JPS592485Y2 - ホウシヤセンアツミケイ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は基準板を用いて較正を行う放射線厚み計に係り
、特に基準板の板厚誤差を電気的に補正するようにした
放射線厚み計に関する。

従来使用されている基準板較正方式による放射線厚み計
は一般に第１図のような構成となっている。

１はβ、α、Ｘ線等の放射線を発生する放射線発生器で
あり、ここから放射される放射線ビーム２は基準板チェ
ンジャー３または被測定物４を透過して、その放射方向
に設けられた電離箱またはシンチレータと光電子増倍管
からなる検出器５に入射し、電気信号（電流）に変換さ
れる。

この検出器５の出力はさらに前置増幅器６で電圧に変換
されたのち、対数増幅器のような直線化増幅器７で基準
板３または被測定物４の対射線放射方向の厚さに比例し
た信号に変換される。

そして、この直線化増幅器７の出力は偏差増幅器８で比
較電圧Ｖｓと比較増幅され、抵抗９を介して偏差指示計
１０に指示される。

基準板チェンジャー３は放射線ビーム２の放射方向に対
して直角方向に回動自在に配列された複数個たとえば１
２個の基準板１１およびこれを放射線ビーム２中に選択
的に挿入するためのロータリソレノイドのような駆動機
構１２よりなり、駆動機構１２は設定器１３と連動した
切換器１４および較正スイッチ１５を介して電源１６に
接続されている。

基準板１１としては、たとえば０．０１〜９．９９ｍｍ
、３桁の設定をする場合は、０．０１，０．０２，０．
０４゜０．０８，０．１，０．２，０．４，０．８．１
，２，４．８ ｍｍの板厚の基準板（Ｂ、Ｃ，Ｄ、基準
板と呼ばれる）を用いる。

この放射線厚み計の較正を行うには、まず被測定物４が
放射線ビーム２中にないときに、設定器１３を所望の設
定値（たとえば５．２９ｍｍ）に合わせ、較正スイッチ
１５を閉じると、これに関連した基準板（上側では板厚
０．０１，０．０８，０・２．１．４ ｍｍの各基準板
）が放射線ビーム２中に入る。

このとき指示計１０の指示が零となるように、たとえば
比較電圧Ｖｓを調整する。

次に較正スイッチ１５を開くと、基準板が放射線ビーム
２中から離れ較正は終了する。

そして次に被測定物４を放射線ビーム２中に挿入すれば
、被測定物４の厚さと設定値との偏差が指示計１０で指
示されることになる。

ところで、このような放射線厚み計にあっては、板厚の
設定精度は基準板１１の精度そのもので決まり、たとえ
ば±０．１％の設定精度を要求する場合には、上側では
板厚０．０１〜８ｍｍの各基準板が各々±０．１％の精
度をもつことが必要である。

しかし、板厚１ｍｍ以上の基準板を±０．１％の精度で
製作することは比較的容易であるが、板厚０．０１ｍｍ
の程度の基準板になると、±０．１％の精度で製作する
ことは極めて困難である。

また０、００１ｍｍオーダの設定を行う場合はさらに困
難となる。

このため、従来の放射線厚み計では高精度な測定を期待
できなかった。

本考案は上記の点にかんがみてなされたもので、基準板
の誤差を電気的に補正することにより、基準板で較正を
行う際の厚さ設定精度を向上させ、より高精度な測定を
行い得るようにした放射線厚み計を提供するものである
。

以下図面を参照して本考案の一実施例を説明する。

第２図がその概略的構成を示す図で、第１図と同一部分
に同一符号を付して説明する。

第２図において、１７は基準板１１の各々の板厚誤差に
比例した直流電圧を発生する信号発生器であり、基準板
１１の各々に対応した可変抵抗器１８を電源子Ｖ、−Ｖ
間に並列接続したものである。

上記可変抵抗器１８はその摺動軸の電圧が、対応する基
準板の厚み誤差に比例した所定の電圧となるように予め
調整されている。

１９は設定器１３と連動した切換器で、上記信号発生器
１７の出力のうち、放射線ビーム２中に挿入される基準
板の各々に対応した信号だけがこの切換器１９により選
択される。

そしてこの切換器１９を通過した信号は加算器２０によ
り加算されたのち、たとえば抵抗２１を介して測定部に
おける偏差増幅器８に供給され、抵抗２２を介して偏差
増幅器８に加えられる直線化増幅器７の出力に重畳され
る。

次に上記のように構成された放射線厚み計の作用を説明
する。

きま、直線化増幅器７の出力は＋１Ｖ／１ｍｍつまり放
射線ビーム中に入る物体の板厚１ｍｍに対して１■の電
圧になるものとする。

一方、基準板１１のうち、公称１ｍｍの板厚基準板が＋
１％の誤差をもち、実際の板厚が１．０１ｍｍであると
する。

したがって、この公称１ｍｍの基準板が放射線ビーム２
中に挿入されると、直線化増幅器７の出力は＋１．０１
Ｖとなり、本来なるべき電圧＋１■よりこの基準板の
誤差に応じた分子〇、０１Ｖだけ高い電圧となる。

この状態で指示計１０の指示が零となるように比較電圧
Ｖｓを１．０１ Ｖに設定してしまうと、較正誤差が生
じ、結果的に測定誤差となって現れる。

そこで、公称１ｍｍの基準板が放射線ビーム２上に挿入
されたときは、この基準板に対応する信号発生器１７中
の可変抵抗器を調整し、加算器２０よりこの基準板の誤
差に比例し、かつ直線化増幅器７の出力と逆極性の電圧
＋〇、０１ Ｖが得られるようにする。

このようにすれば、直線化増幅器７の出力が＋１．０１
Ｖでも、偏差増幅器８に加えられる電圧は＋１．０１
Ｖ−０，０１Ｖ二十１■となるので、上記基準板の誤
差が電気的に補正されたことになる。

そして、公称０．０１〜９ｍｍの板厚の他の基準点板に
関しても同様な電気的補正を行う。

上述のような補正を行うことにより測定精度を著しく向
上させることができる。

すなわち加算器２０よりの補正信号を測定部に供給する
と、放射線ビーム２中に被測定物４を挿入した場合の偏
差増幅器８の入力電圧も変化するため、この入力電圧と
比較電圧Ｖｓとの偏差に誤差が生ずるが、測定精度は上
述のような補正を行わない場合に比べ、１／偏差誤差だ
け向上する。

ここで、上記偏差誤属は直線化増幅器７を使用すれば、
偏差値の±２％以下とすることは容易である。

したがって、たとえば前述のように＋１％の補正をした
場合の偏差誤差は０．０２％となって、測定精度は１１
０．０２＝５０倍も向上することになり、補正量が小さ
い場合偏差誤差はほとんど無視できる。

なお、前記実施例ではアナログ信号を用いて補正を行う
ようにしたが、基準板を入れたときの検出器出力をＡ／
Ｄ変換して記憶し、ディジタル演算によって基準板と被
測定物の厚みの偏差を求める方式の放射線厚み計におい
ても、補正信号としてディジタル信号を用いることによ
り同様な補正を行うことができる。

以上述べたように、本考案によれば基準板を用いて較正
を行う際に、基準板の板厚誤差を電気的に補正するよう
にしたので、精度的に限界のある薄い基準板を用いた場
合でも、較正時の厚さ設定精度を著しく向上させること
ができ、極めて高精度な測定を実現し得る放射線厚み計
を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の放射線厚み計を示す概略的構成図、第２
図は本考案の一実施例を示す概略的構成図である。 １・・・・・・放射線発生器、２・・・・・・放射線ビ
ーム、３・・・・・・基準板チェンジャー、４・・・・
・・被測定物、５・・・・・・検出器、６・・・・・・
前置増幅器、７・・・・・・直線化増幅器、８・・・・
・・偏差増幅器、１０・・・・・・偏差指示計、１１・
・・・・・基準板、１２・・・・・・駆動機構、１３・
・・・・・設定器、１４・・・・・・切換器、１５・・
・・・・較正スイッチ、１７・・・・・・信号発生器、
１９・・・・・・切換器、２０・・・・・・加算器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 放射線発生器と、この放射線土器より放出された放射線
   ビーム中に選択的に挿入される基準板または被測定物と
   作用した放射線を検出して電気信号に変換する検出器と
   、この検出器の出力から前記基準板に対する被測定物の
   厚みの偏差を求める測定部と、前記基準板の厚み誤差に
   比例した信号を発生する信号発生器と、この信号発生器
   の出力を前記測定部に補正信号として供給する手段とを
   具備したことを特徴とする放射線厚み計。