JPS59229861A - カラ−原稿読取り装置 - Google Patents

カラ−原稿読取り装置

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JPS59229861A
JPS59229861A JP58091132A JP9113283A JPS59229861A JP S59229861 A JPS59229861 A JP S59229861A JP 58091132 A JP58091132 A JP 58091132A JP 9113283 A JP9113283 A JP 9113283A JP S59229861 A JPS59229861 A JP S59229861A
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JP
Japan
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photoelectric conversion
color
reading device
conversion elements
electrode
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Pending
Application number
JP58091132A
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English (en)
Inventor
Hisao Ito
久夫 伊藤
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Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS59229861A publication Critical patent/JPS59229861A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0216Coatings
    • H01L31/02161Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/02162Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors

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  • Power Engineering (AREA)
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  • Color Image Communication Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カラー原稿読取り装置(二かかり、特に光導
電体として非晶質シリコンを使用し、この光導電体の層
を、第1電極と透光性の第2電極で挾んだサンドイッチ
構造の光電変換素子を用いたカラー原稿読取り装置に関
する。
〔従来技術〕
ファクシミリ等における原稿の読取りには、赤、緑、青
のダイクロイツクミ2−からなる三色分解フィルタを使
用し、これによって、カラー原稿からの反射光を3色(
二分解した後、夫々の色に対応する分光感度特性を有す
る光電変換素子により光電変換を行い、その電気信号か
ら光信号の色を判別するという方法がとられていた。
しかしながら、かかる方法によれば、3色分解フィルタ
系と、夫々の光電変換素子を接続し、信号処理を行なう
為の回路構成が複雑となる上、縮小光学系の使用により
装置が大きくなるという欠点があった。
また、最近、ファクシミリ等の画像入力部の小型化をは
かるため、原稿幅と1寸法をもち、縮小光学系を必要と
しない長尺薄膜素子の開発が活発に進められている。こ
の長尺薄膜素子を、カラー原稿の読取りC二適珀すべく
、異なる分光感朋特性をもつ2つの長尺薄膜素子を並列
走査し、その出力を色によって一意的に定まる値となる
ように演算処理し、色の判別を行なう方法などが試みら
れている。
この方法では、色信号を受信し、再生する側ζ二おいて
は、やはり3原色に分解しなければならず処理が繁雑と
なるという不都合があった〇〔発明の目的〕 本発明は、前記実情に鑑みてなされたもので、小型で簡
単な構造のカラー原稿読取り装置を提供することを目的
とする。
〔発明の構成〕
本発明は、非晶質水素化シリコン(a−8t:H)を光
導電体として使用し、金属等からなる第1’i!極と透
光性の第2″i極で挾んだサンドイッチ構造の光電変換
素子が、可視光の400nmから650nmi二わたる
広い波長領域で良好な分光感度特性を有することに着目
してなされたもので、この光電変換素子に対し、所定の
色の色フィルタを一色ずつ積層せしめ、互いに異なる色
フィルタを有する少なくとも2つの光電変換素子からな
る光電変換部を構成し、前記複数の光電変換素子から得
られた信号によって、色を判別するものであるO 人間が、色として感じる可視光線は380 nmから7
80 nmの領域であり、この光電変換素子によれば、
はぼ、正確に色を感知することができ、しかも光電変換
素子上に色フィルタを積層せしめただけでよいため、構
造が極めて筐1単で、小型化が容易である。
〔実施例〕
次:二、本発明の第1の実施例のカラー原稿読取り装置
ζ二ついて図面を参照しつつ説明する。
本発明の第1の実施例のカラー原稿読取り装置は、第1
図C二平面図、第2図C二そのA−A断面図を示すよう
に、絶縁性のセラミック基板1上に、複数のバクーンに
分割配置された1列のクロム(Cr )薄膜からなる第
1 ’を極としての金属電極2と、酸化インジウム錫膜
(ITO)からなる透光性の第2電極としての上部電極
(透明電極)4とによって非晶質水素化シリコン(a−
8i:H)3が挾持されてなるサンドイッチ構造の光電
変換素子であり、上部゛磁極上(二は金属it極の1つ
1つに夫々対向する位置に、赤色透過フィルタ5、緑色
透過フィルり6、青色透過フィルり7が順に繰返、し整
列して配設されてなるものである。そして金属電極は、
夫々、素子の長辺側にとり出されている。
次に、このカラー原稿読取り装置の製造方法を説明する
まず、絶縁性のセラミック基板1上書二、電子ビーム蒸
着によって約0.3μmのCr薄膜2を着膜したのち、
フォトリソグラフィーにより、電極)(ターン2を形成
する。
次いで、プラズマ熱分解法(CVD法)により、光導電
体層3としての非晶質水素化シリコンを着膜する。この
とき使用するガスとしては、100チのモノシラン(s
iH4)を用い、ガス流量20〜50標準CC分(SC
CM)、高周波tL力20〜50W1基板温度200〜
300v、着膜時間30〜60分の条件で、膜厚的1μ
mとなるように形成する。
更に、直流スパッタ法(DCC14ツタ法月二より、透
明電極の酸化インジウム錫膜をM膜する。
着膜条件としては、酸化インジウム錫(90moL%I
n1O1+10mot% SnO,)からなるターゲラ
トラ用い全ガス(アルゴン(Ar)十酸Z(Om))圧
1〜5X10−”)−ル(’[orr)酸素分圧0.5
〜2 X 10”−’ Torr 、直流電力100〜
200Wをとる。
このよう(二して形成された光電変換素子は、透明電極
、4である酸化インジウム錫と光導電体3である非晶質
水素化シリコンとの間(二おいでn −n型のへテロ接
合が形成されており、明暗比の高G)良好な光を変換特
性を示し、この素子の分光感度特性は第3図に示す如く
なり、450nmから650nmの可視光領域で良好な
光71;変換特性を呈することがわかる。
そして、最後冬=、各画素毎、すなわち金M%極の1つ
1つ己対応するように第2図4:示す如く、赤色透過フ
ィルタ5、緑色透過フィルタ6、青色透過フィルタ7を
順に透明電極4上シニ配列する。
このよう(ニして、セラミック基板1の長辺側に夫々の
金属電極2をとり出すことにより、赤色を検出する元′
GL変換素子R1緑色を検出する光電変換素子G、青色
を検出する光電変換素子Bが順に繰返し配列された構造
のカラー原稿読取り装置が形成される。
これらの出力はRAG→Bと順にタイミングをとって伝
送回路を介して送信ぎれ、隣接する3つの光電変換素子
R,G、Bを1組として、その走査面積部分色の判別が
行なわれる。
このようにして形成されたカラー原稿読取り装置によれ
ば、極めて小世でかつ簡単な構造で、力2−原稿の読取
りが可能となる。
更に、本発明の第2の実施例I:ついて、図面を参照し
つつ説明する。第4図は、本発明の第2の実施例のカラ
ー原稿読取り装置の平面図、第°5図はこのB−B断面
図、第6図は同C−C断面図である。このカラー原稿読
取り装置は第4図乃至第6図から明らかなように、前述
の第1の実施例のカラー原稿読取り装置を、同一基板上
に2列に配設したものである。すなわち、第1の読取り
素子Fと第2の読取り素子Sとを2列に並列配置してな
るもので、構造は第1の実施例のカラー原稿読取り装置
と全く同様に、セラミック基板1上に形成さnたCr1
l極2と、酸化インジウム錫膜からなる透明電極4とに
よって非晶質水軍化シリコン3を挾持してなるサンドイ
ッチ構造をなしており、透明成極4上には夫々、順にカ
ラーフィルタ5゜6.7が積層されている。第1の読取
り素子Fにおいても第2の読取り素子S(二おいても同
様に、赤色透過フィルタ5を有する光電変換素子R1緑
色透過フィルタ6を有する光電変換素子G、青色透過フ
ィルタ7を有する光電変換素子Bが順に繰り返し配列さ
れているが、第1の読取り素子FにおけるRに対応する
位置には、第2の読取り素子SのGが配設されており、
第1の読取り素子FにおけるGに対応する位置口は、第
2の読取り素子SのBが、そして第1の読取り素子Fに
おけるB≦二対応する位置には第2の読取り素子SのR
が配置されている。
そして、これら第1の読取り素子及び第2の読取り素子
の出力は記憶回路(図示せず)を介して、伝送処理回路
(図示せず)に接続されている。
この第2の実施例のカラー原、稿読取り装置は、第1の
実施例のカラー原稿読取り装置と全く同様の製造方法に
よって第1及び第2の読取り素子を −同一基板上に形
成することができる。
この第2の実施例のカラー原稿読取り装置を用いて、原
稿を読取る場合、まず、第一回の走査によって出力信号
を一旦記憶回路に入れたのち一行ずらして第2回の走査
を行なうというふうに順次−行ずつずらして走査し、記
憶回路に入れたのち、同一原稿部分に対応する2つの出
力を重畳して順(=伝送する。
このカラー原稿読取り装置によれば、同一原稿部分から
得られた2つの出力によって伝送がなされるため、読取
り時間を増大することなく、解像度を大幅に改善するこ
とができる。
又、輝度信号のバランスをとる為(二、緑色フィルタ一
部分を、赤及び青色フィルタ一部分の各々に対して2倍
とした構成、即ち第1の読取素子をR、G、B、G、R
,・・・・・(R,G、B、Gの繰り返し)とし、第2
の読取素子をG、B、G、R2・・・・(G、B、G、
Hの縁り返し)とし上下及び左右の2画素×2画素の4
画素(G2画素、R及びB各1画累画素1画素分の信号
を得る方法でカラー原稿の読取を行なう事も可能である
なお、この実施例においては、2列に並列配置さnた光
電変換素子について述べたが、3列の並列配置によれば
さらに解像度が増大することは言うまでもない。
また、前記実施例においては、元が上方から入射される
場合について述べたが、基板としてガラス等の透光性の
ものを用い、基板、フィルタ、透明電極、光導電体、金
属電極を順次積層させた構造とすることにより、基板側
から光が入射する構成にすることも可能である。
さらにまた、フィルタとしては、実施例(二示した如く
、赤色透過フィルタ、緑色透過フィルタ、背合透過フィ
ルタを使用し加法混色によって色の再現を行なう他に、
減法混色による場合、シアン(背縁)、マゼンダ(赤紫
)、黄色の3色からなるフィルタが用いられる。また2
色原稿を読み取る場合には、それに対応した色フィルタ
を使用すればよい。
〔効果〕
以上説明してきたように、本発明によnば、構造が極め
て簡単であり、小型で製造の容易なカラー原稿読取り装
置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の第1の実施例のカラー原稿読取り装
置の平面図、第2図は、第1図のA−A断面図、第3図
は、本発明の第1の実施例の原稿読取り装置からフィル
タを除去した場合の分光感度曲線を示す図、第4図は、
本発明の第2の実施例のカラー原稿読取り装置の平面図
、第5図は第4図のB−B断面図、第6図は第4図のC
−C断面図を示すものである。 l・・・セラミック基板、2・・・金属電極、3・・・
光導電体、4・・・透明電極、5・・・赤色透過フィル
タ、6・・・緑色透過フィルタ、7・・・青色透過フィ
ルタ、F・・・第1の読取り素子、S・・・第2の読取
り素子、R・・・赤色透過フィルタを有する光電変換素
子、G・・・緑色透過フィルタ6を有する光電変換素子
、B・・・青色透過フィルタを有する光電変換素子。 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光導電体として非晶質シリコンを第1電極及び、透光性
    の第2電極で挾持してなるサンドインチ構造を有する複
    数個の光電変換素子を、同一基板上に1列に配設すると
    共に、該光電変換素子をそnぞn少なくとも2つの光電
    変換素子を含む複数の群に区分して、各群の光電変換素
    子にそれぞれ所定の色の色フィルタを積層し、該群を一
    単位とする複数の光電変換部を形成したことを特徴とす
    るカラー原稿読取り装置。
JP58091132A 1983-05-24 1983-05-24 カラ−原稿読取り装置 Pending JPS59229861A (ja)

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