JPS5933818A - セラミツク電子部品の製造方法 - Google Patents
セラミツク電子部品の製造方法Info
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- JPS5933818A JPS5933818A JP57144513A JP14451382A JPS5933818A JP S5933818 A JPS5933818 A JP S5933818A JP 57144513 A JP57144513 A JP 57144513A JP 14451382 A JP14451382 A JP 14451382A JP S5933818 A JPS5933818 A JP S5933818A
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
- H05K1/092—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/20—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by affixing prefabricated conductor pattern
-
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/24—Reinforcing the conductive pattern
- H05K3/245—Reinforcing conductive patterns made by printing techniques or by other techniques for applying conductive pastes, inks or powders; Reinforcing other conductive patterns by such techniques
Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はセラミック印刷配線板などのセラミック電子部
品の製造方法に関するものである。
品の製造方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来、セラミック印刷配線板の導電性電極や誘1
電体素子、圧電体素子、半導体素子等の機能特性を利用
したセラミック電子部品の電極の形成方法としては、セ
ラミック基板の表面にA、9.A3−Pd。
したセラミック電子部品の電極の形成方法としては、セ
ラミック基板の表面にA、9.A3−Pd。
Ap−Pt、AソーN1等の貴金属を主体とした焼料電
極法が実用化さねでいる。また近年、高価な貴金属の代
用として多くのメッキによる電極形成方法が開発されつ
つある。たとえば、セラミック基板表面に焼付銀電極薄
層を形成した後、電気メッキによりニッケル、銅などの
金属電極を形成する方法があるが、この方法は焼伺金団
薄層の表面が粗面で多くの小孔が存在するために、電気
メッキ工程においてメッキ液が小孔内部に浸透し、焼付
金属層と磁器素体の付着強度を劣化させる欠点があった
。また、磁器素体表面を塩化第一錫、塩化パラジウム等
を用いて触媒活性化処理を施こした後、無電解メッキに
よりニッケル、銅等の金属電極を形成している。しかし
ながらこの方法は、電極形成領域のみに限定した局部選
IRメッキは不可能で、メッキ処理後、不必要な金属層
を化学的エツチング捷たは機械的研磨等によって除去せ
ざるを得な3・に かった。そのために、この方法−誘電体素子、圧電体素
子、半導体素子等のセラミック電子部品用電極としては
以下に示すような多くの問題点を有している。
極法が実用化さねでいる。また近年、高価な貴金属の代
用として多くのメッキによる電極形成方法が開発されつ
つある。たとえば、セラミック基板表面に焼付銀電極薄
層を形成した後、電気メッキによりニッケル、銅などの
金属電極を形成する方法があるが、この方法は焼伺金団
薄層の表面が粗面で多くの小孔が存在するために、電気
メッキ工程においてメッキ液が小孔内部に浸透し、焼付
金属層と磁器素体の付着強度を劣化させる欠点があった
。また、磁器素体表面を塩化第一錫、塩化パラジウム等
を用いて触媒活性化処理を施こした後、無電解メッキに
よりニッケル、銅等の金属電極を形成している。しかし
ながらこの方法は、電極形成領域のみに限定した局部選
IRメッキは不可能で、メッキ処理後、不必要な金属層
を化学的エツチング捷たは機械的研磨等によって除去せ
ざるを得な3・に かった。そのために、この方法−誘電体素子、圧電体素
子、半導体素子等のセラミック電子部品用電極としては
以下に示すような多くの問題点を有している。
(1)不要なメッキ層の除去工程、前処理[稈熔の工程
数が多く、製造コストが高くなる。
数が多く、製造コストが高くなる。
(2)基板周面のメッキ皮膜の研削除去またはザンドブ
ラスト等により不要なメッキ1り膜を除去するため、セ
ラミック基板の界面のjt4傷、マイクロクラックの発
生、研削粉のイ」着等によって電気的機械的特性、温度
特性変化率、祠湿負荷寿命特性などの特性が劣化する。
ラスト等により不要なメッキ1り膜を除去するため、セ
ラミック基板の界面のjt4傷、マイクロクラックの発
生、研削粉のイ」着等によって電気的機械的特性、温度
特性変化率、祠湿負荷寿命特性などの特性が劣化する。
さらに端面耐電圧間隙は基板の厚みで決まり、電極周端
部における短絡状態によって絶縁破壊も起り易く、基板
の厚みを余り薄くすることはできなかった。
部における短絡状態によって絶縁破壊も起り易く、基板
の厚みを余り薄くすることはできなかった。
(3)化学的エツチング法によってメッキ層の不要部分
を除去する場合は、処理工程が多く製造のコスi・アン
プを招くうえに、エツチング液等によりセラミック基板
が損傷を受け、電気的機械的特性の劣化を招き易くなる
。
を除去する場合は、処理工程が多く製造のコスi・アン
プを招くうえに、エツチング液等によりセラミック基板
が損傷を受け、電気的機械的特性の劣化を招き易くなる
。
この、]:うな無電解メノギの工法や腸性上の欠点に対
17て、いくつかの部分メッギカ法が試みられている。
17て、いくつかの部分メッギカ法が試みられている。
たとえば、磁器表面の所要個所にメツキレジス1〜を旧
!ヱし、磁器表面を活性化処理し、メッキレジストを除
去後無電解メッキにより金属型(;シを形成する方法と
か、真空蒸着に」:り所定の部分にのみ活性金属を伺′
テした後前電解メッキする方法などが知られているが、
セラミック電子部品用電極の形成方法としては隈産性、
電気的機械的特性などの面で満足されるものでは斤かっ
た。
!ヱし、磁器表面を活性化処理し、メッキレジストを除
去後無電解メッキにより金属型(;シを形成する方法と
か、真空蒸着に」:り所定の部分にのみ活性金属を伺′
テした後前電解メッキする方法などが知られているが、
セラミック電子部品用電極の形成方法としては隈産性、
電気的機械的特性などの面で満足されるものでは斤かっ
た。
以上のように、従来から知られているメッキによるセラ
ミック電子部品用電極の形成法は、基板との密着性、セ
ラミック電子部品としての特性。
ミック電子部品用電極の形成法は、基板との密着性、セ
ラミック電子部品としての特性。
量産性、特に荷物基板に対して量産を嵩慮した場合困難
なものであった。しかし、小型化、電気機械特性の改善
をするためには基板厚みを薄くし、信頼性の面から十ラ
ミック基板面の電極部に縁を設けることが必要であった
。
なものであった。しかし、小型化、電気機械特性の改善
をするためには基板厚みを薄くし、信頼性の面から十ラ
ミック基板面の電極部に縁を設けることが必要であった
。
発明の[]的
本発明は、−1−記のような従来の無電解メッキ法とは
異なる新しい方法によってセラミック物質の必要個所に
電極を形成するものであり、量産性にすぐれ、かつ特性
の安定したセラミック電子部品の製造方法の提供を目的
とする。
異なる新しい方法によってセラミック物質の必要個所に
電極を形成するものであり、量産性にすぐれ、かつ特性
の安定したセラミック電子部品の製造方法の提供を目的
とする。
発明θ〕構成
本発明では上記目的を達成するため、Pdおよびptの
少なくとも1種を0.03〜5wt%含むペーストをこ
のペーストにおかされないプラスチックフィルムに塗布
した後、前記プラスチックフィルムを溶解することので
きる溶媒で濡らした耐熱性セラミック基板に転写して、
35o〜9200Gの温度で熱処理を施し、Pdおよび
ptのいずれか1種またはこれらの合金の触媒金属を析
出させ、その後、無電解メッキにより金属電極を形成し
ている。
少なくとも1種を0.03〜5wt%含むペーストをこ
のペーストにおかされないプラスチックフィルムに塗布
した後、前記プラスチックフィルムを溶解することので
きる溶媒で濡らした耐熱性セラミック基板に転写して、
35o〜9200Gの温度で熱処理を施し、Pdおよび
ptのいずれか1種またはこれらの合金の触媒金属を析
出させ、その後、無電解メッキにより金属電極を形成し
ている。
本発明の製造方法について更に詳しく説明すると、捷ず
Pd又はptの化合物、微粉末からなる貴金属成分を樹
脂ワニスに分散させてペーストを作り、このペーストに
侵されないプラスチック薄膜フィルムに塗布乾燥して印
刷フィルムを作る。
Pd又はptの化合物、微粉末からなる貴金属成分を樹
脂ワニスに分散させてペーストを作り、このペーストに
侵されないプラスチック薄膜フィルムに塗布乾燥して印
刷フィルムを作る。
6ベーン
これを機能特1イ1ミを利用したセラミック基板に貼付
ける。まずセラミック基板の所定の場所を印刷フィルム
を侵す溶剤でatらし、その」二に印可フィルムを結句
けて乾燥した後、350〜920°Cの温度の熱処理に
よりセラミック基板表面の所定箇所に金属微粒子を析出
さぜ、その後、無電解メッキに」ニリNi、Go、Cu
、Au t7)うちいずれか1種の金属電極を形成す
る。本発明の方法によって得られたセラミック基板の電
極は、電極の附与9機械特性、電気特性等の諸特性の点
において優れたものである。
ける。まずセラミック基板の所定の場所を印刷フィルム
を侵す溶剤でatらし、その」二に印可フィルムを結句
けて乾燥した後、350〜920°Cの温度の熱処理に
よりセラミック基板表面の所定箇所に金属微粒子を析出
さぜ、その後、無電解メッキに」ニリNi、Go、Cu
、Au t7)うちいずれか1種の金属電極を形成す
る。本発明の方法によって得られたセラミック基板の電
極は、電極の附与9機械特性、電気特性等の諸特性の点
において優れたものである。
実施例の説明
以下本発明の詳細な説明する。
無電解メッキ用活性ペーストの作成方法としては、金団
成分としてPd捷たばptの化合物、微粉末を0.03
〜5wt%加え、樹脂ワニスとしてポリビニールアルコ
ール樹脂、アルキッド樹脂。
成分としてPd捷たばptの化合物、微粉末を0.03
〜5wt%加え、樹脂ワニスとしてポリビニールアルコ
ール樹脂、アルキッド樹脂。
ポリビニールブチラール樹脂、エチルセルロース樹脂、
硝化@などを2〜35wt%加え、溶剤としては水、メ
タノール、エタノール、トルエン、カルビトール、混合
吐剤の1種捷たは数■1をl[’J、合(7だものを7
0〜e cs wt 形加え/こ。プラスチックフィル
ムとしてはエチルセルロース8tllFr 、ポリビニ
ールアルコールMJL[Ile、ポリビニールブチラー
ル枝l脂を111体とする厚さ2071のフィルムから
選11りした。このようにして調合したペーストば30
0〜7o○ボイズに調整して印刷した。なおこの[原、
印刷用ペース1−とプラスチックフィルムはお互に浸し
合わないように溶剤と樹脂を組合せた。次に、ペースト
の溶剤を乾燥した後にプラスチックフィルムを溶解する
溶剤でセラミック基板の所定の箇所を濡らしてプラスチ
ックフィルムを貼付ケた。
硝化@などを2〜35wt%加え、溶剤としては水、メ
タノール、エタノール、トルエン、カルビトール、混合
吐剤の1種捷たは数■1をl[’J、合(7だものを7
0〜e cs wt 形加え/こ。プラスチックフィル
ムとしてはエチルセルロース8tllFr 、ポリビニ
ールアルコールMJL[Ile、ポリビニールブチラー
ル枝l脂を111体とする厚さ2071のフィルムから
選11りした。このようにして調合したペーストば30
0〜7o○ボイズに調整して印刷した。なおこの[原、
印刷用ペース1−とプラスチックフィルムはお互に浸し
合わないように溶剤と樹脂を組合せた。次に、ペースト
の溶剤を乾燥した後にプラスチックフィルムを溶解する
溶剤でセラミック基板の所定の箇所を濡らしてプラスチ
ックフィルムを貼付ケた。
次に溶剤を12000で乾燥した後、350〜9200
Gの温度で熱処理を行って有機物を除去し、金属粒子を
形成した。その後、セラミック基板を無電解メッキ液に
浸漬して必要箇所にNi、Cu、Go。
Gの温度で熱処理を行って有機物を除去し、金属粒子を
形成した。その後、セラミック基板を無電解メッキ液に
浸漬して必要箇所にNi、Cu、Go。
Auのうちいずれか1種のメッキ皮膜電極を形成した。
次にPb−3u系主体の半田(A料を用い、浸漬法によ
ってリード線を取付け、その後フェノールーエポオギシ
系塗料で被覆、ワックス含浸を行t1−5−. B a
Ti 03を1三成分とする系で、厚み0.06 m
m、:形状10〜20mmVの基板を用いた。
ってリード線を取付け、その後フェノールーエポオギシ
系塗料で被覆、ワックス含浸を行t1−5−. B a
Ti 03を1三成分とする系で、厚み0.06 m
m、:形状10〜20mmVの基板を用いた。
後掲の表は−に記した本発明の無電解メッギ用活件化ペ
ーストおよびその方法を用いて製造した誘電体の特性を
示したものである。捷だ第1図〜第3図は本発明に係る
電子部品の製造方法の各工程を示す断面図である。各図
において1はセラミック基板、2はプラスチックフィル
ム、3は活性化ペースト層、3′は触媒金属微粒子層、
4は無電解メッキ層であり、第1図は活性化ペーストの
プラスチックフィルムへの印刷工程、第2図はセラミッ
ク基板への転写工程、第3図は熱処理および無電解メッ
キ工程を示している。
ーストおよびその方法を用いて製造した誘電体の特性を
示したものである。捷だ第1図〜第3図は本発明に係る
電子部品の製造方法の各工程を示す断面図である。各図
において1はセラミック基板、2はプラスチックフィル
ム、3は活性化ペースト層、3′は触媒金属微粒子層、
4は無電解メッキ層であり、第1図は活性化ペーストの
プラスチックフィルムへの印刷工程、第2図はセラミッ
ク基板への転写工程、第3図は熱処理および無電解メッ
キ工程を示している。
なお本発明においてPd、 Ptの少なくとも一方の化
合物を含むペーストをセラミック基板に被着さぜた後3
50〜9200Cの温度で焼付するのは、基板表面に安
定した触媒金属の粒子を形成するためである。焼付温度
が3500Cより低いと樹脂成分が残り、メッキのとき
均一な電極形成が阻害さ9べ−一ご。
合物を含むペーストをセラミック基板に被着さぜた後3
50〜9200Cの温度で焼付するのは、基板表面に安
定した触媒金属の粒子を形成するためである。焼付温度
が3500Cより低いと樹脂成分が残り、メッキのとき
均一な電極形成が阻害さ9べ−一ご。
れ電気的機械的諸特性が悪化する。逆に、焼付温度が9
20°Cよりも高いと活性の劣化によって前記諸性性が
悪化するだけでなく、寿命特性も悪くなる。上記実施例
でHpa化合物としてPd G e2゜pt化合物とし
テH2PtC;(76−6H20を使用したが、熱処理
後金属粒子がセラミック基板の表面に析出するものであ
ればそれらの化合物についての制約はない。寸だ金属微
粒子層の厚みは0.1μmをこえないものであれば十分
であり、それより厚くしても価格が上昇するだけでなく
特性も悪化し好ましくない。また金属成分としては0.
03〜5wt%が適当である。さらに金属微粒子層に無
電解メッキを施した後、接着強度を高めるために250
〜4600Cの温度で熱処理することが好ましい。
20°Cよりも高いと活性の劣化によって前記諸性性が
悪化するだけでなく、寿命特性も悪くなる。上記実施例
でHpa化合物としてPd G e2゜pt化合物とし
テH2PtC;(76−6H20を使用したが、熱処理
後金属粒子がセラミック基板の表面に析出するものであ
ればそれらの化合物についての制約はない。寸だ金属微
粒子層の厚みは0.1μmをこえないものであれば十分
であり、それより厚くしても価格が上昇するだけでなく
特性も悪化し好ましくない。また金属成分としては0.
03〜5wt%が適当である。さらに金属微粒子層に無
電解メッキを施した後、接着強度を高めるために250
〜4600Cの温度で熱処理することが好ましい。
次表に本発明の方法をセラミックコンデンザの製造に適
用したときの製造条件と得られたセラミソクコンデンザ
の電気特性を示す。
用したときの製造条件と得られたセラミソクコンデンザ
の電気特性を示す。
1oベージ
11 ・ ゛
上記表においテNo、3〜’y 、9 、11 、13
。
。
14.16が本発明の1や1囲内の例であり、No、1
゜2.8,10,12.15か本発明の範囲外の例であ
る。これから明らかなように、ペーストを直接印刷した
のでは素子が割fしてし1い、Wit度が低すぎても高
過ぎても電気的特性が低下している。
゜2.8,10,12.15か本発明の範囲外の例であ
る。これから明らかなように、ペーストを直接印刷した
のでは素子が割fしてし1い、Wit度が低すぎても高
過ぎても電気的特性が低下している。
特に4500Gの温度で熱処理したN004が特性的に
優れている。転写したパターンの熱処理温度が350〜
9200Gの範囲内のものはメッギ状態。
優れている。転写したパターンの熱処理温度が350〜
9200Gの範囲内のものはメッギ状態。
誘電特性とも良好な結果が得られた。
なお上記した実施例においては、本発明を特定の有機物
9機能特性を利用したセラミック電子部品に適用した場
合についてのみ説明したが、他の有機物、セラミックを
始めとする絶縁基板の導体回路形成方法として使用する
ことも有効である。
9機能特性を利用したセラミック電子部品に適用した場
合についてのみ説明したが、他の有機物、セラミックを
始めとする絶縁基板の導体回路形成方法として使用する
ことも有効である。
発明の効果
以−]二の説明から明らかなように、本発明はセラミッ
ク電子部品に無電解メッギによって電極を形成する際、
セラミック基板表面に活性ペース)・を形成した薄膜フ
ィルムを溶解転写し熱処理に」:って触媒金匡を形成さ
ぜた後、無電解メツA−によって金属電極を形成するも
のであり、従来の方法にlLべて遜色のない特性を持ち
、価格的にも大きなメリットを」hち、史にに業的量産
化に適合する等、産業上多くの価値をイ」するものであ
る。
ク電子部品に無電解メッギによって電極を形成する際、
セラミック基板表面に活性ペース)・を形成した薄膜フ
ィルムを溶解転写し熱処理に」:って触媒金匡を形成さ
ぜた後、無電解メツA−によって金属電極を形成するも
のであり、従来の方法にlLべて遜色のない特性を持ち
、価格的にも大きなメリットを」hち、史にに業的量産
化に適合する等、産業上多くの価値をイ」するものであ
る。
第1図、第2図、第3図は本発明の製1i1i方法の各
丁ユ程を示す断面図である。 1・・・・・セラミック基板、2・・・・・プラスチッ
クフィルム、3・・・・・活性化ペースト層、3′・・
・・・触媒金団微粒子層、4・・・・・無電解メッキ層
。
丁ユ程を示す断面図である。 1・・・・・セラミック基板、2・・・・・プラスチッ
クフィルム、3・・・・・活性化ペースト層、3′・・
・・・触媒金団微粒子層、4・・・・・無電解メッキ層
。
Claims (1)
- Pdおよびptの少なくても1種を0,03〜6wt%
含むペーストをこのペーストにおかされないプラスチッ
クフィルムに塗布した後、前記プラスチックフィルムを
溶解することのできる溶媒で濡らした耐熱性セラミック
基板に転写して、350〜920℃の温度で熱処理を施
い Pdおよびptのいずれか1種またはどれらの合金
の触媒金属を析出させ、その後、無電解メッキにより金
属電極を形成することを特徴とするセラミック電子部品
の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57144513A JPS5933818A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | セラミツク電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57144513A JPS5933818A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | セラミツク電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5933818A true JPS5933818A (ja) | 1984-02-23 |
JPH027167B2 JPH027167B2 (ja) | 1990-02-15 |
Family
ID=15364096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57144513A Granted JPS5933818A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | セラミツク電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5933818A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56125825A (en) * | 1980-03-07 | 1981-10-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of producing ceramic electronic part |
JPS5732507A (en) * | 1980-08-06 | 1982-02-22 | Tdk Electronics Co Ltd | Method of forming electrode for electronic part |
-
1982
- 1982-08-19 JP JP57144513A patent/JPS5933818A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56125825A (en) * | 1980-03-07 | 1981-10-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of producing ceramic electronic part |
JPS5732507A (en) * | 1980-08-06 | 1982-02-22 | Tdk Electronics Co Ltd | Method of forming electrode for electronic part |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH027167B2 (ja) | 1990-02-15 |
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