JPH0712510A - ヘテロダイン干渉計用位相差測定装置 - Google Patents
ヘテロダイン干渉計用位相差測定装置Info
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- JPH0712510A JPH0712510A JP5150393A JP15039393A JPH0712510A JP H0712510 A JPH0712510 A JP H0712510A JP 5150393 A JP5150393 A JP 5150393A JP 15039393 A JP15039393 A JP 15039393A JP H0712510 A JPH0712510 A JP H0712510A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ヘテロダイン干渉計用位相差測定装置の測定
に用いられる三角波信号の非線形性等により生ずる測定
精度の低下を改善する。 【構成】 参照光信号に対する測定光信号の位相差に応
じた値を測定するヘテロダイン干渉計用位相測定装置
は、参照光信号から三角波信号を作成して出力する三角
波信号作成手段と、測定光信号からクロック信号を作成
して出力するクロック信号作成手段と、前記クロック信
号に同期して前記三角波信号の電圧値を読み取り、該電
圧値をＡ／Ｄ変換して出力する電圧検出手段と、あらか
じめ測定により求めておいた前記三角波信号の電圧と位
相との関係を示す情報を格納したメモリとを有する。そ
して前記電圧検出手段の出力により前記メモリにアクセ
スして読み出すことにより前記参照光信号と前記測定光
信号の１周期以内の位相差出力する。
に用いられる三角波信号の非線形性等により生ずる測定
精度の低下を改善する。 【構成】 参照光信号に対する測定光信号の位相差に応
じた値を測定するヘテロダイン干渉計用位相測定装置
は、参照光信号から三角波信号を作成して出力する三角
波信号作成手段と、測定光信号からクロック信号を作成
して出力するクロック信号作成手段と、前記クロック信
号に同期して前記三角波信号の電圧値を読み取り、該電
圧値をＡ／Ｄ変換して出力する電圧検出手段と、あらか
じめ測定により求めておいた前記三角波信号の電圧と位
相との関係を示す情報を格納したメモリとを有する。そ
して前記電圧検出手段の出力により前記メモリにアクセ
スして読み出すことにより前記参照光信号と前記測定光
信号の１周期以内の位相差出力する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、位相差の読みとりを行
うヘテロダイン干渉計用の位相差測定装置に関するもの
である。
うヘテロダイン干渉計用の位相差測定装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】ヘテロダイン干渉計用の位相差測定装置
は、ヘテロダイン干渉計から出力された参照干渉光と測
定干渉光との位相差を測定するものである。以下におい
て従来の装置について説明する。
は、ヘテロダイン干渉計から出力された参照干渉光と測
定干渉光との位相差を測定するものである。以下におい
て従来の装置について説明する。
【０００３】まず参照干渉光と測定干渉光をそれぞれ電
気信号に変換する。変換して得られた信号を図３にそれ
ぞれ参照光信号ａ1 、測定光信号ｄ1 として示す。これ
らの電気信号の位相差の検出は、参照光信号ａ1 と測定
光信号ｄ1 のゼロクロス位置の時間差を検出して行われ
る。この時間差を測定するために図３（ａ）の参照光信
号ａ1 に基づいて（ｂ）のような三角波信号ｂ1 を作成
し、また（ｄ）の測定光信号ｄ1 に基づいて（ｃ）のよ
うな矩形波信号ｃ1 を作成する。そしてこれらの信号ｂ
1 およびｃ1 を比較することにより参照光信号ａ1 と測
定光信号ｄ1 との間の位相差を測定する。
気信号に変換する。変換して得られた信号を図３にそれ
ぞれ参照光信号ａ1 、測定光信号ｄ1 として示す。これ
らの電気信号の位相差の検出は、参照光信号ａ1 と測定
光信号ｄ1 のゼロクロス位置の時間差を検出して行われ
る。この時間差を測定するために図３（ａ）の参照光信
号ａ1 に基づいて（ｂ）のような三角波信号ｂ1 を作成
し、また（ｄ）の測定光信号ｄ1 に基づいて（ｃ）のよ
うな矩形波信号ｃ1 を作成する。そしてこれらの信号ｂ
1 およびｃ1 を比較することにより参照光信号ａ1 と測
定光信号ｄ1 との間の位相差を測定する。
【０００４】上記の比較は次のように行なわれる。即
ち、図３に示すように参照光信号ａ1から三角波信号ｂ1
を作成すれば、この信号ｂ1 の電圧は参照光信号ａ1
のゼロクロス地点からの時間に比例することになる。そ
して測定光信号ｄ1 の立ち上がりエッジでこの三角波信
号ｂ1 の電圧値を読み取れば、参照光信号ａ1 と測定光
信号ｄ1 との時間差、即ち位相差が測定できることにな
る。また、参照光信号ａ1 は、測定光信号を１周期ある
いはそれ以上遅れたり進んだりすることがあるので、ア
ップダウンカウンタを用いてある時間からの位相の進み
遅れの周期数を計数する。これら計数値は干渉測長の上
位桁として、また三角波信号を用いた位相差、即ち１周
期内の位相差は下位桁として利用される。
ち、図３に示すように参照光信号ａ1から三角波信号ｂ1
を作成すれば、この信号ｂ1 の電圧は参照光信号ａ1
のゼロクロス地点からの時間に比例することになる。そ
して測定光信号ｄ1 の立ち上がりエッジでこの三角波信
号ｂ1 の電圧値を読み取れば、参照光信号ａ1 と測定光
信号ｄ1 との時間差、即ち位相差が測定できることにな
る。また、参照光信号ａ1 は、測定光信号を１周期ある
いはそれ以上遅れたり進んだりすることがあるので、ア
ップダウンカウンタを用いてある時間からの位相の進み
遅れの周期数を計数する。これら計数値は干渉測長の上
位桁として、また三角波信号を用いた位相差、即ち１周
期内の位相差は下位桁として利用される。
【０００５】次に、互いに９０゜位相差をもつ２つの三
角波信号を用いた方式について図４に示す。この方式
は、三角波信号の頂点付近に生じる線形性の劣化した部
分を使用せず、線形性の良好な部分のみを用いて位相差
検出を行う方式である。この方式では、参照光信号ａを
もとに９０゜位相差をもつ２つの三角波信号ｂ1 ，ｂ２
を、また測定光信号ｄから矩形波信号ｃを発生させる。
位相差検出のアルゴリズムは上記方式と同様であるが、
信号ｂ１ ，ｂ2 の線形性の良好な部分（太線部）を切
り換えて使用することにより、分解能向上をはかってい
る。
角波信号を用いた方式について図４に示す。この方式
は、三角波信号の頂点付近に生じる線形性の劣化した部
分を使用せず、線形性の良好な部分のみを用いて位相差
検出を行う方式である。この方式では、参照光信号ａを
もとに９０゜位相差をもつ２つの三角波信号ｂ1 ，ｂ２
を、また測定光信号ｄから矩形波信号ｃを発生させる。
位相差検出のアルゴリズムは上記方式と同様であるが、
信号ｂ１ ，ｂ2 の線形性の良好な部分（太線部）を切
り換えて使用することにより、分解能向上をはかってい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のヘテロダイン干
渉計用位相差測定装置は、１つの三角波信号を使用し一
般に１ＭＨｚ以上の帯域が要求されることから線形性の
良いアナログ信号を発生させることが困難となり、分解
能１０ナノメートル程度においては問題とならないが、
１ナノメートルオーダの分解能が実現できないという問
題があった。また、２つの三角波信号を用いた位相差検
出方式においては、２つの三角波信号の間で線形性、振
幅、オフセット電圧値、三角波信号のスロープの傾きの
差などに定常的に差がある場合、誤差が生じ１ナノメー
トルオーダの分解能が実現できないという問題点があっ
た。
渉計用位相差測定装置は、１つの三角波信号を使用し一
般に１ＭＨｚ以上の帯域が要求されることから線形性の
良いアナログ信号を発生させることが困難となり、分解
能１０ナノメートル程度においては問題とならないが、
１ナノメートルオーダの分解能が実現できないという問
題があった。また、２つの三角波信号を用いた位相差検
出方式においては、２つの三角波信号の間で線形性、振
幅、オフセット電圧値、三角波信号のスロープの傾きの
差などに定常的に差がある場合、誤差が生じ１ナノメー
トルオーダの分解能が実現できないという問題点があっ
た。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の参照光信号に対
する測定光信号の位相差に応じた値を測定するヘテロダ
イン干渉計用位相測定装置は、参照光信号から三角波信
号を作成して出力する三角波信号作成手段と、測定光信
号からクロック信号を作成して出力するクロック信号作
成手段と、前記クロック信号に同期して前記三角波信号
の電圧値を読み取り、該電圧値をＡ／Ｄ変換して出力す
る電圧検出手段と、あらかじめ測定により求めておいた
前記三角波信号の電圧と位相との関係を示す情報を格納
したメモリとを有する。そして前記電圧検出手段の出力
により前記メモリにアクセスして読み出すことにより前
記参照光信号と前記測定光信号の１周期以内の位相差を
出力する。ここで前記三角波信号は単一の三角波信号で
も良いし、上述したような２つの三角波信号の線形性の
良い部分を合成した信号でもよい。
する測定光信号の位相差に応じた値を測定するヘテロダ
イン干渉計用位相測定装置は、参照光信号から三角波信
号を作成して出力する三角波信号作成手段と、測定光信
号からクロック信号を作成して出力するクロック信号作
成手段と、前記クロック信号に同期して前記三角波信号
の電圧値を読み取り、該電圧値をＡ／Ｄ変換して出力す
る電圧検出手段と、あらかじめ測定により求めておいた
前記三角波信号の電圧と位相との関係を示す情報を格納
したメモリとを有する。そして前記電圧検出手段の出力
により前記メモリにアクセスして読み出すことにより前
記参照光信号と前記測定光信号の１周期以内の位相差を
出力する。ここで前記三角波信号は単一の三角波信号で
も良いし、上述したような２つの三角波信号の線形性の
良い部分を合成した信号でもよい。
【０００８】
【作用】本発明のヘテロダイン干渉計用の位相差測定装
置では、参照干渉光から得た三角波信号の電圧値と位相
の関係をあらかじめ求めてメモリに格納しておき、測定
干渉光から作成したクロック信号に同期して読み取った
該三角波信号の電圧値により該メモリにアドレスして位
相値を読み出すようにしたので、三角波信号の非線形性
が補正されナノメーターオーダーの正確な測定が可能で
ある。
置では、参照干渉光から得た三角波信号の電圧値と位相
の関係をあらかじめ求めてメモリに格納しておき、測定
干渉光から作成したクロック信号に同期して読み取った
該三角波信号の電圧値により該メモリにアドレスして位
相値を読み出すようにしたので、三角波信号の非線形性
が補正されナノメーターオーダーの正確な測定が可能で
ある。
【０００９】また２つの三角波信号を用いた場合にも、
両信号間での線形性、振幅、オフセット電圧値、スロー
プの傾きなどの定常的な差を補正することが出来る。ま
た両三角信号切り換え時の不連続性も補正することがで
きる。また、メモリ回路を用いることにより演算処理を
減らし、高速にデータを出力することが可能である。
両信号間での線形性、振幅、オフセット電圧値、スロー
プの傾きなどの定常的な差を補正することが出来る。ま
た両三角信号切り換え時の不連続性も補正することがで
きる。また、メモリ回路を用いることにより演算処理を
減らし、高速にデータを出力することが可能である。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例を図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係るヘテロダイン干渉計用位相差測定
装置の一実施例を示すブロック図である。図１におい
て、１、２はフォトダイオードであり、それぞれ参照干
渉光ref および測定干渉光measを二乗検波して電流信号
（参照光信号および測定光信号）に変換する。得られた
正弦波状の参照および測定光信号の電流はそれぞれ電流
／電圧変換器（Ｉ／Ｖ変換器）３および４により電圧に
変換される。変換されて得られた電圧信号をコンパレー
タ５および６によりそれぞれ矩形波信号に変換する。
図１は、本発明に係るヘテロダイン干渉計用位相差測定
装置の一実施例を示すブロック図である。図１におい
て、１、２はフォトダイオードであり、それぞれ参照干
渉光ref および測定干渉光measを二乗検波して電流信号
（参照光信号および測定光信号）に変換する。得られた
正弦波状の参照および測定光信号の電流はそれぞれ電流
／電圧変換器（Ｉ／Ｖ変換器）３および４により電圧に
変換される。変換されて得られた電圧信号をコンパレー
タ５および６によりそれぞれ矩形波信号に変換する。
【００１１】図２は本実施例の装置内での信号の相互の
タイミングを示すタイミングチャートである。コンパレ
ータ５の出力信号、即ち参照光信号から得られた矩形波
信号を図２にＳｉｇ．５として示す。その矩形波信号Ｓ
ｉｇ．５の立ち上がりエッジに同期して１／２分周器７
により１／２分周して信号Ｓｉｇ．７を得る。更にそれ
を１／２分周器９および１０によりそれぞれ立ち上がり
立ち下がりの各々のエッジに同期して１／２分周して互
いに１／４周期位相のずれた２つの矩形波信号Ｓｉｇ．
９およびＳｉｇ．１０を発生させる。こうして得られた
２つの矩形波信号をそれぞれ積分器１３および１４で積
分することにより２種類の三角波信号Ｓｉｇ．１３およ
びＳｉｇ．１４に変換する。
タイミングを示すタイミングチャートである。コンパレ
ータ５の出力信号、即ち参照光信号から得られた矩形波
信号を図２にＳｉｇ．５として示す。その矩形波信号Ｓ
ｉｇ．５の立ち上がりエッジに同期して１／２分周器７
により１／２分周して信号Ｓｉｇ．７を得る。更にそれ
を１／２分周器９および１０によりそれぞれ立ち上がり
立ち下がりの各々のエッジに同期して１／２分周して互
いに１／４周期位相のずれた２つの矩形波信号Ｓｉｇ．
９およびＳｉｇ．１０を発生させる。こうして得られた
２つの矩形波信号をそれぞれ積分器１３および１４で積
分することにより２種類の三角波信号Ｓｉｇ．１３およ
びＳｉｇ．１４に変換する。
【００１２】これら２つの三角波をマルチプレクサ１５
において所定のタイミングで選択することによりそれぞ
れの三角波信号の線形性の良好な部分のみ（図２のＳｉ
ｇ．１３，１４の太線部）を用いるようにする。この選
択はＳｉｇ．１１に基づいて行なわれる。Ｓｉｇ．１１
の作成法を以下に説明する。
において所定のタイミングで選択することによりそれぞ
れの三角波信号の線形性の良好な部分のみ（図２のＳｉ
ｇ．１３，１４の太線部）を用いるようにする。この選
択はＳｉｇ．１１に基づいて行なわれる。Ｓｉｇ．１１
の作成法を以下に説明する。
【００１３】Ｓｉｇ．１１を作成するためにコンパレー
タ５の出力信号Ｓｉｇ．５を立ち下がりエッジに同期し
て１／２分周した信号Ｓｉｇ．８を発生する。この場合
発生した分周信号は上記の矩形波信号Ｓｉｇ．９を基準
としてみると２通りの論理が考えられ，それらを図２の
Ｓｉｇ．８およびＳｉｇ．８’として示す。図１に示さ
れているように１／２分周器８の出力を２分しその一方
をインバータ２１に通して反転させることにより異なる
論理を持つ２通りの信号を作成できる。ここでエッジ検
出回路１１によりＳｉｇ．９の立ち上がりエッジ後の最
初のＳｉｇ．８のエッジの向きを検出し、論理切換回路
１２によりＳｉｇ．８とＳｉｇ．８’とのうちＳｉｇ．
９の立ち上がりエッジ後の最初のエッジが立ち上がりで
ある方を選択し（図２に示した場合ではＳｉｇ．８の
方）、それをＳｉｇ．１１とする。
タ５の出力信号Ｓｉｇ．５を立ち下がりエッジに同期し
て１／２分周した信号Ｓｉｇ．８を発生する。この場合
発生した分周信号は上記の矩形波信号Ｓｉｇ．９を基準
としてみると２通りの論理が考えられ，それらを図２の
Ｓｉｇ．８およびＳｉｇ．８’として示す。図１に示さ
れているように１／２分周器８の出力を２分しその一方
をインバータ２１に通して反転させることにより異なる
論理を持つ２通りの信号を作成できる。ここでエッジ検
出回路１１によりＳｉｇ．９の立ち上がりエッジ後の最
初のＳｉｇ．８のエッジの向きを検出し、論理切換回路
１２によりＳｉｇ．８とＳｉｇ．８’とのうちＳｉｇ．
９の立ち上がりエッジ後の最初のエッジが立ち上がりで
ある方を選択し（図２に示した場合ではＳｉｇ．８の
方）、それをＳｉｇ．１１とする。
【００１４】マルチプレクサ１５ではこのＳｉｇ．１１
を用いて、Ｓｉｇ．１１がハイレベルである時はＳｉ
ｇ．１３を選択し、Ｓｉｇ．１１がローレベルである時
はＳｉｇ．１４を選択して出力することにより、２つの
三角波信号の太線で示された線形性の良好な部分が抽出
される。
を用いて、Ｓｉｇ．１１がハイレベルである時はＳｉ
ｇ．１３を選択し、Ｓｉｇ．１１がローレベルである時
はＳｉｇ．１４を選択して出力することにより、２つの
三角波信号の太線で示された線形性の良好な部分が抽出
される。
【００１５】このようにして得られた合成信号はＡ／Ｄ
変換器１６に送られる。また一方でコンパレータ６の出
力信号、即ち測定干渉光から得られた矩形波Ｓｉｇ．６
をクロック信号として同じくＡ／Ｄ変換器１６に入力す
る。そしてＡ／Ｄ変換器１６において該クロック信号の
立ち上がりに同期して前記マルチプレクサ１５によって
選択された信号の電圧値を読み取り、デジタル値に変換
して出力する。該出力はメモリ１７のアドレス信号とし
て用いられる。ここでＳｉｇ．５とＳｉｇ．６の位相差
（図２のＰ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４）が計測したい位相差
であり、以下に位相差の計測方法を説明する。
変換器１６に送られる。また一方でコンパレータ６の出
力信号、即ち測定干渉光から得られた矩形波Ｓｉｇ．６
をクロック信号として同じくＡ／Ｄ変換器１６に入力す
る。そしてＡ／Ｄ変換器１６において該クロック信号の
立ち上がりに同期して前記マルチプレクサ１５によって
選択された信号の電圧値を読み取り、デジタル値に変換
して出力する。該出力はメモリ１７のアドレス信号とし
て用いられる。ここでＳｉｇ．５とＳｉｇ．６の位相差
（図２のＰ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４）が計測したい位相差
であり、以下に位相差の計測方法を説明する。
【００１６】メモリ１７にはマルチプレクサ１５によっ
て選択された三角波信号の非線形成分、電圧振幅、オフ
セット成分、スロープの傾きなどをあらかじめ測定して
得た値に基づいて求めた電圧値と位相との関係をＡ／Ｄ
変換器の分解能に応じた分割数の情報として格納してお
く。この情報はマルチプレクサ１５によって選択抽出さ
れた三角波の各部位（図２のａ，ｂ，ｃ，ｄ）によって
異なり、都合４種類の情報群から成っている。コンパレ
ータ６の出力信号がクロック信号としてＡ／Ｄ変換器１
６に入力された時点に、これら４種類の情報群の内から
該当する情報群を特定するためには、情報群弁別回路２
０を使用する。情報群弁別回路２０にはＳｉｇ．９、Ｓ
ｉｇ．１０、Ｓｉｇ１１の３種類の信号が入力されてい
るが、これらの信号と弁別される情報群との関係は次の
表１の通りである。
て選択された三角波信号の非線形成分、電圧振幅、オフ
セット成分、スロープの傾きなどをあらかじめ測定して
得た値に基づいて求めた電圧値と位相との関係をＡ／Ｄ
変換器の分解能に応じた分割数の情報として格納してお
く。この情報はマルチプレクサ１５によって選択抽出さ
れた三角波の各部位（図２のａ，ｂ，ｃ，ｄ）によって
異なり、都合４種類の情報群から成っている。コンパレ
ータ６の出力信号がクロック信号としてＡ／Ｄ変換器１
６に入力された時点に、これら４種類の情報群の内から
該当する情報群を特定するためには、情報群弁別回路２
０を使用する。情報群弁別回路２０にはＳｉｇ．９、Ｓ
ｉｇ．１０、Ｓｉｇ１１の３種類の信号が入力されてい
るが、これらの信号と弁別される情報群との関係は次の
表１の通りである。
【００１７】
【表１】 このようにしてメモリ１７に格納された情報の中から所
定の情報群を特定し、更にＳｉｇ．６の立ち上がり信号
によって読み取られた電圧値のディジタル信号に相当す
るメモリアドレスに格納された位相値（図２のＰ１、Ｐ
２、Ｐ３、Ｐ４）が読み出される。読み出された位相値
は演算器１９に入力され、演算器１９において、アップ
ダウンカウンタ１８から入力された１周期以上の位相の
遅れ進みと合わせて演算処理され、参照干渉光と測定干
渉光との最終的な位相差として出力される。なおここで
は２つの三角波信号を用いた実施例を示したが、本発明
はこれに限定されることはなく、１つの三角波信号を用
いてもよい。
定の情報群を特定し、更にＳｉｇ．６の立ち上がり信号
によって読み取られた電圧値のディジタル信号に相当す
るメモリアドレスに格納された位相値（図２のＰ１、Ｐ
２、Ｐ３、Ｐ４）が読み出される。読み出された位相値
は演算器１９に入力され、演算器１９において、アップ
ダウンカウンタ１８から入力された１周期以上の位相の
遅れ進みと合わせて演算処理され、参照干渉光と測定干
渉光との最終的な位相差として出力される。なおここで
は２つの三角波信号を用いた実施例を示したが、本発明
はこれに限定されることはなく、１つの三角波信号を用
いてもよい。
【００１８】
【発明の効果】本発明のヘテロダイン干渉計用の位相差
測定装置では、参照干渉光から得た三角波信号の電圧値
と位相の関係をあらかじめ求めてメモリに格納してお
き、測定干渉光から作成したクロック信号に同期して読
み取った該三角波信号の電圧値により該メモリにアドレ
スして位相値を読み出すようにしたので、三角波信号の
非線形性を補正した正確な測定が可能である。
測定装置では、参照干渉光から得た三角波信号の電圧値
と位相の関係をあらかじめ求めてメモリに格納してお
き、測定干渉光から作成したクロック信号に同期して読
み取った該三角波信号の電圧値により該メモリにアドレ
スして位相値を読み出すようにしたので、三角波信号の
非線形性を補正した正確な測定が可能である。
【００１９】また２つの三角波信号を用いた場合にも、
両信号間での線形性、振幅、オフセット電圧値、スロー
プの傾きなどの定常的な差を補正することが出来る。ま
た両三角信号切り換え時の不連続性も補正することがで
きる。また、メモリ回路を用いることにより演算処理を
減らし、高速にデータを出力することが可能である。
両信号間での線形性、振幅、オフセット電圧値、スロー
プの傾きなどの定常的な差を補正することが出来る。ま
た両三角信号切り換え時の不連続性も補正することがで
きる。また、メモリ回路を用いることにより演算処理を
減らし、高速にデータを出力することが可能である。
【図１】本発明の実施例のヘテロダイン干渉計用位相差
測定装置の構成を示すブロック図。
測定装置の構成を示すブロック図。
【図２】本発明の実施例のヘテロダイン干渉計用位相差
測定装置内における各信号のタイミングチャート。
測定装置内における各信号のタイミングチャート。
【図３】従来技術のヘテロダイン干渉計用位相差測定装
置において用いられる信号を概略的にしめす図。
置において用いられる信号を概略的にしめす図。
【図４】従来技術の２つの三角波信号を用いたヘテロダ
イン干渉計用位相差測定装置において用いられる信号を
概略的に示す図。
イン干渉計用位相差測定装置において用いられる信号を
概略的に示す図。
Claims (3)
- 【請求項１】 参照光信号に対する測定光信号の位相差
に応じた値を測定するヘテロダイン干渉計用位相差測定
装置において、 参照光信号から三角波信号を作成して出力する三角波信
号作成手段と、 測定光信号からクロック信号を作成して出力するクロッ
ク信号作成手段と、 前記クロック信号に同期して前記三角波信号の電圧値を
読み取り、該電圧値をＡ／Ｄ変換して出力する電圧検出
手段と、 あらかじめ測定により求めておいた前記三角波信号の電
圧と位相との関係を示す情報を格納したメモリと、を有
し、前記電圧検出手段の出力により前記メモリにアクセ
スして読み出すことにより前記参照光信号と前記測定光
信号の１周期以内の位相差を出力することを特徴とする
ヘテロダイン干渉計用位相差測定装置。 - 【請求項２】 前記三角波信号作成手段により作成され
る三角波信号は、参照光信号に基づいて作成された互い
に１／４周期ずれた２つの三角波信号をのそれぞれの頂
点付近を除いた１／４周期分の直線部分を１／４周期ご
とに交互に合成した合成信号であることを特徴とする請
求項１に記載のヘテロダイン干渉計用位相差測定装置。 - 【請求項３】 前記参照光信号に対する測定光信号の１
周期以上の進み遅れを計数して出力するアップダウンカ
ウンタと、該アップダウンカウンタの出力計数値と前記
メモリから読み出された１周期以内の位相差とに基づ
き、参照光信号と測定光信号の総位相差を演算する演算
手段を更に有することを特徴とする請求項１または２に
記載のヘテロダイン干渉計用位相差測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5150393A JPH0712510A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ヘテロダイン干渉計用位相差測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5150393A JPH0712510A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ヘテロダイン干渉計用位相差測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712510A true JPH0712510A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15496012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5150393A Withdrawn JPH0712510A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ヘテロダイン干渉計用位相差測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712510A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6955012B2 (en) | 1999-12-15 | 2005-10-18 | Kabushiki Kaisha Muzukuwa | Roof and roof board material |
| JP2009103686A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Mitsubishi Electric Research Laboratories Inc | 干渉分光法用の装置、干渉分光法を使用した方法、干渉測定装置 |
-
1993
- 1993-06-22 JP JP5150393A patent/JPH0712510A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6955012B2 (en) | 1999-12-15 | 2005-10-18 | Kabushiki Kaisha Muzukuwa | Roof and roof board material |
| JP2009103686A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Mitsubishi Electric Research Laboratories Inc | 干渉分光法用の装置、干渉分光法を使用した方法、干渉測定装置 |
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