JPS5922148B2 - 電子工業用セラミツクス焼成用窯道具 - Google Patents
電子工業用セラミツクス焼成用窯道具Info
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- JPS5922148B2 JPS5922148B2 JP52037781A JP3778177A JPS5922148B2 JP S5922148 B2 JPS5922148 B2 JP S5922148B2 JP 52037781 A JP52037781 A JP 52037781A JP 3778177 A JP3778177 A JP 3778177A JP S5922148 B2 JPS5922148 B2 JP S5922148B2
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はセラミックスコンデンサー、圧電体、半導体、
フェライトなどの電子工業用セラミックスを焼成する際
使用するセッター（敷台）などの電子工業用セラミック
ス焼成用窯道具に関するものである。
フェライトなどの電子工業用セラミックスを焼成する際
使用するセッター（敷台）などの電子工業用セラミック
ス焼成用窯道具に関するものである。
従来のこのようなセッターなどの窯道具はジルコニア質
、マグネシア質、アルミナ質のものであるが、使用回数
が増すにつれて被焼成物と窯道具とが反応を起し、反応
生成物が被焼成物中に拡散することによって電気特性、
磁気特性が損われる。
、マグネシア質、アルミナ質のものであるが、使用回数
が増すにつれて被焼成物と窯道具とが反応を起し、反応
生成物が被焼成物中に拡散することによって電気特性、
磁気特性が損われる。
そして、近年の電子工業分野の技術の高度化に伴い部品
として用いられるゼラミックス材料には優れた特性と信
頼性が要求されており、上記したような電気特性、磁気
特性が損われるようなことはその生産上大きな問題であ
って、その解決は業界に要望されるところであった。
として用いられるゼラミックス材料には優れた特性と信
頼性が要求されており、上記したような電気特性、磁気
特性が損われるようなことはその生産上大きな問題であ
って、その解決は業界に要望されるところであった。
本発明はこのような要望に応えるためになされたもので
、粗粒子と微粒子とマトリックスが入りまじった組織を
有する電子工業用セラミックス焼成用窯道具において、
粗粒子は主としてジルコニア粒子、マグネシア粒子、ア
ルミナ粒子の１種以上からなり、微粒子およびマトリッ
クスは被焼成物とほぼ同一化学組成のものよりなること
を特徴とするものである。
、粗粒子と微粒子とマトリックスが入りまじった組織を
有する電子工業用セラミックス焼成用窯道具において、
粗粒子は主としてジルコニア粒子、マグネシア粒子、ア
ルミナ粒子の１種以上からなり、微粒子およびマトリッ
クスは被焼成物とほぼ同一化学組成のものよりなること
を特徴とするものである。
なお、ここにいう粗粒子とは粒子径が８８μを超える粒
子をいい、微粒子とは粒子径が８８μ未満の大きさで顕
微鏡下で粒子として認められるものをいい、粗粒子と微
粒子との間を埋めるものをマトリックスといい、焼成体
の組織はこの三者よりなっているものである。
子をいい、微粒子とは粒子径が８８μ未満の大きさで顕
微鏡下で粒子として認められるものをいい、粗粒子と微
粒子との間を埋めるものをマトリックスといい、焼成体
の組織はこの三者よりなっているものである。
本発明におけるジルコニア粒子としては完全安定化ジル
コニア粒子、部分安定化ジルコニア粒子または高純度ジ
ルコニア粒子が適宜用いられ、マグネシア粒子としては
海水マグネシアクリンカ−または電融マグネシアクリン
カ−が用いられ、アルミナ粒子としては焼結アルミナ流
子または電融アルミナ粒子が用いられる。
コニア粒子、部分安定化ジルコニア粒子または高純度ジ
ルコニア粒子が適宜用いられ、マグネシア粒子としては
海水マグネシアクリンカ−または電融マグネシアクリン
カ−が用いられ、アルミナ粒子としては焼結アルミナ流
子または電融アルミナ粒子が用いられる。
また、被焼成物とほぼ同一化学組成の微粒子およびマト
リックスとしてはＢａＴｉＯ３，Ｓ ｒＴｉ０３． Ｆ
ｅ２０３−ＮｉＯ−ＣｕＯ−ＺｎＯ−Ｍｎ０２系、Ｃｏ
０−Ｆｅ２Ｏノ’、、ＢａＯ−Ｆｅ２Ｏ迷、ＰｂＯ−Ｚ
ｒ０２−ＴｉＯ２系のものとするが、窯道具中の微粒子
およびマトリックスの組成と被焼成物の組織とを同系の
ものに組み合わせたものとする。
リックスとしてはＢａＴｉＯ３，Ｓ ｒＴｉ０３． Ｆ
ｅ２０３−ＮｉＯ−ＣｕＯ−ＺｎＯ−Ｍｎ０２系、Ｃｏ
０−Ｆｅ２Ｏノ’、、ＢａＯ−Ｆｅ２Ｏ迷、ＰｂＯ−Ｚ
ｒ０２−ＴｉＯ２系のものとするが、窯道具中の微粒子
およびマトリックスの組成と被焼成物の組織とを同系の
ものに組み合わせたものとする。
本発明において粗粒子を主としてジルコニア粒子、マグ
ネシア粒子、アルミナ粒子の何れか１種以上とするのは
、これらのものが強度大で入手しやすい汎用骨材である
からであるが、このような粗粒子中に例えば被焼成物と
ほぼ同一の化学組成の粗粒子を多少混入しても格別の影
響がないことにもよる。
ネシア粒子、アルミナ粒子の何れか１種以上とするのは
、これらのものが強度大で入手しやすい汎用骨材である
からであるが、このような粗粒子中に例えば被焼成物と
ほぼ同一の化学組成の粗粒子を多少混入しても格別の影
響がないことにもよる。
また、本発明において微粒子およびマトリックスを被焼
成物とほぼ同一化学組成のものよりなるものとした理由
は次のとおりである。
成物とほぼ同一化学組成のものよりなるものとした理由
は次のとおりである。
即ち、本発明者の知見によれば、従来の窯道具において
は、ジルコニアまたはマグネシア或いはアルミナのほか
にカルシア、無水珪酸、チタニア、酸化鉄などを粗粒子
としても、微粒子としても含むものであり、それらのう
ちのカルシアまたは無水珪酸の微粒子およびマトリック
スは窯道具として使用中に受ける加熱によって被焼成物
との接触部に逐次拡散してゆき、使用回数が重なるにつ
れて窯道具の表層部にはカルシア、無水珪酸が富化され
てゆき、このものと接触する被焼成物にまで拡散して電
気、磁気特性を害するものと解せられるところであるが
、本発明においてはこれらの感作用を及ぼすカルシア、
無水珪酸の微粒子を含有せず、結合剤の役目をする微粒
子およびマトリックスは被焼成物とほぼ同一化学組成を
有する同系の微粒子およびマトリックスのみよりなるも
のであるから、加熱により微粒子およびマトリックスが
拡散して被焼成物に混入しても被焼成物と同系のもので
あるために電気、磁気特性を害することは少ないもので
ある。
は、ジルコニアまたはマグネシア或いはアルミナのほか
にカルシア、無水珪酸、チタニア、酸化鉄などを粗粒子
としても、微粒子としても含むものであり、それらのう
ちのカルシアまたは無水珪酸の微粒子およびマトリック
スは窯道具として使用中に受ける加熱によって被焼成物
との接触部に逐次拡散してゆき、使用回数が重なるにつ
れて窯道具の表層部にはカルシア、無水珪酸が富化され
てゆき、このものと接触する被焼成物にまで拡散して電
気、磁気特性を害するものと解せられるところであるが
、本発明においてはこれらの感作用を及ぼすカルシア、
無水珪酸の微粒子を含有せず、結合剤の役目をする微粒
子およびマトリックスは被焼成物とほぼ同一化学組成を
有する同系の微粒子およびマトリックスのみよりなるも
のであるから、加熱により微粒子およびマトリックスが
拡散して被焼成物に混入しても被焼成物と同系のもので
あるために電気、磁気特性を害することは少ないもので
ある。
次に、セッター（敷台）として、従来品Ａと本発明品Ｂ
とを使用してチタン酸バリウム半導体を焼成し、この被
焼成物の比抵抗値が使用回数の増すのにつれてどのよう
に変化するかを実験した結果を図面に示す。
とを使用してチタン酸バリウム半導体を焼成し、この被
焼成物の比抵抗値が使用回数の増すのにつれてどのよう
に変化するかを実験した結果を図面に示す。
なお、従来品Ａは粗粒子、微粒子共にカルシア４〜６係
、無水珪酸０．５〜１係、僅少量のアルミナ、チタニア
、酸化鉄を含有した安定化ジルコニア質のものとし、本
発明品Ｂは安定化ジルコニアの粗粒子と、チタン酸バリ
ウムの微粒子およびマトリックスよりなるものとした。
、無水珪酸０．５〜１係、僅少量のアルミナ、チタニア
、酸化鉄を含有した安定化ジルコニア質のものとし、本
発明品Ｂは安定化ジルコニアの粗粒子と、チタン酸バリ
ウムの微粒子およびマトリックスよりなるものとした。
この実験結果によると、本発明品Ｂを使用した場合の被
焼成物の比抵抗値は小さくて所要の比抵抗値を有し、使
用回数が増加しても従来品Ａを使用した場合のように比
抵抗値が増大することがない。
焼成物の比抵抗値は小さくて所要の比抵抗値を有し、使
用回数が増加しても従来品Ａを使用した場合のように比
抵抗値が増大することがない。
また、微粒子を被焼成物とほぼ同一化学組成のものとす
るため融剤作用をうけて窯道具の焼成温度が従来のもの
の１７００℃より１４００℃に低下するため焼成時の曲
り、反り、亀裂が減少し、窯道具自体を生産する際の焼
成歩留も向上するものである。
るため融剤作用をうけて窯道具の焼成温度が従来のもの
の１７００℃より１４００℃に低下するため焼成時の曲
り、反り、亀裂が減少し、窯道具自体を生産する際の焼
成歩留も向上するものである。
本発明は蒸上のように、電子工業用セラミックス焼成用
窯道具の耐火物としての結合組織である粗粒子と微粒子
とマトリックスが入りまじった組織における骨材として
の粗粒子以外の微粒子とマトリックスを被焼成物である
電子工業用セラミックスとほぼ同一化学組成のものとす
ることによってこれらが使用中に被焼成物に拡散混入し
ても従来のこの種窯道具が使用中にカルシア、無水珪酸
などを被焼成物に拡散させることによって生じさせてい
た電気特性、磁気特性の劣化がないものとしたものであ
り、しかも、窯道具自体の焼成温度を低下させることが
できて焼成歩留も向上されるモノであって、生産性向上
にもたらすところきわめて大なものである。
窯道具の耐火物としての結合組織である粗粒子と微粒子
とマトリックスが入りまじった組織における骨材として
の粗粒子以外の微粒子とマトリックスを被焼成物である
電子工業用セラミックスとほぼ同一化学組成のものとす
ることによってこれらが使用中に被焼成物に拡散混入し
ても従来のこの種窯道具が使用中にカルシア、無水珪酸
などを被焼成物に拡散させることによって生じさせてい
た電気特性、磁気特性の劣化がないものとしたものであ
り、しかも、窯道具自体の焼成温度を低下させることが
できて焼成歩留も向上されるモノであって、生産性向上
にもたらすところきわめて大なものである。
実施例 １
粒子径が８８μを超える完全安定化ジルコニアの粗粒子
７０係と、粒子径が８８μ未満の５ｒＣ０３とＴｉＯ２
の等モル混合物の仮焼微粒子およびマトリックスの３０
係とが入りまじった組織のｓ９．、、ｍ角、厚さ３．５
ｍｍの大きさのセッターとした。
７０係と、粒子径が８８μ未満の５ｒＣ０３とＴｉＯ２
の等モル混合物の仮焼微粒子およびマトリックスの３０
係とが入りまじった組織のｓ９．、、ｍ角、厚さ３．５
ｍｍの大きさのセッターとした。
このセッターを同大の従来のンルコニア質のセッターと
比較するためにチタン酸ストロンチウムコンデンサーの
焼成に使用した場合の比較試験結果を示せば、次のとお
りである。
比較するためにチタン酸ストロンチウムコンデンサーの
焼成に使用した場合の比較試験結果を示せば、次のとお
りである。
この試験結果によれば、本発明品のセッターを使用した
場合、焼成したチタン酸ストロンチウムコンデンサーは
従来品のセッターを使用した場合に比べて誘電率のバラ
ツキが少なく且つ誘電損失も少ない良好な電気特注をも
ったものとして得られることが知られる。
場合、焼成したチタン酸ストロンチウムコンデンサーは
従来品のセッターを使用した場合に比べて誘電率のバラ
ツキが少なく且つ誘電損失も少ない良好な電気特注をも
ったものとして得られることが知られる。
実施例 ２
粒子径が８８μを超える焼結アルミナ粒子の粗粒子７０
係と、粒子径が８８μ未満のＦ ｅ ２０ ｓ−ＭｎＯ
□−２ｎＯ系の微粒子およびマトリックス３０係とが入
りまじった組織の１２ ｓｇｘ ７８ｍｍ×７ｒ／１ｍ
の大きさのセッターとした。
係と、粒子径が８８μ未満のＦ ｅ ２０ ｓ−ＭｎＯ
□−２ｎＯ系の微粒子およびマトリックス３０係とが入
りまじった組織の１２ ｓｇｘ ７８ｍｍ×７ｒ／１ｍ
の大きさのセッターとした。
コノセッターヲ同大の従来のアルミナ質のセッターと比
較するためにフェライトの焼成に使用した場合の比較試
験結果を示せば、次のとおりである。
較するためにフェライトの焼成に使用した場合の比較試
験結果を示せば、次のとおりである。
この試験結果によれば、本発明品のセッターは従来品の
セッターに比べてその耐用回数が著しく向上することが
知られる。
セッターに比べてその耐用回数が著しく向上することが
知られる。
図面は本発明品と従来品とをセッターとして使用してチ
タン酸バリウム半導体を焼成した場合の被焼成物の比抵
抗値を各セッターの使用回数との関係において示したグ
ラフである。
タン酸バリウム半導体を焼成した場合の被焼成物の比抵
抗値を各セッターの使用回数との関係において示したグ
ラフである。
Claims (1)
- １ 粗粒子と微粒子とマトリックスが入りまじった組織
を有する電子工業用セラミックス焼成用窯道具において
、粗粒子は主としてジルコニア粒子、マグネシア粒子、
アルミナ粒子の１種以上からなり、微粒子およびマトリ
ックスは被焼成物とほぼ同一化学組成のものよりなるこ
とを特徴とする電子工業用セラミックス焼成用窯道具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52037781A JPS5922148B2 (ja) | 1977-04-02 | 1977-04-02 | 電子工業用セラミツクス焼成用窯道具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52037781A JPS5922148B2 (ja) | 1977-04-02 | 1977-04-02 | 電子工業用セラミツクス焼成用窯道具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53123410A JPS53123410A (en) | 1978-10-27 |
| JPS5922148B2 true JPS5922148B2 (ja) | 1984-05-24 |
Family
ID=12507021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52037781A Expired JPS5922148B2 (ja) | 1977-04-02 | 1977-04-02 | 電子工業用セラミツクス焼成用窯道具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5922148B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3301380B2 (ja) * | 1997-06-27 | 2002-07-15 | 株式会社村田製作所 | 圧電セラミック焼結体、圧電セラミック素子、および積層圧電セラミック素子、ならびに圧電セラミック焼結体の製造方法 |
-
1977
- 1977-04-02 JP JP52037781A patent/JPS5922148B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS53123410A (en) | 1978-10-27 |
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