JPS59226472A - 薄膜リチウム電池 - Google Patents
薄膜リチウム電池Info
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- JPS59226472A JPS59226472A JP58099346A JP9934683A JPS59226472A JP S59226472 A JPS59226472 A JP S59226472A JP 58099346 A JP58099346 A JP 58099346A JP 9934683 A JP9934683 A JP 9934683A JP S59226472 A JPS59226472 A JP S59226472A
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- JP
- Japan
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- film
- thin film
- lithium
- lithium battery
- battery
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
- H01M10/05—Accumulators with non-aqueous electrolyte
- H01M10/056—Accumulators with non-aqueous electrolyte characterised by the materials used as electrolytes, e.g. mixed inorganic/organic electrolytes
- H01M10/0561—Accumulators with non-aqueous electrolyte characterised by the materials used as electrolytes, e.g. mixed inorganic/organic electrolytes the electrolyte being constituted of inorganic materials only
- H01M10/0562—Solid materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M6/00—Primary cells; Manufacture thereof
- H01M6/14—Cells with non-aqueous electrolyte
- H01M6/18—Cells with non-aqueous electrolyte with solid electrolyte
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は基板上に薄膜製造技術のみで形成された薄膜リ
チウム電池に係り、特に超薄形、高信頼性を有する薄膜
リチウム電池に関する。
チウム電池に係り、特に超薄形、高信頼性を有する薄膜
リチウム電池に関する。
近年、半導体集積回路技術あるいはマイクロエレクトロ
ニクス技術の進歩により、電子機器の小形薄形化、低消
費電力化かめさましい。それに伴い、各種電子機器の駆
動用電源として、小形薄形で高信頼性を有する電池への
要望が強才っている０このようななかで、リチウム固体
電池（リチウムを負極に用いた固体電解質電池）はエネ
ルギー密度が高く、自己放電が少なく、漏液のおそれが
ないことから、注目をあびている。特に、この電池の要
素材料をすべて薄膜製造技術で形成した薄膜リチウム電
池は、超薄形が可能であり、半導体素子等との一体化も
可能であることから、新デバイスへの応用が期待できる
。
ニクス技術の進歩により、電子機器の小形薄形化、低消
費電力化かめさましい。それに伴い、各種電子機器の駆
動用電源として、小形薄形で高信頼性を有する電池への
要望が強才っている０このようななかで、リチウム固体
電池（リチウムを負極に用いた固体電解質電池）はエネ
ルギー密度が高く、自己放電が少なく、漏液のおそれが
ないことから、注目をあびている。特に、この電池の要
素材料をすべて薄膜製造技術で形成した薄膜リチウム電
池は、超薄形が可能であり、半導体素子等との一体化も
可能であることから、新デバイスへの応用が期待できる
。
リチウム固体電池は基本的には、正極集電体、正極活物
質、リチウムイオン導電性固体電解質、リチウム金属、
および負極集電体をこの順序で積層した構造を有する。
質、リチウムイオン導電性固体電解質、リチウム金属、
および負極集電体をこの順序で積層した構造を有する。
ここで、固体電解質としては１例えばケイ酸リチウム（
Ｌｉ４８ｉ０４）−リン酸リチウム（Ｌｉ３ＰＯ４）固
溶体、リチウムβアルミナ（Ａｌ２Ｏ２）あるいはヨウ
化リチウム（ＬｉＩ）とアルミナ（Ａ４２０３）の混合
粉末のようなリチウムイオン導電性が大きい物質が用い
られる〇一方、正極活物質には二硫化チタン（ＴｉＳ２
）、二酸化マンガン（ＭｎＯ□）、ヨウ化鉛（Ｐｂｌ２
）と硫化鉛（ｐｂｓ）の混合物等が使用されている。
Ｌｉ４８ｉ０４）−リン酸リチウム（Ｌｉ３ＰＯ４）固
溶体、リチウムβアルミナ（Ａｌ２Ｏ２）あるいはヨウ
化リチウム（ＬｉＩ）とアルミナ（Ａ４２０３）の混合
粉末のようなリチウムイオン導電性が大きい物質が用い
られる〇一方、正極活物質には二硫化チタン（ＴｉＳ２
）、二酸化マンガン（ＭｎＯ□）、ヨウ化鉛（Ｐｂｌ２
）と硫化鉛（ｐｂｓ）の混合物等が使用されている。
これらの要素材料を用いた電池を実用化するには、電池
基本特性とともに貯蔵、長期安定性が要求され１％にリ
チウム電池の場合、負極活物質に化学的に不安定なリチ
ウムを用いているため、その封止法の開発が不可欠であ
る。現在、リチウム電池ハボタン（コイン）型あるいは
ベーパー型電池として実用化されている。しかしながら
、これらの電池は単体であり、各々ステンレス等の金属
製ケースあるいは樹脂フィルムの中に封入されており１
体積にはまだ大きく、さらに小形、薄形化への要望が強
い。また、リチウム電池と半導体素子等との一体化を考
えた場合、これらの封止技術をその才まとり入れること
は困難であり、新たな封止法の開発が望すれる。
基本特性とともに貯蔵、長期安定性が要求され１％にリ
チウム電池の場合、負極活物質に化学的に不安定なリチ
ウムを用いているため、その封止法の開発が不可欠であ
る。現在、リチウム電池ハボタン（コイン）型あるいは
ベーパー型電池として実用化されている。しかしながら
、これらの電池は単体であり、各々ステンレス等の金属
製ケースあるいは樹脂フィルムの中に封入されており１
体積にはまだ大きく、さらに小形、薄形化への要望が強
い。また、リチウム電池と半導体素子等との一体化を考
えた場合、これらの封止技術をその才まとり入れること
は困難であり、新たな封止法の開発が望すれる。
本発明の目的は貯蔵、長期間安定性にすぐれたた薄膜リ
チウム電池において、薄膜全体を窒化ケイ素（５ｉ３Ｎ
４）、酸化ケイ素（８ｉ０２）筈の保護膜で被覆し、さ
らに樹脂膜で封止したことを特徴とする。
チウム電池において、薄膜全体を窒化ケイ素（５ｉ３Ｎ
４）、酸化ケイ素（８ｉ０２）筈の保護膜で被覆し、さ
らに樹脂膜で封止したことを特徴とする。
薄膜リチウム電池に用いているリチウム金属は化学的に
不安定であり、外気にさらすると水あるいは窒素等と反
応し、直ちに水酸化物あるいは窒化物等に変化する。才
だリチウムイオン導電体も化学的に不安定なものが多い
。そこで、薄膜リチウム電池の長寿命、高信頼化をはか
るためには。
不安定であり、外気にさらすると水あるいは窒素等と反
応し、直ちに水酸化物あるいは窒化物等に変化する。才
だリチウムイオン導電体も化学的に不安定なものが多い
。そこで、薄膜リチウム電池の長寿命、高信頼化をはか
るためには。
電池要素材料と外気とを完全にしゃ断することが必要不
可欠である。薄膜からなる電池要素材料の表面全体を窒
化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）あるいは酸化ケイ素（５ｉｎ２
）膜で保護し、さらにその上をエポキシ樹脂膜で封止す
ることにより、薄形で高信頼性を有する薄膜リチウム電
池が得られる。
可欠である。薄膜からなる電池要素材料の表面全体を窒
化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）あるいは酸化ケイ素（５ｉｎ２
）膜で保護し、さらにその上をエポキシ樹脂膜で封止す
ることにより、薄形で高信頼性を有する薄膜リチウム電
池が得られる。
以下１本発明を実施例を用いて詳細に説明する。
実施例１
第１図に本発明の薄膜リチウム電池の構造断面図を示す
。電池の作成にあたっては１才ず石英あるいはシリコン
基板ｌ上に正極集電体として厚さ〜２μｍのアルミニウ
ム膜２そ真空蒸着した。その上に厚さ〜２ｏμｍの二硫
化チタンからなる正極薄膜３そ減圧ＯＶ Ｄ （Ｃｈｅ
ｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉ−ｔｉｏｎ）法
で形成し１次に６０モルチケイ酸リチウム（Ｌｉ４８ｉ
０４）と４０モルチリン酸リチウム（Ｌｉ ３ＰＯ４）
、からなる固体電解質膜４（膜厚〜８μｍ）をスパッタ
リング法により積層した。ついで、この上に負極活物質
としてリチウム金属薄膜５（膜厚〜６μｍ）Ｔｊ：通常
の真空蒸着で作成し。
。電池の作成にあたっては１才ず石英あるいはシリコン
基板ｌ上に正極集電体として厚さ〜２μｍのアルミニウ
ム膜２そ真空蒸着した。その上に厚さ〜２ｏμｍの二硫
化チタンからなる正極薄膜３そ減圧ＯＶ Ｄ （Ｃｈｅ
ｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉ−ｔｉｏｎ）法
で形成し１次に６０モルチケイ酸リチウム（Ｌｉ４８ｉ
０４）と４０モルチリン酸リチウム（Ｌｉ ３ＰＯ４）
、からなる固体電解質膜４（膜厚〜８μｍ）をスパッタ
リング法により積層した。ついで、この上に負極活物質
としてリチウム金属薄膜５（膜厚〜６μｍ）Ｔｊ：通常
の真空蒸着で作成し。
さらにその上に負極集電体としてニッケル膜６（膜厚〜
２μｍ）を真空蒸着法で形成した。続いて、窒化ケイ素
膜７そスパッタリング法により図のようにマスク蒸着し
、その後再びニッケル膜８を真空蒸着した。最後に電池
要素材料全体をエボイグによりおこなった。
２μｍ）を真空蒸着法で形成した。続いて、窒化ケイ素
膜７そスパッタリング法により図のようにマスク蒸着し
、その後再びニッケル膜８を真空蒸着した。最後に電池
要素材料全体をエボイグによりおこなった。
このようにして作成した薄膜リチウム電池は、開回路電
圧２゜５Ｖ、短絡電流３ ｍ Ａ ／ ｃｒｎ２．放電
容量として１ ｍＡ ｈ ／ ｃｍ２の値を示した。韮
だ。
圧２゜５Ｖ、短絡電流３ ｍ Ａ ／ ｃｒｎ２．放電
容量として１ ｍＡ ｈ ／ ｃｍ２の値を示した。韮
だ。
を用いているため、充放電が可能であり、その充放電繰
り返し特性を評価した結果、電流密度１６ＩＩ Ａ ／
ｃｍ２． 充放電深度３０％で３０００回くり返して
も、劣化は約２０％と極めて小さいことがわかった。こ
のことは電池周囲の雰囲気の影普がほとんどないことを
示しており、水分等の浸入に対し封止が完全であること
を意味している。
り返し特性を評価した結果、電流密度１６ＩＩ Ａ ／
ｃｍ２． 充放電深度３０％で３０００回くり返して
も、劣化は約２０％と極めて小さいことがわかった。こ
のことは電池周囲の雰囲気の影普がほとんどないことを
示しており、水分等の浸入に対し封止が完全であること
を意味している。
以上のように、電池構成薄膜をすべてＳ ｉ ３Ｎ４膜
で表面保穫し、さらにエポキシ樹脂で封止することによ
り、長期間安定性にすぐれた長寿命の薄膜リチウム電池
を作成することができる。そのうえ。
で表面保穫し、さらにエポキシ樹脂で封止することによ
り、長期間安定性にすぐれた長寿命の薄膜リチウム電池
を作成することができる。そのうえ。
薄形化を損うことなく、また非常に進歩した半導体プロ
セス技術をそのまま使用することができ。
セス技術をそのまま使用することができ。
コスト的にも有利である。さらに、本発明の電池の場合
、半導体素子等の一体化が可能であり、新デバイスの開
発が期待できる。
、半導体素子等の一体化が可能であり、新デバイスの開
発が期待できる。
実施例２
薄膜リチウム電池の構造は基本的には実施例１と同じで
ある。たたし、本実施例では表面保＠膜として酸化ケイ
素（８ｉ０２）のスパッタ膜を用いた。その結果、得ら
れた電池の緒特性は実施例１の場合と殆んど同じであり
、高信頼性を有する薄膜リチウム電池が実現できる。
ある。たたし、本実施例では表面保＠膜として酸化ケイ
素（８ｉ０２）のスパッタ膜を用いた。その結果、得ら
れた電池の緒特性は実施例１の場合と殆んど同じであり
、高信頼性を有する薄膜リチウム電池が実現できる。
本実施例では、正極活物質にＴｉＳ２膜、リチウムイオ
ン導電体にＬｉ４８ｉ０４−Ｌｉ３ＰＯ４膜を用いた薄
膜リチウム電池について述べたが、他の薄膜材料を組合
せた場合においても１本発明の電池構造にすることによ
り、長期間安定性に優れた薄膜リチウム電池を得ること
ができる。
ン導電体にＬｉ４８ｉ０４−Ｌｉ３ＰＯ４膜を用いた薄
膜リチウム電池について述べたが、他の薄膜材料を組合
せた場合においても１本発明の電池構造にすることによ
り、長期間安定性に優れた薄膜リチウム電池を得ること
ができる。
以上述べてきたように１本発明は簿膜状の電池要素材料
を積層してなる薄膜リチウム電池において、薄膜全体を
窒化ケイ素（８ｉ３Ｎ４） 、酸化ケイ素（８ｉ０２）
等の保護膜で被覆し、さらにその上を樹脂膜で封止した
ことを特徴とする薄膜リチウム電池を提供するものであ
る。本発明の電池は耐雰囲気性、特に耐湿性にすぐれ、
韮だ機械的強度もあることから、貯蔵性、長期ｍ」安定
性にすぐれた信頼度の高い電池である。
を積層してなる薄膜リチウム電池において、薄膜全体を
窒化ケイ素（８ｉ３Ｎ４） 、酸化ケイ素（８ｉ０２）
等の保護膜で被覆し、さらにその上を樹脂膜で封止した
ことを特徴とする薄膜リチウム電池を提供するものであ
る。本発明の電池は耐雰囲気性、特に耐湿性にすぐれ、
韮だ機械的強度もあることから、貯蔵性、長期ｍ」安定
性にすぐれた信頼度の高い電池である。
第１図は本発明の薄膜リチウム電池の構造断面図である
。 １・・・・・・基板、２・・・・・・正極集電体（アル
ミニウム膜）３・・・・・・正極活物質（二硫化チタン
膜）、４・・・・・・固体電解質（ケイ酸リチウム−リ
ン酸リチウム固溶体膜）、５・・・・・・負極活物質（
リチウム膜）、６゜８・・・・・・負極集電体にッケル
膜）、７・・・・・・保護膜（窒化ケイ素膜）、９・・
・・・・封止膜（エポキシ樹脂）。
。 １・・・・・・基板、２・・・・・・正極集電体（アル
ミニウム膜）３・・・・・・正極活物質（二硫化チタン
膜）、４・・・・・・固体電解質（ケイ酸リチウム−リ
ン酸リチウム固溶体膜）、５・・・・・・負極活物質（
リチウム膜）、６゜８・・・・・・負極集電体にッケル
膜）、７・・・・・・保護膜（窒化ケイ素膜）、９・・
・・・・封止膜（エポキシ樹脂）。
Claims (1)
- 薄膜状の正極集電体、正極活物質、リチウムイオン導電
性固体電解質、リチウムおよび負極集電体を基板上に積
層してなる薄膜リチウム電池において、薄膜全体を保護
膜で被覆し、さらにその上を樹脂膜で封止したことを特
徴とする薄膜リチウム電池。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58099346A JPS59226472A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | 薄膜リチウム電池 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58099346A JPS59226472A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | 薄膜リチウム電池 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59226472A true JPS59226472A (ja) | 1984-12-19 |
Family
ID=14245048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58099346A Pending JPS59226472A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | 薄膜リチウム電池 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59226472A (ja) |
Cited By (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0243975A2 (de) * | 1986-04-30 | 1987-11-04 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Elektrochemischer Temperatursensor |
| JP2001313237A (ja) * | 2000-04-25 | 2001-11-09 | Korea Advanced Inst Of Sci Technol | 薄膜型スーパーコンデンサ及びその製造方法並びにそれを利用したハイブリッド電池 |
| EP1177589A1 (en) * | 1999-04-02 | 2002-02-06 | Excellatron Solid State, LLC | Thin lithium film battery |
| WO2002047187A1 (en) * | 2000-12-08 | 2002-06-13 | Excellatron Solid State, Llc | Packaging systems and methods for thin film solid state batteries |
| WO2002021627A3 (en) * | 2000-09-07 | 2003-01-16 | Front Edge Technology Inc | Thin film battery and method of manufacture |
| KR100387121B1 (ko) * | 2000-08-31 | 2003-06-12 | 주식회사 애니셀 | 수직 방향으로 집적된 다층 박막전지 및 그의 제조방법 |
| US6713987B2 (en) | 2002-02-28 | 2004-03-30 | Front Edge Technology, Inc. | Rechargeable battery having permeable anode current collector |
| EP1458037A1 (en) * | 2003-03-14 | 2004-09-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Solid state battery |
| EP1482581A2 (en) * | 2003-05-20 | 2004-12-01 | Sony Corporation | Anode and battery using the same |
| US6863699B1 (en) | 2000-11-03 | 2005-03-08 | Front Edge Technology, Inc. | Sputter deposition of lithium phosphorous oxynitride material |
| FR2862436A1 (fr) * | 2003-11-14 | 2005-05-20 | Commissariat Energie Atomique | Micro-batterie au lithium munie d'une enveloppe de protection et procede de fabrication d'une telle micro-batterie |
| US6994933B1 (en) | 2002-09-16 | 2006-02-07 | Oak Ridge Micro-Energy, Inc. | Long life thin film battery and method therefor |
| US7056620B2 (en) | 2000-09-07 | 2006-06-06 | Front Edge Technology, Inc. | Thin film battery and method of manufacture |
| WO2006105050A2 (en) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Front Edge Technology | Thin film battery with protective packaging |
| JP2007508673A (ja) * | 2003-10-16 | 2007-04-05 | コミッサリヤ ア レネルジ アトミック | セラミック金属バイレイヤによってマイクロバッテリーを保護する層および方法 |
| JP2007115598A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気デバイス |
| JP2011523163A (ja) * | 2008-04-29 | 2011-08-04 | インフィニット パワー ソリューションズ， インコーポレイテッド | ロバストな金属膜カプセル封入 |
| US8865340B2 (en) | 2011-10-20 | 2014-10-21 | Front Edge Technology Inc. | Thin film battery packaging formed by localized heating |
| US8864954B2 (en) | 2011-12-23 | 2014-10-21 | Front Edge Technology Inc. | Sputtering lithium-containing material with multiple targets |
| US8870974B2 (en) | 2008-02-18 | 2014-10-28 | Front Edge Technology, Inc. | Thin film battery fabrication using laser shaping |
| US9077000B2 (en) | 2012-03-29 | 2015-07-07 | Front Edge Technology, Inc. | Thin film battery and localized heat treatment |
| JP2015220107A (ja) * | 2014-05-19 | 2015-12-07 | Tdk株式会社 | 全固体リチウムイオン二次電池 |
| US9257695B2 (en) | 2012-03-29 | 2016-02-09 | Front Edge Technology, Inc. | Localized heat treatment of battery component films |
| US9356320B2 (en) | 2012-10-15 | 2016-05-31 | Front Edge Technology Inc. | Lithium battery having low leakage anode |
| US20160240864A1 (en) * | 2012-02-17 | 2016-08-18 | Stmicroelectronics (Tours) Sas | Method for forming a microbattery |
| US9887429B2 (en) | 2011-12-21 | 2018-02-06 | Front Edge Technology Inc. | Laminated lithium battery |
| US9905895B2 (en) | 2012-09-25 | 2018-02-27 | Front Edge Technology, Inc. | Pulsed mode apparatus with mismatched battery |
| US10008739B2 (en) | 2015-02-23 | 2018-06-26 | Front Edge Technology, Inc. | Solid-state lithium battery with electrolyte |
| US10957886B2 (en) | 2018-03-14 | 2021-03-23 | Front Edge Technology, Inc. | Battery having multilayer protective casing |
-
1983
- 1983-06-06 JP JP58099346A patent/JPS59226472A/ja active Pending
Cited By (44)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0243975A2 (de) * | 1986-04-30 | 1987-11-04 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Elektrochemischer Temperatursensor |
| EP1177589A1 (en) * | 1999-04-02 | 2002-02-06 | Excellatron Solid State, LLC | Thin lithium film battery |
| EP1177589A4 (en) * | 1999-04-02 | 2002-09-25 | Excellatron Solid State Llc | THIN LITHIUM FLAT BATTERY |
| JP2001313237A (ja) * | 2000-04-25 | 2001-11-09 | Korea Advanced Inst Of Sci Technol | 薄膜型スーパーコンデンサ及びその製造方法並びにそれを利用したハイブリッド電池 |
| KR100387121B1 (ko) * | 2000-08-31 | 2003-06-12 | 주식회사 애니셀 | 수직 방향으로 집적된 다층 박막전지 및 그의 제조방법 |
| US6921464B2 (en) | 2000-09-07 | 2005-07-26 | Front Edge Technology | Method of manufacturing a thin film battery |
| WO2002021627A3 (en) * | 2000-09-07 | 2003-01-16 | Front Edge Technology Inc | Thin film battery and method of manufacture |
| US6632563B1 (en) | 2000-09-07 | 2003-10-14 | Front Edge Technology, Inc. | Thin film battery and method of manufacture |
| US7056620B2 (en) | 2000-09-07 | 2006-06-06 | Front Edge Technology, Inc. | Thin film battery and method of manufacture |
| US7186479B2 (en) | 2000-09-07 | 2007-03-06 | Front Edge Technology, Inc. | Thin film battery and method of manufacture |
| US6863699B1 (en) | 2000-11-03 | 2005-03-08 | Front Edge Technology, Inc. | Sputter deposition of lithium phosphorous oxynitride material |
| WO2002047187A1 (en) * | 2000-12-08 | 2002-06-13 | Excellatron Solid State, Llc | Packaging systems and methods for thin film solid state batteries |
| US6713987B2 (en) | 2002-02-28 | 2004-03-30 | Front Edge Technology, Inc. | Rechargeable battery having permeable anode current collector |
| US6994933B1 (en) | 2002-09-16 | 2006-02-07 | Oak Ridge Micro-Energy, Inc. | Long life thin film battery and method therefor |
| EP1458037A1 (en) * | 2003-03-14 | 2004-09-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Solid state battery |
| EP1482581A3 (en) * | 2003-05-20 | 2007-04-18 | Sony Corporation | Anode and battery using the same |
| US7482095B2 (en) | 2003-05-20 | 2009-01-27 | Sony Corporation | Anode and battery using the same |
| EP1482581A2 (en) * | 2003-05-20 | 2004-12-01 | Sony Corporation | Anode and battery using the same |
| JP2007508673A (ja) * | 2003-10-16 | 2007-04-05 | コミッサリヤ ア レネルジ アトミック | セラミック金属バイレイヤによってマイクロバッテリーを保護する層および方法 |
| FR2862436A1 (fr) * | 2003-11-14 | 2005-05-20 | Commissariat Energie Atomique | Micro-batterie au lithium munie d'une enveloppe de protection et procede de fabrication d'une telle micro-batterie |
| JP4818927B2 (ja) * | 2003-11-14 | 2011-11-16 | コミサリア ア レネルジー アトミック エ オ ゼネルジー アルテルナティブ | 保護外被が設けられたリチウム・マイクロ電池、及び当該マイクロ電池の製造方法 |
| WO2005050755A3 (fr) * | 2003-11-14 | 2006-02-09 | Commissariat Energie Atomique | Micro-batterie au lithium munie d'une enveloppe de protection et procede de fabrication d'une telle micro-batterie |
| JP2007511877A (ja) * | 2003-11-14 | 2007-05-10 | コミサリア、ア、レネルジ、アトミク | 保護外被が設けられたリチウム・マイクロ電池、及び当該マイクロ電池の製造方法 |
| CN100449849C (zh) * | 2003-11-14 | 2009-01-07 | 原子能委员会 | 设置有保护性包封层的锂微电池及其制造方法 |
| WO2005050755A2 (fr) * | 2003-11-14 | 2005-06-02 | Commissariat A L'energie Atomique | Micro-batterie au lithium munie d'une enveloppe de protection et procede de fabrication d'une telle micro-batterie |
| WO2006105050A3 (en) * | 2005-03-25 | 2007-03-15 | Front Edge Technology | Thin film battery with protective packaging |
| WO2006105050A2 (en) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Front Edge Technology | Thin film battery with protective packaging |
| US7846579B2 (en) | 2005-03-25 | 2010-12-07 | Victor Krasnov | Thin film battery with protective packaging |
| KR101357091B1 (ko) * | 2005-03-25 | 2014-02-03 | 프론트 에지 테크놀로지, 인코포레이티드 | 보호 패키징을 가진 박막 배터리 |
| JP2007115598A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気デバイス |
| US8870974B2 (en) | 2008-02-18 | 2014-10-28 | Front Edge Technology, Inc. | Thin film battery fabrication using laser shaping |
| JP2016042468A (ja) * | 2008-04-29 | 2016-03-31 | インフィニット パワー ソリューションズ， インコーポレイテッド | バッテリ |
| JP2011523163A (ja) * | 2008-04-29 | 2011-08-04 | インフィニット パワー ソリューションズ， インコーポレイテッド | ロバストな金属膜カプセル封入 |
| US8865340B2 (en) | 2011-10-20 | 2014-10-21 | Front Edge Technology Inc. | Thin film battery packaging formed by localized heating |
| US9887429B2 (en) | 2011-12-21 | 2018-02-06 | Front Edge Technology Inc. | Laminated lithium battery |
| US8864954B2 (en) | 2011-12-23 | 2014-10-21 | Front Edge Technology Inc. | Sputtering lithium-containing material with multiple targets |
| US20160240864A1 (en) * | 2012-02-17 | 2016-08-18 | Stmicroelectronics (Tours) Sas | Method for forming a microbattery |
| US9257695B2 (en) | 2012-03-29 | 2016-02-09 | Front Edge Technology, Inc. | Localized heat treatment of battery component films |
| US9077000B2 (en) | 2012-03-29 | 2015-07-07 | Front Edge Technology, Inc. | Thin film battery and localized heat treatment |
| US9905895B2 (en) | 2012-09-25 | 2018-02-27 | Front Edge Technology, Inc. | Pulsed mode apparatus with mismatched battery |
| US9356320B2 (en) | 2012-10-15 | 2016-05-31 | Front Edge Technology Inc. | Lithium battery having low leakage anode |
| JP2015220107A (ja) * | 2014-05-19 | 2015-12-07 | Tdk株式会社 | 全固体リチウムイオン二次電池 |
| US10008739B2 (en) | 2015-02-23 | 2018-06-26 | Front Edge Technology, Inc. | Solid-state lithium battery with electrolyte |
| US10957886B2 (en) | 2018-03-14 | 2021-03-23 | Front Edge Technology, Inc. | Battery having multilayer protective casing |
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