JPS5932804A - 長さ測定装置 - Google Patents

長さ測定装置

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Publication number
JPS5932804A
JPS5932804A JP14299982A JP14299982A JPS5932804A JP S5932804 A JPS5932804 A JP S5932804A JP 14299982 A JP14299982 A JP 14299982A JP 14299982 A JP14299982 A JP 14299982A JP S5932804 A JPS5932804 A JP S5932804A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
output
scanning angle
circuit
length
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14299982A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiro Tsuzura
廿楽 雅宏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chino Corp
Original Assignee
Chino Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chino Works Ltd filed Critical Chino Works Ltd
Priority to JP14299982A priority Critical patent/JPS5932804A/ja
Publication of JPS5932804A publication Critical patent/JPS5932804A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/022Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の分野 この発明は、光学的に被測定対象の長さを測定する長さ
測定装置に関するものである。
(2)従来技術 被測定対象を走査しで、その有無から長さを6111定
する場合、光学系の誤差により、正しい実測値が得られ
ない欠点があった。
(3)発明の目的 この発明の目的は2以上の点に鑑み、光学系の誤差を除
去し、常に正しい長さを測定することができるようにし
た長さ測定装置を提供することである。
(4)発明の実施例 第1図は、この発明に係る光学的誤差補正の原理図であ
る。
被測定対象1′と検出器1との距離をL 、全走査角を
α、検出器の設置6.角をβとすると、任意の走査角θ
に対する位置tは次式で与えられる。
L=Ltanぴ→−β)+Ltan(θ−(正→−β)
)・・・・・・・・・・・・(1)2 つまり、走査角θに対応したイハ号についで、(1)式
のようなjan変換を施せば1位置tに対応した信号が
得られ、これにより、正しい測定位1#’iが決定でき
る。
又、第2図で示すように設置角はβNOでもよいが簡単
のためβ−0とし、被測定対象1′の両端の角度を01
.θ2とすれば、その正しい長さtoは次式で与えられ
る。
1o = L tan (θ2−’ ) −L tan
 (θ1−’>−・=−=−(2)2 第3図は、この発明の一実施例を示す構成説明図である
図においで、1は回転鏡のような光学的スキャナー、検
出器を含み、被測定対象をくり返し走査し、被測定物体
の温度出力信号e1を発生する検出器、2は全走査角に
対応した同期信号e2を発生する同期信号発生器、3は
同期信号発生器2により全走査角に対応した方形波信号
e3を発生する走査角信号発生器、4は走査角信号発生
器3の出力信号e3に対応して積分信号e4を発生する
積分回路のような信号発生器、5は信号発生器4の出力
信号e4を前記(1)式のような関数変換して角度補正
された位置信号e572−出力する変換回路、SWは、
信号発生器4の出力e4と変換回路5の出力e5とを切
換える切換スイッチである。
6は検出器1の出力信号e1を波形整形して物体信号e
6を発生する波形整形回路、7は波形整形回路60出力
e6を微分する等して端部信号e7を発生する端部検出
回路、81は端部検出回路7の前端信号により切換スイ
ッチSWの例えば変換回路5の出力e5をサンプルホー
ルドする第1のサンプルホールド回路、82は端部検出
回路7の後端信号により出力e5をサンプルホールドす
る第2のサンプルホールド回路、9は第1.第2のサン
プルホールド回路81.82の前端位置出力es、後端
位置出力C9の差をとり、被測定対象の長さに相当する
前記(2)式のような信号eloを発生する減算器、8
3は減算器9の出力をサンプルホールドする第3のサン
プルボールド回路、10は第3のサンプルホールド回路
83の出力eioに基き2分割等して測定位置を決定す
る設定器、11は第1のサンプルホールド回路81の前
端信号e8に設定器10の出力信号を加算し、走査角に
基いた位置決定信号ellを発生する加算器。
12は第3のサンプルホールド回路83の長さ信’Qe
1゜を出力する出力端子、13は、加η−器11の出力
elf14は検出器1の出力信号e1の放射率補正、リ
ニーアライズ演算等を行う入力回路、84は入力回路1
4の出力が入力され、比較器13のサンプル信号によリ
ザングルボールドし、所望の位置の温度検出信Qe、3
を出力端子15に出力する第4のサンプルホールド回路
である。
次に化4図を参照して動作を説明する。
検出器1の出力信号e1は、入力回路14を介して第4
のサンプルホールド回路84に入力される。
同期信号発生器2の同期信号e2により、走査角信号発
生器3は全走査角に対応する方形波信号e←を発生し、
この信号etを積分して走査角θに対応した信号e4を
信号発生器4は発生し、この信号e4SWにより切換え
て出力する。
そして、検出器1の出力信号01を波形整形回路6によ
り波形整形した信号e6の端部を端部検出回路7により
検出し、その前端信号、後端信号e7により切換スイッ
チSWの出力を第1.第2のサンプルホールド回路81
 、82に前端位置信号e8.後端号e8 、 e9の
差をとり、第3のサンプルボールド回路83(ホールド
回路でもよい。)によりホールドして前記(2)式のよ
うな長さ信号elOとして出力端子12より取り出す。
この第3のサンプルホールド回路83の出力exaは、
設定器10により所望の測定位置になるよう分割され、
加算器11により第1のサンプルホールド回路81の出
力と加算されて位置決定信号extとされ、比較器13
により切換スイッチSWによる位置信号e4 、 e5
と比較され、一致したときサンプル信号e+、zを発生
し、第4のサンプルホールド回路84により検出器lの
出力信号e1をサンプルホールドし。
出力端子15より所望の位置の温度信号e13を取り出
すことができる。
なお2位置設定は、長さ信号の比例分割、前端より加算
、後端より減算管種々のものが考えられ。
上記の各種演算処理をマイクロコンピュータのような演
界部により行うこともできる。
第5図は、他の実施例を示し、被測定対象1′専の出力
信号を取り出すようにしでもよい。
(5)発明の要約 以−1二述べたように、この発明は変換手段により走査
角に対応した信号を位置に対応した信号に変換し、被測
定対象の端部検出信号に基いて変換手段の出力から長さ
を測定するようにした長さ測定装置である。
(6)発明の効果 光学系の補正を行っているので、常に正しい長さ測定が
可能となり、検出器の設置の影響も除去できる。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図、第3図、第5図は、この発明に係る一
実施例を示す構成説明図、第4図は動作説明用波形図で
ある。 ■・・・検出器21′・・・被測定対象、4・・・信号
発生器。 5・・・変換回路、81〜84・・・ザンプルホールド
回路特許出願人 株式会社 千野製作所

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、被測定対象を走査して出力信号を発生する検出器と
    、走査角に対応した信号を発生する信号発生器と、この
    信号発生器の出力を位置に対応した信号に変換する変換
    手段と、前記被測定対象の端部に対応した信号を発生す
    る端部検出手段と。 この端部検出手段に基ぎ前記変換手段の出力から被測定
    対象の長さに対応した信号を発生する演算部とを備えた
    ことを特徴とする長さ測定装置。
JP14299982A 1982-08-18 1982-08-18 長さ測定装置 Pending JPS5932804A (ja)

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JP14299982A JPS5932804A (ja) 1982-08-18 1982-08-18 長さ測定装置

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JP14299982A JPS5932804A (ja) 1982-08-18 1982-08-18 長さ測定装置

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JPS5932804A true JPS5932804A (ja) 1984-02-22

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ID=15328581

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JP14299982A Pending JPS5932804A (ja) 1982-08-18 1982-08-18 長さ測定装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61149813A (ja) * 1984-12-24 1986-07-08 Sumitomo Metal Ind Ltd 振動する物体の表面検査装置
JPS61149816A (ja) * 1984-12-24 1986-07-08 Sumitomo Metal Ind Ltd 振動する物体の表面検査装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS503361A (ja) * 1973-05-10 1975-01-14
JPS5744406B2 (ja) * 1978-07-24 1982-09-21

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