JPH0563251A - 圧電デバイス - Google Patents
圧電デバイスInfo
- Publication number
- JPH0563251A JPH0563251A JP3224018A JP22401891A JPH0563251A JP H0563251 A JPH0563251 A JP H0563251A JP 3224018 A JP3224018 A JP 3224018A JP 22401891 A JP22401891 A JP 22401891A JP H0563251 A JPH0563251 A JP H0563251A
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- Japan
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- piezoelectric
- substrate
- piezoelectric device
- piezoelectric actuator
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は圧電デバイスに関し、周波数特性を可
変し得る圧電デバイスの提供を目的とする。 【構成】圧電材料からなる基板８上に電極を形成し、上
記基板の機械的振動により所定の電気的特性を得るよう
にした圧電デバイスにおいて、印加電圧に応じてその少
なくとも一方向の長さが変化するような圧電アクチュエ
ータ１４により上記基板８に歪を与え、上記印加電圧に
応じて周波数特性を可変し得るようにして構成する。
変し得る圧電デバイスの提供を目的とする。 【構成】圧電材料からなる基板８上に電極を形成し、上
記基板の機械的振動により所定の電気的特性を得るよう
にした圧電デバイスにおいて、印加電圧に応じてその少
なくとも一方向の長さが変化するような圧電アクチュエ
ータ１４により上記基板８に歪を与え、上記印加電圧に
応じて周波数特性を可変し得るようにして構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電デバイスに関する。
電子機器の分野においては、一定周波数の信号を得る場
合等に、圧電材料からなる基板上に電極を形成して基板
の機械的振動により所定の電気的特性を得るようにした
圧電デバイスが使用されることがある。この種の圧電デ
バイスは、基板表層を伝搬する弾性表面波を用いたもの
と、基板内部における厚み滑り振動を用いたものとに大
別され、用途に応じて使い分けられている。圧電デバイ
スの電気的特性のうち周波数特性を可変し得るとすれば
周波数可変型の発振器等を構成する上で極めて有用であ
る。
電子機器の分野においては、一定周波数の信号を得る場
合等に、圧電材料からなる基板上に電極を形成して基板
の機械的振動により所定の電気的特性を得るようにした
圧電デバイスが使用されることがある。この種の圧電デ
バイスは、基板表層を伝搬する弾性表面波を用いたもの
と、基板内部における厚み滑り振動を用いたものとに大
別され、用途に応じて使い分けられている。圧電デバイ
スの電気的特性のうち周波数特性を可変し得るとすれば
周波数可変型の発振器等を構成する上で極めて有用であ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、厚み滑り振動を利用した圧電デバ
イスとしては、水晶やＬｉＴａＯ3 等の圧電材料からな
る基板の表面及び裏面に電極を設けてなる厚み滑り振動
子やモノリシッククリスタルフィルタ（ＭＣＦ）が知ら
れている。
イスとしては、水晶やＬｉＴａＯ3 等の圧電材料からな
る基板の表面及び裏面に電極を設けてなる厚み滑り振動
子やモノリシッククリスタルフィルタ（ＭＣＦ）が知ら
れている。
【０００３】また、弾性表面波を利用した圧電デバイス
としては、圧電材料からなる基板の表面に櫛歯状電極を
設けてなる弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタが知
られている。
としては、圧電材料からなる基板の表面に櫛歯状電極を
設けてなる弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタが知
られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、圧電デバイスの
周波数特性は可変し得なかったので、例えば周波数可変
型の発振器（ＶＣＯ）を構成する場合には、電気的に発
振周波数を可変するための可変容量素子等が必要となっ
ており、圧電素子を備えた装置が複雑になるという問題
があった。
周波数特性は可変し得なかったので、例えば周波数可変
型の発振器（ＶＣＯ）を構成する場合には、電気的に発
振周波数を可変するための可変容量素子等が必要となっ
ており、圧電素子を備えた装置が複雑になるという問題
があった。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みて創作され
たもので、周波数特性を可変し得る圧電デバイスの提供
を目的としている。
たもので、周波数特性を可変し得る圧電デバイスの提供
を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の圧電デバイス
は、圧電材料からなる基板上に電極を形成し、上記基板
の機械的振動により所定の電気的特性を得るようにした
圧電デバイスにおいて、印加電圧に応じてその少なくと
も一方向の長さが変化するような圧電アクチュエータに
より上記基板に歪を与え、上記印加電圧に応じて周波数
特性を可変し得るようにしたものである。
は、圧電材料からなる基板上に電極を形成し、上記基板
の機械的振動により所定の電気的特性を得るようにした
圧電デバイスにおいて、印加電圧に応じてその少なくと
も一方向の長さが変化するような圧電アクチュエータに
より上記基板に歪を与え、上記印加電圧に応じて周波数
特性を可変し得るようにしたものである。
【０００７】
【作用】圧電材料の機械的共振点等の特性は、圧電材料
に与えられる歪に応じて変化する。本発明においては、
印加電圧に応じてその少なくとも一方向の長さが変化す
るような圧電アクチュエータにより、圧電材料からなる
基板に歪を与えるようにしているので、印加電圧に応じ
てその周波数特性を可変し得るようになる。
に与えられる歪に応じて変化する。本発明においては、
印加電圧に応じてその少なくとも一方向の長さが変化す
るような圧電アクチュエータにより、圧電材料からなる
基板に歪を与えるようにしているので、印加電圧に応じ
てその周波数特性を可変し得るようになる。
【０００８】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図４は本発明の実施に使用することができる圧電ア
クチュエータの構成例を示す図である。この圧電アクチ
ュエータは、複数の板状の圧電素子２を積層し、これら
の間にプラス電極４及びマイナス電極６を交互に介在さ
せたものである。各圧電素子２は、単位印加電圧当りの
変形量が最も大きくなる方向が積層方向と一致するよう
になっている。
る。図４は本発明の実施に使用することができる圧電ア
クチュエータの構成例を示す図である。この圧電アクチ
ュエータは、複数の板状の圧電素子２を積層し、これら
の間にプラス電極４及びマイナス電極６を交互に介在さ
せたものである。各圧電素子２は、単位印加電圧当りの
変形量が最も大きくなる方向が積層方向と一致するよう
になっている。
【０００９】この構成によると、プラス側電極４とマイ
ナス側電極６の間に適当な電圧を印加することにより、
印加電圧に応じて圧電素子積層方向（図の上下方向）の
長さを効果的に変化させることができる。
ナス側電極６の間に適当な電圧を印加することにより、
印加電圧に応じて圧電素子積層方向（図の上下方向）の
長さを効果的に変化させることができる。
【００１０】図１は本発明の第１実施例を示す圧電デバ
イスの側面図である。圧電材料からなる基板８の表面に
は櫛歯状電極１０が形成されており、これにより弾性表
面波共振子が構成されている。基板８は、電極を形成し
ていない側の両端に固着された支持体１２及び圧電アク
チュエータ１４を介して支持基板１６上に支持されてい
る。
イスの側面図である。圧電材料からなる基板８の表面に
は櫛歯状電極１０が形成されており、これにより弾性表
面波共振子が構成されている。基板８は、電極を形成し
ていない側の両端に固着された支持体１２及び圧電アク
チュエータ１４を介して支持基板１６上に支持されてい
る。
【００１１】圧電アクチュエータ１４における圧電素子
の積層方向は図１中の上下方向に設定されている。この
構成によると、圧電アクチュエータ１４に与える印加電
圧の大きさに応じて基板８を撓ませることができるの
で、これに伴って弾性表面波共振子の周波数特性が変化
する。
の積層方向は図１中の上下方向に設定されている。この
構成によると、圧電アクチュエータ１４に与える印加電
圧の大きさに応じて基板８を撓ませることができるの
で、これに伴って弾性表面波共振子の周波数特性が変化
する。
【００１２】支持体１２及び支持基板１６の材質として
基板８の材質と同一のものを用いるとともに、基板８、
支持体１２及び支持基板１６の材質のカットアングルを
一致させておくことによって、圧電アクチュエータ１４
により基板８に与えられる歪以外の歪（例えば熱膨張係
数の差に起因する歪）を最小限に抑えることができ、安
定した周波数特性を得ることができる。
基板８の材質と同一のものを用いるとともに、基板８、
支持体１２及び支持基板１６の材質のカットアングルを
一致させておくことによって、圧電アクチュエータ１４
により基板８に与えられる歪以外の歪（例えば熱膨張係
数の差に起因する歪）を最小限に抑えることができ、安
定した周波数特性を得ることができる。
【００１３】図２は本発明の第２実施例を示す圧電デバ
イスの側面図である。この例では、圧電材料からなる基
板８の表面側及び裏面側に平板電極１８，２０がそれぞ
れ形成されており、これにより厚み滑り振動を用いた振
動子が構成されている。基板８は、その両端を支持体１
２により圧電アクチュエータ１４の圧電素子積層方向両
端部に支持されている。
イスの側面図である。この例では、圧電材料からなる基
板８の表面側及び裏面側に平板電極１８，２０がそれぞ
れ形成されており、これにより厚み滑り振動を用いた振
動子が構成されている。基板８は、その両端を支持体１
２により圧電アクチュエータ１４の圧電素子積層方向両
端部に支持されている。
【００１４】この構成によると、圧電アクチュエータ１
４に印加電圧を与えてその長さ（図２の左右方向）を変
化させることによって、その変化量に応じて基板８を撓
ませることができるので、印加電圧に応じた周波数特性
を得ることができるようになる。
４に印加電圧を与えてその長さ（図２の左右方向）を変
化させることによって、その変化量に応じて基板８を撓
ませることができるので、印加電圧に応じた周波数特性
を得ることができるようになる。
【００１５】図３は本発明の第３実施例を示す圧電デバ
イスの側面図である。この例では、圧電材料からなる基
板８の表面上に櫛歯状電極１０を形成して弾性表面波共
振子を構成し、基板８の裏面側に圧電アクチュエータ１
４を直接固着している。圧電アクチュエータ１４におけ
る圧電素子の積層方向は図中の左右方向に設定されてい
る。
イスの側面図である。この例では、圧電材料からなる基
板８の表面上に櫛歯状電極１０を形成して弾性表面波共
振子を構成し、基板８の裏面側に圧電アクチュエータ１
４を直接固着している。圧電アクチュエータ１４におけ
る圧電素子の積層方向は図中の左右方向に設定されてい
る。
【００１６】この構成によっても、圧電アクチュエータ
１４に印加する電圧に応じて基板８を撓ませることがで
きるので、印加電圧に応じた周波数特性を得ることがで
きる。
１４に印加する電圧に応じて基板８を撓ませることがで
きるので、印加電圧に応じた周波数特性を得ることがで
きる。
【００１７】第２実施例における電極１８，２０の対を
２組以上設けることによって、厚み滑り振動を利用した
フィルタを構成するようにしてもよい。また、第１又は
第３実施例における櫛歯状電極１０を２組以上設けて、
弾性表面波フィルタを構成してもよい。
２組以上設けることによって、厚み滑り振動を利用した
フィルタを構成するようにしてもよい。また、第１又は
第３実施例における櫛歯状電極１０を２組以上設けて、
弾性表面波フィルタを構成してもよい。
【００１８】尚、第３実施例では、圧電材料からなる基
板の裏面側に圧電アクチュエータを直接固着しているの
で、この実施例は、基板８の表面側にのみ電極を形成す
る弾性表面波デバイスに適している。
板の裏面側に圧電アクチュエータを直接固着しているの
で、この実施例は、基板８の表面側にのみ電極を形成す
る弾性表面波デバイスに適している。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
周波数特性を可変し得る圧電デバイスの提供が可能にな
るという効果を奏する。
周波数特性を可変し得る圧電デバイスの提供が可能にな
るという効果を奏する。
【図１】本発明の第１実施例を示す圧電デバイスの側面
図である。
図である。
【図２】本発明の第２実施例を示す圧電デバイスの側面
図である。
図である。
【図３】本発明の第３実施例を示す圧電デバイスの側面
図である。
図である。
【図４】本発明の実施に使用することができる圧電アク
チュエータの構成例を示す図である。
チュエータの構成例を示す図である。
８ 圧電材料からなる基板 １４ 圧電アクチュエータ
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電材料からなる基板(8) 上に電極を形
成し、上記基板の機械的振動により所定の電気的特性を
得るようにした圧電デバイスにおいて、 印加電圧に応じてその少なくとも一方向の長さが変化す
るような圧電アクチュエータ(14)により上記基板(8) に
歪を与え、上記印加電圧に応じて周波数特性を可変し得
るようにしたことを特徴とする圧電デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3224018A JPH0563251A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 圧電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3224018A JPH0563251A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 圧電デバイス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0563251A true JPH0563251A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=16807298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3224018A Withdrawn JPH0563251A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 圧電デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0563251A (ja) |
-
1991
- 1991-09-04 JP JP3224018A patent/JPH0563251A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |