ
うな櫛歯状電極を二組以上設けてこれらが相互に干渉す
るようにし、弾性表面波フィルタを構成してもよい。
【００３４】また、図１、図４の実施例においては、圧
電基板８の両面に電極を形成することができるので、圧
電基板８の両面にそれぞれ平板電極を形成して、厚み滑
り振動を用いた振動子を構成してもよい。
電基板８の両面に電極を形成することができるので、圧
電基板８の両面にそれぞれ平板電極を形成して、厚み滑
り振動を用いた振動子を構成してもよい。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
周波数特性を効果的に可変し得る圧電デバイスの提供が
可能になるという効果を奏する。
周波数特性を効果的に可変し得る圧電デバイスの提供が
可能になるという効果を奏する。
【図１】本発明の第１の構成の実施例を示す圧電デバイ
スの側面図である。
スの側面図である。
【図２】本発明の第２の構成の第１実施例を示す圧電デ
バイスの側面図である。
バイスの側面図である。
【図３】本発明の第２の構成の第２実施例を示す圧電デ
バイスの側面図である。
バイスの側面図である。
【図４】本発明の第３の構成の実施例を示す圧電デバイ
スの側面図である。
スの側面図である。
【図５】本発明の第４の構成の実施例を示す圧電デバイ
スの側面図である。
スの側面図である。
【図６】本発明の第５の構成の実施例を示す圧電デバイ
スの側面図である。
スの側面図である。
【図７】本発明の実施に使用することができる圧電アク
チュエータの構成例を示す図である。
チュエータの構成例を示す図である。
【図８】従来技術の説明図である。
８ 圧電基板 １０ 電極 １２ 圧電素子 １４，１４Ａ，１４Ｂ 圧電アクチュエータ １６ 支持基板 １８，１８Ａ，１８Ｂ ブロック ２０ 筐体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０３Ｈ 9/64 Ｚ 7259−5Ｊ Ｈ０３Ｌ 7/00 Ａ 9182−5Ｊ
Claims (5)
- 【請求項１】 圧電基板(8) 及び該基板上に形成された
電極(10)からなる圧電素子(12)を、その表面及び裏面の
うちの一方の面の両端部にて第１及び第２の圧電アクチ
ュエータ(14A,14B) により支持基板(16)に支持し、 該第１及び第２の圧電アクチュエータの一方は伸び他方
は縮むように該第１及び第２のアクチュエータに駆動電
圧を与え、 該駆動電圧を変化させることにより上記圧電素子(12)の
周波数特性を変化させるようにしたことを特徴とする圧
電デバイス。 - 【請求項２】 圧電基板(8) 及び該基板上に形成された
電極(10)からなる圧電素子(12)を、その表面及び裏面の
うちの一方の面の中央部にて圧電アクチュエータ(14)に
より、該一方の面の両端部にて第１及び第２のブロック
(18A,18B) により支持基板(16)に支持し、 上記圧電アクチュエータに与える駆動電圧を変化させる
ことにより上記圧電素子(12)の周波数特性を変化させる
ようにしたことを特徴とする圧電デバイス。 - 【請求項３】 圧電基板(8) 及び該基板上に形成された
電極(10)からなる圧電素子(12)を、その表面の端部にて
第１の圧電アクチュエータ(14A) により、その裏面の上
記端部と反対側の端部にて第２の圧電アクチュエータ(1
4B) により、互いに平行な上部内壁及び下部内壁を有す
る筐体(20)の該上部及び下部内壁に支持し、 上記第１及び第２の圧電アクチュエータ(14A,14B) が同
方向に伸縮するように該第１及び第２の圧電アクチュエ
ータに駆動電圧を与え、 該駆動電圧を変化させることにより上記圧電素子(12)の
周波数特性を変化させるようにしたことを特徴とする圧
電デバイス。 - 【請求項４】 圧電基板(8) 及び該基板上に形成された
電極(10)からなる圧電素子(12)を、その表面及び裏面の
うちの一方の面の両端部にて第１及び第２の圧電アクチ
ュエータ(14A,14B) により、該一方の面の中央部にてブ
ロック(18)により支持基板(16)に支持し、 上記第１及び第２の圧電アクチュエータ(14A,14B) が同
方向に伸縮するように該第１及び第２の圧電アクチュエ
ータに駆動電圧を与え、 該駆動電圧を変化させることにより上記圧電素子(12)の
周波数特性を変化させるようにしたことを特徴とする圧
電デバイス。 - 【請求項５】 圧電基板(8) 及び該基板上に形成された
電極(10)からなる圧電素子(12)を、その表面の両端部に
て第１及び第２の圧電アクチュエータ(14A,14B) によ
り、その裏面の中央部にて第３の圧電アクチュエータ(1
4C) により、互いに平行な上部内壁及び下部内壁を有す
る筐体(20)の該上部及び下部内壁に支持し、 該第１、第２及び第３の圧電アクチュエータが同方向に
伸縮するように該第１、第２及び第３のアクチュエータ
に駆動電圧を与え、 該駆動電圧を変化させることにより上記圧電素子(12)の
周波数特性を変化させるようにしたことを特徴とする圧
電デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4045765A JPH05251977A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 圧電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4045765A JPH05251977A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 圧電デバイス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251977A true JPH05251977A (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=12728389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4045765A Withdrawn JPH05251977A (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | 圧電デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05251977A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4853685A (en) * | 1988-04-29 | 1989-08-01 | Baker Industries, Inc. | Switch monitoring arrangement with remote adjustment capability having debounce circuitry for accurate state determination |
| WO2004032320A1 (ja) * | 2002-10-03 | 2004-04-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | マイクロ共振装置、マイクロフィルタ装置、マイクロ発振器および無線通信機器 |
| US7348867B2 (en) | 2002-09-19 | 2008-03-25 | Nec Corporation | Filter and composite filter, filter assembly, integrated circuit chip and electronic device which contain same, and frequency characteristic changing method therefor |
| JP2009147878A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Nec Tokin Corp | 可変フィルタ |
-
1992
- 1992-03-03 JP JP4045765A patent/JPH05251977A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4853685A (en) * | 1988-04-29 | 1989-08-01 | Baker Industries, Inc. | Switch monitoring arrangement with remote adjustment capability having debounce circuitry for accurate state determination |
| US7348867B2 (en) | 2002-09-19 | 2008-03-25 | Nec Corporation | Filter and composite filter, filter assembly, integrated circuit chip and electronic device which contain same, and frequency characteristic changing method therefor |
| WO2004032320A1 (ja) * | 2002-10-03 | 2004-04-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | マイクロ共振装置、マイクロフィルタ装置、マイクロ発振器および無線通信機器 |
| JPWO2004032320A1 (ja) * | 2002-10-03 | 2006-02-02 | シャープ株式会社 | マイクロ共振装置、マイクロフィルタ装置、マイクロ発振器および無線通信機器 |
| JP2009147878A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Nec Tokin Corp | 可変フィルタ |
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