JPS5922295A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPS5922295A
JPS5922295A JP57111536A JP11153682A JPS5922295A JP S5922295 A JPS5922295 A JP S5922295A JP 57111536 A JP57111536 A JP 57111536A JP 11153682 A JP11153682 A JP 11153682A JP S5922295 A JPS5922295 A JP S5922295A
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transistor
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constant current
terminal
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JP57111536A
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Koji Ueno
上野 公二
Tamio Miyamura
宮村 民男
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Publication of JPS6137717B2 publication Critical patent/JPS6137717B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C17/00Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
    • G11C17/14Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM
    • G11C17/18Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory

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  • Power Engineering (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (11発明の技術分野 本発明は半導体記憶装jI′Hの制御回路、特にP I
L OM (programmable  ROM )
に応用して好適な制御11回路に関する。
(21技術の背JT 半導体記憶装置(k(以下単VCメモリとも称す)には
種々の形〒(のものが実用に供されているが本発明はこ
のうら王として[) ROMについて1及する。
P R(’) Mは通常電源電圧Vccを供給してビ・
、Iト選択、ワード選択、胱出し等の動作を行うが、そ
の当込み時にはγ江源屯王Vccを遥かに超えるプログ
ラム11j1畑11 fit圧Vp(例えば20V)を
必要とする0どころでこのようなPROMI−j:首J
出ワンチツフ゛で、L、、ケージに組まれるためその入
出力ピン数eま所定の本数にl1ill限される。この
だめ、ある1つのビンが2つ又はそれ以にの入11j力
信号の端子とし−ご共用されることがしげしげある。こ
の」局舎、同一のレベルを有する入出力信号の共用はそ
t11間題はないが、1つのビンが前述のプログラム制
御i1r、 [E V pと連常の人力flill t
tll (F1号Scの入力端子としてAtefllさ
れン)用台にe、】、当該ビンの後段に−)ながるブロ
グラノ・回路を駆動する′i、ij )IU ?If、
回路に直動作ケ生1−させないように、いわゆる切替回
路を設はイ、必砦がある。ず乃わら、プログラム制尚1
1托L1:V’pが印ツノ11されるときのみ択一的に
d亥後段の回路に所望のプログラム側錠ILl)E V
+)を与えるj:うに(−7、それIIJ、夕1のど@
 Pjl、入力1間f+lIl IR¥Scを核陵段の
回路(でtうえないようにする。不発明は具体的にt土
この」ユリな1iIJ4午回路江コいてρ1ミベるもの
でを)る1、 「3)  従来j−ジ術と問題点 j:1/士、(7)と1.・り不発明は切替回路につい
て+21りべるものであるが、該切替回路のI) ’l
lOM 4□こおけるf〜を置イ・jけ企fめ明らかに
する○ 第1図は−・般的なI>、合短絡ルリl) RO、Mの
回路構成を示す回路図である。本図に知いて、11はピ
ッl−線、12けワード線、13けこれらピント線とワ
ード線の各叉点毎に設けられるメモリセルであり、円込
み(、に消去不可11ヒなメモリセルで必る。
所望のメモリセル13を選択するには、対応する1つの
ピッ]・線をビットデコーダ1.i−2に1つて選択す
ると共シて対応する1つのワード線をワードデコーダ1
5によって選択する。これらデコーダにtlそれぞれビ
・ノトアl°レスADh  とワードアドレスAI)w
 が与ヌ5られる。ビットデコーダ14−2はデータの
読出しモードVこ用いられ、各ピッ1泉に係るデータを
、ORゲー口6を西して、出力バッファ1′7を介し入
出力端子1Bより読み1−1四−8 上記構成IK Hft出しモードに関連するものであり
、各動作は電源/l(iE Vcc全駆動源としてなさ
れる〇一方、川込み七−ドは次のとおりである。ビ・ノ
ドアト【/スA I) h を入力としてピノトチコー
ク゛14〜1全介し、計込みすべき1つのプログラノ、
IIjl路21全21H尺する。儀」尺された1つのフ
゛ロク′ラム1iNl路21 &CJ、j:、出−jJ
jiif(−18ヨリ、例えば120mAというプログ
ラム’l(17AILが流入し1.当該ビ、ノド線11
にrollする。このとき−f、761.lt L系に
Mと々髄)力くない1:うにショットキー・ノくリヤ・
ダイA−ド22が挿入子\ノし2)。
前、illニブ:Iグラノ、回路2」についでみると−
とれはダーリントン119iノ5+1# ;’〆jJ:
なつ−Cレリ、萌i(]1の120mAとい′)ノ°ロ
グラ” ’a r’1tffiが/lILノしる。この
とき該ダーリントン回路のw段トランジスタにIl、I
ベース°411’、 fAfをイ1い′【1しな0れば
、・上らないので、いわゆる定′11Σ?A14回路2
;3が設けられる。これは−iυ込みモードII!fV
このみ〜ずなわち制御端子25VCプログラム制(il
il″I′lh、lE Vp (約20 V ) カ印
171+され−c’ivめて能動状態O(な枳、この用
台、占地→・モーl゛時にのみ定1ぽ4111t回路2
;3等が、制御端子25より見えるよP) (tr−,
11つこ/L以外のモード時(・こ(、Lこれらが、り
たかも存白責〜ない1:うに見せかけるため+VIV回
路24が置かれるr) I:’l:、’:/にの如く、
制]卸2;A1子25tIM込みモード時におけるプロ
グラム制61i ’+II 11: V pと1洸出1
.モー ド時に4.−ける、入力1間i+lll・1バ
号Scとを択、−的に受11)できるように共用しこな
・−)ているO々お−この人力11i’l @1(l 
1iN号S cは例えばチップイネーブル回路CIl邑
−、+ll L、111カバーy 771.7をfi@
 !lil+状態eこするためのfir ”’iである
。ただし、これに限らない。
かくのμ11く、1同?+111 y1i!子25には
プログラム匍1 rjll?t([I:V p ”−1
−目、入カ制肖1イMQscが択一的に印Ullさ)す
るが、i(’(入力tlilJ altlイΔ号Scの
印)n時にけ、I亥入力11jlJ、6111イg ’
j’ S cにとって)ik (′It rAt iD
回路21 Jp t、−L’jlえず、プログラム′「
イEl: Vpの印加時にのみこれらが見えるようにす
る。そのための回路が−1−述の切替回路24、である
。該回路24はダイ側−ド31とショノトギー・バリヤ
・ダイオード32とがらなり、入力flilJ 1ll
l信号Sc(’)印vn’lf& K Ir、E、w 
4J= fg +7433がダ・rオード32を介しテ
111 jjQ I(CI−E Vcc −HI Tl
f+”、 [if、されており、ダイオード31)ま」
1!1常Vccより低いレベルのイイ号Scに対しては
元金にカットオフしている。向っ1該1d号S Cから
児えるのi7Lり゛イ副−ド31のジャンクシ9ン容1
”il 34のみである。
い、1: l、−i 、1: izt来技両技術論に入
るJ: −−J 【/lsのとj・・す、1洸出しモー
ドで←1、ライン35にI: 約電If:し・ベルVc
cに光眠されている。ところが−この7K 1.1ニレ
ベルVCCの存在により、」ゾロ出しモードにおいでオ
ンし−(i、I’、 (r: 1.’)ない一定flf
 7+に回路2:3内の1ンンジスタl ft台」ン!
’(’−L −(Lまうことがあり、これが問題である
1、この、続出(7モードで?よ例えばツェナー1(牡
、(3Vのソゴナーダ・fオード:37により、核トノ
ンジスタ:(Ii lJ本来オンのコ’F −:E −
z: ;p>す、グIコグラノ、回h′l′821をば
トっで11J4!1山す←1:う/rことv」〃い筈で
あ2.(、 然し4J +14 (rl i・41、イーのトラン・
ジスク;30が謬7:)l+[。
モート’ lVjに;4ンしでしまうことが・わイ)。
これ(18亥トランジメタ:16(ラデラルL)N L
’ fi・¥、iW ’S:イCイ)のベースi’it
i威1、方U(あ2)絶縁膜中にもともと7j吐i 1
. テ’vr 6 不、I′JIl物着しく vJJp
、 !itsから侵入する不Xl1l物絶Ul: Il
q (1) l−111’l l’こ’ イ;4 y、
’f−のド側に一イオ7 示1’j電し、この〜イ」ン
に引き′訂すらノ1て1)形のチ鬼・ネル量形1戊ノ°
イ)ものと考え1−)Iし〔(ハる。なお、トランジス
タ:3 (jがラデラル1)NP41′も“iil k
な−J−〇d1定+!?、 iM、f!’jl Its
; 金47&trlaする−にでft1i明であるから
ζ′ある。
こび)λ青果、++1ji−+己P形のブー千゛洋ルの
J[力戊に、1−って兄かしJ」−トランジスタ36)
Jyオンとなってしまう。
この見かけ」−のチャネル(」図中の点X、’i) :
1 (’+’で表わさlじこおり、]111常、この現
象をチャネル1牛のリークと称している。このチャネル
性のリーーりを排除する/こめに、?メを米は、2テ2
ルP IN P IA¥逍のトランジスタ、16 K 
%Jし、そのベース領域−にの前記の絶に、ぜこ膜をJ
、I−ミンタ゛r1極で覆うということが行われている
。このエミッタ電極は<KL を図に示すとおり、胱出
しモード時は’、ii源1t [lE Vccに保時さ
れているから、υり記の一イオンは絶′縁龜の上側に引
きγrせられ逆にそのト’ +1llI Pこ→・fオ
ンが帯電すゐことり(二なり、このトイオン(てよって
Tl1l己千ヤ′−トルfi N )r;のチャネルと
々す、不凍なチャネル性リークの形l+Qを排除す乙。
然しながら、このような手7にで0、既述のようにベー
ス領域上方の絶線膜をエミッタ電極で十分VC葆わなけ
ればならないことから、隣“接コレクク′1u極もベー
ス領域から十分、:I、l去かったところに置かれるこ
とンこなる。エミッタ・tt 1ffiと核1μ[接コ
レクタ1(■極の接触を防止するためである。
このことから、トランジスタ36の占有スペースC」か
・′i′、り人と72:る0い)’ :l 1. Kし
ても、+7. R1,! Ill ’li″()lis
決のために、I!34fスペー2、の入さいトランジス
タ3 ti tltlいノj:ければl’f l)ず、
L−1,−にノトランジスタ;口iはピノ日;’if 
f+Jに対1r>して多、Lり配列されるもび)であ、
5/Cべ′)、1−’ 1屯(’) ivlの1冒i 
1i4、.1古化を1ili害し7゛Lいゐというのが
、従米肢pl:fに1?けべ)づべ点どなってい・<)
・) (4)発明の目的 木′)へ明r、l: l−記欠点を解消することのでき
るll+、j、、亨1木5己・11ジME It’CI
’>ける切替回b1各’<1星で6すること全目的とj
−ろもので攻)る。
(5)発明’−’ 、1’i+71+見上+iti 1
1的にでrtσ)イ【発明は、機能的にげう13〕図の
切替回b’l 271と全く同じで、7)〕りながらf
fJh出しモード時で+、lライン:15に゛IIL諒
□l匡1にV(二Cが印J用されない、Lうに、−)よ
りriii記1ヤネル1′1−のリークが4勺つだとじ
Cイ、l・ノンジスメ:3 ii金g<ロト(′こンJ
−ンさせることの、りfい1刀紀く回17、Sとしたこ
と’1−11’:111交とするものである。
(6)発明の実施例 第2図は不発明に係る切替回路の原Iコ(41イ成を示
す図である。本図においで、44が本発明に係る切替回
路であり、第1図の切V回路241・こ対応する。その
他25 、2jおよび35はぞlしぞ7t12イ;述の
jul+御端子、定電流回路およびラインである。切替
回路44けスイッチ累−子41を倉んでなり、成源串’
、 lf Vccはスイッチ素子41の前段に印/Jl
lさItている。このため、スイソー7−累子41がオ
フである限り、第1図のトランジスタ36にlit源’
4LVccが印力[1されることはなく、nil記のチ
ャネル曲リークが生ずる状jDI VCtitjかれた
としてもuS1図のプログラノ・回路21にベー゛ス成
it+Eが111’&fきiするとい−うU(態r、1
発生しfnない。このスイッチ素子41のオン・オフ駆
動を行うのは回路42であり、回路42はilL[1:
検出素子43によって1lill tllさ7’Lる。
制斜嬬子25へ印加き扛る1t号が通常の人)月IJ1
]餌1イ1イ号Scで・われげ、回it!442はスイ
y f−7E、子41をオフする。1.うに働きかける
。逆に、ili!I 1fl(Iゾ1iii子25ヘプ
ログラム制御41屯圧vpが印)Jllさnるときは−
ぞ、のi1泥11.レベル(2oV[:(寅出し〜スイ
ッチ素子・11合刈ンするよう(’i’: trill
きかQ]、定′(1tかL回り!ii23 ’a: i
’+I判1r ’))s ILツにしてゾログラノ、回
路21を動作さ4!る。
Q43 +z<II;I: ’X521*Iノ原理絹1
.IE 奮J’JI IL 4L、 L、J−一方h1
[1例、1?[び−Uの周辺回Thj、!i :9:示
J回路し′1であ2川本図にト・いで、l、、JJ +
!j−回路44は図示の4f’7 Qiンをなし、第2
図のスイノー/メζイ4 ’I tj:出)月9トラン
ジスク52にs++必し、’tlj’、 LLl天川L
j1者を・甘め一1χ1本とし゛で゛リイリーくタイ1
41戊イi、−;5r: ’i−o/こ/ど↓−5Cl
しら1 ランジスタのボII台量111矛、′fム+:
i’+勺に一すイリスタイ7’i l+7−f i’、
l l、 i+−のであ−)で、Qi i/(瞳、15
2図のスイッチ素子11.1をシーイリスd’ −Ci
i<j l央t、 le−)と+1異なる0、父、ξ、
こしζ′リイリスタを11:1かなけノLげ/′cらl
い必バ(;訃も無い。+Jili己市1111曵出累子
43(第2(刈)げツ、−ナーダイ刃−ド37/ハr、
 y;二る。このツェナーダイオード37tj、 #Y
7 VC第1図の定電iir、 回L’s 2 :3中
11CB’、1 &ノImp 7’L ”L L’)だ
もの分、(刀侍旧月1!fiJ坦−へ花5設し/こもの
び・1りり、例えばfi Vのツェーノ°−’m、−用
をイ■)−1)Of’[’、 @4)て第:3図中の’
ill ifi: l+jf、回路:2;白)J i、
Cば(131図の回回1’1123 titに示すツェ
ナーダイオードが設けられていない。
′!1+J4図において、トランジスタ511?よび5
2が、−47する/ζめにtJ−先ずトランジスタ51
がオンしなIr)’ :I’L、 tf lr !っ:
f、い。トランジスタ51が、4ンするAぬりこけ、f
t1iJ ?+11端子25からトランジスタ51の−
r−ミッタならびにベース、芒ら(rt: hJソ、−
リーダー(オー1−’ 37を経由してi!’l:れる
トリガー71tlfltが必要である。然しなから、β
′孔川しモード時の人力+1iiJ jl111iイ+
1VSCけそのツェナーダイオード;17のツェナー′
1IcI域に至る程の電L1−レベルしかゼしておら〕
2、トランジスタ51を2Iンに”することかできない
。従っ−Cトランジスク52もオフの′ままで45る。
このよ″)l状態下で11、制ωII 4A子25から
見えるの&Ji I・ランジスタ51のエミッターベー
ス間のイ≠51311’のみであり、しかも−tの仙p
+li’+はンヨノ]・ギー・バリヤ・ダイオード;3
2を−)1して電源113:FJ: Vccに′Ij1
′、Yされている。こt′−に:r、第1図レコオ・い
て同43Aの4;−ド丁で、ジャンクション゛?; h
J 34しか見えずし7かも−も−の110y!14が
ショット・λ−・バリヤ・り“イメード:(2金弁して
r匠1源市圧Vcc VC保持され−Cいるのと全く等
n川である。然し、その’lit源電圧Vccは、α目
間においてその丑ま定1&L流回路23にまで印JJI
11されてしまい、n:1g己チャネル1生のリークに
よってトランジスタ36を誤ってオンにj〜でし−まう
ことがあった。ところが、第3図の回路によれば、その
IIL源’iLL LE Vccが、トランジスタ52
(今一オフになっている)によってしゃ断され一定71
161[:回路23にまでには及げず、ライン\ 35tj: h′3地レベルに保fctする。従って、
トランジスタ36全、該チャネル性のリークによって誤
ってオンにすることはあり得ない。ま/こ制呻端子25
に接続さ)tだラテラルPNP )ランジスタ51は1
個のみであるの、で、エミッタル極を大とする等チャネ
ル性リーク対策を1−分に施したものでも、全体ノ41
!梢VIW Ill’ Ic J、える影−汀r:J:
 小す<、問題にはならない。
一方、tlj色・ケモード時には、1■蒼いプログラム
電LL、 V[)が制ji111端子25に印/711
されるから、トランに ジスタ51のエミッターベースならびにダイメート37
を+In t、てトリガー電流がblEれ、該トランジ
スタ51をオンにする。これと共にトランジスタ52に
ベース)It filEが供給され?、iLヲオンにす
る。
一旦、トランジスタ51および52がオンすれば、その
ようなトリガー電流なしに、そのオン状態を維持する。
ただし、プログラム電圧Vpが消滅すれば元のオフ状態
に遷移し“Cしまり。
トランジスタ52がオンすれば、既述の寄生容階33を
充電すると共K、定lに副回路23′を能動状態にし、
プログラム回路21を動作状ρ(1にする・ことによっ
て出力端子18からプログラム′WL流をメモリセルに
供給することが可能となりデータの四込みを行うことが
できる。
かくの如く、チャネル性のリークの形成の有無を全く気
にする必要がないから、ラテラルPNP構造のトランジ
スタ36に対し既述したような対策(そのチャネル部分
に相当する絶縁膜をその工ξツタ電極で覆うこと)は全
く不要となる。従って該トランジスタ36の占有スペー
スが大となるという既述の欠点0解消されることになる
17)・発明の効果 以」−説明し/こように本発明によれば、従来に比して
若干の素子を追カnするのみで、トランジスタ36の占
・(rスペースを縮小でき、例A−ばp a o Mの
1衡集梢化にイエ効となる。
4、図1而の簡t’li 7i:、況明第1図は一般的
& P It OMの回路構成を示す回路図、第2図t
よ本発明に係る切替l凹路の原J!II横す叱を示す図
、第3図は第2図の原理構成を具体化した一実施例およ
びその周辺回路を示す回路図である。
11・・・・・ビット線、12・・団・ワード線、13
・・・・・・メモリセル、21・・・・・・プログラム
回路、23.2:う′・・・・・・定I「1flt、回
路、24.4/I・・曲・1;υ替回路、25・・・・
・・制御端子、32・・・・・ショットキー。
バリヤ・ダイオード、36・・・・・・トランジスタ、
37・・・・・ツェナーダイオード、41・・・・・・
スイッチ素子、42・・・・・・1イ王検出回路−43
・・・・・・電圧検出X子、51・・・・・・入力側ト
ランジスタ、52・・・・・・出力側トランジスタ。
手続補正書 昭和58年?月/口 特許庁長官 若 相和 夫 殿 1、事件の表示 昭和57年 特許願  第111536号2゜発明の名
称 半導体記憶装置 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 名称(522)度士通株式会社 4、代理人 (外3 名) 5 補正の対象 [1)  明細1゛の「特許請求の範囲」の欄(2)明
細書の「発明の詳細な説明」の欄(3)図面(第2図) 6、補正の内容 (11明細書の「特許請求の範囲」の欄七刃11紙のと
おり補正し貫す。
(2)明細書の1発明の詳細な説明」の欄を次のとおり
補正します。
(7)第4頁第1行目 r 入力ftjllfll(lo号Sc (D j k
 lr 入力?)tll#(FJ号Sc(電圧Vsc 
)の」と補正します。
(イ)第4頁第7行目 [プログラム制候電圧]を「プログラムIll@V電圧
Jと補正します。
(つ) 第5頁第17行目 [出力端子18 J’u入出力端子18」と補正します
に)第8頁第19行目 [定電流回路を構成する上で簡明である力・らである。
」ヲ「定電流回路23を構成する上で簡単であるからで
ある。」と補正します。
(71う 第1O頁第17行目 「給体に」全「絶対に」と補正し着す。
(力)  第 12頁第8行目 「出力段」全「出力仰(」と袖正します。
(=@  第12頁第9行目 「電圧検出回路」を「電圧検出素子」と補正し甘す。
り)第13頁第2行目 「第4図」を「第3図」と補正します。
(勺 第13頁第9行目 r VScは」をIrScはjと補正します。
(コ)第14頁第8行目 「定電流回路23」を「定電流回路231」と補正しま
す。
関 第15頁第10行目 [出力端子18 J(zF入出力端子18J]と補正し
ます。
(3)  図面(第2図)を別紙のとおり補正します。
1、 複融のビット線と、複数のワード線と、これらビ
ット線およびワード線の各交点毎に設けられるメモリセ
ルと、これらメモリセルのうちの選択さ た1つに対す
るデータの書込み金行うために該ビット線毎に設けられ
るプログラム回路と。
これらプログラム回路のうち前記の選択されたメモリセ
ルに対応する該プログラム回路に駆動電流全供給する定
電流回路と、前記の書込みの除該定it流回路に印加す
べきプログラム制御電圧Vp ’に受信し、且つ該書込
みの際以外のときには入力制御イぎ号Scを受信する制
御端子と、該制御端子と前記定電流回路との間にあって
前記書込みの際にのみ前記プログラム91;j御電圧V
pが該定′亀流回路に与えられるようにする切替回路と
t含んでなるプログラマブル半導体記憶装置であって、
前記切替回路は前記制御端子および前記定VJtK回路
の間に挿入されるスイッチ素子を含み、該制御端子への
印加電圧レベルが前記入力制御信号Scの電圧Vsc工
り高く前記プログラム制御電圧Vpより低い所定の′心
圧Vy、 (Vsc(Vy(Vp )を超えたときにこ
れ全検出して前記スイッチ素子をオンにし。
下に保持するようにしlζことを特徴とする半導体記憶
装置。
2 前記スイッチ素子は前記制御端子に接続する入力側
トランジスタと前記定電流1r!1路に接続する出力側
トランジスタとが全体としてサイリスタ構成をなすよう
にしてなり、前記電圧Vy、は該入力側トランジスタの
ベースに接続され且つ前記入力制御信号Scの電圧Vs
cより高く、プログラム制御電圧Vpより低いツェナー
電圧金有−するツヱナーダイオードにLり設定してなり
、且つ該入力側トランジスタのベースには常時電源電圧
Vccがダイオード全弁して印加される特許請求の範囲
第1項記載の半導体記憶装置。
$2図 4白

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 】、複数のピント線ど、複数のワード線と、これらピッ
    ト線お二び一ワード線の各叉点毎に設けられるメモリセ
    ルと、こ扛らメモリセルのうちの選択された1つに対す
    るデータの計込みを行うために核ビット線毎に設けられ
    るプログラム回路と、これらプログラム回路のうち前記
    の選択されたメモリセルに対応する該プログラム回路に
    駆動tKfA(。 を供給する定電流回路と、前記の書込みの際該定’FI
    L m回路に印/I11スヘきプログ7 ムfli!j
    御Ta1l−vpを受信し、又d、該泪込みの際以外の
    ときに幻人力訓1il′ll信りScを受信する制御Q
    ::A子と、該制商1端子と前記定t11m、回路°と
    の間にあって酌1記11i:込みの際にのみ前記プログ
    ラム制?lll1宙川−二Vpが該定゛1ば、b1シ回
    路に与えらgるようにする切替回路とを含んでなるプロ
    グラマブル半導体記憶装置1qであって/ +iiJ記
    切替回路は前記制御端子および前記定′1肛流回路の間
    に挿入されるス・rソチ累子を昔み、該fli制御:’
    :Af子への印加11イII−レベルが前記入力側h1
    11信号SCのj(i、 LIEVscより11+ <
     ’nil記プログラム制rail )it El: 
    Vpより低い所定ノ′tlill: VZ、 (VSC
    <VZ <Vl) ) ’t:+I’f4エタトiaに
    こiL全倹11目、 −Cnil記スーfソチ素子をメ
    ンにし、前tll′、プロゲラ−1−11ilJ萌1端
    子から前記定1d1γAL回路を駆動するTlf、川を
    与えるJ:うにしたことを特徴とする半導体H(コ1.
    は装置、。 2、 前記スイッチ素子は前記1li11 jll痛子
    に接続1する入力側トランジスタど前記定[I尤m回路
    に1妾続する出力側トランジスタとが全体としてサイリ
    スタ構成をなす41:うeこしてなり一前記+tCJf
    : Vzは該入力端トランジスタのベースに接続され目
    つ前記入力端で1lllイ11号b Cの′屯田Vsc
    より1η1く、プログラム制御1旧−I:Vpより低い
    ツェナー成用4−[fするツLナーダ・イオードにより
    設定してなり、]コつ該入力端トランジスタのベースに
    はliK時llt源if(、圧Vccがダイメートを介
    して印υ11される特許n?J求の範囲第1項6山11
    (の半導体記(、!it装置。
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