JPS59230770A - 曲面型サ−マルヘツドの製造方法 - Google Patents
曲面型サ−マルヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS59230770A JPS59230770A JP58105242A JP10524283A JPS59230770A JP S59230770 A JPS59230770 A JP S59230770A JP 58105242 A JP58105242 A JP 58105242A JP 10524283 A JP10524283 A JP 10524283A JP S59230770 A JPS59230770 A JP S59230770A
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- JP
- Japan
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- thermal head
- substrate
- curved surface
- mask
- film
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 13
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は基板が曲面を有するサーマルヘッドの製造方法
に関するものである０ 従来、サーマルヘッドにおいて基鈑が曲面を有している
ものには笛１図に示されるような構造のサーマルヘッド
が一部実用化されている。この種のサーマルヘッドはガ
ラスロッド１に発熱要素２、電極３を蒸着あるいはスパ
ッタ法で形成した後、ホトリソ技術によりパターン形成
し保護膜４を被ふくし、その後ワイヤボンド７により配
線基板５との接続を行っていた。しかしながら、該方法
におけるサーマルヘッドは発熱要素２が形成される基板
がガラスロッド１であるために熱設計上問題がある。つ
まりガラスロッド１での蓄熱が大きいため十分な熱応答
が得られず良好な印字品位を得ることはできない。特に
高速化が要求されるサーマルヘッドにおいては、実使用
が困難である。
に関するものである０ 従来、サーマルヘッドにおいて基鈑が曲面を有している
ものには笛１図に示されるような構造のサーマルヘッド
が一部実用化されている。この種のサーマルヘッドはガ
ラスロッド１に発熱要素２、電極３を蒸着あるいはスパ
ッタ法で形成した後、ホトリソ技術によりパターン形成
し保護膜４を被ふくし、その後ワイヤボンド７により配
線基板５との接続を行っていた。しかしながら、該方法
におけるサーマルヘッドは発熱要素２が形成される基板
がガラスロッド１であるために熱設計上問題がある。つ
まりガラスロッド１での蓄熱が大きいため十分な熱応答
が得られず良好な印字品位を得ることはできない。特に
高速化が要求されるサーマルヘッドにおいては、実使用
が困難である。
また該サーマルヘッドは発熱要素２、電極３、保護膜４
で形成されるガラスロッド１と配線用基板５が分離され
ているため各々の接続方法が難しく信頼性、歩留りの点
でも大きな欠点となっている０ 本発明は該サーマルヘッドのもつ欠点を除去するために
考えられたものであり、全く新しい製造方法により高品
質の曲面型サーマルヘッドを提供するものである。
で形成されるガラスロッド１と配線用基板５が分離され
ているため各々の接続方法が難しく信頼性、歩留りの点
でも大きな欠点となっている０ 本発明は該サーマルヘッドのもつ欠点を除去するために
考えられたものであり、全く新しい製造方法により高品
質の曲面型サーマルヘッドを提供するものである。
以下、本発明について図面に基づき説明する。
第２図は本発明で製造されたサーマルヘッドの概略図で
ある。このサーマルヘッドに使用される基板８は熱伝導
性のよいアルミナセラミック基板であり、アルミナを鋳
込み成形あるいはグリーンシートの曲げ加工などで作ら
れたものであり、該基板１の表面にはスプレー法、印刷
法などで全面あるいは部分的にガラスグレーズ８′が設
けられている。ガラスグレーズは熱特性上１００μｍ以
下の厚みでサーマルヘッドの要求される性能を満足する
範囲で厚みが決定される。発熱要素９からはドライバー
エ０１１へ引き出すための電極１０が設けられている。
ある。このサーマルヘッドに使用される基板８は熱伝導
性のよいアルミナセラミック基板であり、アルミナを鋳
込み成形あるいはグリーンシートの曲げ加工などで作ら
れたものであり、該基板１の表面にはスプレー法、印刷
法などで全面あるいは部分的にガラスグレーズ８′が設
けられている。ガラスグレーズは熱特性上１００μｍ以
下の厚みでサーマルヘッドの要求される性能を満足する
範囲で厚みが決定される。発熱要素９からはドライバー
エ０１１へ引き出すための電極１０が設けられている。
本発明において製造上鏝も重要なポイントは該サーマル
ヘッドに使用される曲面形状を有する絶縁性基板８への
パターン形成法にある。
ヘッドに使用される曲面形状を有する絶縁性基板８への
パターン形成法にある。
本発明で実施されたパターン形成方法について詳細に説
明する。
明する。
従来、ホトリソ技術で使用されるマスクとしてクロムあ
るいはエマルジョンマスクがあるがいずれも精度よいパ
ターンを得るためには基板とハードコンタクトする必要
がありそのためにも基板とマスクが平滑なものでなけれ
ばならない。
るいはエマルジョンマスクがあるがいずれも精度よいパ
ターンを得るためには基板とハードコンタクトする必要
がありそのためにも基板とマスクが平滑なものでなけれ
ばならない。
本発明で使用されるような曲面基板を従来のパターン形
成方法と同様な方法でパターニングした場合第３図に示
されるように１ ａ部のパターン精度はよく得られるが
１ ６．１−ｃ、とマスク１６と基板１４との隙間が大
きくなるに従ってパターンボケが生じてくる。つまり従
来のホトリソ技術では、サーマルヘッドに要求される良
好なパターン精度を得ることは不可能である。
成方法と同様な方法でパターニングした場合第３図に示
されるように１ ａ部のパターン精度はよく得られるが
１ ６．１−ｃ、とマスク１６と基板１４との隙間が大
きくなるに従ってパターンボケが生じてくる。つまり従
来のホトリソ技術では、サーマルヘッドに要求される良
好なパターン精度を得ることは不可能である。
本発明では次のような製造方法をとることで良好なパタ
ーン形成を行うことができる。
ーン形成を行うことができる。
第４図に示されるように曲面基板１４にフレキシブルな
マスク１５を密着巻き付けし、アライナ−の光源を回転
あるいは曲面基板１４を回転することでパターニングを
行うことができるが、まず本発明を実施するために必要
なフレキシブルマスク製造のための具体的な工程につい
て説明する。
マスク１５を密着巻き付けし、アライナ−の光源を回転
あるいは曲面基板１４を回転することでパターニングを
行うことができるが、まず本発明を実施するために必要
なフレキシブルマスク製造のための具体的な工程につい
て説明する。
第５図に示されるようにガラス基板１６上に蒸着法によ
りテフロンあるいはそれに類似する物質１７を蒸着する
。該物質１７をコートした基板上にスパッタあるいは蒸
着により□ｒ、Ａｊｉなどの金属膜１８を形成する０こ
のように膜形成した基板１６を第６図に示されるように
ガラスマスク１３を使用し従来のホトリソ技術と同様の
工程を踏んでパターン形成を行う。テフロンあるいけそ
れに類似するコート剤の効果は金属膜との付着力を弱め
るため使用される０然る後、粘着剤２０がコートされた
透明度の良いフレキシブルフィルム１５を第７図のよう
に該基板１６と共にラミネータのローラー２２内を通過
させることによりフレキシブルフィルム１５上に該パタ
ーンを転写することで第８図のようにフレキシブルマス
クラ製造することができる。ダミーフィルムはラミネー
トするときのフレキシブルフィルム１５のよじれ、しわ
を防止するためのものであるがフィルムに限らず厚手の
紙を使用してもよい。
りテフロンあるいはそれに類似する物質１７を蒸着する
。該物質１７をコートした基板上にスパッタあるいは蒸
着により□ｒ、Ａｊｉなどの金属膜１８を形成する０こ
のように膜形成した基板１６を第６図に示されるように
ガラスマスク１３を使用し従来のホトリソ技術と同様の
工程を踏んでパターン形成を行う。テフロンあるいけそ
れに類似するコート剤の効果は金属膜との付着力を弱め
るため使用される０然る後、粘着剤２０がコートされた
透明度の良いフレキシブルフィルム１５を第７図のよう
に該基板１６と共にラミネータのローラー２２内を通過
させることによりフレキシブルフィルム１５上に該パタ
ーンを転写することで第８図のようにフレキシブルマス
クラ製造することができる。ダミーフィルムはラミネー
トするときのフレキシブルフィルム１５のよじれ、しわ
を防止するためのものであるがフィルムに限らず厚手の
紙を使用してもよい。
このようにして製造されたフレキシブルフィルムマスク
は適度の接着力を有しているため第４図のような曲面基
板に巻き付け、密着させることは容易であり、また露光
時の光の廻り込みも非常に少なくすることもできる。
は適度の接着力を有しているため第４図のような曲面基
板に巻き付け、密着させることは容易であり、また露光
時の光の廻り込みも非常に少なくすることもできる。
本発明により製造されたフレキシブルマスクは３０μ程
度のパターンまでは十分満足できる分解能を得ることが
可能である。
度のパターンまでは十分満足できる分解能を得ることが
可能である。
また本発明では従来のロンドタイプのサーマルヘッドの
ようにワイヤボンドによる配線基板との接続の必要も無
く製造上の歩留りを上げることが容易などの効果を有し
ている。
ようにワイヤボンドによる配線基板との接続の必要も無
く製造上の歩留りを上げることが容易などの効果を有し
ている。
以上のように本発明で製造されたサーマルヘッドは第９
図に示されるようにカラーハードコピー用の熱転写ヘッ
ドとして効力を発揮するものである。
図に示されるようにカラーハードコピー用の熱転写ヘッ
ドとして効力を発揮するものである。
第１図は従来のロンドタイプのサーマルヘッドの概略図
、第２図は本発明の曲面型サーマルヘッドの概略図、第
３図、第４図、第５図、第６図。 第７図、第８図はフレキシブルマスク製造のための説明
図、第９図は熱転写型サーマルヘッドへの本発明ヘッド
応用例概略図である。 １・・・ガラスロッド ２，９・・・発熱要素３．６
．１０・・・電極 ４・・・保護膜５・・・配線基板
７・・・ワイヤボンド８．１４．２６・・・曲面
基板 ８′・・・グレーズ １１・・・工Ｃ１２・・・ヒー
トシンク １３・・・ガラスマスク１５・・・フレキシ
ブルマスク １６・・・ガラス基板 １７・・・テフロン１８・・
・金１１４１Ａ １ｑ・・・レジスト２０・・
・粘着剤 ２１・・・ダミーフィルム ２３・・・プラテン ２４・・・転写紙２５・・・
インクシート 第１図 第３図 第２図 第４図 第５図 ε：３６図 （ 第９図
、第２図は本発明の曲面型サーマルヘッドの概略図、第
３図、第４図、第５図、第６図。 第７図、第８図はフレキシブルマスク製造のための説明
図、第９図は熱転写型サーマルヘッドへの本発明ヘッド
応用例概略図である。 １・・・ガラスロッド ２，９・・・発熱要素３．６
．１０・・・電極 ４・・・保護膜５・・・配線基板
７・・・ワイヤボンド８．１４．２６・・・曲面
基板 ８′・・・グレーズ １１・・・工Ｃ１２・・・ヒー
トシンク １３・・・ガラスマスク１５・・・フレキシ
ブルマスク １６・・・ガラス基板 １７・・・テフロン１８・・
・金１１４１Ａ １ｑ・・・レジスト２０・・
・粘着剤 ２１・・・ダミーフィルム ２３・・・プラテン ２４・・・転写紙２５・・・
インクシート 第１図 第３図 第２図 第４図 第５図 ε：３６図 （ 第９図
Claims (3)
- （１）曲面を有す゛る絶縁性基板を具備したサーマルヘ
ッドにおいて、フレキシブルマスクを用いてバターニン
グしたことを特徴とする曲面型サーマルヘッドの製造方
法０ - （２） フレキシブルマスクは粘着剤がコートされて
おり、金属パターンが転写法でつくられていることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の曲面型サーマルヘ
ッドの製造方法。。 - （３）転写法でつくられるベース基板上には、テフロン
あるいはそれに類似する接着性の不良な材料が被覆しで
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の曲面
型サーマルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58105242A JPS59230770A (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 曲面型サ−マルヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58105242A JPS59230770A (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 曲面型サ−マルヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59230770A true JPS59230770A (ja) | 1984-12-25 |
Family
ID=14402179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58105242A Pending JPS59230770A (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 曲面型サ−マルヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59230770A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013139093A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Seiko Instruments Inc | サーマルヘッドおよびプリンタ |
| CN110450553A (zh) * | 2019-07-02 | 2019-11-15 | 福建联迪商用设备有限公司 | 一种打印控制方法、控制模块、机芯及终端 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS543531A (en) * | 1977-06-10 | 1979-01-11 | Toray Industries | Image forming material |
| JPS5825971A (ja) * | 1981-08-07 | 1983-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツド |
-
1983
- 1983-06-13 JP JP58105242A patent/JPS59230770A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS543531A (en) * | 1977-06-10 | 1979-01-11 | Toray Industries | Image forming material |
| JPS5825971A (ja) * | 1981-08-07 | 1983-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | サ−マルヘツド |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013139093A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Seiko Instruments Inc | サーマルヘッドおよびプリンタ |
| CN110450553A (zh) * | 2019-07-02 | 2019-11-15 | 福建联迪商用设备有限公司 | 一种打印控制方法、控制模块、机芯及终端 |
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