JPS59230014A - 感光性樹脂組成物および感光性エレメント - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂組成物に関する。

更に詳しくは印刷配線板製造、金属精密加工に使用する
保護被膜形成用の感光性樹脂組成物に関印刷配線板業界
において、印刷配線板を製造する際にエツチング、電解
メッキなどを行なうための保護被膜９回路の永久保護、
半田付は領域の限定、半田ブリッヂの防止、電気絶縁性
の保持、銅導体の腐食防止等のための保護被膜、化学メ
ッキを行なうための保護被膜などが、使用されている。

これらの保護被膜の形成のためにエポキシ樹脂。

アミノプラスト樹脂などを主成分とする熱硬化性樹脂あ
るいは光硬化性樹脂などが使用されている。

これらの樹脂は、印刷インキとして配線基板上に印刷さ
れたりあるいは支持体フィルム上に感光性樹脂組成物の
層を形成したいわゆる感光性エレメントとして配線基板
に積層されたのち、加熱あるいは光照射によシ硬化し、
保護被膜とされている。

近年、電気、電子機器の小型化、軽量化が進むにつれて
配線板回路の高密度化おるいは電気、電子機器内部の空
間の利用が必要となってきた。

配線基板としては、ガラス−エポキシ積層板などに銅箔
を積層した硬質配線基板、ポリイミドフィルムなどに銅
箔を積層したフレキシブル配線基板などがあるが、フレ
キシブル配線基板から得たいわ勲るフレキシブル配線板
（以下、ＦＰＣと略称する）を用いると電気、電子機器
内部の空間にＦＰＣを屈曲させて装着することができる
ので電気、電子機器内部の空間を有効的に利用し、これ
らの機器を小型化することができ、更に硬質配線板に比
べ厚さがはるかに薄く１重量が軽いので。

電気、を子機器の軽量化にも役立つことになる。

ＦＰＣの製造に於いて、原材料から最終製品に至るまで
フレキシブル配線基板は屈曲性に富んでいるため、ロー
ル状に巻いておいたシ、あるいはロールなどを使用して
連続的に各工程を行なうことができるので作業効率を高
め、製品コストを低減することが出来る。

電気絶縁性の保持９回路の永久保護、半田付は領域の限
定、半田ブリッヂの防止、銅導体の腐食防止などのほか
、何度も屈曲させて使用する配線部分に用いるときに、
銅配線の切断を起こシにくくするためにＦＰＣの銅配線
のある面はポリエステルフィルムやポリイミドフィルム
などを接着剤で貼り付ける方法、前述の熱硬化性インキ
あるいは紫外線硬化型インキなどをスクリーン印刷で印
刷したのち、熱あるいは紫外線によシ硬化させる方法な
どにより被覆されることが行なわれ又は提案されている
。

部品の搭載、半田付けなどを行なうために、被覆があっ
てはならない部分があるが、配線板の高密度化、高精度
化が要求されてくるに従って、これらの被覆の位置合わ
せも高精度化が必要となってきた。ポリイミドフィルム
などを貼り付ける方法およびスクリーン印刷による方法
は、この精度が悪いため、感光性フィルムをラミネート
する方法が提唱されている。

本発明者らは特願昭５５−’１３１３２２号に於いて感
光性樹脂組成物および感光性エレメントを提唱した。

特願ＦＩＢｓｓ−１３１３２２号に示された感光性樹脂
組成物をＦＰＣに応用してみたところ屈曲性が不十分で
ＦＰＣに使用するには更に屈曲性の向上が望ましいこと
が分った。

特願昭５５−１３１３２２号の組成物中には線状高分子
化合物が含まれているが、該線状高分子化合物のガラス
転移温度を下げることによシ屈曲性向上をはかることを
試みたが、感光性樹脂組成物の支持体フィルムへの粘着
性が犬きく、フィルム形成性が悪＜、ＦＰＣに使用する
には問題があることを見出した。

本発明は先に提唱した感光性樹脂組成物よりもフィルム
形成性、屈曲性、半田耐熱性、耐溶剤性。

接着性などの特性のバランスがとれ、これらの特性にお
いて優れたＦＰＣ用感光性樹脂組成物を開発すべく、検
討の結果なされたものである。

本発明の目的はフィルム形成性、屈曲性、半田耐熱性、
耐溶剤性、接着性が優れた感光性樹脂組成物を提供する
ことにある。

本発明はＡ（イ）２価アルコール、（ロ）前記２価アル
コール１．０水酸基当量に対してインホロンジインシア
ナート、トリメチルへキサメチレンジイソシアナートケ
アリジンジインシアナート及びヘキサメチレンジイソシ
アナートよシなる群から選ばれた１ｍまたは２種以上の
ジイソシアナート１．２〜１．６インシアナート当量及
び（）→前記２価アルコール１．０水酸基当量に対して
２価アルコールのアクリル酸モノエステル又はメタアク
リル酸モノエステル（以下（メタ）アクリル酸モノエス
テルとする）０．２〜３．０水酸基当量を反応させて得
られる反応生成物１００重量部、Ｂガラス転移温度が約
４０〜−８０℃の線状高分子化合物５〜４００重量部、
　Ｃ（イ）テトラヒドロンタル酸、テトラヒドロフタル
酸無水物、フタル酸およびフタル酸無水物よりなる群か
ら選ばれた１種または２種以上のカルボン酸および／−
１′たけカルボン酸無水物、（ロ）前記カルボン酸およ
び／またはカルボン酸無水物（ａｌ史 １．０モルニ対シてトリメチロールプロパン１．５〜２
モルおよび（〕→前記カルボン酸および／またはカルボ
ン酸無水物（イ）１．０モルに対してアクリル酸および
メタクリル酸よシ選ばれた１種または２種のモノカルボ
ン酸を１．０〜４．０モル反応させて得られる反応生成
物３〜８０重量部ならびに、Ｄ活性光線によシ遊離ラジ
カルを発生する増感剤および／または増感剤系を含有す
る感光性樹脂組成物に関する。

本発明の提案する感光性樹脂組成物について以下に詳細
に説明する。

本発明の感光性樹脂組成物は、上記の（イ）、（ロ）及
び（ハ）を反応させて得られる反応生成物置を必須成分
として含有する。

本発明の（イ）及び（ハ）に使用される２価アルコール
の例としてはエチレングリコール、ジエチレングリコー
ル、トリエチレングリコールナトのエチレングリコール
系の２価アルコール、プロピレングリコール、ジエチレ
ングリコールなどのプロピレングリコール系の２価アル
コール、１，４−ブタンジオール、１．３−ブタンジオ
ール、ス３−ブタンジオール、１．５−ベンタンジオー
ル、１，６−ヘキサンジオール、１．１０−デカンジオ
ール、ネオペンチルグリコール、１，４−シクロヘキサ
ンジメタツール、ビス（２−ヒドロキシエチル）テレフ
タレート、ビスフェノールＡとエチレンオキサイドある
いはプロピレンオキサイドとの付加反応によシ得られる
種々の２価アルコールなどかあシ。

これらは単独でもしくは併用して使用される。

（ハ）の２価アルコールの（メタ）アクリル酸モノエス
テルの例としては２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリ
レート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート
等があり、これらは単独でもしくは併用して使用される
。

（イ）の２価アルコールと（）→の２価アルコールハ同
一の２価アルコールを用いても異なる２価アルコールを
用いてもよい。

本発明の（ロ）に使用されるジイソシアナートはイソホ
ロンジイソシアナート、トリメチルへキサメチレンジイ
ソシアナート、リジンジイソシアナート及びヘキサメチ
レンジイソシアナートよりなる群から１種又は２種以上
が選ばれる。

本発明に使用されるリジンジイソシアナートは公知の化
合物であり１例えばアミノ酸の１種であるリジン（１，
５−ジアミノペンタン−１−カルボン酸）のカルボキシ
ル基をメタレール、エタノール、ブタノール等の低級ア
ルコールでエステル化したのち、ホスゲン等を作用させ
てアミノ基をインシアナート基に変性して得られる２価
のインシアナート化合物をいい９例えば、東し■＃ＬＤ
Ｉ−Ｍ１０°Ｏ（２，６−ジイソシアナートカプロン酸
メチル）がある。

本発明に使用される（口）ジイソシアナートは、（イ）
の２価アルコール１．０水酸基当量に対して１．２〜１
．６イソシアナート当量の範囲内で使用される。

イソシアナート当量が１．２未満では分子量が大きくな
り１反応生成物中の反応性不飽和基の濃度が低くなるた
め耐溶剤性、半田耐熱性などが悪くなり好ましくない。

インシアナート当量が１．６を超えると反応生成物の分
子量が低くなるため１反応生成物中の反応性不飽和基の
濃度が高くなるので。

架橋密度が高くなり屈曲性が悪くなるため好ましくない
。

（／→２価アルコールの（メタ）アクリル酸モノエステ
ルは（イ）の２価アルコール１．０水酸基当量に対して
、０．２〜３．０水酸基当量の範囲内で用いられる。水
酸基当量が０．２未満の場合は反応生成物中の反応性不
飽和基の濃度が低くなるため、耐溶剤性、半田耐熱性な
どが悪くなり、３．０を越えるとイソシアナート基と反
応しない２価アルコールの（メタ）アクリル酸モノエス
テルが多くなるため。

耐溶剤性、半田耐熱性などの特性が悪くなり好ましくな
い。

本発明に使用される反応生成物の合成は（１）（１０２
価アルコールと（ロ）ジインシアナートを反応させたの
ち（ハ）２価アルコ゛−ルの（メタ）アクリル酸モノエ
ステルを反応させる方法、　Ｔ２Ｏ口）ジイソシアナー
トと（ハ）２価アルコールの（メタ）アクリル酸モノエ
ステルを反応させたのち（イ）２価アルコールを反応さ
せる方法、　（３）（イ）２価アルコールと（ハ）２価
アルコールの（メタ）アクリル酸モノエステルの混合物
と（ロ）ジインシアナートを反応させる方法などで行な
うことができる。

本発明に使用される反応生成物はトルエン、メチルエチ
ルケトン、酢酸などのようなインシアナートと反応しな
い溶剤を用いて合成することができるが、溶剤を使用し
なくても合成できる。本発明に使用される反応生成物の
合成は一般に室温ないし１５０℃の温度で行なわれるが
特に温度の制限はなく、アルコールとイソシアナートの
反応促進剤としてジブチルチンジラウレート、！３９７
ミンなどを密着性、半田耐熱性などの特性を損ねない範
囲内で使用しても差し支えない。

本発明の感光性樹脂組成物はガラス転移温度が約４０〜
−８０℃の線状高分子化合物を必須成分として含有する
。

ガラス転移温度が約４０”Ｃを越えると、前記保護被膜
とした場合の屈曲性がなく′＆シ好ましくなく、約−８
０℃未満では密着性、半田耐熱性などの特性が悪くなる
。

本発明の線状高分子化合物の具体的な例としては、ビニ
ル共重合線状高分子化合物、ポリウレタン樹脂、飽和ポ
リエステル樹脂などがあり、これらは単独で又は２種以
上併用して使用される。

本発明における線状高分子化合物の製造忙使用されるビ
ニル単量体の例としては、（メタ）アクリル酸（アクリ
ル酸又はメタアクリル酸を意味する。以下同じ）、（メ
タ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（
メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル
、（メタ）アクリル酸イソブチル、２−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレート（アクリレート又はメタアクリ
レートを意味する。以下同じ）、２−エチルヘキシル（
メタ）アクリレート、オクタデシル（メタ）アクリレー
ト、ラウリル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ
）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、２
−ヒドロキシドデシル（メタ）アクリレート、スチレン
、α−メチルスチレン、アルリロニトリル、（メタ）ア
クリルアミド。

ダイア七トンアクリルアミド、（メタ）アクリル酸メト
キシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシメチル、（メ
タ）アフリルミブトキシエチルなどがある。

本発明の感光性樹脂組成物中の上記の線状高分子化合物
の含有量は、前記Ａの反応生成物１００重量部に対して
５〜４００重量部の範囲とされるが、５重量部未満では
、前記Ａの反応生成物に対する可塑化効果が少なく、＠
曲性、接着性などの特性を改良する効果が少なく、また
、４００重量部を越えると前記Ａの反応生成物の含有量
が少なくなり、半田耐熱性、耐溶剤性などが悪くなるか
らである。

本発明の感光性樹脂組成物は前記の（イ）（ロ）及び（
ハ）を反応させて得られる反応生成物（Ｃ）を必須成分
として含有する。

本発明に使用される反応生成物（Ｃ１においてトリメチ
ロールプロパンは（イ）のカルボン酸および／またはカ
ルボン酸無水物１．０モルに対して１．５〜ｚＯモルの
範囲で使用される。

トリメチロールプロパンのモル数が１．５未満であるか
２０を越えると感光性組成物の接着性、耐溶剤性が悪く
なるからである。

本発明に使用される（）→、モノカルボン酸は（イ）の
カルボン酸および／またはカルボン酸無水物１，０モル
に対して１．０〜４．０モルの範囲で使用される。

モノカルボン酸のモル数が、１．０未満では接着性、耐
溶剤性が悪くなり、また、４．０を越えると未反応のモ
ノカルボン酸が残るからである。

本発明に使用されるＣの反応生成物は特公昭４８−３１
７４５号公報に示される方法に準じて合成することがで
きる。

本発明の感光性樹脂組成物は、活性光線によシ遊離ラジ
カルを生成する増感剤及び／又は増感剤系を必須成分と
して含有する。使用できる増感剤としては、置換または
非置換の多核キノン類９例えば２−エチルアントラキノ
ン、２−１−ブチルアントラキノン、オクタメチルアン
トラキノン。

１．２−ベンズアントラキノン、２．３−ジフェニルア
ントラキノン等、ジアセチル、ベンジル等のケトアルド
ニル化合物、　ヘンゾイン、ピバロン等ノα−ケタルド
ニルアルコール類、エーテル類、α−炭炭化水素置換芳
香族アシロイン類例えばα−フェニル−ベンゾイン、α
、α−ジェトキシアセトフェノン等、ベンゾフェノン、
４，４−ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等の芳香
族ケトン類などを例示でき、これらは単独でも組合せて
もよい。使用できる増感剤系としては２，２．５−　ト
’）アリールイミダゾールニ量体と２−メルカプトベン
ゾキナゾール、ロイコクリスタルバイオレット。

トリス（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）メ
タル等との組合せを例示できる。マタ、ソれ自体では光
開始性はないが、前述した物質と組合せて用いることに
よシ全体として光開始性能のより良好な増感剤系となる
ような添加剤を用いることができる。例えばベンゾフェ
ノンに対するトリエタノールアミン等の三級アミンなど
である。

これらの増感剤及び／又は増感剤系は前記Ａの反応生成
物に対して０．５〜１０重量％含有されることが好まし
い。

本発明の感光性樹脂組成物は更に他の光重合性不飽和化
合物を含有することも可能である。

他の光重合性不飽和化合物の例としては（メタ）アクリ
ル酸、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２
−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、オクタデシル
（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート
、トリデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ
）アクリレート。

２−ヒドロキシドデシル（メタ）アクリレート。

（メタ）アクリルアミドなどの光重合性不飽和単量体、
トリメチロールプロパンから得られる（メタ）アクリレ
ート、テトラエチレングリコールジアクリレート等を挙
げることができる。

また、特開昭５３−５６０１８号公報に示される光重合
性不飽和化合物を含有させることもできる。これらの他
の光重合性不飽和化合物の含有量は密着性、半田耐熱性
、屈曲性などのノくランスか　　　−ら前記人の反応生
成物に対して１０重量−以下であることが好ましく、５
重量％以下であることがさらに好ましい。

他の光重合性不飽和化合物は耐溶剤憔、接着性などの他
の特性をさらに向上するために添加しうるが９分子内に
リン酸基を含む（メタ）アクリル酸エステルは形成され
る半田マスクと配線基板毫の密着性をさらに向上するた
めに好ましい。

分子内にリン酸基を含む（メタ）アクリル酸工ステルと
しては日本化薬■製のＫＡＹＡＭＥＲ”シリーズのＰＭ
−１、ＰＭ−２，ＰＡ−１またはＰＡ−２，油脂製品■
製のホスマーＭ■（アシッドフォスフオキシエチルメタ
クリレート）、ホスマーＧＬ■（３−クロロ−２−アシ
ッドフォスフオキシエチルメタクリレート）等がある。

これらの分子内にリン酸を含む（メタ）アクリル酸エス
テルの含有量は前記Ａの反応生成物に対して０．０１〜
５重量係が好ましい。

更に本発明の感光性樹脂組成物は、さらに他の副次的成
分を有することができる。副次的成分としては熱重合防
止剤、染料、顔料、塗工性向上剤。

充填剤、粘着性付与剤等であり、これらの選択は通常の
感光性樹脂組成物と同様の考慮のもとに行なわれる。

本発明の感光性樹脂組成物は支持体フィルム上に担持さ
れた形状の感光性エレメントとして使用できる。かかる
感光性エレメントは支持体フィルム上に上記に説明した
感光性樹脂組成物の層を形成することにより得られる。

支持体フィルム上への感光性樹脂組成物の層の形成は常
法により行なうことができる。たとえば感光性樹脂組成
物をメチルエチルケトン、トルエン、塩化メチレン等の
有機溶剤に均一に溶解させ、この溶液を該支持体フィル
ム上にナイフコート法９ロ゛−ルコート法等で塗布し乾
燥して行なわれる。感光層中の残存溶剤量は特性保持の
ために２重量％以下におさえることが好ましく、１重量
％以下におさえることが特に好ましい。

支持体フィルムとしては感光性エレメントの製造時に必
要な耐熱性、耐溶剤性を有していることが好ましいが、
テフロンフィルム、離型紙等の離型性フィルムを一時的
な支持体フィルムとし、この上に感光性樹脂組成物の層
を形成した後、仁の層の上に耐熱性あるいは耐溶剤性の
低いフィルムをラミネートし、該一時的な支持体フィル
ムを剥離して耐熱性あるいは耐溶剤性の低い支持体フィ
ルムを有する感光性エレメントを製造することもできる
。ま次支持体フィルムは活性光に対し透明でおっても不
透明でおってもよい。

使用できる支持体フィルムの例として、ポリエステルフ
ィルム、ポリイミドフィルム、ボリアＳトイミドフィル
ム、ポリグロピレンフイルム、ポリスチレンフィルム等
公知のフィルムを挙ケることができる。

長尺の°感光性エレメントを製造する場合は、製造の最
終段階で該エレメントをロール状に巻き取る。この場合
、感圧性粘着テープ等で公知の方法を用い、背面処理し
た支持体フィルムを用いることによシ、ａ−ル状に巻き
取ったときの感光性樹脂組成物の層の支持体フィルム背
面への転着を防ぐことが可能である。同じ目的、塵の付
着を防ぐ目的等で核エレメントの感光性樹脂組成物の層
上に剥離可能なカバーフィルムを積層することが好まし
い。

剥離可能なカバーフィルムの例と、しては、ポリエチレ
ンフィルム、ポリフロピレンフィルム、テフロンフィル
ム、表面処理をした紙等がらり、カバーフィルムを剥離
するときに感光性樹脂組成物の層と支持体フィルムとの
接着力よりも、感光性樹脂組成物の層とカバーフィルム
との接着力がよシ小さいものであればよい。

感光性エレメントを構成する感光性樹脂組成物の層の厚
さは、適用する印刷配線板の導体間の高度の電気絶縁性
を保持するため、また、形成される半田マスクパターン
の解像度の点から２０〜２００μｍであることが好まし
い。

得られる感光性エレメントの使用法は次の通りである。

感光性エレメントの基板上への積層は容易でめる。すな
わち、カバーフィルムのない場合はそのまま、カバーフ
ィルムのある場合はカバーフィルムを剥離して又は剥離
しながら、加熱・加圧積層する。加熱・加圧積層は印刷
配線板製造業者では周知の常圧ラミネータを用いて行な
うことができる。基板が、導体配線ラインの形成された
印刷配線板のように１０μｍ以上の凹凸のあるものの場
合は、減圧下又は真空下で積層することが好ましい。

このための装置としては特公昭５３−３１６７０号公報
又は特公昭５５−１３３４１号公報に記載される積層装
置等がある。

積層後の露光および現像処理は常法により行ない得る。

すなわち、支持体フィルムが活性光に不透明でるる場合
は支持体フィルムを剥離した後。

高圧水銀灯、超高圧水銀灯等の光源を用い、ネガマスク
を通して像的に露光する。露光前後の５０℃ないし１０
０°Ｃでの加熱処理は基板と感光性樹脂層との密着性を
高めるために好ましい。

現像液には１．１．１−　）　ＩＪジクロルタン等の溶
剤が用いられる。不燃性溶剤の使用は安全上好ましい。

このような方法で得られた像的な保護被膜は通常のエツ
チング、めっき等のための耐食膜となるが、現像後の８
０℃ないし２００℃での加熱処理及び活性光の露光によ
り更に優れた特性を有する保護被膜となる。現像後の加
熱処理及び活性光の露光の順序はどちらが先でもよく、
またそれぞれを何度かに分けて行なってもよい。現像後
の加熱処理及び活性光の露光によって得られる保護被膜
はトリクレン、メチルエチルケトン、イングロビルアル
コール、トルエン等の有機溶剤に十分耐え。

酸性水溶液又はアルカリ水溶液にも耐える。更に。

耐熱性に浸れ、耐冷熱衝撃性にも優れているので長期の
信頼性を要求される半田マスク等の永久的な保護被膜と
して好適である。

また９本発明の提案する感光性樹脂組成物の溶液をディ
ップコート法、フローコート法等で基板に直接塗布し、
溶剤乾燥後、直接あるいはポリエステルフィルム等の活
性光に透明なフィルムを積層後、前記の感光性エレメン
トの場合と同機にして、ネガマスクを通して像的に露光
し、現像し。

さらに加熱処理および活性光の露光をすることによって
も前記と同様に特性の優れた保護被膜が得られる。

このように本発明になる感光性樹脂組成物または感光性
エレメントを用いて形成される被膜は浸れた化学的、物
理的特性を有することから、ＦＰＣ用ばかりでなく、硬
質配線板用、印刷板材料、プラスチックレリーフ用等に
も用いられる。

次に本発明の実施例を示すが９本発明はこれによって限
定されるものではない。

実施例１ （ａｌ　　感光性樹脂組成物の製造 トリメチルへキサメチレンジイソシアナート８４０．０
°ｙ−（ｓ、ｏイソシアナート当量）、脱水したトルエ
ン１２８１Ｐ、ジブチルチンジラウレート０．４Ｐ、ノ
・イドロキノン０．２９−を温度計、冷却管及び滴下ロ
ートのついた。加熱及び冷却の可能な２ｔの反応容器に
仕込み、６０℃に内温を上げた。ネオペンチルグリコー
ル３０９ｙ−（５，９水酸基当量）を滴下ロートより１
時間かかつて滴下した。滴下終了後８０℃で２時間保っ
たのち、内温を６０℃に下げ１滴下ロートより２−ヒド
ロキシエチルアクリレ−）　２３２．０　、？　（２，
０水酸基当量）を１時間かかつて滴下した。滴下終了後
８０℃で１０時間保ったのち温度を下げ、メタノール１
００？を加えて混合し反応生成物を得た。

前記反応生成物１００ｙ−に対し、アクリル酸メチルメ
タクリル酸ブチル／２−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト／メタクリル酸（７６／８／１４ｙ２重量比）共重合
物（加熱残分３８．９重量％。

分子量約１１万、ガラス転移温度１７℃）　９５　ｐ。

テトラヒドロフタル酸無水物／トリメチロールプロパン
／アクリル酸（１５２／２６８／２１６重量比、１／２
／３モル比）縮合物（加熱残分９８重量％）１２Ｆ、２
−エチルアントラキノン３．１ｙ、ｐ−メトキシフェノ
ールｏ、ｏｓｆＰ、クリスタルバイオレット０．０８５
’、メチルエチルケトン１３？を加え良く混合し、感光
性樹脂組成物を得た。

（ｂ）　　感光性エレメントの製造 上記の感光性樹脂組成物を厚さ２５μｍのポリエチレン
テレフタレートフィルム（東し社製ルミラー、品番２５
）上に、上島製作所製ベーカー・フィルム・アプリケー
ター（“ＢＡＫＥＲＦＩＬＭＡＰＰＬＩＣＡＴＯＲ）を
用いて塗布し、室温で２０分放置したのち、熱風循還式
乾燥機を用、い８０℃で１０分、１０５℃で１０分乾燥
し、感光性樹脂の層の厚さが約６０μｍの感光性エレメ
ントを得た。該エレメントの感光性樹脂層に指をふれて
も感光性樹脂が指についてくることはなく、適度なわず
かの粘着性を有しており、フィルム形成性は良好である
ことが分った。

（Ｃ１特性評価 東し■製銅張カプトン２Ｂ２−ＥＦの一面をナイロンブ
ラシを用いみがき粉を付けて研磨し、水洗してから水を
エアスプレーで切シ、８０℃で１０分乾燥した。この清
浄化した銅面に前記の感光性エレメントを曙産業■製Ａ
−５００型常圧ラミネーターを用い、積層した。

第１図に示す試験用ネガマスクを上記の感光性エレメン
ト積層体に当て、■オーク製作新製フェニックス３００
０型露光機を用いて３００ｍＪ／ｃｍ２で露光した。第
１図において、１はネガマスクの不透明部分、２はネガ
マスクの透明部分であり。

数字の単位は順である。露光後３０分放置してから、ポ
リエチレンテレフタレートフィルムを本発明の感光性組
成物からはがしたが容易に剥離することができた。１．
１．１−トリクロルエタンを用い現像したのち、８０℃
で１０分間加熱乾燥したのち１３０℃で１０分間加熱し
た。東芝電材■製紫外線照射装置を用いて３．　ＯＪ／
Ｃｍ２で照射した。

このようにして作った試験板の一部を切り取９２５℃の
トリクレンに５分間浸漬したが形成した保護被膜は安定
であり、基板からの剥離は認められなかった。

残りの他の試験板にロジン系フラックスＡ−２２６（タ
ムラ化研■製）を用いて、２４０℃±２℃の半田浴で１
０秒間牛田付は処理を行なったが保護被膜は安定で、ク
ランク、基板からの剥離は紹められなかった。

残りの他の試験板を用い、実際に各電機器に装着される
までの工程に準じて次の実工程に準じた試験を行なった
。（１）４０℃の希硫酸水溶液（ｐＨ中４．０）に１０
分間浸漬、（２）’＜ソブロピルアルコール（２５℃）
に５分浸漬後常温で５分乾燥しブチルカルピトール（２
５℃）に５分浸漬し、常温で５分乾燥し８０℃で５分間
乾燥、（３）２ｔｏ℃で２０秒間加熱、（４１４０℃の
ダイフロン８３−Ｅ（ダイキン工業■製）に３分間浸漬
、（５）１６０℃で５分加熱、（６）４０℃のダイフロ
ン８３−ＥＫ１５分間浸漬、の（１）〜（６）の試験を
行なったが異常は見られなかった。（前記の（ａ）感光
性樹脂組成物の製造に於て、テトラヒドロフタル酸無水
物／トリメチロニルプロパン／アクリル酸縮合物を除い
た以外は全く同様に行なったものは、前記（５）の１６
０℃で５分加熱の段階に於て、銅面上にわずかに発泡が
生じた。） 前述したのと全く同じ方法により感光性エレメントをラ
ミネートした積層体に０．５１１１１幅の直線ラインの
めるネガマスクを当て、前述のフェニックス３０００型
露光機を用いて３００　Ｊ／Ｃｍ２で露光した。ポリエ
チレンテレフタレートフィルムを取り除いたのち、１，
１．１−１リクロルエタンで現像した。次いで４０°ボ
ーメの塩化第一鉄に浸漬して。

レジストのついていない部分の銅を取り除いたのち、レ
ジストを塩化メチン／で除去して銅配線基板を得た。次
いで前述と全く同じ方法でその銅配線に感光性エレメン
トをラミネートし、前述のフエニツクス３０００型露光
機を用いて、全面を３００　ｍＪ　７ｃｍ２で露光した
。次いで東芝電材■製紫外線照射装置を用いて３．　Ｏ
Ｊ／Ｃｍ２で照射し。

１３０℃で１０分間加熱したのち銅線ラインに沿って、
銅線ラインが中心にくるようにして１ｃｒｎの幅に上記
試験試料を切断した。次いでＭＩＴ試験機を用い（０，
８几、荷重５００Ｆ／）保護被膜にクラックがはいるま
での回数を求めたところ、７０回まではクラックがはい
らなかった。ＭＩＴ試験に用いたのと同一の試験片を保
護被膜面が外側になるようにして１８００折り曲げても
クラックははいらなかった。

上に述べたとおシ９本発明になる感光性樹脂組成物、感
光性エレメントを用いて保護被膜を施した配線板は、耐
溶剤性、半田耐熱性、耐折性がよ＜、ＦＰＣとして十分
使用出来るものである。

実施例２ 実施例１（ａ）感光性樹脂組成物の製造に於て。

アクリル酸メチル／メタアクリル酸ブチル／２−ヒドロ
キシメタクリレート／メタクリ酸共重合物のｆｃｆｆｉ
３８Ｐにテトラヒドロフタル酸無水物／トリメチロール
プロパン／アクリル酸縮合物ヲ４．０１に、感光性エレ
メントの感光性樹脂の層の厚さを約６０μｍになるよう
に調節した以外は、実施例１と全く同様にして感光性ニ
レメントラ得た。

このエレメ゛ントのフィルム形成性は良好でめった。

２５℃のトリクレンに２０分間浸漬したが保護被膜は安
定で基板からの剥離は認められなかった。

また半田耐熱性も良好でろシ、ＭＩＴ試験機によるクラ
ック発生までの回数は３０回以上で、保護被膜面が外側
になるようにして１８０°折り曲げてもクランクは生じ
なかった。

また、前記の実工程に準じた試験を行なったが異常はみ
られず、ＦＰＣとして十分使用出来るものでめった。

【図面の簡単な説明】

第゛１図は実施例１で用いたネガマスクの図である。 符号の説明 １・・・不透明部分　　　　　２・・・透明部分系　１
　回 ■■■　Ｉ −泉一

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、Ａ　　（イ）２価アルコール、（ロ）前記２価アル
   コール１．０水酸基当量に対してインホロイジインシア
   ナート、トリメチルへキサメチレンジインシアナート、
   リジンジイソシアナート及びヘキサメチレンジインシア
   ナートよりなる群から選ばれｆｃ１種または２種以上の
   ジイソシアナート１．２〜１．６インシアナート当量及
   び（ハ）前記２価アルコール１．０水酸基当量に対して
   ２価アルコールのアクリル酸モノエステル又はメタアク
   リル酸モノエステル０．２〜３．０水酸基当量を反応さ
   せて得られる反応生成物１００重量部 Ｂ　ガラス転移温度が約４０〜−８０℃の線状高分子化
   合物５〜４００重量部 Ｃ（イ）テトラヒドロ７タル酸、テトラヒドロフタル酸
   無水物、フタル酸およびフタル酸無水物よりなる群から
   選ばれた１種または２種以上のカルボン酸および／ｉた
   はカルボン酸無水物、（ロ）前記カルボン酸および／ま
   たはカルボン酸無水物（ａ）１．０モルに対してトリメ
   チロールプロパン全１．５〜２モルおよび、（）→前記
   カルボン酸および／またはカルボン酸無水物（イ）１．
   ０モルに対してアクリル酸およびメタクリル酸より選ば
   れた１種または２種のモノカルボン酸を１．０〜４．０
   モル反応させて得られる反応生成物３〜８０重量部なら
   びにＤ　活性光線よシ遊離ラジカルを発生する増感剤お
   よび／または増感剤系 を含有してなる感光性樹脂組成物。 ２（イ）及び（ハ）の２価アルコールが１〜２３個の炭
   素原子を含む２価アルコールである特許請求範囲第１項
   記載の感光性樹脂組成物。 ＆（イ）の２価アルコールが１．４−ブタンジオール、
   ｌ、３−７’タンジオール、’１．５−ベンタンジオー
   ル、１．６−ヘキサンジオールおよび１．４−シクロヘ
   キサンジメタツールからなる群から選ばれた２価アルコ
   ールである特許請求範囲第１項又は第２項記載の感光性
   樹脂組成物。 ４、（ハ）の２価アルコールのアクリル酸モノエステル
   又はメタアクリル酸モノエステルがとドロキシエチルア
   クリレート、ヒドロキシエチルメタアクリレート、ヒド
   ロキシグロビルアクリＶ−ト及びヒドロキシエチルメタ
   アクリレートからなる群から選ばれた化合物である特許
   請求の範囲第１項、第２項又Ｉｉ第３項記載の感光性樹
   脂組成物。 ５、特許請求の範囲第１項、第２項、第３項又は第４項
   記載の感光性樹脂組成物の層と該層を支持する支持体フ
   ィルムからなる感光性エレメント。 ６、剥離可能なカバーフィルムを感光性樹脂組成物の層
   上に積層した特許請求の範囲第５項記載の感光性エレメ
   ント。 ７、感光性樹脂組成物の層を２０〜１００μｍ・の厚さ
   とした特許請求の範囲第５項又は第６項記の感光性エレ
   メント。