JPS5922047A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは印刷配
線板製造、金属精密加工等に使用する保護被膜形成用の
感光性４１１を脂組成物に関する。

印刷配線板業界において、印刷配線板を製造する際にエ
ツチング、電解メッキなどを行なうための保護被膜９回
路の永久保護、半田向は領域の限定、半田ブリッジの防
止、電気絶縁性の保持、銅導体の腐食防止、化学メツ・
）−などを行なうための保護被膜が使用されている。

これらの保護波膜形成のためにエボギゾ樹脂。

アミノプラスト樹脂などを主成分とする熱硬化性樹脂あ
るいは光硬化性樹脂などが使用されている。これらの樹
脂は印刷インキとして配線基板に印刷されたυ、あるい
は支持体フィルム上に実質的に乾燥した感光性樹脂組成
物の層を形成したいわゆる感光性エレメントとして配線
基板に積層されたのち、加熱あるいは光照射によυ、（
ｆ化し、保護被膜とされている。

近年、１！子機器あるいは電気、電子機器の小型化、軽
量化が進むにつれて配線板回路の高密変化あるいは電気
機器又は電子機器内部の空間の利用が必要となってきた
。

配線基板としてはガラスーエボキ７積層板などに銅箔を
積層した硬質配線基板、ポリイミドフィルムなどに銅箔
を積層したフレキシブル配線基板などがあるが、フレキ
シブル配線基板から得たいわゆるフレキシブル配線板（
以下。

Ｆ’ＰＣと略称する）を用いると電気・電子機器内部の
空間にＦＰＣを屈曲させて装着することができるので電
気・電子機器内の空間を有効的に利用でき、これらの機
器を小型化することができ、更に、硬質配線板に比べ厚
さがはるかに薄く重量が軽いので、電気・電子機器の軽
鼠化に役立つ。

Ｉｉ’　Ｐ　Ｃは、原材料から最終製品に至るまで屈曲
性に富んでいるため、ロール状に巻いておいたり、るる
いはロールなどを使用して連続的に各工程を行なうこと
ができるので作業効率を高め、製品コストを低減するこ
とが出来る。電気絶縁性の保持９回路の永久保護、半Ｌ
ＬＩ付は領域の限定、半田ブリッジの防止、銅導体の腐
食防止などのほか、何度も屈曲させて使用する配線部分
に用いるときに、銅配線の切断を起こりにくくするため
にＩ”　ｉ）　Ｃの銅配線のろる而ｅよポリエステルフ
ィルム、ポリイミドフィルムなどを接着剤で貼り付ける
方法、前述の熱硬化性インク、紫外線硬化型インキなど
をスクリン印刷で印刷したのち熱あるいは紫外線により
硬化させる方法、感光性フィルムをラミネートしたのち
紫外線によｒ）硬化させる方法などにより被覆されるこ
とが行なわれあるいは提案されている。

部品の搭載、半田付けなどを行なうために、被覆があっ
てはならない部分がめるが、配線板の高密度化、高精度
化が要求されてくるに従って。

これらの被覆の位１１＾１合わせも高精度化が必要とな
ってきた。ポリイミドフィルムなどを貼り付ける方法お
よびスクリーン印刷による方法はこの精度が悪いため、
感光性フィルムをラミネートする方法が提唱されている
。

本発明者らは特願昭５５−１３１３２２号に於て、感光
性樹脂組成物を提唱〔またが１本発明は特願昭５５−１
３１３２２号に示された感光性樹脂組成物の屈曲性を改
善するものである。

本発明の目的は、フィルム形成性が良好で。

屈曲性、半田耐熱性、耐溶剤性の優れた感光性樹脂組成
物を提供することにある。

本発明は、（Ａ１２価アルコールと　（１３１イソホロ
ンジイソシアナート、トリメチルへキサメチレンジイン
シアナートおよびリジンジイソシアナートの群から選ば
れる１種または２種以−にのジインシアナートと　（Ｃ
）２価アルコールのアクリル酸モノエステルまたはメタ
アクリル酸モノエステルとを、（Ａ）２価アルコール１
．０水酸基当量△ に対し、（Ｂ）ジイソシアネートを１．２〜１．６イン
シアネート当ｆｆｉ　、　（Ｃ）　２価アルコールのア
クリル酸モノエステルまたはメタアクリル酸モノエステ
ルを０．２〜３．０水酸基当且として反応させて得られ
る反応生成物（１）ならびに活性光によυ遊離ラジカル
を生成する増感剤又は／及び増感剤系（ｎ）を含有する
感光性樹脂組成物に関する。

本発明になる感光性樹脂組成物は、Ｉ（Ａ１２価アルコ
ールと　（Ｉ３）インホロンジイソシアナート。

トリメチルへキサメチレンジインシアナートおよびリジ
ンジイソシアナートの群から選ばれる１種または２種以
上のジイソシアナートと　（Ｃ）２価アルコールのアク
リル酸モノエステルまたはメタアクリル酸モノエステル
とを　（Ａ）２価アルコールの１．０水酸基当量に対し
、（Ｂ）ジ−イソシアネートを１．２〜１．６インシア
ネート当Ｊｉ　、　（Ｃｌｚ価アルコールのアクリル酸
モノニスデルまたはメタアクリル酸モノエステルを０．
２〜３．０水酸基当荒として反応させて得られる反応生
成物を必須成分として含有する。

本発明の上記の囚及び（Ｃ１として使用される２価アル
コールの例としてはエチレングリコール。

ジエチレングリコール、トリエチレングリコールなとの
エチレングリコール系の２価アルコール　グロピレング
リコール、ジグロピレングリコールなどのグロビレング
リコール系の２価アルコール、１．４−ブタンジオール
、１，３−プタフジオール。２，３−ブタンジオール、
１．５−ベンタンジオール、１．６−ヘキサンジオール
、１゜１０−デカンジオール、才、オベンチルグリコー
ル、１，４〜シクロヘキザンジメタノール、ビス（２−
ヒドロキシエチル）テレフタレート、ビスフェノールＡ
とエチレンオギサイドあるいはプロピレンオキザイドと
の付加反応により得られる種々の２価アルコールなどが
あυ、これらの単独もしくは混合物が使用される。（Ｃ
１の２価アルコールのアクリル酸モノエステルまたはメ
タアクリル酸モノエステルの例としては２−ヒドロキシ
エチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタアクリ
レート、２−ヒドロキシプロヒルアクリレート、２−ヒ
ドロキシエチルメタアクリレートなどがあり７これらの
単独もしくは混合物が使用される。

囚の２価アルコールと　（Ｃ１の２価アルコールは同一
の２価アルコールを用いても異なる２価アルコールを用
いてもよい。

本発明に使用されるジイソシアナートはイノホロンジイ
ンシアナート、トリメチルへキザメチレンジイソ７アナ
ートおよびリジンジイソシアナートの群から１種又は２
種以上が選ばれる。

リジンジイソノアナートは公知の化合物であり１例えば
アミノ酸の１種であるリジン（１，５−ジアミノペンタ
ン−１−カルボン酸）のカルボキシル基をメタノール、
エタノール、ブタノール等の低級アルコールでエステル
化したのち。

ホスゲン等を作用させてアミン基をイン／アナ−１・基
に変成して得られる２価のインシアナート化合物をいい
１例えば東し■製Ｌｌ）Ｉ−１Ｍ１００（２，６−ジイ
ツシアネートカプロン酸メチル）がある。

本発明においては、（Ｂ）ジイソシアナートは（Ａ）２
価アルコール１．０水酸基当量に対して。

ハ １゜２〜１．６イソシアナート当量の範囲内で使用され
る。イソシアナート基量が１．２未満では分子層が大き
くなυ１１反応生成物中反応性不飽和基の濃度が低くな
るため、耐溶剤性、半田耐熱性などが悪くなるからであ
る。イソノアナート当量が１．６を超えると反応生成物
の分子量が低くなるため１反応生成物中の反応性不飽和
基の濃度が高くなり、架橋密度が高くなり屈曲性が悪く
なる。

（Ｃ）　２価アルコールのアクリル酸モノエステルまた
はメタアクリル酸モノエステルは　（Ａ）２価アルコー
ルの１．０水酸基当ｉＫ対しで、０．２〜３．０水酸基
当：ｆｉｌ−の範囲内で用いられる。水酸基当量が０．
２未満の場合は反応生成物中の反応性不飽和基の濃度が
低くなるため耐溶剤性、半田耐熱性などが悪くな、９，
３．０を超えるとイソシアナート基と反応しない２価ア
ルコールのアクリル酸モノエステルまたはメタアクリル
酸モノエステルが多くなるため耐溶剤性、半田耐熱性な
どの特性が悪くなるからである。

本発明に使用される反応生成物の合成は　（１）囚２価
アルコールと　（Ｂｌジイソシアナートとを反応させた
のち　（Ｃ）２価アルコールのアクリル酸モノエステル
またはメタアクリル酸モノエステルを反応させる方法　
（２１（１３１ジインシアナート（！：　　（Ｃ１２価
アルコールのアクリル酸モノエステルまたはメタアクリ
ル酸モノエステルを反応させたのち　（Ａ）２価アルコ
ールを反応させる方法。

（３１４Ａ１２価アルコールと　（Ｃ）２価アルコール
のアクリル酸モノエステルまたはメタアクリル酸モノエ
ステルの混合物と　（Ｂｌジイソ／アナ−１・を反応さ
せる方法などで行なうことができる。

この反応生成物はトルエン、メチルエチルケトン、酢酸
エチルなどのようなインシアナート′と反応しない溶剤
を用いて合成することができるが、溶剤を使用しなくて
も合成できる。

本発明に使用される反応生成物の合成は一般に室温ない
し１５０℃の温度で行なわれるが。

特に温度の制限はなく、アルコールとイソノアナートの
反応促進剤としてジブチルチンジラウレート、第３級ア
ミンなどを密着性、・・ンダ耐熱性などの特性を損ねな
い範囲内で使用しでも差し支えない。

本発明の感光性樹脂組成物は活性光により遊離ラジカル
を生成する増感剤又は／及び噌感剤系を必須成分として
含有する。使用できる増感剤としては、置換または非置
換の多核キノン類。

例えば２−エチルアントラキノン、２−１−ブチルアン
トラキノン、オクタメチルアントラキノン、１．２−ベ
ンズアントラキノン、２．３−ジフェニルアントラキノ
ン等、ジアセチルおよびベンジル等のケトアルドニル化
合物、ベンゾイン、ビバロン等のα−ケタルドニルアル
コール類およびエーテル類、α−炭炭化水素置換芳香族
アシロイン類例えばα−フェニル−ベンゾイン、α、α
−ジェトキシアセトフェノン等、ベンゾフェノン、４．
４’−ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等の芳香族
ケトン類を例示でき、これらは単独でも組合せてもよい
。使用できる増感剤系としては２，４．５−）リアリー
ルイミダゾールニ量体と２−メルカプトベンゾキナゾー
ル。

ロイコクリスタルバイオレット、トリス（４−ジニチル
アミンー２−メチルフェニル）メタン等との組合せを例
示できる。また、それ自体で光開始性はないが前述した
物質と組合せて用いることによシ、全体として光開始性
能のより良好な増感剤系となるような添加剤を用いるこ
とができる。例えばベンゾフェノンに対するトリエタノ
ールアミン等の三級アミンなどである。

これら増感剤または／および増感剤系は前自己の反応生
成物に対して０．５〜１０重鼠４重含４されることが好
ましい。

本発明の感光性樹脂組成物は、ｐ、に他の′Ｘ、ｔ１ｉ
：合性不飽和化合物不飽和化合物とも可能である。

他の光重合性不飽和化合物の例としてはアクリル酸、メ
タアクリル酸、β−ヒドロキ／エチルアクリレート、β
−ヒドロキシエチルメタアクリレートなどの光重合性不
飽和単量体、トリメチロールノ”ロパントリアクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリーｒクリレー１−　、デ
トラエチレングリコールジアクリレ−１・等を挙げるこ
とが出来る。また１％開昭５３−５６０１８号に示され
る光重合性不飽和化合物音用いることが出来る。これら
の他の光重合性不飽和化合物の含有量は密着性、半田耐
熱性、屈曲性などのバランスから前述の反応生成物に対
して１０重３ｉ％以下であることが好ましく、ｓｌｌ嵐
裂以下であることが特に好ましい。他の光重合性不飽和
化合物は耐溶剤性、密着性などの他のＩＰＭ性をさらに
向上するために添加しうるが１分子内にリン酸基を含む
アクリル酸エステルまたはメタアクリル酸エステルは形
成される半田マスクと配線基板との密着性をさらに向上
するために好゛ましい。

分子内にリン酸基を含むアクリル酸ニスデルまたはメタ
クリル酸ニスデルとしては日本化薬■製のＫＡＹＡＭＥ
Ｒ■シリーズのＰＭ−１、ＩＩＭ−２，１ＪＡ−１また
はＰＡ−２，油脂製品■製のホスマーＭ■（アシッドフ
ォスフオキシエチルメタクリレート）。

ホスマーＣＬ■（３−クロロ−２−アシッドフォスフオ
キシプロピルメタクリレート）等がある。これらの分子
内にリン酸基を含むアクリル酸エステルまたはメタアク
リル酸エステルの含有量は前述の反応生成物に対して０
．０１〜５重Ｍ−％が好ましい。

更に９本発明の感光性樹脂組成物はさらに他の副次的成
分を含有することができる。副次的成分としては熱重合
防止剤、染料、顔料、塗■性向上剤、充填剤、粘着付与
剤等でありこれらの選択は通常の感光性樹脂組成物と同
様の考慮のもとに行なわれる。

本発明の感光性樹脂組成物は支持体フィルム上に担持さ
れた感光性エレメントとして使用できる。かかる感光性
エレメントは支持体フィルム上に上記で詳細に説明した
感光性樹脂組成物の）＠を形成することにより得られる
。支持体フィルム上への感光性樹脂組成物の層の形成は
常法により行なうことができる。たとえば感光性樹脂組
成物をメチルエチルケトン、トルエン。

塩化メチレン等の有機溶剤に均一に溶解させ。

この溶液を該支持体フィルム上にナイフコート法、ロー
ルコート法等で塗布し、乾燥して行なわれる。感光層中
の残存溶剤量ｔま特性保持のために２重ｔチ以下におさ
えることが好ましく。

１重ＪＮ％以下におさえることが特に好寸しい。

支持体フィルムとしては感光性エレメントの製造時に必
要な耐熱性、耐溶剤性を有していることが好ましいが、
テフロンフィルム、１１７１Ｉｉｎ紙等の離型性フィル
ムを一時的な支持体フィルムとし、この上に感光性樹脂
組成物の層を形成した後、この層の上に耐熱性あるいは
耐溶剤性の低いフィルムをラミネートし、該一時的な支
持体フィルムを剥離して耐熱ｔ１−あるいは耐溶剤性の
低い支持体フィルムを有する感光性エレメントを製造す
ることもできる。また支持体フィルムは活性光に対し透
明であっても不透明であってもよい。使用できる支持体
フィルムの例として、ポリエステルフィルム、ポリイミ
ドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレ
ンフィルム、ポリスチレンフィルム等公知のフィルムを
挙げることができる。

長尺の感光性エレメントを製造する場合は。

製造の最終段階で該エレメントをロール状に巻き取る。

この場合、感圧性粘着テープ等で公知の方法を用い、背
面処理した支持体フィルムを用いることにより、ロール
状に巻き取ったときの感光性樹脂組成物の層の支持体フ
ィルム背面への転着を防ぐことが可能である。同じ目的
。

塵の付着を防ぐ目的等で該エレメントの感光性樹脂組成
物の層上に剥離可能なカバーフィルムを積層することが
好ましい。

剥離可能なカバーフィルムの例としては、ポリエチレン
フィルム、ポリプロピレンフィルム。

テフロンフィルム、表面処理をした紙等があり。

カバーフィルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の層
と支持体フィルムとの接着力よりも。

感光性樹脂組成物の層とカバーフィルムとの接着力がよ
り小さいものであればよい。

感光性エレメントを構成する感光性樹脂組成物の層の厚
さは、適用する印刷配線板の導体間の高度の電気絶縁性
を保持するため、−また、形成される半田マスクパター
ンの解像度の点から２０〜２００μｍであることが好ま
しい。

得られる感光性エレメントの使用方法は次の通りである
。

感光性エレメントの基板上への積層−１谷易である＝す
なわち、カバーフィルムのない場合ｔまそのまま、カバ
ーフィルムのある場合はカバーフィルムを剥離して又は
剥離しながら、加熱・加圧積層する。加熱・加圧積層は
印刷配線板製造業者では周知の常圧ラミネータを用いて
行なうことができる。基板が、導体配線ラインの形成さ
れた印刷配線板のように１０μｍ以上の凹凸のあるもの
の場合は、減圧下又は真空下で積層することが好ましい
。

このための装置としては特公昭５３−３１６７０号又は
特公昭５５−１３３４１号に記載される積層装置等があ
る。

積８４後の露光および現像処理は常法により行ない得る
。すなわち、支持体フィルムが活性光に不透明である場
合は支持体フィルムを剥離した後、高圧水銀灯、超高圧
水銀灯等の光源を用い、ネガマスクを通して像的に露光
する。露光前後の５０℃ないし１００℃での加熱処理は
基板と感光性樹脂１脅との密着性を高めるために好まし
い。

現像液には１．１．１−　）　’）クロルエタン等の溶
剤が用いられる。不燃性溶剤の使用は安全上好ましい。

このような方法で得られた像的な保護被膜は通常のエツ
チング、めっき等のための耐食膜となるが、現像後の８
０℃ないし２００℃での加熱処理及び活性光の露光によ
シ更に優れた特性を有する保護被膜となる。現像後の加
熱処理及び活性光の露光の順序はどちらが先でもよく。

′またそれぞれを何度かに分けて行なってもよい。

現像後の加熱処理及び活性光の露光によって得られる保
護被膜はトリクレン、メチルエチルケトン、イングロビ
ルアルコール、トルエン等の有機溶剤に十分耐え、酸性
水溶液又はアルカリ水溶液にも耐える。更に、　１ｌｔ
ｒＪ熱性に優れ、耐冷熱衝撃性にも優れているので長期
の信頼性を要求される半田マスク等の永久的な保護被膜
として好適である。

また１本発明の提案する感光性樹脂組成物の溶液をデツ
プコート法、フローコート法等で基板に直接塗布し、溶
剤乾燥後、直接あるいはボリエステルフイルム等の活性
光に透明なフィルムを積層後、前記の感光性エレメント
の場合と同様にして、ネガマスクを通して像的に露光し
。

現像し、さらに加熱処理および活性光の露光をすること
によっても前記と同様に特性の優れた保護被膜が得られ
る。

このように本発明になる感光性樹脂組成物を用いて形成
される被膜は優れた化学的、物理的特性を有することか
ら、印刷板材料、プラスチックレリーフ用等にも用いら
れる。

次に本発明の実施例を示す。

本発明は、これによって限定されるものではない。

実施例１ （ａ）　　感光性樹脂組成物の製造 トリメチルへキザメチレンジイソシアナート１９３．２
ｙ−、）ルエン２５７．　ＯＰ　、ジブチルチンジラウ
レートｏ、ｉｇＬ、ハイドロキノン０．３９−を温度計
、攪拌装置、冷却管反び滴下ロートのついた。加熱及び
冷却の可能な１１！の反応容器に仕込み６０℃に内温を
上げた。１，４−ノクロヘキサンジメタノール９２．７
９−と酢酸エチル９２．７９−の混合物を滴下ロートよ
り２時間かかつて滴下した。滴下終了後８０℃で２　ｕ
ｙ間保ったのち、内温を６０℃に下げ９滴下ロートより
β−ヒドロキシエチルアクリレート６４．０５’を１時
間かかつて滴下終了後８０℃で１０時間保ったのち温度
を下げ反応生成物をイ（Ｉた。

この反応生成物１９０ｙ−にベンゾフェノン５Ｐ、４．
４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン０．２ｙ
−、クリスタルバイオレット０．１７゜メチルエチルケ
トン１３ｙ・を加え、良く混合し感光性樹脂組成物を得
た。

（ｂ）　　感光性エレメントの製造 上記の感光性樹脂組成物を厚さ２５μｍのポリエチレン
テレフタレートフィルム上に塗布シ。

室温で２０分、８０℃で１０分、１０５℃で５分乾燥し
、感光性樹脂の層の厚さが約６０μｍの感光性エレメン
トを得た。該エレメントの感光性樹脂層に指をふれても
感光性樹脂が指についてくることはなく、適度なわずか
の粘着性を有しておυ、フィルム形成性は良好であるこ
とが判った。

（Ｃ１特性評価 東し■製銅張りカブトン２１３２−ＥＦの一面をナイロ
ンブラシを用い、みがき粉をつけて研磨し、水洗してか
ら水をエアスプレーで切り。

８０℃で１０分間乾燥した。

この清浄化した銅面に前記の感光性エレメントを曙産業
（１！ＩＡ−５００型常圧ラミネータを用い、積層温度
１００〜１１０°Ｃ，ラミネートスピード１．０　ｔｎ
／ｌｎ　ｉｎ　、ラミネート圧１．ＱＫ９ｆ／−の条件
で積層した。この積層体に第１図に示す試験用ネガマス
クを当て、昨オーク製作所製フェニックス３０００ｆｆ
ｌ露光機を用いて、４００１ηＪｌｃｒｒ？で露光した
。第１図において１はネガマスクの不透明部分、２はネ
ガマスクの透明部分であシ数字の単位は喘でおる。露光
後３０分放置したのち、ポリエチレンテレフタレートフ
ィルムをはがしたが容易にはく離することができた。

１．１．１−）リクロルエタンを用い現像したのち、８
０℃で１０分間加熱乾燥し、東芝ｔ＋ｒ、拐（ｔ４ＩＧ
製紫外線照射装置を用いて２．５　Ｊ　１ａ７ｅ’照射
した。

その後１５０℃で３０分間加熱処理した。

このようにして作った試験板の一部を切り取り２５℃の
トリクレンに１０分間浸漬したが形成した保護被膜は安
定であシ、基板からの剥離は認められなかった。残υの
他の試験板にロジン系フラックスＡ−２２６（タムラ化
研■製）を用いて、２４０±２℃の半田浴で５秒間半田
付処理をしたが、保護被膜は安定でクラック。

基板からの剥離は認められなかった。

前述と全く同じ方法によυ、感光性エレメントをラミネ
ートした積層体にヨコＱ、　５　ｒｎｍ　、タテ２００
咽の活性光を透過する直線ラインを４Ｅするネガマスク
を当て、前述のフェニックス３０００ｍ露光機を用いて
４００フｎ　Ｊ　７ｃｍ２で露光シた。ポリエチレンテ
レフタレーｉ・フィルムを取り除いたのち、１，１．１
−トリクロルエタンで現像した。

次いで、４０°ボーメの塩化第一鉄に浸漬して、レジス
トのついていない部分の銅を取υ除いたのち、レジスト
を塩化メチレンで除去してヨコ０．５咽、タテ２ｏｏｍ
ｍの銅面を有する銅配線基板を得た。次いで前述したの
と全く同じ方法でその銅配線基板に感光性エレメントを
ラミネートし、前述のフェニックス３０００型露光機を
用いて、全面を４０　Ｑ　ｍＪ　／ａ、、ｚで露光した
。

次いで、東芝電材■製紫外線装置を用いて２．５Ｊ／ｃ
ｍ２の条件で照射し、１５０°Ｃで３０分加熱したのち
、銅線ツインに沿って、銅線ラインが中心にくるように
してｌＣｒ１１の幅に上記試験試料を切断した。次いで
、ＭＩＴ試験機を用い（０，８几、荷重５００ｙ−）、
保護被膜にクラックが生じるまでの回数を求めたところ
、２０回まではクラックは生じなかった。ＭＩＴ試験に
用いたのと同一の試験片を保護被膜面が外側になるよう
にして１８０°折シ曲げてもクラックは生じなかつ之。

上に述べた通シ１本発明になる感光性樹脂組成物を用い
た感光性エレメントを用いて保訛被膜を施した配線板は
耐溶剤性、半Ｈ３制熱性、耐折性がよ＜、ＦＰＣとして
十分使用出来るものであった。

実施例２ β−ヒドロキソエチルアクリレート６４．０　！Ｆをβ
−ヒドロキシエチルメタアクリＶ−１・７２．０７ニト
ルエン２５７７ｉ　トルエン２４５５ＪＣｉえた以外は
実施例１と全く同じに感光性エレメントの製造９％性評
価を行なった。実施例１と同様、フィルム形成性は良好
であった。

２５℃のトリクレンに１０分間浸漬した結果は保護被膜
は安定で、基板からの剥離はｉｉ３められなかった。

また、半田耐熱性も良好であり、ＭＩ’ｌ’試験機によ
るクラック発生までの回数は２０回以上で保護被膜面が
外側になるようにして１８ｏ０折り曲げてもクラックは
生ぜず、ＦＰＣとして十分使用出来るものであった。

比較例 アゾビスイソブチロニトリル０．５．１ｉｉ部を重合開
始剤とし、メタアクリル酸メチル４５重量部。

アクリル酸メチル４５重量部およびβ−ヒドロキシエチ
ルメクアクリレー）１０重量部から成る単量体をメチル
エチルケトン７０ＭＮ部とトルエン７５重量部との混合
溶媒中窒素雰囲気下に於いて７５℃で１５時間反応させ
て、加熱残分４１．１重ｔ＜−セントでガードナー粘度
（２５°Ｃ）Ｖのアクリルポリマーを得た。このアクリ
ルポリマーを用い表１に示す配合割合でＣＡＬｌ、　（
１３１および（Ｃ１の３種類の感光性樹脂組成物を得た
。数字の単位はダラムを示す。

１′〕、− 表１ 実施例１における１８）感光性樹脂組成物を我１に示す
（５）、（Ｂ）および（Ｃ１の３種類の感光性樹脂組成
物に変えた以外は実施例１と全く同様に行なった。

その結果、　Ｍ　Ｉ　’Ｉ’試験機（０，８Ｉも、荷Ｍ
５００　？　）によるクラック発生までの回数は（３）
、（川および（Ｃ）共に５回以下であった。

また、保護被膜面が外側になるようにして１８０°折シ
曲げると（Ａ）、　ｉＢ）およびＦＣ）共にクラックが
生じ、ＦＰＣとして使用することは出来ないものであっ
た。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例で用いた試験用ネガマスクを示す。 符号の説明 １・・・ネガマスクの不透明部分 ２・・・ネガマスクの透明部分 第　１ 一一 一一■ ■−一

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、（Ａ、）　２　価アルコールと　ｆＪ３）イソホロ
   ンジイソシアナート、トリメチルへキサメチレンジイソ
   シアナートおよびリジンジイソシアナートの群から選ば
   れる１種または２種以上のジイソシアナートと　（Ｃ１
   ２価アルコールのアクリル酸モノニスデルまたはメタア
   クリル酸モノエステルと’、ｒ、（Ａ）２価アルコール
   の１．０水酸基当月に対し、（Ｂ）ジイソシアネートを
   １．２・−１，６イソシアネート当−１１ｔ、（ｃ）２
   価アルコールのアクリル酸モノエステルまたはメタアク
   リル酸モノエステルを０．２〜３０水酸基当量として反
   応させて得られる反応生成物（１）ならび活性光によシ
   遊離ラジカルを生成する増感剤又は／及び増感剤系（Ｉ
   ｌ＋を含有する感光性樹脂組成物。