JPS5932137Y2 - 半導体素子製造用石英ボ−ト - Google Patents
半導体素子製造用石英ボ−トInfo
- Publication number
- JPS5932137Y2 JPS5932137Y2 JP7880878U JP7880878U JPS5932137Y2 JP S5932137 Y2 JPS5932137 Y2 JP S5932137Y2 JP 7880878 U JP7880878 U JP 7880878U JP 7880878 U JP7880878 U JP 7880878U JP S5932137 Y2 JPS5932137 Y2 JP S5932137Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz boat
- quartz
- semiconductor device
- device manufacturing
- boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は半導体素子製造工程で高温電気炉内で使用する
ウェハース立て石英ボートの構造に関するものである。
ウェハース立て石英ボートの構造に関するものである。
従来は第１図に示すように並列に隣接された２本の石英
製支柱１，３の上に等間隔の溝４が設けられた丸棒２が
直交して配列された、半導体素子製造用石英ボートが使
用されている。
製支柱１，３の上に等間隔の溝４が設けられた丸棒２が
直交して配列された、半導体素子製造用石英ボートが使
用されている。
使用目的から特に耐熱性が高く、シかも軽量に設計され
ているが、水平構造であるため高温で長時間使用する時
に石英ボートが熱疲労により丸棒２が変形してしまう欠
点があった。
ているが、水平構造であるため高温で長時間使用する時
に石英ボートが熱疲労により丸棒２が変形してしまう欠
点があった。
一旦変形した個所は修復が不可能であり、石英ボートに
垂直に並べて置かれた隣接するウェハースが石英ボート
の変形によってその上部が接触し致命的品質低下を起す
ことがあった。
垂直に並べて置かれた隣接するウェハースが石英ボート
の変形によってその上部が接触し致命的品質低下を起す
ことがあった。
本考案の目的は、かかる問題を解消し耐熱性及び信頼度
を向上させた石英ボートを提供することになる。
を向上させた石英ボートを提供することになる。
本考案は、半導体ウェハースを立てる溝付石英ボートに
おいて、石英ボートは下向きにわん曲され、円弧状又は
それに近い形状になされていることを特徴とする。
おいて、石英ボートは下向きにわん曲され、円弧状又は
それに近い形状になされていることを特徴とする。
次に本考案の実施例について高温電気炉に適用した場合
を説明する。
を説明する。
第２図は本考案の一実施例の断面図、第３図はその平面
図である。
図である。
並列に隣接された２本の石英製支柱１，３の上に等間隔
の溝４が設けられた丸棒が直交して配列された半導体素
子製造用石英ボートにおいて、溝付丸棒５，６には下向
に円弧状のわん曲を与えられている。
の溝４が設けられた丸棒が直交して配列された半導体素
子製造用石英ボートにおいて、溝付丸棒５，６には下向
に円弧状のわん曲を与えられている。
この円弧状わん曲は石英丸棒５，６上に載置するウェハ
ースの重量と石英丸棒５，６の熱疲労分をあらかじめ考
慮して形成する。
ースの重量と石英丸棒５，６の熱疲労分をあらかじめ考
慮して形成する。
このようなわん曲を与えても高温電気炉の炉心管形状か
ら特に支障とならない。
ら特に支障とならない。
本考案の石英ボートで１２５０℃、 ５００ Ｈ実験し
た結果では石英ボートに変形は発生しなかった。
た結果では石英ボートに変形は発生しなかった。
したがってウェハースの接触による致命的不良（外観不
良）の発生率も従来４，３％から０％に低減され、また
耐用時間も３０％向上した。
良）の発生率も従来４，３％から０％に低減され、また
耐用時間も３０％向上した。
さらに、石英ボートは下向きにわん曲されているので、
通常丸形の高温炉の炉壁と石英ボートとの距離がボート
全体にわたってほぼ等しくなり、これによって石英ボー
ト全体にわたって均一な熱が伝達され、そこに載置され
るウェハースの熱処理条件がすべてにわたって均一化さ
れるため、温度による製造のバラツキを極力抑えること
ができる。
通常丸形の高温炉の炉壁と石英ボートとの距離がボート
全体にわたってほぼ等しくなり、これによって石英ボー
ト全体にわたって均一な熱が伝達され、そこに載置され
るウェハースの熱処理条件がすべてにわたって均一化さ
れるため、温度による製造のバラツキを極力抑えること
ができる。
以上のように本考案の石英ボートはウェハース接触によ
る品質低下に対して高い信頼度を有するものである。
る品質低下に対して高い信頼度を有するものである。
第１図は従来の石英ボートの断面図、第２図は本考案に
よる石英ボートの断面図、第３図はその平面図である。 １．３・・・・・・石英製支柱、２・・・・・・溝付石
英丸棒、４・・・・・・溝、５，６・・・・・・わん曲
させた溝付石英丸棒。
よる石英ボートの断面図、第３図はその平面図である。 １．３・・・・・・石英製支柱、２・・・・・・溝付石
英丸棒、４・・・・・・溝、５，６・・・・・・わん曲
させた溝付石英丸棒。
Claims (1)
- 高温炉内で使用する石英ボートを下向きにわん曲して、
円弧状またはそれに近い形状にしたことを特徴とする半
導体素子製造用石英ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7880878U JPS5932137Y2 (ja) | 1978-06-08 | 1978-06-08 | 半導体素子製造用石英ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7880878U JPS5932137Y2 (ja) | 1978-06-08 | 1978-06-08 | 半導体素子製造用石英ボ−ト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54179069U JPS54179069U (ja) | 1979-12-18 |
| JPS5932137Y2 true JPS5932137Y2 (ja) | 1984-09-10 |
Family
ID=28996201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7880878U Expired JPS5932137Y2 (ja) | 1978-06-08 | 1978-06-08 | 半導体素子製造用石英ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5932137Y2 (ja) |
-
1978
- 1978-06-08 JP JP7880878U patent/JPS5932137Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54179069U (ja) | 1979-12-18 |
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